JP2009139545A - 光学フィルムおよび光学フィルムの製造方法 - Google Patents

光学フィルムおよび光学フィルムの製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2009139545A
JP2009139545A JP2007314637A JP2007314637A JP2009139545A JP 2009139545 A JP2009139545 A JP 2009139545A JP 2007314637 A JP2007314637 A JP 2007314637A JP 2007314637 A JP2007314637 A JP 2007314637A JP 2009139545 A JP2009139545 A JP 2009139545A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical film
groove
light
black powder
film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2007314637A
Other languages
English (en)
Inventor
Masatoshi Hayashi
政俊 林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP2007314637A priority Critical patent/JP2009139545A/ja
Publication of JP2009139545A publication Critical patent/JP2009139545A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)

Abstract

【課題】本発明は、遮光隔壁アレイ等に使用される光学フィルムおよびその製造方法に関し、フィルム材の透光部に黒色物質が付着することを確実に回避することを目的とする。
【解決手段】光を透過させるフィルム材の一面に凹溝を形成し、前記凹溝に光を遮光する遮光部を形成してなり、前記遮光部が、前記凹溝の内面に黒色粉体を付着させ、前記黒色粉体を光を透過させる封止材により封止して形成されていることを特徴とする。
【選択図】 図1

Description

本発明は、遮光隔壁アレイ等に使用される光学フィルムおよびその製造方法に関する。
従来、受光素子アレイ上にマイクロレンズアレイを設置し、隣接するマイクロレンズアレイを通過した光が受光素子アレイに到達するまでに互いに混信(クロストーク)しないように、受光素子アレイとマイクロレンズアレイとの間に遮光隔壁アレイを設けた画像入力装置が知られている。
そして、遮光隔壁アレイとして、フィルム材に形成される溝部に遮光壁を形成したものが知られている。
特開2005−72662号公報 特開2005−352345号公報 特開2001−249274号公報 特開2007−11314号公報
しかしながら、従来の遮光隔壁アレイでは、フィルム材に形成される溝部に、黒色樹脂を塗布して充填しているため、塗布後に余分な黒色樹脂をスキージで削り取っても溝部以外の透光部に黒色樹脂が付着する。そして、透光部に黒色樹脂が付着すると、透光部の透過率が低下するが、黒色樹脂を完全に除去することは困難であった。
また、マイクロディスペンサーで溝部に沿って黒色樹脂を滴下する場合には、ディスペンサーを溝部に沿って移動させるため多大な時間が必要になり、量産性が低下する。
本発明は、かかる従来の問題を解決するためになされたもので、フィルム材の透光部に黒色物質が付着することを確実に回避することができる光学フィルムおよび光学フィルムの製造方法を提供することを目的とする。
第1の発明の光学フィルムは、光を透過させるフィルム材の一面に凹溝を形成し、前記凹溝に光を遮光する遮光部を形成してなり、前記遮光部が、前記凹溝の内面に黒色粉体を付着させ、前記黒色粉体を光を透過させる封止材により封止して形成されていることを特徴とする。
第2の発明の光学フィルムは、第1の発明の光学フィルムにおいて、前記封止材は、前記フィルム材と略同一の屈折率を有し、前記フィルム材の前記一面に封止層として形成されていることを特徴とする。
第3の発明の光学フィルムは、第1または第2の発明の光学フィルムにおいて、前記フィルム材の前記一面と反対側の面に、前記凹溝の内側の透光部に対応してマイクロレンズを一体形成してなることを特徴とする。
第4の発明の光学フィルムの製造方法は、光を透過させるフィルム材の一面に凹溝を形成し、前記凹溝に光を遮光する遮光部を形成してなる光学フィルムの製造方法であって、一面に前記凹溝が形成されるとともに、前記一面に前記凹溝に連続する液体供給部が形成されるフィルム材を製造する工程と、分散媒と、前記分散媒中に分散された黒色粉体とからなる液体を、前記液体供給部に滴下して、前記凹溝に前記液体を充填する工程と、前記凹溝に充填された液体から前記分散媒を除去し、前記凹溝の内面に前記黒色粉体を付着させる工程と、前記黒色粉体を光を透過させる封止材により封止して前記遮光部を形成する工程とを有することを特徴とする。
第5の発明の光学フィルムの製造方法は、第4の発明の光学フィルムの製造方法において、前記黒色粉体は親水性を有し、前記凹溝に前記液体を充填する前に、前記凹溝に親水化処理を行うことを特徴とする。
第6の発明の光学フィルムの製造方法は、第4または第5の発明の光学フィルムの製造方法において、前記分散媒は、揮発性液体であることを特徴とする。
第7の発明の光学フィルムの製造方法は、第4ないし第6のいずれか1の発明の光学フィルムの製造方法において、前記封止材は、前記フィルム材と略同一の屈折率を有し、前記フィルム材の前記一面に封止層として形成されることを特徴とする。
第8の発明の光学フィルムの製造方法は、第4ないし第7のいずれか1の発明の光学フィルムの製造方法において、前記封止材は、紫外線硬化型樹脂であることを特徴とする。
第9の発明の光学フィルムの製造方法は、第4ないし第8のいずれか1の発明の光学フィルムの製造方法において、前記フィルム材の前記一面と反対側の面に、前記凹溝の内側の透光部に対応してマイクロレンズが一体形成されていることを特徴とする。
本発明では、フィルム材の透光部に黒色物質が付着するのを回避することができる。
以下、本発明の実施形態を図面を用いて詳細に説明する。
図1は、本発明の光学フィルムの一実施形態を示している。
この光学フィルムは、光を透過させるフィルム材11を有している。フィルム材11の一面には、凹溝11aが四角形の格子状に形成されている。凹溝11aには、光を遮光する遮光部13が形成されている。
遮光部13は、凹溝11aの内面に黒色粉体15を付着させ、黒色粉体15を光を透過させる封止材17により封止して形成されている。黒色粉体15は凹溝11aの内面に層状をなして付着している。封止材17は、フィルム材11と略同一の屈折率を有し、フィルム材11の一面に封止層19として形成されている。封止材17は、好ましくはフィルム材11と同一の樹脂で構成される。
フィルム材11の一面と反対側の面には、マイクロレンズ11bが一体形成されている。マイクロレンズ11bは、凹溝11aの内側の透光部11cに対応して多数形成されるマイクロレンズアレイ21とされている。
図2は、上述した光学フィルムの製造方法の概略を示す工程図である。
(a)先ず、溝格子型23とマイクロレンズアレイ型25を用い樹脂成形することによりフィルム材11を製造する。溝格子型23とマイクロレンズアレイ型25との間隔はスペーサ27により設定される。溝格子型23とマイクロレンズアレイ型25には、これ等の型を位置合わせするためのアライメントマーク23a,25aが形成されている。溝格子型23とマイクロレンズアレイ型25は機械加工あるいはドライエッチング等により製造される。樹脂には、透明な紫外線硬化型樹脂が用いられる。溝格子型23に紫外線硬化型樹脂を塗布し、この上にマイクロレンズアレイ型25を載せ、スペーサ27により溝格子型23とマイクロレンズアレイ型25の間隔を設定する。そして、マイクロレンズアレイ型25側から紫外線を照射して樹脂を硬化することによりフィルム材が製造される。
図3は、製造されたフィルム材11の一部を示している。フィルム材11の一面には、凹溝11aが格子状に形成されている。また、凹溝11aが格子状に形成されている領域の外側には、凹溝11aに通路部11dを介して連続する液体供給部11eが形成されている。溝格子型23には、凹溝11aを形成するための凸部23bおよび液体供給部11eを形成するための凸部23cが形成されている。マイクロレンズアレイ型25には、図2の(a)に示すようにマイクロレンズ11bを形成するための凹部25bが形成されている。
(b)次に、ベース部材29上にフィルム材11を載置固定する。そして、黒色粉体15の分散された液体L(以下黒色粉体分散液Lという)を液体供給部11eに滴下して液体供給部11eを略満杯にする。これにより黒色粉体分散液Lが凹溝11aに充填する。液体供給部11eに黒色粉体分散液Lを滴下すると、図4に示すように、黒色粉体分散液Lが毛細管現象により凹溝11aの隅々まで充填する。凹溝11aと凹溝11aとの交差点部分において途中で充填が停止することがあるので、超音波振動を適宜与えると良い。
黒色粉体15には、例えば親水性を有する市販の親水性カーボンブラックを使用する。液体供給部11eに黒色粉体分散液Lを滴下する前に、凹溝11aに親水化処理を行う。これにより凹溝11aの内面に黒色粉体15をより確実に付着することができる。黒色粉体15を分散する分散媒には、例えば50℃以上の温度で容易に揮発する揮発性液体を用いる。
(c)次に、凹溝11aに充填した黒色粉体分散液Lから分散媒を揮発させて除去する。これにより、凹溝11aの内面に黒色粉体15が付着する。分散媒の除去は、例えばオーブンを用いて行う。
(d)次に、黒色粉体15を光を透過させる封止材17により封止して遮光部13を形成する。封止材17には、フィルム材11と略同一の屈折率を有している透明の紫外線硬化型樹脂を用いる。封止材17に用いる紫外線硬化型樹脂は、好ましくはフィルム材11と同一の紫外線硬化型樹脂である。紫外線硬化型樹脂をフィルム材11の一面にスピンコートし、紫外線を照射して紫外線硬化型樹脂を硬化させる。これによりフィルム材11の一面に封止層19が形成される。封止層19を形成する代わりに粘着性フィルムを貼り付けても良い。封止層19の厚さは光学設計によるが0.1μm以上が望ましい。そして、フィルム材11から液体供給部11eが存在する部分を切断除去することにより図1に示した光学フィルムを得ることができる。
上述した光学フィルムおよび光学フィルムの製造方法では、黒色粉体分散液Lが毛管圧によって凹溝11aに閉じ込められることを利用して、フィルム材11に形成される凹溝11aの内面にのみ黒色粉体15を付着させ、黒色粉体15を光を透過させる封止材17により封止して遮光部13を形成したので、フィルム材11の透光部11cに黒色物質が付着することを確実に回避することができる。従って、光が透過する透光部11cの透過率を確実に保持することができる。また、封止材17に紫外線硬化型樹脂を用いたので、紫外線を照射することにより封止層19を迅速,確実に形成することができる。
以下、上述した光学フィルムおよび光学フィルムの製造方法を実施例により詳細に説明する。
(溝格子型23の元型の作製 第1の例)
真鍮を機械加工して溝格子型23の元型を作製した。真鍮基板上に幅10μm、高さ50μmの溝をピッチ50μmの格子状に配置したパターンを作製した。真鍮基板の表面を機械加工で平滑化し、幅10μm、長さ50μm以上のバイトを用意した。バイトを機械に固定し、真鍮基板の表面をバイトに垂直に接するように配置した上で、真鍮基板に10μmの深さでバイトの形状を彫り込むように真鍮基板を平行移動させた。50μmを一度に削ろうとするとバイトに負荷がかかり過ぎるため10μmずつ5回に分けて削った。このようにすると真鍮基板に深さ50μm、幅10μmの矩形の溝を一本形成することができる。
格子パターンに溝を削るためには、上記溝をピッチ50μm置きに何本も繰り返し、必要面積分行う。その後、真鍮基板を90度回転させ、同様に溝を掘っていく。このようにすると、溝が直交し格子パターンとなる。
そして、液体供給部11eを形成するための凹部を機械加工した。また、図2の(a)の工程で、マイクロレンズ11bとマイクロレンズ11bの境目に相当する部分に凹溝11aが一致するように溝格子型23とマイクロレンズアレイ型25とを合わせるが、そのために必要なアライメントマーク用の凹凸を予め設置しておく。場所は凹溝11aの有効領域外に置き、最低2ヶ所以上に凹形状または凸形状で形成しておく。凹形状または凸形状にしておけば、樹脂成形してもアライメントマークは同じ位置に転写されるからである。最後に真鍮基板をよく洗浄し、削った残りゴミ等が溝の中に残らないようにする。真鍮基板の表面には樹脂の離型性を高めるための離型処理を施しておく。通常はフッ素系の市販の離型剤を塗布することで良い。
(溝格子型23の元型の作製 第2の例)
石英基板のエッチングにより溝格子型23の元型を作製した。フォトリソグラフィー法によってパターンを作製しエッチングで石英基板に彫り込む。先ず、レチクルを用意する。格子形状に光が透過するようにCrをEB描画法等でパターニングする。例えば幅10μm、ピッチ50μmの格子パターンに露光する場合には、露光したくないところに紫外光が透過しない様にレチクルにCrパターンを配置する。同時に、液体供給部11eを形成するためのパターニングを行う。倍率は露光方法に合わせる。
また、図2の(a)の工程で、マイクロレンズ11bとマイクロレンズ11bの境目に相当する部分に凹溝11aが一致するように溝格子型23とマイクロレンズアレイ型25とを合わせるが、そのために必要なアライメントマーク用の凹凸を予め設置しておく。場所は凹溝11aの有効領域外に露光し、最低2ヶ所以上に凹凸形状で形成しておく。凹凸形状にしておけば、樹脂成形してもアライメントマークは同じ位置に転写されるからである。
石英基板にレジストを塗布する。厚さはこの後行うエッチングの比率にもよるが、選択比が1:2であればレジストは半分の25μm以上の厚さで塗布する必要がある。露光は密着露光でも縮小投影露光でも良い。露光後、現像することで、レジストによる格子溝パターンが形成される。その後、ICPエッチングを行うことで、石英基板に溝形状が転写される。エッチング法には様々なテクニックがあるが、BOSHプロセスといわれる方法を用いることで、石英基板に深く垂直に彫り込むことが可能である。所望の深さ、ここでは50μmの深さに達したところでエッチングを終了し、残ったレジストをアッシングなどで取り除く。このようにして作製した石英基板の溝格子パターンを樹脂成形型にするため、石英基板の表面に離型処理をする。離型処理方法は様々あるが、ここではフッ素系離型剤を塗布しべイキングした。
(溝格子型23の元型を用いての溝格子型23の作製)
上述した第1または第2の例で作製した溝格子型23の元型から樹脂製の溝格子型23を作製する。溝格子型23は、元型の溝の反転になるため凹溝11aおよび液体供給部11eに対応する部分が平面から突出した反転型となる。ここでは第1の例の真鍮製の元型を用いた。元型の格子状溝および液体供給部11e用の凹部の表面に硬化型樹脂を塗布し、溝細部にまで樹脂が行き渡るように真空脱泡処理を行う。その後、表面にカップリング処理を施した基板を平行に密着させ樹脂を薄く伸ばしたうえで硬化させる。硬化後、元型から樹脂と基板を一緒に離型する。硬化型樹脂には紫外線硬化樹脂を用いた。カップリング処理はシランカップリング剤を塗布乾燥させて行った。また、基板には紫外線透過性のある石英等を用いた。
元型から離型すると、基板上に紫外線型硬化樹脂で形成された高さ50μm、幅10μmの壁が格子状に配置された凹溝11aに対応する形状の凸部23b、および、液体供給部11eに対応する形状の凸部23cが完成する。これを溝格子型23として使用するために離型処理を行った。離型処理としては、樹脂表面にNi等の薄膜をスパッタリングで形成する方法や、フッ素系の市販離型剤を塗布する方法等がある。また、紫外線硬化型樹脂自体にフッ素系材料を混ぜておく等の方法もある。ここでは、Ni薄膜とフッ素系離型剤処理の両方を行った。
(マイクロレンズアレイ型25の作製)
フォトリソグラフィ法を用いてマイクロレンズアレイ型25を作製する。マイクロレンズアレイ型25には石英基板を用いた。露光に使用されるレチクルにはグレースケールマスクを用いた。エッチング後の石英基板の表面が所望のレンズ形状を反転した形状になるように設計する。マイクロレンズ11bのピッチと溝格子型23の凸部23bのピッチが一致するように設計する。この後の工程で、図2の(a)に示すようにマイクロレンズ11bとマイクロレンズ11bの境目に相当する部分に凸部23bが一致するように両型を合わせるが、このために必要なアライメントマーク25aを予め設置しておく。
露光には縮小投影法を用いた。レチクルの作製にはEB描画にてCrにパターニングする。グレースケールマスクを作製するには、微小領域毎の開口率を設計し、レチクル化する。ここでは石英基板にマイクロレンズ11bの反転型を作製するので、レジストも同じく反転形状すなわち凹面となる。グレースケールマスクとしては、マイクロレンズ11bの中央部の開口率が一番高く、周辺に向かって徐々に開口率が低くなる。マイクロレンズアレイ21なので、このパターンが碁盤目に並ぶ。レジストは石英基板に掘るレンズサグ量に対し、エッチングレートから逆算した分量以上に塗布する。例えば石英基板上での凹面レンズサグ量が20μmとした場合、選択比が1:2であれば、塗布する必要なレジストは10μm以上必要となる。塗布したレジストにステッパでレンズパターンやアライメントマーク25aを露光する。露光後に現像する。この後、ICP等でエッチングして石英基板にレンズ凹面形状を作製する。残ったレジストをアッシング等で取り除く。
このようにして作製したマイクロレンズアレイ型25を樹脂成形型として使用するため、石英基板の表面に離型処理をする。離型処理方法は様々あるが、ここではフッ素系離型剤を塗布しべイキングした。
(フィルム材11の作製)
図2の(a)に示すようにしてフィルム材11を製造した。フィルム材11の製造は、溝格子型23とマイクロレンズアレイ型25とを用いて行われた。溝格子型23に紫外線硬化型樹脂を塗布し真空脱泡した。この上にマイクロレンズアレイ型25を載せ、スペーサ27により溝格子型23とマイクロレンズアレイ型25の間隔を設定して、樹脂層の厚さを150μmにした。溝格子型23のアライメントマーク23aとマイクロレンズアレイ型25のアライメントマーク25aが重なるように両型の位置を調整した。この調整により、マイクロレンズアレイ型25のマイクロレンズ11bとマイクロレンズ11bの境目が凹溝11aの10μm幅の中央に位置する。この後、紫外線硬化型樹脂を硬化するため、マイクロレンズアレイ型25側から紫外線を照射する。紫外線は拡散板を通して照射し、かつ、低エネルギーで時間をかけて照射するのが良い。このようにすると作製されたフィルム材11の反りを低減することができる。硬化後、マイクロレンズアレイ型25を離型し、フィルム材11を溝格子型23から離型する。このようにして作製されたフィルム材11の一面には、凹溝11a、液体供給部11eが形成される。また、他面には、マイクロレンズアレイ21が形成される。
(フィルム材11の凹溝11aへの黒色粉体分散液Lの充填)
図2の(b)に示すように、フィルム材11をベース部材29上に載置固定する。固定には仮着剤等を用いる。仮着剤は紫外線で硬化しエタノールで溶けるタイプ、ワックス等が使用できる。
固定したフィルム材11の表面に親水化処理を行う。一例として酸素プラズマ処理を行った。酸素プラズマ処理には松下電工(株)製の大気圧プラズマ洗浄・表面改質装置Aiplasmaを用いた。条件はアルゴン2.16L/min、酸素27mL/min、高周波13.56MHz、140Wで設定し、フィルム材11に約100mm/secのスキャンスピードで照射した。この処理を行った結果、水の接触角が小さくなり、表面の濡れ性が向上したことが確認された。
次に、揮発性分散媒に市販の親水性カーボンブラックを重量比2%〜20%の範囲で分散させた。カーボンブラックには算術平均粒子径が100nm程度の市販品(東海カーボン(株)Aqua−Black162)を用いた。
揮発性分散媒には、イソプロピルアルコールを用いた。イソプロピルアルコール100gに10gの親水性カーボンブラックを投入し、スターラーで1時間撹拌した後に超音波洗浄機内に入れて10分間分散化処理を行った。この黒色粉体分散液Lを半日放置し、スポイトで沈殿物と上澄みの中間に位置する部分の分散液のみを選択的に採取した。以下、この採取した分散液を用いる。市販のカーボンブラックの中には不純物が含まれていたり、分散化処理(カーボン表面官能基処理)が不十分なものが含まれていることがある。また凝集してしまった部分もあり、これらは分散液中で沈殿したり上澄みとなって分離される。これ等を避けて採取することで、非常に良く分散された分散液を用意することができる。
次に、フィルム材11の液体供給部11eに黒色粉体分散液Lを滴下する。液体供給部11eは、例えば5mm角程度のザグリ部であり通路部11dにより凹溝11aに接続されている。液体供給部11eおよび通路部11dは、凹溝11aの深さと同一である。液体供給部11eに黒色粉体分散液Lを流し込むと、黒色粉体分散液Lは液体供給部11eから凹溝11aに流れ込み、凹溝11aの全体に行き渡る。液体供給部11eは後に切断除去される。従って、液体供給部11eは凹溝11aから離れた切断可能な位置、すなわちフィルム材11の光学フィルムとしての有効領域外に形成される。
フィルム材11の液体供給部11eに黒色粉体分散液Lを適量滴下する。滴下する方法としては先端径がlmm程度のスポイトを用いた。スポイトに代えて自動制御のディスペンサーを用いることにより量、位置を正確に制御可能となる。滴下量は最終的に凹溝11aの全体に黒色粉体分散液Lが行き渡り、かつ凹溝11a、通路部11d、液体供給部11eからあふれ出ない程度に調整するのが良い。
滴下した黒色粉体分散液Lは毛細管現象によって凹溝11aの隅々まで浸入する。凹溝11aと凹溝11aの交差点部分において、場合により途中で浸入が停止することもあるので微弱な超音波振動を適宜与えても良い。
(凹溝11a内への黒色粉体分散液Lの乾燥付着)
黒色粉体分散液Lが凹溝11aの必要領域にすべて充填された後、図2の(c)に示すように、オーブンで黒色粉体分散液Lを加熱して分散媒を揮発除去する。80℃5分でイソプロピルアルコールは略完全に除去され、黒色粉体15が凹溝11aの内面および底面に付着する。
(凹溝11a内の黒色粉体15を封止材17により封止する)
オーブンから取り出したフィルム材11の凹溝11aを、図2の(d)に示すように、フィルム材11と同じ屈折率の透明樹脂で封止する。フィルム材11の凹溝11a面側に紫外線硬化型樹脂をスピンコートし、その後紫外線を照射して硬化させた。このようにして黒色粉体15を凹溝11aに付着固定した光学フィルムを顕微鏡で詳しく観察すると、黒色粉体15が凹溝11aの底と側面にのみ固着し、封止樹脂によって固定化されている様子が良好に認識された。黒色粉体15は凹溝11a以外の所にはみ出ておらず、かつ欠陥もなかった。
(比較例)
固定したフィルム材11の凹溝11aのパターン上に黒色の熱硬化性樹脂を塗布した。使用した樹脂は市販のシリコーン樹脂で分散されたカーボンにより黒色化されている。粘度は5000cps程度で、80℃,2時間で硬化するものである。この樹脂を多めに塗布した後、樹脂製のスキージを用いて、凹溝11aのパターン上の余分な黒色樹脂をすくい取った。しかし、比較的柔らかい樹脂製のスキージを用いても、凹溝11aのパターン以外の部分に黒色樹脂が残ってしまった。そこで、不織布を用いて表面を手で拭き取る作業を行ったところ、肉眼では概ね黒色樹脂を拭き取ることができた。しかしながら、顕微鏡で詳しく観察したところ、黒色樹脂は手で拭いた方向に薄く筋状に残っており、かつ、樹脂フィルムの凹溝11aのパターンの一部に欠陥が発生していた。
スキージ等で黒色樹脂を拭き取る方法では、黒色樹脂が不要部分に残り、かつ、凹溝11aの角にスキージ等が当たってしまうため、凹溝11aが欠けたり傷が付いたりしてしまっていた。傷が付くとそこに黒色樹脂が入り込んでしまい、除去するのが非常に困難になる。
(比較例に対する実施例の利点)
本発明方法では光学フィルムの製造に必要な手間と時間は非常に少ない。上述した比較例の熱硬化型黒色樹脂を塗布しスキージで除去する方法は、樹脂を熱硬化させる必要があるため所定の硬化時間がかかる。
一方、本発明方法を用いると、黒色粉体分散液Lを液体供給部11eに滴下するだけである。液体供給部11eはある程度大きく作成することができるので精密な位置制御は必要でない。また、凹溝11aへの黒色粉体分散液Lの浸入は毛細管現象を利用しているため非常に短時間で自動的に行われる。実際には略瞬間的に完了する。分散媒であるイソプロピルアルコールの乾燥はオーブンに入れて数分おけばよい。この工程で黒色粉体15は樹脂からなるフィルム材11の凹溝11aの底や側壁部に固着されて安定する。また、封止工程の紫外線硬化樹脂のスピン塗布は一分程度で完了する。そして、封止材17である樹脂の硬化時間は紫外線方式なので1分もかからずに完了する。
(実施形態の補足事項)
以上、本発明を上述した実施形態によって説明してきたが、本発明の技術的範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下のような形態でも良い。
(1)上述した実施形態では、遮光部13の格子形状を四角形にした例について説明したが、例えば、三角形、五角形、六角形等の形状にし、透光部11cをそれに対応する形状にしても良い。
(2)上述した実施形態では、透光部11cを四角形状にした例について説明したが、例えば、円形状、楕円状等の形状にしても良い。
(3)上述した実施形態では、凹溝11aを格子状に形成した例について説明したが、例えば、凹溝11aを所定間隔をおいて単に形成しても良い。
(4)上述した実施形態では、一枚のフィルム材11に1つの液体供給部11eを設けた例について説明したが、例えば、図5に示すように、一枚のフィルム材11に複数の液体供給部11eを設けても良い。この場合には、複数の液体供給部11eに黒色粉体分散液Lを滴下することで、黒色粉体分散液Lを凹溝11aの隅々に確実に浸入させることができる。
(5)上述した実施形態では、一枚のフィルム材11により一枚の光学フィルムを得た例について説明したが、例えば、図6に示すように、一枚のフィルム材11を図の点線の位置で切断して複数枚の光学フィルムを得るようにしても良い。この場合には、一枚のフィルム材11に複数の液体供給部11eが形成される。
(6)上述した実施形態では、液体供給部11eが、一定量の液体を収容可能な液溜まりとして形成されている例について説明したが、液体供給部11eの形状はこれに限定されるものではなく、外部の液体供給手段から供給される黒色粉体分散液Lが毛細管現象によって凹溝11aに導入され、かつ透光部11cには導入されない形状であれば良い。
本発明の光学フィルムの一実施形態を示す説明図である。 図1の光学フィルムの製造方法を示す説明図である。 図1の凹溝および液体供給部を示す説明図である。 図1の凹溝への黒色粉体分散液Lの充填方法を示す説明図である。 複数の液体供給部を備えたフィルム材を示す説明図である。 複数枚の光学フィルムを備えたフィルム材を示す説明図である。
符号の説明
11…フィルム材、11a…凹溝、11b…マイクロレンズ、11c…透光部、13…遮光部、15…黒色粉体、17…封止材、L…黒色粉体分散液。

Claims (9)

  1. 光を透過させるフィルム材の一面に凹溝を形成し、前記凹溝に光を遮光する遮光部を形成してなり、
    前記遮光部が、前記凹溝の内面に黒色粉体を付着させ、前記黒色粉体を光を透過させる封止材により封止して形成されていることを特徴とする光学フィルム。
  2. 請求項1記載の光学フィルムにおいて、
    前記封止材は、前記フィルム材と略同一の屈折率を有し、前記フィルム材の前記一面に封止層として形成されていることを特徴とする光学フィルム。
  3. 請求項1または請求項2記載の光学フィルムにおいて、
    前記フィルム材の前記一面と反対側の面に、前記凹溝の内側の透光部に対応してマイクロレンズを一体形成してなることを特徴とする光学フィルム。
  4. 光を透過させるフィルム材の一面に凹溝を形成し、前記凹溝に光を遮光する遮光部を形成してなる光学フィルムの製造方法であって、
    一面に前記凹溝が形成されるとともに、前記一面に前記凹溝に連続する液体供給部が形成されるフィルム材を製造する工程と、
    分散媒と、前記分散媒中に分散された黒色粉体とからなる液体を、前記液体供給部に滴下して、前記凹溝に前記液体を充填する工程と、
    前記凹溝に充填された液体から前記分散媒を除去し、前記凹溝の内面に前記黒色粉体を付着させる工程と、
    前記黒色粉体を光を透過させる封止材により封止して前記遮光部を形成する工程と、
    を有することを特徴とする光学フィルムの製造方法。
  5. 請求項4記載の光学フィルムの製造方法において、
    前記黒色粉体は親水性を有し、前記凹溝に前記液体を充填する前に、前記凹溝に親水化処理を行うことを特徴とする光学フィルムの製造方法。
  6. 請求項4または請求項5記載の光学フィルムの製造方法において、
    前記分散媒は、揮発性液体であることを特徴とする光学フィルムの製造方法。
  7. 請求項4ないし請求項6のいずれか1項記載の光学フィルムの製造方法において、
    前記封止材は、前記フィルム材と略同一の屈折率を有し、前記フィルム材の前記一面に封止層として形成されることを特徴とする光学フィルムの製造方法。
  8. 請求項4ないし請求項7のいずれか1項記載の光学フィルムの製造方法において、
    前記封止材は、紫外線硬化型樹脂であることを特徴とする光学フィルムの製造方法。
  9. 請求項4ないし請求項8のいずれか1項記載の光学フィルムの製造方法において、
    前記フィルム材の前記一面と反対側の面に、前記凹溝の内側の透光部に対応してマイクロレンズが一体形成されていることを特徴とする光学フィルムの製造方法。
JP2007314637A 2007-12-05 2007-12-05 光学フィルムおよび光学フィルムの製造方法 Withdrawn JP2009139545A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007314637A JP2009139545A (ja) 2007-12-05 2007-12-05 光学フィルムおよび光学フィルムの製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007314637A JP2009139545A (ja) 2007-12-05 2007-12-05 光学フィルムおよび光学フィルムの製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2009139545A true JP2009139545A (ja) 2009-06-25

Family

ID=40870226

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007314637A Withdrawn JP2009139545A (ja) 2007-12-05 2007-12-05 光学フィルムおよび光学フィルムの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2009139545A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012027442A (ja) * 2010-06-23 2012-02-09 Dainippon Printing Co Ltd 光学シートの製造方法、この製造方法により製造された光学シートを備える表示装置用光学フィルタおよび表示装置
CN103116196A (zh) * 2013-03-14 2013-05-22 峻立科技股份有限公司 阵列光学元件制造方法
JP2017116634A (ja) * 2015-12-22 2017-06-29 大日本印刷株式会社 レンズシート、撮像モジュール、撮像装置
CN110017854A (zh) * 2017-12-28 2019-07-16 株式会社三丰 标尺及其制造方法
WO2024068835A1 (en) 2022-09-29 2024-04-04 Admesy B.V. Manufacturing of an optical filter assembly

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012027442A (ja) * 2010-06-23 2012-02-09 Dainippon Printing Co Ltd 光学シートの製造方法、この製造方法により製造された光学シートを備える表示装置用光学フィルタおよび表示装置
CN103116196A (zh) * 2013-03-14 2013-05-22 峻立科技股份有限公司 阵列光学元件制造方法
CN103116196B (zh) * 2013-03-14 2014-12-24 峻立科技股份有限公司 阵列光学元件制造方法
JP2017116634A (ja) * 2015-12-22 2017-06-29 大日本印刷株式会社 レンズシート、撮像モジュール、撮像装置
CN110017854A (zh) * 2017-12-28 2019-07-16 株式会社三丰 标尺及其制造方法
JP2019120499A (ja) * 2017-12-28 2019-07-22 株式会社ミツトヨ スケールおよびその製造方法
JP7140495B2 (ja) 2017-12-28 2022-09-21 株式会社ミツトヨ スケールおよびその製造方法
WO2024068835A1 (en) 2022-09-29 2024-04-04 Admesy B.V. Manufacturing of an optical filter assembly

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4580411B2 (ja) ソフトモールド及びその製造方法
KR101852910B1 (ko) 마이크로 니들용 몰드의 제조방법
JP5942551B2 (ja) ナノインプリント用マスターテンプレート及びレプリカテンプレートの製造方法
CN101823690B (zh) Su-8纳米流体系统的制作方法
CN103543602A (zh) 压印光刻
JP2009139545A (ja) 光学フィルムおよび光学フィルムの製造方法
JP2010158805A (ja) 光インプリント用モールドの製造方法
JP6281592B2 (ja) レプリカテンプレートの製造方法
WO2015010605A1 (zh) 利用剥离-粘贴法在光纤端面制作金属微纳米结构的方法
KR100717851B1 (ko) 미세가공 기술을 이용한 마이크로렌즈 배열 시트 및 그제조방법
CN102799066B (zh) 一种在二氧化钛有机无机光敏复合薄膜上制备凹透镜阵列结构的方法
JP2013033878A (ja) 半導体インプリント用テンプレート
TWI592741B (zh) 光罩及光罩的製造方法
JP3611613B2 (ja) 三次元形状の形成方法、該方法により形成した三次元構造体およびプレス成形型
KR20140095102A (ko) 임프린트용 몰드 및 그 제조 방법
KR20090019200A (ko) 임프린트용 마스터와 그 제조방법 및 그 마스터를 이용한임프린트 방법
JP2019087678A (ja) 機能性基板及びその製造方法、並びにインプリントモールド
JP2005242109A (ja) マイクロレンズの作製方法および装置並びにマイクロレンズ
CN113740942B (zh) 一种微透镜阵列光栅及其制备方法和应用
TW201617195A (zh) 用於生產光學玻璃元件之方法
JP2006305800A (ja) 成形用型、及び樹脂成形体の製造方法
CN111061124A (zh) 带切割道的紫外固化纳米压印模具及方法
Tormen et al. Three-dimensional micro-and nanostructuring by combination of nanoimprint and x-ray lithography
JP6756098B2 (ja) フィラー充填フィルム、枚葉フィルム、積層フィルム、貼合体、及びフィラー充填フィルムの製造方法
JP2019145578A (ja) ブランクス基材、インプリントモールド、インプリントモールドの製造方法及びインプリント方法

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20110301