KR950006473A - Ic핸들러에 있어서의 스페이싱 프레임 구조 - Google Patents
Ic핸들러에 있어서의 스페이싱 프레임 구조 Download PDFInfo
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Abstract
종래에 있어서의 IC의 품종 변화로 인한 스페이싱 프레임의 교환을 테스트 헤드마다 이동시킨 뒤에 실행하지 않으면 안되었다. 본 발명은 테스트 헤드를 이동시키지 않고 단시간에 스페이싱 프레임을 환관할 수 있는 구조를 실현하는 것을 목적으로 하고 있다.
본 발명의 스페이싱 프레임은 테스트 헤드에 장착된 퍼포먼스 보드에 따른 방향에서 IC 핸들러에 끼우고 빼는 구조로 구성된다. 테스트 헤드와의 접속은 클램프 캠을 사용하여 스페이싱 프레임을 테스트 헤드 방향으로 이동시킴으로써 실현하고 있다. 클램프 캠을 사용하여 스페이싱 프레임을 테스트 헤드에서 반대 방향으로 이동시킴으로써 테스트 헤드를 이동시키지 않고, 스페이싱 프레임을 교환할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명을 나타내는 사시도 및 측면도,
제2도는 본 발명의 상면도 및 측면도,
제3도는 종래의 구조를 나타내는 횡단면도.
Claims (3)
- IC 핸들러와 IC 테스터 와의 사이를 접속하는 스페이싱 프레임(1)에 있어서, 교환이 용이하게 설치된 스페이싱 프레임을 한쪽면에 피측정 디바이스를 삽입하는 IC 소켓(5)과; 반대면에 IC 테스터의 퍼포먼스 보드(16)와 전기 접속하는 접점과; IC 핸들러의 메인 베이스(8)의 절결부에 퍼포먼스 보드(16)와 평행으로 이동하는 슬라이드 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 스페이싱 프레임 기구.
- 제1항에 있어서, IC 핸들러에 설치된 클램프 캠(2)에 의하여 퍼포먼스 보드(16)와 수직 방향으로 고정되는 가이드 기구(3)를 설치함으로써, 용이하게 고정을 수행하는 것을 특징으로 하는 스페이싱 프레임 구조.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, IC 핸들러의 챔버(10)를 밀폐시키기 위해 챔버 뚜껑(6)을 설치함으로써, 스페이싱 프레임(1)의 챔버에 끼우고 빼기를 용이하게 수행하는 것을 특징으로 하는 스페이싱 프레임 구조.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP050780U JPH0716178U (ja) | 1993-08-25 | 1993-08-25 | Icハンドラにおけるスペーシングフレーム |
JP93-50780 | 1993-08-25 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR950006473A true KR950006473A (ko) | 1995-03-21 |
Family
ID=12868349
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019940020633A KR950006473A (ko) | 1993-08-25 | 1994-08-22 | Ic핸들러에 있어서의 스페이싱 프레임 구조 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5528160A (ko) |
JP (1) | JPH0716178U (ko) |
KR (1) | KR950006473A (ko) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR100352712B1 (ko) * | 2000-11-14 | 2002-09-16 | 미래산업 주식회사 | 핸들러용 이송장치의 밀봉구조체 |
KR100855203B1 (ko) * | 2007-01-23 | 2008-09-01 | 미래산업 주식회사 | 테스트 트레이 및 그를 이용한 테스트 핸들러 장비 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE19631340C2 (de) * | 1995-08-04 | 2000-11-30 | Advantest Corp | Anordnung zum Testen von ICs |
WO1998017086A1 (en) * | 1996-10-15 | 1998-04-23 | Reliability Incorporated | Method and apparatus for seating printed circuit boards with electrical sockets in a chamber |
MY138949A (en) * | 2004-12-24 | 2009-08-28 | Pentamaster Instrumentation Sdn Bhd | Apparatus/test handler for testing un-moulded ic devices using air flow system and the method of testing the same |
US10241146B2 (en) * | 2017-05-01 | 2019-03-26 | Advantest Corporation | Test system and method |
-
1993
- 1993-08-25 JP JP050780U patent/JPH0716178U/ja not_active Withdrawn
-
1994
- 1994-08-22 KR KR1019940020633A patent/KR950006473A/ko not_active Application Discontinuation
- 1994-08-25 US US08/296,227 patent/US5528160A/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0716178U (ja) | 1995-03-17 |
US5528160A (en) | 1996-06-18 |
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