KR950007131B1

KR950007131B1 - 수직 자기 기록 매체 및 그 제조방법

Info

Publication number: KR950007131B1
Application number: KR1019860004760A
Authority: KR
Inventors: 오사무 기다가미; 히데오 후지무라; 기요다가 오지마; 요우이지 오가와; 구니오 오가이
Original assignee: 히다찌마구세루 가부시기가이샤; 나가이 아쯔시
Priority date: 1985-06-25
Filing date: 1986-06-16
Publication date: 1995-06-30
Also published as: KR870000683A; US5068144A; JPS6292119A; DE3620640A1

Abstract

내용 없음.

Description

수직 자기 기록 매체 및 그 제조방법

제1도는 본 발명의 실시예 1

에 관한 진공증착 장치의 개략 구성도.

제2도는 실시예 1에 의해서 얻어진 수직 자기 기록 매체의 Cr 함유율과 포화자화량, 수직방향 보자력, 수직방향 잔류 자화량/수평방향 잔류 자화량과의 관계를 도시한 특성도.

제3도는 실시예 2에 의해서 얻어진 수직 자기 기록 매체의 유기 폴리머 체적 점유율과 자기 헤드 접동회수와의 관계를 도시한 특성도.

제4도는 본 발명의 실시예 3에 관한 진공증착 장치의 개략 구성도.

제5도는 실시예 3에 의해서 얻어진 수직 자기 기록 매체의 유기 폴리머 체적 점유율과 스틸 재생 수명과의 관계를 도시한 특성도.

제6도는 종래 제안된 면내 자기 기록 매체의 제조방법을 설명하기 위한 스팟터링 장치의 개략 구성도.

제7도는 종래 제안된 수직 자기 기록 매체의 제조방법을 설명하기 위한 단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1,2 : 로울 3 : 캔

4 : 마스크 5 : 바스

6 : 램프 7 : 베이스 필림

8 : 노즐 9 : 포트

10 : 코발트-크롬 합금 11 : 깨스

12 : 철 13 : 폴리에틸렌

[산업상의 이용분야]

본 발명은, 자기 기록 매체(磁氣記錄媒體)와 제조방방법에 관하여, 특히 자성층(磁性層)중의 강자성체침상입자(强磁性體針狀粒子)가 막면(膜面)에 대해서 수직방향으로, 배향(配向)된 수직 자기 기록 매체 및 그 제조방법에 관한 것이다.

[종래의 기술]

자기 기록 매체의 고밀도(高密度) 기록화를 도모하는 한 수단으로서, 수직 자기 기록 매체를 이용하는 방법이 주목되고 있다. 이 수직 자기 기록 매체에 사용되는 자성의 얇은막(薄膜)으로서는, 예를들면 코발트(cobalt)-크롬(chrome)합금 박막을 위시하여, 코발트-파라듐(palladium), 코발트-루테늄(ruthenium), 코발트-산소등의 강자성체 금속 박막이 검토되어, 고밀도 기록이 가능하게 되었으나, 문제가 없는 것은 아니다.

[발명이 해결할려고 하는 문제점]

즉, 종래의 바인더(binder)를 포함한 도포형(塗布形)의 자기 기록 매체와 비교해서, 자기 헤드(head)와의 미끄러져 접하는 것(摺接)에 대해서, 손상이 일어나기 쉽고, 기계적인 내구성이 낮다.

또, 고분자(高分子) 필림(film)등과 같은 휘어지는 성질(可搖性)이 있는 비(非)자성 기판위에 상술과 같은 강자성 금속 박막을 마련하는 것에 의해, 휘어지는 성질이 매우 저하하여, 자기 헤드와 기록 매체 표면과의 안정된 접촉 상태를 유지하는 것이 곤란하게 된다.

또, 이 비 바인더 형의 금속 박막 자기 기록 매체는, 자성층 전체가 금속으로 형성되어서, 전도성(電導性)이 높기 때문에, 자기 헤드와의 접접(摺接)에 의해서, 와(渦)전류가 발생하여, 이것이 기록 재생 특성에 나쁜 영향을 미친다.

한편, 통상의 면내 자기 기록 매체에 있어서, 일본국 특허 공보 소화 57-3137호에 기재되어 있는 것과 같은 제조방법이 제안되고 있다.

이 방법은, 제 6 도에 도시한 것과 같은 스팟터링(sputtering)장치를 사용해서 자기 기록 매체를 제조하고 있다. 즉, 진공 챔버(chamber) 21내에 양극(陽極) 22와 음극 23a, 23b가 소정위치에 배치되고, 도시하지 않은 고압전원에 접속되어 있다. 진공 챔버 21내는 진공 배기 구멍 24에 의해서 감압되어, 그 후에 니들 밸브(needle value) 25로부터 알곤 깨스(argon gas)가 도입된다.

상기 양극 22에는, 음극 23a, 23b쪽으로 향해서 디스크(disk)상의 비자성기판 26이 부착되고, 이들은 모오터(motor) 27에 의해서, 소정의 속도로 회전되도록 되어 있다. 음극 23a는 코발트 타켓(cobalt targer) 28이 음극 23b에는 폴리테트라 플루오로 에틸렌(polytetra fluoroethylene)의 타켓 29가 각각 설치되어 있다.

상기 배기 구멍 24로부터의 흡인에 의해 진공 챔버(chamber) 21내를 높은 진공으로 한후, 니들 밸브 25를 통해서 알곤 깨스를 진공 챔버 21내로 도입한다. 그리고, 모오터 27에 의해, 비자성 기판 26을 회전시키면서, 음극 23a와 음극 23b에 인가(印加)하는 전압을 각각 단독으로 콘트롤 하는 것에 의해, 양 타켓 28, 29에서 비자성 기판 26으로 향해서 동시에 스팟터링이 행하여져, 기판 26위에 코발트와 폴리테트라 플루오로 에틸렌의 복합막(複合膜)이 형성되도록 되어 있다.

그러나, 이 방법에 있어서도 난점이 없는 것은 아니다. 즉, 스팟터링 할때에, 기판 26이 회전하고 있으므로, 기판 26의 어떤 부분이 코발트 타켓 28과 대향(對向)하고 있을 때에는, 표면에 코발트가 석출(析出)하고, 또 이 부분이 회전하여, 폴리테트라 플루오로 에틸렌의 타켓 29와 대향하면, 그 위에 폴리테트라 플루오로 에틸렌이 석출하는 형태로 되어, 결국 코발트의 얇은 막과 폴리테트라 플루오로 에틸렌의 얇은막이 다층(多層)으로 되어서 형성되는 것으로 된다.

이와 같이 막면에 대해서 자성체의 얇은막과 유기(有機) 폴리머(polymer)의 얇은막이 서로 평행으로 적층(積層)되는 구조는 면내의 자기 기록 매체의 제조방법에는 적합하지만, 고밀도 기록을 행하는 수직 자기 기록 매체의 제조방법에는 적합치 않으며, 충분한 자기 특성을 발휘할 수가 없다.

이때문에 별도로, IBM Technical Disclosure Bulletin vol. 25 No. 9 February 1983에는 다음과 같은 수직 자기 기록 매체의 제조방법이 소개되고 있다.

이 제조방법의 개략을 제7도와 함께 설명한다.

우선, 비자성 기판 31위에 소정의 두께를 가진 강자성 금속층 32를 동일하게 형성하고, 다음에 그 금속층 32의 위에 많은 투시구멍(透孔) 33을 가진 마스크(mask) 34를 설치하고, 그 상태에서 막의 면에 대해서 수직방향으로 프라즈마 에칭(plasma etching)을 행한다. 이로 인해서, 상기 금속층 32의 상기 투시구멍 33에 대응한 부분에 구멍 35가 형성되고(동일도면, 우측 반쪽 참조), 그런후에 이 구멍 35내에 예를들면 폴리이미드(polyimide) 수지 36을 충진하여(동일도면, 왼쪽 반쪽 참조), 강자성 금속과 유기 폴리머의 복합재(複合材)로 되는 자성층을 형성하는 방법이다.

그러나, 이 방법으로는, 금속층 32의 구멍 33내에 유기 폴리머 36을 충진하지 않으면 아니되므로, 필연적으로 구멍 33의 지름이 커져서, 이로인해 자성층 중에 있어서의 유기 폴리머의 체적 점유율이 실질적으로는 80체적% 정도로 되고, 이로 인해서 자기 헤드에 대한 내구성이 저하한다.

또, 프라즈마 에칭이나 유기 폴리머의 충진을 위해, 제조공정이 번잡하며, 자기 기록 매체의 제조장치가 대형으로 되어, 제조 코스트가 높아진다는 등의 문제점을 갖고 있다.

(문제점을 해결하기 위한 수단)

이 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 예를들면 폴리이미드 필림등의 비자성 기판위에, 예를들면 코발트-크롬합금등의 강자성체의 침상입자와, 그 강자성체 침상입자를 포위하도록 강자성체 입자사이에 충전된 예를들면 폴리메틸 메타크리레이트(polymethyl metha crylate)등의 유기 폴리머를 거진 자성층을 형성한 수직 자기 기록 매체에 있어서, 상기 자성층중에 있어서의 유기 폴리머의 체적 점유율이 5~55체적%의 범위로 규제되고, 또 상기 강자성체 침상입자가 막면에 대해서 수직방향으로 배향되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명은 예를들면, 폴리이미드 필림등의 비자성 기체위에 예를들면, 코발트-크롬합금등의 강자성체의 침상입자와 그 강자성체 침상입자를 포위하도록 강자성체 침상입자 사이에 충진된 예를들면 폴리메틸 메타크리레이트등의 유기 폴리머를 가진 수직 자기 기록 매체의 제조방법에 있어서, 강자성체와 유기 폴리머를 물리증착법(物理蒸着法)에 의해, 비자성 기체위에 동시에 석출시켜서, 형성된 강자성체 침상입자가막의 면에 대해서 수직방향으로 배향시키고 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명은, 예를들면 폴리이미드 필림등의 비자성 기체위에, 예를들면 코발트-크롬합금등의 강자성체의 침상입자와, 그 강자성체 침상입자를 포위하도록 강자성체 입자사이에 충진된 예를들면, 폴리메틸 메타크리레이트등의 유기 폴리머를 가진 자성층을 형성한 수직 자기 기록 매체의 제조방법에 있어서, 상기 유기 폴리머를 형성하는 모노머 깨스(monomer gas)를 비자성 기체위에 불어내면서, 상기 강자성체를 물리증착법에 의해 석출시켜, 전자선(電磁線) 또는 전리선(電離線)을 조사(照射)하는 것에 의해, 상기 모너머를 중합(重合)시켜, 유기 폴리머로 하여 상기 자성층을 구성하는 것을 특징으로 하는 것이다.

[실시예]

본 발명에 있어서 사용되는 강자성체로서는, 예를들면 코발트, 철, 니켈등의 천이(遷移)금속가 여러가지의 원소와의 합금, 혹은 γ-Fe₂O₃등의 산화물 혹은 질화물(窒化物)등이 있고, 특히 코발트를 주성분으로 하여, 크롬, 파라듐, 몰리브덴, 루테늄, 로듐(rhodium), 탄탈륨(tantalum), 텅스텐(tungsten), 레늄(rhenium), 오스뮴(osmium)의 그룹에서 선택된 적어도 한 종류의 금속을 포함하는 코발트 합금이 가장 적합하다.

또, 본 발명에 있어서 사용되는 유기 폴리머로서는, 예를들면 폴리에틸렌, 폴리에틸렌 테레푸타레이트(polyetylen terephthalate), 폴리프로필렌(poly propylene), 폴리스틸렌(polystyrene), 폴리테트라 플루오로 에틸렌, 폴리브타디엔(polybutadiene), 폴리카본네이트(polycarbonate), 폴리아미드(polyamid), 폴리이미드(polyimide), 폴리염화비닐(poly 監化 vinyl), 폴리초산비닐(poly 酢酸 vinyle), 폴리우레탄(polyurethane)등이 있으며, 이들 폴리머를 단독 혹은 2중이상 혼합하여, 사용할수 있다. 이들은 자성층중에 있어서, 완전한 고분자를 구성할 필요는 반드시 없으나, 모노 ; 올리고머(oil-gomer), 텔로머(telomer)등의 상태로 막중으로 혼재(混在)하는 경우도 있다.

또, 유기 폴리머는 사전에 중합체로 준비되어 있는 것이라도 좋으나, 예를들면 비자성 기체위에 유기 폴리머를 형성하는 모노머 깨스를 불어대면서 강자성체를 물리증착법에 의해 석출시켜서 막의 형성중 혹은 막의 형성후에, 막의 표면에 전자선 또는 전리선을 조사하여, 상기 모노머를 중합하여 유기 폴리머를 할수도 있다.

이 경우, 전자선으로서 자외선을 사용한 경우에는 0.1watts/cm²정도 이상의 강도를 가진 자외선을 막표면에 조사하면, 모노머 깨스가 반응하여 양호한 자성층을 할수가 있다.

또한, 유기 폴리머로서 사전에 중합체로 준비되어 있는 것을 물리증착법에 의해서 강자성체와 함께, 동시에 석출시키면, 석출한 유기 폴리머는 저분자화되어 자성층의 내구성에 있어서, 소기의 특성을 얻을수 없는 경우가 있고, 이와 같은 경우에는 강자성체와 유기 폴리머를 물리증착에 의해서, 기체위에 동시에 석출시켜 막 형성중 혹은 막 형성후에, 막 표면에 전자선 또는 전리선을 조사하여 저분자량 폴리머를 가교(架橋)반응시켜, 가교밀도를 상승시켜 자성층의 기계적 강도를 개선하는 것이 바람직하다.

본 발명에서 이용하는 물리증착법으로서는, 가장 일반적인 진공증착법 이외에 이온플레이팅(ionplating)법, 스팟터링법, 이온 빔 데포지션(ionbeam depasition)법, 화학기상(化學氣相) 도금법(CVD법)등이 있다.

다음에 본 발명의 구체적인 실시예에 대하여 설명한다.

[실시예 1]

두께 40㎛의 폴리이미드 필림(듀폰사 제품, 제품명 KAPTON)로 된 베이스 필림(base film)위에, 코발트-크롬과 폴리메틸 메타크리레이트 복합막을 제1도에 도시한 진공증착장치를 사용하여 만들었다.

도면중에 1은, 풀어내는데 사용하는 로울(roll), 2는 감는데 사용하는 로울, 3은 캔(can), 4는 마스크, 5는 바스(bath), 6은 램프, 7은 베이스 필림, 8은 노즐(nozzle)이다.

로울 1에서 공급되는, 상기 베이스 필림 7은 소정의 온도로 유지된 캔 3에 의해 가열되고, 다음에 기술하는 것과 같이 하여 표면에 자성층을 형성한 후에 로울 2에 감겨진다.

바스 5에는 코발트-크롬 10이 수납되어 있고, 여기에서 전자빔(beam) 가열에 의해서, 코발트-크롬합금 증기를 발생시켜, 베이스 필림 7에 대한 증기류(蒸氣流)의 흐름방향이 조정되고 있다.

또, 코발트-크롬합금이 베이스 필림 7위로 석출하는 장소로 향해거, 메틸메탈 크리레이트의 깨스 11이 노즐 8로부터 뿜어내는 것과 동시에 자외선 램프 6에서 자외선(전자선)의 0.5watts/cm²의 강도로 조사되어서, 베이스 필림 7위에 있어서, 메틸메탈 크리레이트의 중합이 행하여진다.

이와 같이하여 형성된 코발트-크롬합금과 폴리메틸 메탈 크리레이트 복합막은 미시적(微視的)으로 보면, 코발트-크롬합금이 막면에 대해서 수직방향으로 침상(針狀)으로 성장하고, 또 이 코발트-크롬합금의 침상입자를 고분자화한 폴리메틸 메탈 크리레이트로 포위하여, 이 침상입자 사이에 충진(充縝)된 구조로 되어 있다.

그리고, 본 실시예에 있어서의 성막조건은, 캔 온도 80도C, 성막속도 2000Å/초, 막의 두께 0.7㎛였었다.

이 조건에서 자성층중의 유기 폴리머의 체적 점유율이 20체적%가 되도록 하고, 그리고 증착되는 코발트-크롬합금중의 크롬의 함유율을 6,10,19,25,28중량%로 변경해서 증착을 행하여, 3인치(inch) 디스크상의 수직 자기 기록 매체를 각각 제작하였다. 이들의 자기 디스크를 자기 디스크의 구동장치에 의해 기록밀도 10KBPI로 기록을 행하여, 재생출력이 초기출력의 80%로 낮아질때까지의 자기 헤드 통과 회수를 측정한 결과, 전부 300만회 이상의 자기 헤드 미끄러져 움직이는 회수를 나타내어, 양호한 내구성을 나타냈다. 또, 이들의 자기 디스크에 대하여, 수지방향의 보자력(保磁力) Hc⊥(에르스텔)와 포화자화(砲和磁化) Ms(가우스(Gauss)) 및 수직방향의 잔류자화 Mr⊥과 수평방향의 잔류자화 Mr//의 비(Mr⊥/Mr//)을 측정하였다. 제2도는 이들의 결과를 도시하며, 도면중 곡선 1은 Ms에 대해서이고, 곡선 2는 Hc⊥에 대해여, 곡선 3은 Mr⊥/Mr//에 대해서 도시한다. 이 도면에서, Cr 함유율이 5중량%을 초과하는데 따라, Hc⊥와 Mr⊥/Mr//의 수치가 증가하고, HC⊥는 10~20중량%에서 최대로 되며, 그후 차차 경감된다. Mr⊥/Mr//는 Cr 함유율이 증가함에 따라 점차 증가하고, 자성체 입자의 수직방향으로의 배향도(配向度)가 향상하지만, 25중량%를 초과하면 감소하는 경향에 있다. 한편, Ms는 Cr의 함유율이 증가하는데 따라 감소한다. 이들의 결과에서, Cr의 함유율을 10~25중량%의 범위로 선정하는 것이 바람직하다.

[실시예 2]

다음에 Cr의 함유율을 10중량%로 하고 ; 자성층중의 유기 폴리머의 체적 점유율이 0,5,23,55,63,70체적%로 되도록 하여, 다음의 실시예 1과 같이해서, 3인치 디스크 상의 수직 자기 기록 매체를 각각 작성한다. 그리고, 이것을 자기 디스크 구동장치에 의해 기록 밀도 10KBPI로 기록을 행하고, 재생출력이 초기출력의 80%로 저하될때까지의 자기 헤드 통과 회수를 측정하여, 그들의 결과를 제3도에 도시한다.

이 도면에서 명확한 바와 같이, 자성층 중에 있어서의 유기 폴리머의 체적 점유율이 5체적% 미만에서도, 또 체적 점유율이 55체적%을 초과하여도 자기 기록 매체의 자기 헤드의 미끄러져 움직이는 회수는 낮다. 이것에 비교하여, 자성층중의 유기 폴리머의 체적 점유율이 5~55체적%의 범위로 규제된것, 특히 유기 폴리머의 체적 점유율이 23~55체적%의 것은, 자기 헤드와의 미끄러져 움직이는데 있어서, 우수한 내구성을 갖고 있다.

다음의 표1은 자성층으로서, 코발트-크롬합금 단체막(單體膜)을 사용하여, 수직 자기 기록 매체를 작성한 것과, 상기 실시예 2에 의해서 얻어진 수직 자기 기록 매체(폴리메틸 메타크리레이트 55체적%)의 자기 특성 및 자기 헤드 미끄러져 움직이는 회수특성의 비교결과를 표시한 표이다.

[표 1]

이 표에서 명확한 바와 같이 , 본 발명에 관한 수직 자기 기록 매체는 수직방향 각형비(角形比)(Mr/Ms) 및 Mr⊥/Ms//가 개선되어 있으며, 동시에 자기 헤드에 대한 내구성이 비약적으로 향상되고 있다.

[실시예 3]

두께 12㎛의 폴리에틸렌 테레푸타레이트로 되는 베이스 필림 위에, 철-폴리에틸렌 복합막을 제4도에 도시한 진공증착장치를 사용하여 작성하였다. 도면중에 12는 바스 5에 수납한 철(鐵), 13은 포트(port) 9에 수납한 폴리에틸렌이다.

베이스 필림 7에 대한 철의 증착은, 바스 5에 들어간 철 12를 전자빔 가열하는 것에 의하여 행하고, 그때의 철증기류(鐵蒸氣流)의 입사각(入射角)이 20도, 나오는쪽의 각이 20도가 되도록 마스크 4의 위치가 설정되어 있다.

또, 이 철의 증착과 동시에, 폴리에틸렌 13을 넣은 포트 9에 전류를 흘려서 폴리에틸렌의 증착을 행하고, 베이스 필림 7위에 철-폴리에틸렌 복합막으로 되는 자성층이 연속하여 형성된다. 이 복합막을 미시적(微視的)으로 보면, 금속철이 막면에 대하여 수직방향으로 침상으로 발달되어 있고, 그 주위를 폴리에틸렌으로 포위하여, 그 침상입자의 사이에 충진된 구조로 되어 있다.

성막조건은, 상기 실시예 1과 마찬가지이다.

이 조건에서, 자성층중의 유기 폴리머의 체적 점유율이 0,5,23,55,60체적%로 되도록 각각 수직 자기 기록 매체를 만들어, 자성층의 내구성을 스틸시험에 의해서 평가하여 그 결과를 제5도에 도시한다.

이 도면에서 명확한 바와 같이, 자성층중의 유기 폴리머의 체적 점유율이 5체적% 미만이라도, 또 체적 점유율이 55체적%를 초과하여도, 자성층의 내구성은 나쁘다. 이것에 비교하여 자성층중의 유기 폴리머의 체적 점유율이 5~55체적%의 범위로 규제된것, 특히 유기 폴리머의 체적 점유율이 23~55체적%의 것은 자성층의 내구성이 매우 우수하다.

표 2는 자성층으로서, 철 단체막을 사용하여, 수직 자기 기록 매체를 만든것과, 상기 실시예 2에 의해서 얻어진 수직 자기 기록 매체(폴리에틸렌 체적 점유율 55체적%)의 자기특성 및 스틸 재생 수명특성의 비교결과를 나타낸 표이다.

[표 2]

이 표에서 명확해지는 바와 같이, 본 발명에 관한 수직 자기 기록 매체는 철단체(鐵單體)의 것과 비교하여, 수직방향 각형비(Mr/Ms)가 향상됨과 동시에, 스틸 재생 수명도 비약적으로 연장되고 있다.

[실시예 4]

실시예 3에 의해 제작된 폴리에틸렌 함유율 23체적%의 시료에 대하여, 약 0.1watts/cm²강도로 약 5분간 자외선을 조사하여, 자성층중의 폴리에틸렌의 가교반응을 행하게 하였던 그의 결과, 스틸 재생 수명이 미처리의 것 65분에 대하여, 100분으로 되어 내구성이 향상되는 것이 판명되었다.

상기 실시예에서는 자외선 램프를 조사하여 유기 모노머를 중합한 예를 나타내었지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고, 전리선(電離線)을 조사하여 유기 모노머를 중합할 수도 있다.

또, 상기 실시예에서는 기체(基體)위에 강자성체로 되는 자성층만을 형성한 예를 나타냈었으나, 기체와 이 자성층과의 사이에 퍼멀로이(permalloy)등의 연(軟) 자성체로 되는 밑바닥층(下地層)을 개재시킨 것이라도 유효하다.

[발명의 효과]

기록 재생 특성의 점에서 보면, 각각의 강자성체 침상입자가 유기 폴리머에 의해서, 고립화되어 있으므로, 침상입자의 자기적 상호작용이 약한 범위에서는, 유기 폴리머의 체적 점유율이 적어지면, 재생 출력과 고밀도 기록성능을 향상한다.

그러나, 유기 폴리머의 체적 점유율이 5체적% 미만으로 되면, 침상 입자사이의 간격이 너무 좁아져서, 자벽(磁壁)이 발생하여, 수직 자화 특성이 열화(劣化)에 의한 재생 출력과 고밀도 기록특성의 저하가 심하다.

본 발명에 관한 수직 자기 기록 매체는, 지지체(支持體)면에 대하여 수직방향으로 배향한 각각의 강자성체 침상입자를 유기 폴리머가 포위하여, 침상입자 사이에 그의 유기 폴리머가 충진된 구조로 되어 있다. 이로인해, 기록매체 표면을 자기 헤드가 미끄러져 움직일때에, 수직방향으로 배향한 강자성 침상결정 입자가 자성층의 기계적 강도를 유지하는데 도움이 된다. 한편, 유기 폴리머는, 자기 헤드와의 미끄러져 움직일때에 침상입자가 받는 응력(應力)을 완화하는데 도움이 된다. 이와 같은 이유에서, 자성층중에 있어서의 유기 폴리머의 체적 점유율을 약 5~55체적%의 범위로 규제된 것은, 상술한 바와 같은 침상입자와 유기폴리머의 협동작용이 유효하게 발휘되며, 이로 인해 상기 제3도 및 제5도의 결과에서 명확한 바와 같이 우수한 내구성이 얻어진다. 또한, 금속박막 단체로 되는 자성층을 사용한 자기 기록 매체에 비교해서, 자기 기록 매체의 휘어지는 성질이 증가하여, 자기 헤드와의 접촉상태도 양호하다.

또, 본 발명의 제작방법을 채용하는 것에 의해, 지지면에 대하여 수직방향으로 배향된 강자성체 침상입자와, 그것을 포위하여 침상입자 사이에 충진되는 유기 폴리머로 되는 자성층이 간단한 공정으로 제조할 수 있으며, 더욱이 설비도 간략하게 되어 코스트(cost)의 저감이 도모된다.

Claims

비자성체 기체위에 강자성체의 침상입자와, 그 강자성체 침상입자를 포위하는 것과 같이, 그 강자성체 침상입자 사이에 충진된 유기 폴리머를 가진 자성층을 형성한 수직 자기 기록 매체에 있어서, 상기 자성층중에 있어서의 유기 폴리머의 체적 점유율이 5~55체적%의 범위로 규제되고, 또한 상기 강자성체 침상입자가 막면에 대하여 수직방향으로 배향되어 있는 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 매체.
특허청구의 범위 제1항 기재에 있어서, 상기 강자성체가 코발트를 주성분으로 하여, 크롬 파라듐, 몰리브덴, 루테늄, 로듐, 탄탈륨, 텅스텐, 레늄, 오스뮴의 그룹에서 선택된 적어도 1종류의 금속을 포함한 코발트 합금인 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 매체.
특허청구의 범위 제2항 기재에 있어서, 상기 강자성체가 코발트를 주성분으로 하여, 크롬을 포함하는 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 매체.
특허청구의 범위 제3항 기재에 있어서, 크롬을 10~25중량%로 포함하는 것을 특징으로 하는 수직자기 기록 매체.
특허청구의 범위 제1항에 있어서, 유기 폴리머가 가교되어 있는 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 매체.
특허청구의 범위 제1항 기재에 있어서, 강기 강자성체가 철을 주성분으로 한 금속인 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 매체.
비자성 기체위에 강자성체의 침상입자와 그 강자성체 침상입자를 포위하는 것과 같이, 강자성체 침상입자 사이에 충진된 유기 폴리머를 가진 자성층을 형성한 수직 자기 기록 매체의 제조방법에 있어서, 강자성체와 유기 폴리머를 물리증착법에 의해 비자성체 위에 동시에 석출시켜서, 상기 자성층을 구성하는 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 매체의 제조 방법.
특허청구의 범위의 범위 제7항 기재에 있어서, 상기 자성층중의 유기 폴리머의 체적 점유율이 5~55체적%의 범위로 규제되어 있는 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 매체의 제조방법.
특허청구의 범위 제7항 기재에 있어서, 상기 강자성체가 코발트를 주성분으로 하고, 크롬, 파라듐, 몰리브덴, 루테늄, 로듐, 탄탈륨, 텅스텐, 레늄, 오스뮴의 그룹에서 선택된 적어도 1종류의 금속을 함유하는 코발트 합금 또는 철을 주성분으로 하는 금속인 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 매체의 제조방법.
비자성 기체위에 강자성체의 침상입자와 그 강자성체 침상입자를 포위하는 것과 같이, 강자성층 사이에 충진된 유기 폴리머를 가진 자성층을 형성한 수직 자기 기록 매체의 제조방법에 있어서, 상기 유기 폴리머를 형성하는 모노머 깨스를 상기 비자성체 기체위에 불어내면서, 상기 강자성체를 물리증착법에 의해 석출시켜, 전자선 또는 전리선을 조사하는 것에 의해 상기 모노머를 중합하여 유기 폴리머로 하여 상기 자성층을 구성하는 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 매체의 제조방법.
특허청구의 범위 제10항 기재에 있어서, 상기 자성층중의 유기 폴리머의 체적 점유율이 5~55체적%의 범위로 규제되어 있는 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 매체의 제조방법.
특허청구의 범위 제10항 기재에 있어서, 상기 강자성체가 코발트를 주성분으로 하고, 크롬, 파라듐, 몰리브덴, 루테늄, 로듐, 탄탈륨, 텅스텐, 레늄, 오스뮴의 그룹에서 선택된 적어도 1종류의 금속을 포함하는 합금인 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 매체의 제조방법.