JP2009192783A - レーザ加工用光学部品の製法 - Google Patents
レーザ加工用光学部品の製法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009192783A JP2009192783A JP2008032886A JP2008032886A JP2009192783A JP 2009192783 A JP2009192783 A JP 2009192783A JP 2008032886 A JP2008032886 A JP 2008032886A JP 2008032886 A JP2008032886 A JP 2008032886A JP 2009192783 A JP2009192783 A JP 2009192783A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photoresist film
- substrate
- optical component
- dimensional shape
- photoresist
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Abstract
【解決手段】レーザ加工用光学部品の製法。(a)基板の表面にフォトレジスト膜を形成する工程、(b)前記フォトレジスト膜をレーザ光で露光して所望の3次元形状を有する未露光部を形成する工程、(c)前記フォトレジスト膜を現像してレーザ光による露光部を除去する工程、(d)前記フォトレジスト膜が軟化し得る温度で当該フォトレジスト膜に加熱処理を施す工程、及び(e)前記未露光部の3次元形状をエッチングにより前記基板に転写して当該基板表面に3次元形状を形成する工程を含んでいる。
【選択図】 図1
Description
(a)基板の表面にフォトレジスト膜を形成する工程、
(b)前記フォトレジスト膜をレーザ光で露光して所望の3次元形状を有する未露光部を形成する工程、
(c)前記フォトレジスト膜を現像してレーザ光による露光部を除去する工程、
(d)前記フォトレジスト膜が軟化し得る温度で当該フォトレジスト膜に加熱処理を施す工程、及び
(e)前記未露光部の3次元形状をエッチングにより前記基板に転写して当該基板表面に3次元形状を形成する工程
を含むことを特徴としている。
なお、本発明明細書において、「フォトレジスト膜が軟化し得る温度」とは、当該フォトレジスト膜の溶融温度より低く、相当な時間、例えば5時間から10時間の間に、フォトレジスト膜の流動により筋状の凹凸が変形し凹凸の差ないしは程度が小さくなる温度を下限とし、実用的な時間、例えば15分から2時間の間には、必要とする3次元形状、特に角部ないしはコーナー部が存在する場合は当該角部ないしはコーナー部の形状が崩れない温度を上限とする温度範囲を指す。
レーザ光の走査ラインに応じた筋状の凹凸の程度を小さくしているので、フォトレジスト膜の未露光部の3次元形状をエッチングにより基板に転写した場合に、得られる基板表面の粗さを低減させることができ、その結果、光の散乱の少ない光学部品を得ることができる。
[実施例1]
直径50mm、厚さ5mmのZnSe製の円形基板の一方の面上にAZP4620(クラリアントジャパン社製フォトレジスト)を6μmの厚さとなるようにスピンコータで塗布し、このフォトレジストを塗布した基板を窒素雰囲気のベーキング炉に入れて、90℃で10分間加熱して溶媒を除去し当該基板上にフォトレジスト膜を形成した。
フォトレジスト、現像後の加熱温度及び加熱時間のうち少なくとも1つを表2に示すように変えた以外は実施例1と同様にして基板表面に3次元形状を形成した。
2 未露光部
3 フォトレジスト膜
4 基板
Claims (3)
- レーザ加工用光学部品の製法であって、
(a)基板の表面にフォトレジスト膜を形成する工程、
(b)前記フォトレジスト膜をレーザ光で露光して所望の3次元形状を有する未露光部を形成する工程、
(c)前記フォトレジスト膜を現像してレーザ光による露光部を除去する工程、
(d)前記フォトレジスト膜が軟化し得る温度で当該フォトレジスト膜に加熱処理を施す工程、及び
(e)前記未露光部の3次元形状をエッチングにより前記基板に転写して当該基板表面に3次元形状を形成する工程
を含むことを特徴とするレーザ加工用光学部品の製法。 - 前記基板が、2−6族化合物又はダイヤモンドからなる請求項1に記載のレーザ加工用光学部品の製法。
- 前記エッチングをICPドライエッチング法により行う請求項1〜2のいずれかに記載のレーザ加工用光学部品の製法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008032886A JP2009192783A (ja) | 2008-02-14 | 2008-02-14 | レーザ加工用光学部品の製法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008032886A JP2009192783A (ja) | 2008-02-14 | 2008-02-14 | レーザ加工用光学部品の製法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009192783A true JP2009192783A (ja) | 2009-08-27 |
Family
ID=41074856
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008032886A Pending JP2009192783A (ja) | 2008-02-14 | 2008-02-14 | レーザ加工用光学部品の製法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009192783A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20160223748A1 (en) * | 2013-09-20 | 2016-08-04 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Optical device having a stepwise or tapered light input/output part and manufacturing method therefor |
US10957836B2 (en) | 2016-09-30 | 2021-03-23 | Nichia Corporation | Printed board and light emitting device |
US11229123B2 (en) | 2016-09-30 | 2022-01-18 | Nichia Corporation | Method of manufacturing the printed board |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61267313A (ja) * | 1985-05-22 | 1986-11-26 | Nec Corp | 磁気記憶素子の製造方法 |
JPH08166666A (ja) * | 1994-12-14 | 1996-06-25 | Oki Electric Ind Co Ltd | レジストパターン形成用のマスク、レジストパターンの形成方法およびレンズの製造方法 |
JP2001236002A (ja) * | 1999-12-17 | 2001-08-31 | Japan Science & Technology Corp | ホログラムの製造方法および装置 |
JP2003057422A (ja) * | 2001-08-17 | 2003-02-26 | Japan Science & Technology Corp | フェムト秒レーザー照射による周期微細構造の作成方法 |
JP2004136358A (ja) * | 2002-10-21 | 2004-05-13 | Seiko Epson Corp | レーザー加工方法およびその装置、並びにその装置を用いた穴あけ加工方法 |
JP2005157344A (ja) * | 2003-11-05 | 2005-06-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ドライエッチング方法および回折型光学部品 |
JP2007116016A (ja) * | 2005-10-24 | 2007-05-10 | Seiko Epson Corp | 回折光学素子、パターン形成装置、およびパターン形成方法 |
-
2008
- 2008-02-14 JP JP2008032886A patent/JP2009192783A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61267313A (ja) * | 1985-05-22 | 1986-11-26 | Nec Corp | 磁気記憶素子の製造方法 |
JPH08166666A (ja) * | 1994-12-14 | 1996-06-25 | Oki Electric Ind Co Ltd | レジストパターン形成用のマスク、レジストパターンの形成方法およびレンズの製造方法 |
JP2001236002A (ja) * | 1999-12-17 | 2001-08-31 | Japan Science & Technology Corp | ホログラムの製造方法および装置 |
JP2003057422A (ja) * | 2001-08-17 | 2003-02-26 | Japan Science & Technology Corp | フェムト秒レーザー照射による周期微細構造の作成方法 |
JP2004136358A (ja) * | 2002-10-21 | 2004-05-13 | Seiko Epson Corp | レーザー加工方法およびその装置、並びにその装置を用いた穴あけ加工方法 |
JP2005157344A (ja) * | 2003-11-05 | 2005-06-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ドライエッチング方法および回折型光学部品 |
JP2007116016A (ja) * | 2005-10-24 | 2007-05-10 | Seiko Epson Corp | 回折光学素子、パターン形成装置、およびパターン形成方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20160223748A1 (en) * | 2013-09-20 | 2016-08-04 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Optical device having a stepwise or tapered light input/output part and manufacturing method therefor |
US9869815B2 (en) * | 2013-09-20 | 2018-01-16 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Optical device having a stepwise or tapered light input/output part and manufacturing method therefor |
US10957836B2 (en) | 2016-09-30 | 2021-03-23 | Nichia Corporation | Printed board and light emitting device |
US10964865B2 (en) | 2016-09-30 | 2021-03-30 | Nichia Corporation | Printed board, light emitting device, and method for manufacturing same |
US11229123B2 (en) | 2016-09-30 | 2022-01-18 | Nichia Corporation | Method of manufacturing the printed board |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7037639B2 (en) | Methods of manufacturing a lithography template | |
CN108803255B (zh) | 衬底背面纹理 | |
TWI326467B (en) | Method for quartz photomask plasma etching | |
TW400566B (en) | Method for repairing photomask by removing residual defect in said photomask | |
JP4204583B2 (ja) | フォトマスクブランクの製造方法 | |
CN1453823A (zh) | 图案形成方法和半导体器件的制造方法 | |
KR102563669B1 (ko) | 기판 배면 텍스처링 | |
JP2009192783A (ja) | レーザ加工用光学部品の製法 | |
KR102492720B1 (ko) | 실크 스크린의 메쉬 패턴을 활용한 난반사 유리 기판 및 이의 제조방법 | |
TW201017762A (en) | Method for patterning crystalline indium tim oxide | |
JP4204584B2 (ja) | フォトマスクブランクの製造方法 | |
JP5114848B2 (ja) | インプリント用モールドの欠陥修正方法及びインプリント用モールドの製造方法 | |
JP2005121916A (ja) | レンチキュラレンズ用凹部付き基板の製造方法、レンチキュラレンズ用凹部付き基板、レンチキュラレンズ基板、透過型スクリーンおよびリア型プロジェクタ | |
JP5544789B2 (ja) | 無端状パターンの製造方法、樹脂パターン成形品の製造方法、無端状モールド、及び光学素子 | |
JP2008216610A (ja) | レーザ加工用光学部品の製法 | |
CN1305112C (zh) | 半导体装置的制造方法 | |
JP2005136311A5 (ja) | ||
JP2009223310A (ja) | 無端状パターンの作製方法、樹脂パターン成形品の製造方法、無端状モールド、樹脂パターン成形品、及び光学素子 | |
JP2007210275A (ja) | インプリント用モールド | |
JP2007253544A (ja) | インプリント法 | |
JP2003050456A (ja) | 印刷可能交互位相シフト・フィーチャを除去するためのフェムト秒レーザ融除によるテーパ付きイオン埋込み | |
JP2022060301A (ja) | フィラー充填フィルム、枚葉フィルム、積層フィルム、貼合体、及びフィラー充填フィルムの製造方法 | |
JP2008006638A (ja) | インプリント用モールド及びインプリント用モールド製造方法 | |
JP5026816B2 (ja) | 石英ガラス治具及びその製造方法 | |
JP2005111839A (ja) | 表面創成方法、光学素子および型 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101117 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20101117 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111018 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111019 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120228 |