JP2006344734A - マイクロレンズの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】平坦化膜2上にレジスト材料膜3aのパターンを形成するパターン形成工程と、後の加熱工程の加熱時におけるレジスト材料膜3aの変形度合いを制御するためのオーバーコート膜4aを、レジスト材料膜3aを覆って形成するオーバーコート膜形成工程と、オーバーコート膜形成工程後、オーバーコート膜4aを加熱するオーバーコート膜加熱工程と、オーバーコート膜加熱工程後、レジスト材料膜3aを加熱して凸型のレンズ形状に変形させる加熱工程とを含む。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の第一実施形態を説明するためのマイクロレンズの製造方法を示す断面工程図である。
固体撮像素子のカラーフィルタ1までを公知の方法で製造した後、カラーフィルタ1の上に透明樹脂等からなる平坦化膜2を形成する。平坦化膜2は、カラーフィルタ1表面の微小な凹凸を解消する。次に、平坦化膜2上に、マイクロレンズ材料としてエキシマレーザ又は紫外線露光用のレジスト材料を塗布してレジスト材料膜を形成し、紫外領域の光による露光及び現像を行って、矩形のレジスト材料膜3aのパターンを形成する(パターン形成工程:図1(A))。矩形のレジスト材料膜3aは、固体撮像素子の光電変換素子の開口部上方に形成される。
図2は、本発明の第二実施形態を説明するためのマイクロレンズの製造方法を示す断面工程図である。図2において図1と同様の構成には同一符号を付してある。
図1(A)と同様の方法で、平坦化膜2上に、矩形のレジスト材料膜3aのパターンを形成する(パターン形成工程:図2(A))。
図3は、実施例1と比較例1の実験データ及び結果を示す図である。
実施例1では、第一実施形態で説明した製造工程でマイクロレンズを製造し、比較例1では、第一実施形態で説明した製造工程のうちのオーバーコート膜加熱工程を省略した製造工程でマイクロレンズを製造した。図3に示したように、比較例1では、レジスト材料とオーバーコート材料との間で化学干渉が発生してしまい、加熱工程後、隣接するレジスト材料膜同士がくっついてしまい、レジスト材料をレンズ形状にすることができなかった。これに対し、実施例1では、レンズ間ギャップが0.00μmのギャップレスマイクロレンズを形成することができており、本実施形態のようにオーバーコート膜加熱工程を追加することで、レンズ間ギャップを高精度に制御できることが証明された。
実施例2では、第二実施形態で説明した製造工程でマイクロレンズを製造し、比較例2では、第二実施形態で説明した製造工程のうちのオーバーコート膜加熱工程を省略した製造工程でマイクロレンズを製造した。図4に示したように、比較例2では、レジスト材料とオーバーコート材料との間で化学干渉が発生してしまい、加熱工程後、隣接するレジスト材料膜同士がくっついてしまい、レジスト材料をレンズ形状にすることができなかった。これに対し、実施例2では、レンズ間ギャップが0.00μmのギャップレスマイクロレンズを形成することができており、本実施形態のようにオーバーコート膜加熱工程を追加することで、レンズ間ギャップを高精度に制御できることが証明された。
2 平坦化膜
3a レジスト材料膜
3b 凸型のレンズ状に変形したレジスト材料膜
3c マイクロレンズ
4a オーバーコート膜
4b 加熱後のオーバーコート膜
Claims (4)
- 平坦面上にマイクロレンズ材料膜のパターンを形成するパターン形成工程と、前記マイクロレンズ材料膜を加熱して凸型のレンズ形状に変形させる加熱工程とを含むマイクロレンズの製造方法であって、
前記加熱工程より前に、
前記加熱工程の加熱時における前記マイクロレンズ材料膜の変形度合いを制御するためのオーバーコート膜を、前記マイクロレンズ材料膜を覆って形成するオーバーコート膜形成工程と、
前記オーバーコート膜を加熱するオーバーコート膜加熱工程とを含むマイクロレンズの製造方法。 - 請求項1記載のマイクロレンズの製造方法であって、
前記加熱工程より前に、前記マイクロレンズ材料膜を加熱して、前記マイクロレンズ材料膜を変形させておくプレ加熱工程を含み、
前記オーバーコート膜形成工程と前記オーバーコート膜加熱工程を、前記プレ加熱工程と前記加熱工程の間に行うマイクロレンズの製造方法。 - 請求項1又は2記載のマイクロレンズの製造方法であって、
前記オーバーコート膜加熱工程時の加熱条件は、前記オーバーコート膜で覆われている前記マイクロレンズ材料膜が変形しない程度の条件に設定するマイクロレンズの製造方法。 - 請求項1〜3のいずれか記載のマイクロレンズの製造方法であって、
前記加熱工程後、前記オーバーコート膜を除去するオーバーコート膜除去工程を含むマイクロレンズの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005168326A JP2006344734A (ja) | 2005-06-08 | 2005-06-08 | マイクロレンズの製造方法 |
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JP2005168326A JP2006344734A (ja) | 2005-06-08 | 2005-06-08 | マイクロレンズの製造方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008166761A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Dongbu Hitek Co Ltd | イメージセンサ及びその製造方法 |
JP2009059959A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 固体撮像装置のマイクロレンズ形成方法 |
-
2005
- 2005-06-08 JP JP2005168326A patent/JP2006344734A/ja not_active Withdrawn
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