KR950021344A - 노치부위치 맞춤기구 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 노치부위치 맞춤기구는, 그 둘레부에 노치부를 가지는 여러개의 피정렬체를 수용하는 카세트의 아래측 개구부를 통해서 카세트 내에 승강이 자유롭게 침입할 수 있는 기초대와, 기초대에 설치되고 또한 피정렬체의 노치부를 끼워넣을 수 있는 여러개의 끼워넣는 홈을 가지는 회전이 가능한 제 1 회전체와, 기초대에 설치되고 또한 회전이 가능한 제 2 회전체와, 제 1 회전체와 제 2 회전체의 적어도 한 쪽을 회전시키는 구동부를 갖추며, 제 1 회전체와 제 2 회전체에 의해서 피정렬체를 카세트로부터 이간시킨 상태에서 지지하여 회전시키는 회전지지수단과, 기초대에 설치되어, 노치부가 제 1 회전체의 끼워넣는 홈에 끼워넣은 피정렬체를 회전이 불가능하게 지지하는 지지체를 구비하고 있다.

Description

노치부위치 맞춤기구
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는, 여러개의 피정렬체가 수용된 카세트의 개구부를 통해서 본 발명의 1 실시예에 관한 노치부위치 맞춤기구를 카세트내에 이동시킨 상태를 개략적으로 나타낸 단면도,
제2도는, 제1도의 노치부위치 맞춤기구를 개략적으로 나타낸 사시도,
제3도는, 제1도의 노치부위치 맞춤기구의 구동회전체의 부분확대도,
제4도는, 제1도의 노치부위치 맞춤기구의 종동회전체의 부분확대도,
제5도는, 제1도의 노치부위치 맞춤기구의 드라이브 샤프트와 아이들 풀리에 의해서 웨이퍼를 지지한 상태를 개략적으로 나타낸 사시도,

Claims (10)

  1. 그 둘레부에 노치부를 가지는 여러개의 피정렬체를 수용하는 카세트의 아래측 개구부를 통하여 카세트내에 승강이 자유롭게 침입할 수 있는 기초대와, 상기 기초대에 설치되고 또한 상기 피정렬체의 노치부를 끼워넣을 수 있는 여러개의 끼워넣는 홈을 가지는 회전이 가능한 제 1 회전체와, 상기 기초대에 설치되고 또한 회전이 가능한 제 2 회전체와, 상기 제 1 회전체와 상기 제 2 회전체의 적어도 한 쪽을 회전시킬 수 있는 구동수단을 갖추며, 상기 제 1 회전체와 상기 제 2 회전체에 의해서 상기 피정렬체를 상기 카세트로부터 이간시킨 상태에서 지지하여 회전시키는 회전지지수단과, 상기 기초대에 설치되어 노치부가 상기 제 1 회전체의 끼워놓는 홈에 끼워넣은 피정렬체를 회전불가능하게 지지하는 지지체로 이루어져 있는 노치부위치 맞춤기구.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제 1 회전체의 끼워넣는 홈은, 상기 피정렬체의 노치부가 제 1 회전체와의 사이에 일정한 클리어런스를 유지하여 끼워넣을 수 있도록 형성되어 있는 노치부위치 맞춤기구.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제 1 회전체는, 상기 여러개의 끼워넣는 홈의 각각에 의해서 각 피정렬체를 개별적으로 지지할 수 있는 노치부위치 맞춤기구.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제 1 회전체는 상기 구동수단에 의해서 회전되고, 상기 제 2 회전체는 상기 제 1 회전체에 의해서 회전되는 상기 피정렬체의 회전에 따라서 회전되는 노치부위치 맞춤기구.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제 2 회전체는, 상기 기초대에 고정되고 또한 카세트에 수용된 여러개의 피정렬체의 열(列)의 길이방향을 따라서 연장되는 고정축과, 이 고정축에 장착된 여러개의 아이들 풀리를 갖추며, 상기 여러개의 아이들 풀리는, 상기 여러개의 피정렬체를 각각 개별적으로 지지함과 동시에, 상기 제 1 회전체에 의해서 회전되는 피정렬체의 회전에 따라서 개별적으로 회전하는 노치부위치 맞춤기구.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제 1 회전체는, 카세트에 수용된 여러개의 피정렬체의 열의 길이방향을 따라서 연장되고, 또한, 상기 여러개의 끼워 넣는 홈을 가지는 회전축으로서 형성되어 있는 노치부위치 맞춤기구.
  7. 제1항에 있어서, 상기 제 1 회전체는, 스테인레스강에 의해서 형성되고, 그 바깥둘레에 테프론계의 코팅이 되어 있는 노치부위치 맞춤기구.
  8. 제1항에 있어서, 상기 제 1 회전체는, 스테인레스강에 의해서 형성되고, 그 바깥둘레에 다이프론의 슬리브가 덮어져 있는 노치부위치 맞춤기구.
  9. 제1항에 있어서, 상기 기초대 내에 승강이 자유롭게 설치되고, 상기 제 2 회전체와 함께 움직여서, 노치부가 상기 제 1 회전체의 끼워넣는 홈에 끼워넣은 피정렬체를 상기 제 1 의 회전체로부터 이간시킨 상태에서 지지하여 회전시킨 제 3 의 회전체로 더 이루어져 있는 노치부위치 맞춤기구.
  10. 제 1 회전체와 제 2 회전체를 카세트 내에 수용된 여러개의 피정렬체에 대하여 아래측으로부터 접근시키어, 제 1 회전체와 제 2 회전체에 의해서 여러개의 피정렬체를 카세트로부터 이간시킨 상태에서 지지하고, 피정렬체의 둘레부에 형성된 노치부가 제 1 회전체의 홈에 끼워넣어질 때까지, 제 1 회전체와 제 2 회전체에 의해서 여러개의 피정렬체를 회전시키고, 모든 피정렬체가 제 1 의 회전체의 홈에 끼워넣어진 후에, 제 2 회전체와 제 3 회전체에 의해서 피정렬체를 제 1 회전체로부터 이간시킨 상태에서 지지하며, 제 2 회전체와 제 3 회전체에 의해서 여러개의 피정렬체를 회전시킴으로써, 일직선상에 정렬된 노치부를 소정의 위치로 이동시키는 단계로 이루어져 있는 노치부위치 맞춤방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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