JP2005520202A - ファイバーアレイおよびファイバーアレイ作製方法 - Google Patents
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Abstract
コリメータアレイ、ファイバーアレイおよびファイバーアレイを作製する方法が記載されている。一実施形態において、ファイバーアレイは複数の光ファイバーと、それぞれに1つずつ光ファイバーが固定される複数の孔を備えたガラスプレートと含み、この孔は、エッチング後にガラスプレートとなる、露光および加熱された感光性ガラス内の複数の乳白領域をエッチングによって除去することによって形成される。別の実施形態において、ファイバーアレイは複数の光ファイバーと、それぞれに1つずつ光ファイバーが固定される複数の孔を備えたガラスプレートと含み、この孔は、露光および加熱された感光性ガラス内の複数の乳白領域をエッチングによって除去することによって形成される。感光性ガラスはエッチング後に複数の大きめの孔を備えたガラスプレートとなり、これらの大きめの孔には成形可能材料が充填され、その後、孔を形成するために穿孔される。
Description
本出願は、ダノックス他の名義で2002年3月14日に出願された「ファイバーアレイおよびファイバーアレイ作製方法(Fiber Array And Method For Fabricating The Fiber Array)」と題された米国仮特許出願第60/364,700号の特典を主張するものである。
本発明は、全般的には光エレクトロニクス分野に関し、特に、ファイバーアレイ、レンズアレイに結合されてコリメータアレイを形成するファイバーアレイを作製する方法に関する。
光エレクトロニクス分野において、今日、もっとも重要な設計課題のうちの1つは、広範囲の温度にわたって適切に機能し得る改良型の新たなコリメータアレイを開発することである。図1A〜1Eを参照すると、広範囲の温度にわたって満足には動作していない従来の3×3コリメータアレイ100のさまざまな図が示されている。従来のコリメータアレイ100は、レンズアレイ110とファイバーアレイ120(図1A〜1E参照)を備えている。レンズアレイ110(例えば、平凸マイクロレンズアレイ110)内には、レンズ130のアレイが形成されている(図1B参照)。ファイバーアレイ120の中には、光ファイバー140のアレイが取り付けられている(図1B参照)。一般に従来の組立式のコリメータアレイ100は、レンズアレイ110をファイバーアレイ120および光ファイバー140から物理的に分離させたものとすることができる(図1B参照)。
あるいは、従来の組立式コリメータアレイ100は、レンズアレイ110をファイバーアレイ120および光ファイバー140に物理的に連結させたものとすることもできる(図1C参照)。
従来のコリメータアレイ100の光ファイバー140は、適切に動作するために、レンズ130とアライメントされる必要があり、環境温度に関係なくレンズ130とのアライメントが維持される必要がある。従来のコリメータアレイ100の光ファイバー140は、残念なことに、環境温度に変化があった場合にはレンズ130とのアライメントが維持されない。これは、従来のファイバーアレイ120が、従来のレンズアレイ110を作るために使用される材料と同じ熱膨張係数(CTE)を持っていない材料から作られるからである。従来のファイバーアレイ120のCTEが従来のレンズアレイ110のCTEと異なっている場合、温度が変化すると、従来のファイバーアレイ120は従来のレンズアレイ110と異なった収縮および膨張を示し、それによってレンズ130と光ファイバー140との間のアライメントに悪影響が及ぶ(図1D〜1E参照)。この問題は、より大型の従来のコリメータアレイ100において特に顕著である。
このため、温度変化があった場合にレンズアレイと同様に収縮および膨張するファイバーアレイを有するコリメータアレイが必要とされている。上記および他の必要は、本発明のコリメータアレイ、ファイバーアレイおよび方法によって満たされる。
本発明は、コリメータアレイと、ファイバーアレイと、ファイバーアレイを作製する方法とを含む。一実施態様において、ファイバーアレイは、複数の光ファイバーと、それぞれに1つずつ光ファイバーが固定される複数の孔を備えたガラスプレートとを含み、該複数の孔は、露光および加熱された感光性ガラス内に存在する複数の乳白領域をエッチングによって除去することによって形成され、感光性ガラスはエッチング後にガラスプレートとなる。別の実施形態において、ファイバーアレイは複数の光ファイバーと、それぞれに1つずつ光ファイバーが固定される複数の孔を備えたガラスプレートと含み、この孔は、露光および加熱された感光性ガラス内の複数の乳白領域をエッチングによって除去することによって形成される。感光性ガラスはエッチング後に複数の大きめの孔を備えたガラスプレートとなり、これらの大きめの孔には成形可能材料が充填され、その後、孔を形成するために穿孔される。
添付する図面と関連させて以下の詳細な説明を参照することによって本発明のより完全な理解が得られるであろう。
図2〜14を参照すると、ファイバーアレイの2種類の実施形態と、本発明にしたがうファイバーアレイを作製するための2通りの好ましい方法が開示されている。本発明をさらによく説明するために、ファイバーアレイおよびファイバーアレイを作製する方法に関する詳細な説明の前に、コリメータアレイに関する詳細な説明を載せる。
図2A〜2Eを参照すると、本発明にしたがう、広範囲の温度にわたって良好に機能する具体例としての3×3コリメータアレイ200のさまざまな図が示されている。本発明のコリメータアレイはレンズ230の3×3アレイと光ファイバー240とに限定されるものではなく、レンズ230および光ファイバー240をいくつ含んでも差支えないことに注意すべきである。従来のコリメータアレイ100と同様に、コリメータアレイ200はレンズアレイ210とファイバーアレイ220と備えている。
レンズアレイ200(例えば、平凸マイクロレンズアレイ210)内には、レンズ230のアレイが形成されている(図2B参照)。
ファイバーアレイ220の中には、光ファイバー240のアレイが取り付けられている(図2B参照)。一般に、組立式のコリメータアレイ200は、レンズアレイ210を、ファイバーアレイ220および光ファイバー240から物理的に分離させたものとすることができる(図2B参照)。あるいは、組立式のコリメータアレイ200は、レンズアレイ210をファイバーアレイ220および光ファイバー240に物理的に連結させたものとすることもできる(図2C参照)。
従来のコリメータアレイ100とは異なり、コリメータアレイ200の光ファイバー240は、レンズ230とアライメントされ、環境温度に関係なくレンズ230とのアライメントを維持する。特に、コリメータアレイ200は、−40℃と100℃の間の温度範囲においてレンズ230とのアライメントを維持する光ファイバー240を有する。これができるのは、レンズアレイ210を作るために使用される材料と同じCTEを有する材料からファイバーアレイ220が作られるからである。ファイバーアレイがレンズアレイ210と同じCTEを有する場合、温度が変化するのに伴い、ファイバーアレイ220はレンズアレイ210と同じように収縮および膨張する。したがって、従来のコリメータアレイ100のレンズ130と光ファイバー140の間のアライメントが温度変化中に失われたようには、レンズ230と光ファイバー240の間のアライメントは失われない。(図2D〜2Eと図1D〜lEを比較されたい)。
ファイバーアレイ220とレンズアレイ210に確実に一致したCTEを持たせるために、レンズアレイ210を作るのに使用されたものと同じ材料でファイバーアレイ220を作ることができる。今日、市販されているレンズアレイ210の中には、SMILE(登録商標)プロセスによる紫外線照射工程および熱処理工程にかけた感光性ガラスプレート(例えば、米国特許第4572611号明細書、米国特許第4518222号明細書、米国特許第5062877号明細書参照)から作製されるものもある。よって、ファイバーアレイ220を作るのに使用される材料を感光性ガラスプレートとすることもできる。好ましい実施形態において、感光性ガラスプレートは、コーニング社(Corning Incorporated)から商標名FOTOFORM(登録商標)ガラスとして販売されている光核形成可能(photonucleable)、結晶化可能なケイ酸リチウムガラス体から作製される。FOTOFORMガラスの組成に関する詳細な説明は、米国特許第2326012号明細書、米国特許第2422472号明細書、米国特許第2515936号明細書、米国特許第2515938号明細書、米国特許第2515275号明細書、米国特許第2515942号明細書、米国特許第2515943号明細書に記載されおり、その内容を文献引用によって本願明細書に組み込んだものとする。
基本的に、好ましい実施形態では、ファイバーアレイ220は、一連の孔が形成され、各孔に光ファイバー240が固定されているガラスプレートである。このガラスプレートは、もともとは感光性ガラスプレート(例えば、FOTOFORMガラスプレート)であり、これに方法300および1200に関連して下記に記載される2種類のプロセスの一方が施されたものである(図3および12参照)。ファイバーアレイ200の作製する方法は2種類(方法300および1200)があるので、2種類のファイバーアレイ220’および220’’を以下に説明する。
図3および4A〜4Eを参照すると、ファイバーアレイ220’の第1の実施形態を作るための好ましい方法300のフローチャートと、好ましい方法300のさまざまな工程のファイバーアレイ220’のさまざまな側断面図と上面図がそれぞれ示されている。
初めに工程302において、フォトマスク402が感光性ガラスプレート404と接触するように配置される(図4A参照)。好ましい実施形態において、感光性ガラスプレート404は、コーニング社によって商標名FOTOFORMガラスとして販売されている光核形成可能(photonucleable)、結晶化可能なケイ酸リチウムである。一般に直径62mmのウェーハである感光性ガラスプレート404を研削または研磨して、1つ以上のファイバーアレイ220’となる適切なサイズの基材を作る(図6Aおよび6B参照)。但し、分かりやすくするために、図4A〜4Gに示されている感光性ガラスプレート404は、1つのファイバーアレイ220’だけを作るように使用される。
接点は、フォトマスク402と感光性ガラスプレート404と間の空気界面403とすることができる。空気界面403を有するのではなく、空隙403を無くし、空隙403が引き起し得る光の反射および/または散乱を無くすのを助けるために、グリセリンなど、ガラスの屈折率とほぼ一致するオイルを、フォトマスク402と感光性ガラスプレート404の間の媒質として使用することもできる。
工程304において、フォトマスク402および感光性ガラスプレート404の選択領域に紫外線406が照射される(図4B参照)。好ましい実施形態において、フォトマスク402は、クロムを石英に積層したフォトマスク402である。このフォトマスクは感光性ガラスプレート404上の露光パターンをコントロールするために使用される。クロムを石英に積層したフォトマスク402は、石英基板402aとクロム層402bを備える。感光性ガラスプレート404内で乳白領域406(陰付き領域として示されている)が望まれる場所には、フォトマスク402のクロム層402bのクロムが無い。詳細には、それぞれの乳白領域406は、ガラス相とメタケイ酸リチウムのナノ結晶相の複合体であり、ナノ結晶相は複合体の約20容量%である。また、感光性ガラスプレート404内でガラス領域408(透明領域として示されている)が望まれる場所には、フォトマスク402のクロム層402bのクロムが存在している。一般に、照射工程304と熱処理工程306の間は、感光性ガラスプレート404の方向が維持される。
照射工程304は、感光性ガラスプレート404に乳白相(未来の乳白領域406)の核を形成するのに十分なエネルギーを備え且つ感光性ガラスプレート404を通して照射の範囲を適切に限定するに足る視準性を備えた紫外線または短波放射線を生じさせることが可能な方法であれば、どのような方法で実施することもできる。例えば、100Wの紫外線キセノンランプ(例えば、Hanovia L5179またはOREIL 6271)を使用して感光性ガラスプレート404を照射できる。この例では、フォトマスク402および感光性ガラスプレート404に印加される光パワーは、照度1.06ルクス、照射波長240〜400nm(最も好ましくは300〜350nm)、12分間であり、この範囲から外れる場合、照射時間が長くなる。照射工程304の後、フォトマスク402は感光性ガラスプレート404から分離される。必要であれば、塵、汚れ、残留物等を取り除くために、照射後の感光性ガラスプレート404を石鹸と水で洗浄する。
完成品においてガラス領域408であることが望ましい領域に少量の乳白が形成されることを防止するために、熱処理工程306以前の全段階で感光性ガラスプレート404を周囲紫外線(例えば、太陽光、フィルターを通していない人工光)の被曝から保護する必要があることを理解すべきである。
工程306において、露光後の感光性ガラスプレート404を加熱し、その内部に乳白領域406(陰付き領域として示される)およびガラス領域408(透明領域として示される)(図4C参照)を形成させる。好ましい実施形態において、熱処理工程306は露光後の感光性ガラスプレート404を固定プレートに載せた状態で炉またはオーブン(例えば、焼なまし炉)の中で行われる。詳細には、露光後の感光性ガラスプレート404は、露光後の感光性ガラスプレート404の露光面を上に向けガラスプレートと直接接触しない状態で固定プレート上に配置される。熱処理工程306中、感光性ガラスプレート404(FOTOFORMガラス)乳白領域406の方がガラス領域408よりも著しく収縮する(図4C参照)ことを理解すべきである。
焼なまし炉は、露光後の感光性ガラスプレート404を予め定められた熱サイクルにしたがって加熱する。
表1に示されている例示的な熱サイクルのグラフを示す図5を参照する。プレエッチングされた一連のファイバーアレイ220’を含むウェーハとして示されている加熱後の感光性ガラスプレート404の写真である図6Aおよび6Bを参照する。熱処理工程306中、焼なまし炉および露光後の感光性ガラスプレート404の清浄度が重要である。工程302、304および306の終了後、加熱後の感光性ガラスプレート404は基本的にガラス複合体プレートである。
感光性ガラスプレート404がFOTOFORMガラス404である場合、加熱後の感光性ガラスプレート404は、FOTOFORMガラス404に波長240〜400nm(最も好ましくは300〜350nm)の紫外線を照射し、その後、露光後のFOTOFORMガラス404を熱処理して乳白領域406およびガラス領域408を形成させることによって作ることができる。乳白領域406はセラミック粒子を有し、よってガラス領域408よりも高濃度である。乳白領域406におけるセラミック粒子の成長を可能にする核の形成のメカニズムは、FOTOFORMガラス404内のセリウムIII(Ce3+)が紫外線を吸収してセリウムIV(Ce4+)に転化し、その結果として電子を放出するときに開始する。電子はFOTOFORMガラス404内の、例えば銀イオン(Agl+)等の金属イオンによって吸収され、上記イオンを金属(例えば、Ag0)に還元する。これに代わる金属イオンは、金、銅およびパラジウムなどである。
工程308において、加熱後の感光性ガラスプレート404を、乳白領域406(陰付き領域として示されている)がエッチングによって除去されて孔410が形成されるまで(図4D参照)、エッチングする。エッチングは、例えば、加熱後の感光性ガラスプレート404を室温〜90℃の6〜13%HF攪拌槽に浸漬することによって行うことができる(エッチング工程308の詳細については図7を参照されたい)。この時点において、加熱後の感光性ガラスプレート404はファイバーアレイ220’に似ており、もはやガラス複合体プレートではなくガラスプレートである。これは、乳白領域406がエッチングによって除去されて孔410が形成され、よってファイバーアレイ220’に似たガラスプレートが残るからである(図4Dおよび4E参照)。好ましい実施形態において、孔410の位置は、レンズアレイのレンズの中心点に基づいて選択される(図2参照)。以下に、好ましいエッチング工程308についての詳細な説明を図7〜図11に関連させて行う。
図7を参照すると、好ましいエッチング工程308のさまざまな段階を詳細に示すブロック図が示されている。熱処理工程306後、加熱後の感光性ガラスプレート404の研磨された側を、フッ化水素酸(HF)に溶解するワックス層(図示せず)で覆う。5%蜜蝋、75%松脂でのワックス層が、加熱後の感光性ガラスプレート404の研磨された側に約60°で高温積層される。段階1で、ワックス層を備えた加熱後の感光性ガラスプレート404(ガラス複合体プレート)を20℃の13%HF槽に、最初のサイクルでは約30分間、それ以降のサイクルでは約10分間浸漬する。段階2で、加熱後の感光性ガラスプレート404(このときは、恐らくガラスプレート404となっている)を超音波槽(例えば、Transsonic 460H(商標))で数秒間水ですすぐ。段階3で、加熱後の感光性ガラスプレート404をビーカー内で水によって再びすすぐ。段階4で、加熱後の感光性ガラスプレート404流水下で第3の時間のあいだすすぐ。段階5で、窒素ブローと吸収シート(例えば、CONTEC C1(商標))を使って加熱後の感光性ガラスプレート404を乾燥させる。このとき、顕微鏡(例えば、Werth 3D(商標)測定装置)を使用して、ガラスプレート404のエッチングによる孔を観察する(図8〜9参照)。エッチングによる孔が「望ましい」ものでなかった場合、すなわち、目標寸法を有していなかった場合、部分的にエッチングされた加熱後の感光性ガラスプレート404を連続して3回高温アルコール槽に入れてワックス層を除去する。
その後、エッチングによる孔が「望ましい」ものとなって目標寸法を有するまで、1〜5が繰り返される。例えば126μmの双円錐形の孔を得るには、第1のエッチングサイクルによって第1の側を115μm(3〜4箇所で測定して)に達しさせ、次に、サイドをマスキングしているワックスを除去し、第2のエッチングサイクルを両側に実施することによって126μmの双円錐形の孔を形成できる。この時点で、ガラス複合体プレートは、ファイバーアレイ220’に似たガラスプレートとなる(図8〜11参照)。
図8Aと8Bを参照すると、図3および図7に示される方法にしたがって作られた例示的ファイバーアレイ220’の両側の写真が示されている。図8Aは、例示的ファイバーアレイ220’の、保護されている側(ワックスが積層されている側)の写真である。図8Bは、例示的ファイバーアレイ220’の、保護されていない側(ワックスが積層されていない側)の写真である。図9を参照すると、図8Aおよび8Bに示される例示的ファイバーアレイ220’のエッチングによる孔の寸法測定値を示すグラフと表が示されている。
エッチング時間は、エッチングされる孔410の直径、プレート404の厚さ、HF濃度および熱処理によって決まるガラスセラミックの微細構造に応じて変化しうることを理解すべきである。例えば、直径140μmの孔は直径250μmの孔よりも早くエッチングされる。図10Aと10Bは、ピッチ円直径140μmの孔1002の輪郭図と、ピッチ円直径140μmの一連の孔1002を有する例示的ファイバーアレイ220’の写真をそれぞれ示している。図11Aと11Bは、ピッチ円直径250μmの孔1102の輪郭図と、ピッチ円直径250μmの一連の孔1102を有する例示的ファイバーアレイ220’の写真をそれぞれ示している。
ファイバーアレイ220’をレンズアレイに結合し、多重化、スイッチング、フィルタリング、偏光および多重分離といったさまざまな信号処理工程を実施するために使用できるコリメータアレイを形成できることも理解すべきである。下記は、コリメータアレイを使用できる上記以外の光エレクトロニクス用途のいくつかを掲げる簡単なリストである。
・レーザーダイオードアレイ
・光インターコネクション
・コンタクトイメージセンサ
・発光ダイオードアレイ
・液晶プロジェクション装置
・直付け型レンズアレイ付き電荷結合素子
・2Dおよび3D光スイッチ
図12および13A〜13Gを参照すると、ファイバーアレイ220’’の第2の実施態様を作るための好ましい方法1200のフローチャートと、好ましい方法1200の各工程におけるファイバーアレイ220’’のさまざまな側断面図と平面図がそれぞれ示されている。初めに、工程1202で、フォトマスク1302が感光性ガラスプレート1304と接触するように配置される(図13A参照)。好ましい実施形態において、感光性ガラスプレート1304は、コーニング社(Corning Incorporated)から商標名FOTOFORMガラスとして市販されている光核形成可能、結晶化可能なケイ酸リチウムガラス体から作製される。感光性ガラスプレート1304を研削または研磨して、1つ以上のファイバーアレイ220’’となる適切なサイズの基材を作る。
・光インターコネクション
・コンタクトイメージセンサ
・発光ダイオードアレイ
・液晶プロジェクション装置
・直付け型レンズアレイ付き電荷結合素子
・2Dおよび3D光スイッチ
図12および13A〜13Gを参照すると、ファイバーアレイ220’’の第2の実施態様を作るための好ましい方法1200のフローチャートと、好ましい方法1200の各工程におけるファイバーアレイ220’’のさまざまな側断面図と平面図がそれぞれ示されている。初めに、工程1202で、フォトマスク1302が感光性ガラスプレート1304と接触するように配置される(図13A参照)。好ましい実施形態において、感光性ガラスプレート1304は、コーニング社(Corning Incorporated)から商標名FOTOFORMガラスとして市販されている光核形成可能、結晶化可能なケイ酸リチウムガラス体から作製される。感光性ガラスプレート1304を研削または研磨して、1つ以上のファイバーアレイ220’’となる適切なサイズの基材を作る。
感光性ガラスプレート1304の寸法は用途によって大きく変えることができるが、厚さは約0.075インチ(約1.9mm)未満にしたり、または約0.25インチ(約6.4mm)より大きくしないことが好ましい。
接点は、フォトマスク402と感光性ガラスプレート404と間の空気界面403である。空気界面403を有するのではなく、空隙403を無くし、空隙403が引き起し得る光の反射および/または散乱を無くすのを助けるために、グリセリンなど、ガラスの屈折率とほぼ一致するオイルを、フォトマスク402と感光性ガラスプレート404の間の媒質として使用することもできる。
工程1204において、フォトマスク1302および感光性ガラスプレート1304の選択領域に紫外線1306が照射される(図13B参照)。好ましい実施形態において、フォトマスク1302は、石英の上にクロムが積層されたフォトマスク1302である。このフォトマスクは感光性ガラスプレート1304上の露光パターンをコントロールするために使用される。クロムを石英に積層したフォトマスク1302は、石英基板1302aとクロム層1302bを備える。感光性ガラスプレート1304内で乳白領域1306(陰付き領域として示されている)が望まれる場所には、フォトマスク1302のクロム層1302bのクロムが無い。また、感光性ガラスプレート1304内でガラス領域1308(透明領域として示されている)が望まれる場所には、フォトマスク1302のクロム層1302bのクロムが存在している。一般に、露光工程304および熱処理工程306との間は、感光性ガラスプレート404の方向が維持される。
露光工程1204は、感光性ガラスプレート1304に乳白相(未来の乳白領域1306)の核を形成するのに十分なエネルギーを備え且つ感光性ガラスプレート1304を通して照射の範囲を適切に限定するに足る視準性を備えた紫外線または短波放射線を生じさせることが可能な方法であれば、どのような方法で実施することもできる。例えば、感光性ガラスプレート1304を露光するのに、強度5.5〜7.5mW/cm2の紫外線を1〜10分間使用できる。
露光工程1204の後、フォトマスク1302は感光性ガラスプレート1304から分離される。必要であれば、塵、汚れ、残留物等を取り除くために、照射後の感光性ガラスプレート404を石鹸と水で洗浄する。完成品においてガラス領域408であることが望ましい領域に少量の乳白が形成されることを防止するために、熱処理工程306以前の全段階で感光性ガラスプレート404を周囲紫外線(例えば、日光、フィルターを通していない人工光)の被爆から保護する必要があることを理解すべきである。
工程1206において、露光後の感光性ガラスプレート1304を加熱し、その内部に乳白領域1306(陰付き領域として示される)およびガラス領域1308(透明領域として示される)(図13C参照)を形成させる。好ましい実施形態において、熱処理工程1206は、露光後の感光性ガラスプレート1304を、ドライ窒素が流れている蓋付きのステンレススチールの箱に入れた状態で、炉内で実施される。詳細には、露光後の感光性ガラスプレート1304は、露光後の感光性ガラスプレート1304の露光面を上に向けた状態で、フォーマーまたは平らなプレート上に置かれる。フォーマーは、熱処理工程1206中に露光後の感光性ガラスプレート1304と融合したり、熱処理工程1206中に変形したりすることのない、ガラス、セラミックまたはガラスセラミック材料とすることができる。(例えば)粉末状のAl2O3をフォーマー表面に分散させて、離型剤として作用させることもできる。一般的な熱処理スケジュールは、表1および以下に概説されるようなものとすることができる。
・460℃/時間で480℃まで加熱
・180℃/時間で590℃まで加熱
・590℃を40分間維持
・炉の速度で冷却
熱処理工程1206中、加熱後の感光性ガラスプレート1304の乳白領域1306は、ガラス領域1308より大きく収縮する(図13C参照)。工程1202、1206および1206の終了後、加熱後の感光性ガラスプレート1304は基本的にガラス複合体プレートである。
・180℃/時間で590℃まで加熱
・590℃を40分間維持
・炉の速度で冷却
熱処理工程1206中、加熱後の感光性ガラスプレート1304の乳白領域1306は、ガラス領域1308より大きく収縮する(図13C参照)。工程1202、1206および1206の終了後、加熱後の感光性ガラスプレート1304は基本的にガラス複合体プレートである。
感光性ガラスプレート1304がFOTOFORMガラス1304である場合、加熱後の感光性ガラスプレート1304は、FOTOFORMガラス1304に波長240〜400nm(最も好ましくは300〜350nm)の紫外線を照射し、その後、露光後のFOTOFORMガラス1304を熱処理して乳白領域1306およびガラス領域1308を形成させることによって作ることができる。乳白領域1306はセラミック粒子を有し、よってガラス領域1308よりも高濃度である。乳白領域1306におけるセラミック粒子の成長を可能にする核の形成のメカニズムは、FOTOFORMガラス1304内のセリウムIII(Ce3+)が紫外線を吸収してセリウムIV(Ce4+)に転換し、その結果として電子を放出するときに開始する。
電子はFOTOFORMガラス1304内の、例えば銀イオン(Agl+)等の金属イオンによって吸収され、上記イオンを金属(例えば、Ag)に還元する。これに代わる金属イオンは、金、銅およびパラジウムなどである。FOTOFORMsガラスの組成に関する詳細な説明は、米国特許第2326012号明細書、米国特許第2422472号明細書、米国特許第2515936号明細書、米国特許第2515938号明細書、米国特許第2515275号明細書、米国特許第2515942号明細書、米国特許第2515943号明細書に記載されおり、その内容を文献引用によって本願明細書に組み込んだものとする。
工程1208において、加熱後の感光性ガラスプレート1304を、乳白領域1306(陰付き領域として示されている)がエッチングによって除去されて孔1310が形成されるまで(図13D参照)、エッチングする。好適な実施形態では、加熱後の感光性ガラスプレート1304(ガラス複合体プレート)は、室温から90℃までのどこかにある6〜13%フッ化水素酸(HF)攪拌槽に浸漬されてエッチングされる。この時点において、加熱後の感光性ガラスプレート1304はもはやガラス複合体プレートではなくガラスプレートとなっている。これは、大きめの孔1310を形成するために乳白領域がエッチングによって除去されているからである。
工程1210において、エッチング後のガラスプレート1304の大きめの孔1310に成形可能材料1312を充填するか、または浸透させる(図13E参照)。その後、エッチング後のガラスプレート1304および充填された大きめの孔1310は、(例えば)6〜8μmの素粒子などの研磨剤を使って平坦かつ平行に研磨できる。好ましい実施形態において、成形可能材料1312は、精密ドリルに付着したり、精密ドリルに余分な摩擦や断裂を生じることなく孔を形成できる程度にやわらかい材料(例えば、接着剤、ポリマー、グラファイト)であれば、どのようなものであってもよい。また、成形可能材料1312およびエッチング後のガラスプレート1304は、±0.5×10−7の範囲で一致するCTEを有している必要がある。しかしながら、成形可能材料1312とエッチング後のガラスプレート1304が一致したCTEを有することは必須事項ではない。例えば、成形可能材料1312のCTEがエッチング後のガラスプレート1304のCTEより大きい場合は、成形可能材料1312が高温で膨張して大きめの孔1310から出やすくなる。
エッチング後のガラスプレート1304が成形可能材料1312のCTEよりも大きいCTEを有している場合には、成形可能材料1312が高温で収縮して大きめの孔1310から離れやすくなるので、より優れた状況となる。
コーニング社によって製造販売されているMCA−80(商標)接着剤として知られている接着剤は、エッチング後のガラスプレート1304の大きめの孔1310inに充填するために使用できる成形可能材料1312の一例である。MCA−80接着剤は、偶然にも、FOTOFORMガラスから作られるエッチング後のガラスプレートのCTEと一致するCTEを有している。
以下に、MCA−80接着剤の物理特性の一部を掲載する。
・粘度(1/20秒)(ポアズ):75〜175P(7.5〜17.5Pa・s)
ポストキュア(2h@125℃): >170℃
ポストキュア(4h@125℃): >180℃
弾性率@25℃(pa): >5.5×109
吸水率2(重量増加%): <1.4%
応力(回転角度): 10°〜30°
硬化深さ(ミル):
初期: 13±5
10分後: 30±5
―40℃〜85℃の平均CTE(μm/m/℃): 8
MCA−80接着剤の組成に関する詳細な記述は米国特許第5552092号明細書に記載されており、その内容を文献引用によって本願明細書に組み込んだものとする。繰り返すが、現在知られている、またはこれから開発される、さまざまな接着剤および他タイプの成形可能材料を本発明に使用できることに留意すべきである。
ポストキュア(2h@125℃): >170℃
ポストキュア(4h@125℃): >180℃
弾性率@25℃(pa): >5.5×109
吸水率2(重量増加%): <1.4%
応力(回転角度): 10°〜30°
硬化深さ(ミル):
初期: 13±5
10分後: 30±5
―40℃〜85℃の平均CTE(μm/m/℃): 8
MCA−80接着剤の組成に関する詳細な記述は米国特許第5552092号明細書に記載されており、その内容を文献引用によって本願明細書に組み込んだものとする。繰り返すが、現在知られている、またはこれから開発される、さまざまな接着剤および他タイプの成形可能材料を本発明に使用できることに留意すべきである。
工程1212において、精密ドリルを使用してそれぞれの大きめの孔1310内の成形可能材料1312を穿孔して孔1314を形成する(図3F参照)。次に、光ファイバーを各孔1314に挿入してファイバーアレイ220’’を形成する。好ましい実施形態において、孔1314の位置は、レンズアレイのレンズの中心点に基づいて選択される(図2参照)。これらの位置は、孔1314をあけるためのCNCマシンが使用できる標準座標に変換される。CNCマシンは孔1314をあけるためにカーバイド製のツイストドリルを使用できる。
例えば、孔1314の直径は、(例えば)0.125mmの範囲とすることができる。また、(例えば)孔1314の、お互いに対する中心位置の精度を±0.001mmとし、ピッチを0.750mmとすることができる穿孔された孔1314は、光ファイバーの固定を助けるために座ぐりすることもできる。
ファイバーアレイ220’と同様に、このファイバーアレイ220’’をレンズアレイに結合して、多重化、スイッチング、フィルタリング、偏光および多重分離といったさまざまな信号処理工程を実施するために使用できるコリメータアレイを形成できる。下記は、コリメータアレイを使用できる上記以外の光エレクトロニクス用途のいくつかを掲げる簡単なリストである。
・レーザーダイオードアレイ
・光インターコネクション
・コンタクトイメージセンサ
・発光ダイオードアレイ
・液晶プロジェクション装置
・直付け型レンズアレイ付き電荷結合素子
・2Dおよび3D光スイッチ
ファイバーアレイ220’および220’’を作るのに使用される材料は、必ずしもレンズアレイを作るのに使用される材料と正確に一致するCTEを有する必要はないことを理解すべきである。しかしながら、ファイバーアレイ220’および220’’を作るのに使用される材料は、レンズアレイを作るのに使用される材料のCTEと比較的近いCTEを有するべきである。詳細には、成形可能材料1312(使用される場合)と、ファイバーアレイ220’および220’’と、レンズアレイのCTEを一致させることにより、−40℃〜100℃の温度範囲にわたって申し分のないアライメントを提供できる。
・光インターコネクション
・コンタクトイメージセンサ
・発光ダイオードアレイ
・液晶プロジェクション装置
・直付け型レンズアレイ付き電荷結合素子
・2Dおよび3D光スイッチ
ファイバーアレイ220’および220’’を作るのに使用される材料は、必ずしもレンズアレイを作るのに使用される材料と正確に一致するCTEを有する必要はないことを理解すべきである。しかしながら、ファイバーアレイ220’および220’’を作るのに使用される材料は、レンズアレイを作るのに使用される材料のCTEと比較的近いCTEを有するべきである。詳細には、成形可能材料1312(使用される場合)と、ファイバーアレイ220’および220’’と、レンズアレイのCTEを一致させることにより、−40℃〜100℃の温度範囲にわたって申し分のないアライメントを提供できる。
添付の図面に示され、上記の詳細な説明に記載されている本発明の2つの実施形態しか説明しなかったが、本発明は記載された実施形態に限定されるものではなく、請求の範囲に記載および定義された本発明の精神から逸脱せずに数多くの再構成、変更、置換を行うことが可能であることを理解すべきである。
200 コリメータアレイ
210 レンズアレイ
220 ファイバーアレイ
230 レンズ
240 光ファイバー
402 フォトマスク
403 空気界面
404 感光性ガラスプレート
405 紫外線
406 乳白領域
408 ガラス領域
410 孔
210 レンズアレイ
220 ファイバーアレイ
230 レンズ
240 光ファイバー
402 フォトマスク
403 空気界面
404 感光性ガラスプレート
405 紫外線
406 乳白領域
408 ガラス領域
410 孔
Claims (7)
- 複数の光ファイバーと、
それぞれに1つずつ光ファイバーが固定される複数の孔を備えたガラスプレートであって、エッチング後に複数の大きめの孔を備えたガラスプレートとなる露光および加熱後の感光性ガラス内の複数の乳白領域をエッチングによって除去することによって前記大きめの孔を形成し、前記大きめの孔に成形可能材料を充填し、その後、前記成形可能材料に穿孔して前記孔を形成したガラスプレートと、
を有するファイバーアレイ。 - 前記固定された光ファイバーを備えた前記ガラスプレートがマイクロレンズに機械的にセットおよびアライメントされてコリメータアレイを形成することを特徴とする請求項1に記載のファイバーアレイ。
- 前記成形可能材料と前記ガラスプレートが、±0.5×10−7の範囲で一致する熱膨張係数を有することを特徴とする請求項1に記載のファイバーアレイ。
- ファイバーアレイを作製する方法において、
複数の孔を感光性ガラスプレートに形成する形成工程であって、
フォトマスクを未露光の感光性ガラスプレートの上に配置する段階、
紫外線を前記フォトマスクと前記未露光の感光性ガラスプレートの選択領域とに照射する段階、
前記露光後の感光性ガラスプレートを加熱して、その内部に複数の乳白領域と複数のガラス領域を形成させる段階、
前記加熱後の感光性ガラスプレートを、前記複数の乳白領域がエッチングによって除去されて大きめの孔が形成されるまでエッチングする段階、
前記大きめの孔に成形可能材料を充填する段階および
前記大きめの孔内の前記成形可能材料を穿孔して孔を形成する段階、
を備える孔形成工程と、
前記エッチング段階後にファイバーアレイに似たガラスプレートとなった、前記穿孔された感光性ガラスプレートの各孔に(光ファイバ−を)固定する工程と、
を備えることを特徴とする方法。 - 前記ファイバーアレイと前記マイクロレンズアレイが、―40℃〜100℃にわたって±0.5×10−7の範囲で一致する熱膨張係数を有することを特徴とする請求項4に記載の方法。
- コリメータアレイにおいて、
レンズアレイと、
複数の光ファイバーとそれぞれに1つずつ前記光ファイバーが固定される複数の孔を含み、前記複数の孔が、
フォトマスクを感光性ガラスプレートの上に配置し、
紫外線を前記フォトマスクと前記未露光の感光性ガラスプレートの選択領域とに照射し、
前記露光後の感光性ガラスプレートを加熱して、その内部に複数の乳白領域と複数のガラス領域を形成させ、
前記加熱後の感光性ガラスプレートを、前記複数の乳白領域がエッチングによって除去されて孔が形成されるまでエッチングする、
ことによって形成されるファイバーアレイと、
を有するコリメータアレイ。 - 前記複数の孔が、
フォトマスクを感光性ガラスプレートの上に配置し、
紫外線を前記フォトマスクと前記未露光の感光性ガラスプレートの選択領域とに照射し、
前記露光後の感光性ガラスプレートを加熱して、その内部に複数の乳白領域と複数のガラス領域を形成させ、
前記加熱後の感光性ガラスプレートを、前記エッチング後の感光性ガラス内に大きめの孔が形成されるように前記複数の乳白領域がエッチングによって除去されるまでエッチングし、
前記大きめの孔に成形可能材料を充填し、
前記大きめの孔内の前記成形可能材料を穿孔して孔を形成する、
ことによって形成されることを特徴とする請求項6に記載のコリメータアレイ。
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