KR100865890B1 - 테스트 보조체 - Google Patents

테스트 보조체 Download PDF

Info

Publication number
KR100865890B1
KR100865890B1 KR1020070028714A KR20070028714A KR100865890B1 KR 100865890 B1 KR100865890 B1 KR 100865890B1 KR 1020070028714 A KR1020070028714 A KR 1020070028714A KR 20070028714 A KR20070028714 A KR 20070028714A KR 100865890 B1 KR100865890 B1 KR 100865890B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
test
pressing
hole
members
sliding
Prior art date
Application number
KR1020070028714A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20080086702A (ko
Inventor
송연범
Original Assignee
세크론 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세크론 주식회사 filed Critical 세크론 주식회사
Priority to KR1020070028714A priority Critical patent/KR100865890B1/ko
Publication of KR20080086702A publication Critical patent/KR20080086702A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100865890B1 publication Critical patent/KR100865890B1/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2601Apparatus or methods therefor
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/04Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6835Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/30Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 테스트용 보드에 형성된 복수개의 인터페이스 영역의 양부를 체크하기 위해 이용되는 테스트 보조체에 관한 것으로, 중심부에 관통홀이 형성되고 하면에는 한 쌍의 반도체소자가 각각 안착되는 장착홈이 형성된 몸체, 및 상기 관통홀 내에 위치하며 중심부에서 각각 양측 방향으로 가해지는 탄성력을 통해 한 쌍의 상기 반도체소자를 각각 가압하여 고정하는 제1ㆍ제2가압부를 포함하는 것이 특징이다.
본 발명의 테스트 보조체를 이용하면, 제1ㆍ제2가압부의 원터치 조작으로 반도체소자를 테스트 보조체에 신속하고 정확하게 고정시킬 수 있다. 즉, 종래와 같이 다수개의 체결볼트를 구비하지 않아도 되며, 이 체결볼트를 분해한 후 결합하지 않아도 되는 것이다.
반도체, 패키지, 장착, 디버그 툴, 테스트, 핸들러, 하이픽스보드

Description

테스트 보조체{Test assistor for test tray}
도 1은 종래의 테스트 보조체를 이용하여 그 양부가 체크되는 테스트용 보드의 사시도,
도 2는 종래의 테스트 보조체의 분리사시도,
도 3은 본 발명의 테스트 보조체의 제1실시예에 따른 결합 사시도,
도 4는 본 발명의 테스트 보조체의 제1실시예에 따른 분리 사시도,
도 5는 본 발명의 테스트 보조체의 제1실시예에 따른 평면도,
도 6은 본 발명의 테스트 보조체의 도 5에 도시된 A-A부의 단면도,
도 7은 본 발명의 테스트 보조체의 도 5에 도시된 B-B부의 단면도,
도 8a 내지 도 8c는 본 발명의 테스트 보조체의 제1실시예에 따른 사용상태를 순차적으로 도시한 단면도,
도 9는 본 발명의 테스트 보조체의 제1실시예에 반도체소자가 장착된 상태의 저면 사시도,
도 10은 본 발명의 테스트 보조체의 제2실시예에 따른 결합 사시도,
도 11은 본 발명의 테스ㅌ 보조체의 제2실시예에 따른 평면도,
도 12는 본 발명의 테스트 보조체의 제2실시예의 도 11에 도시된 C-C부의 단면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 테스트 보조체 110 : 몸체
111 : 관통홀 112 : 장착홈
113 : 체결홀 114 : 홈
115 : 위치고정홈 120 : 고정부재
121 : 머리부 122 : 삽입부
130a : 제1가압부 130b : 제2가압부
131a : 제1가압부재 131b : 제2가압부재
132a : 제1슬라이딩부재 132a-1,132a-2,132b-1,132b-2 : 가이드홀
132b : 제2슬라이딩부재 133a : 제1조작부재
133b : 제2조작부재 134a,134b : 가이드바
135a,135b : 스프링 140 : 이탈방지부재
141 : 위치고정홀 142 : 볼트취부홀
PKG : 반도체소자
본 발명은 테스트용 보드에 형성된 복수개의 인터페이스 영역의 양부를 체크하는 테스트 보조체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 테스트용 보드에 복수개로 구비되어 있는 인터페이스 영역에서 반도체소자가 정상적으로 테스트 되는데 이용될 수 있는지 여부를 테스트하는 데 이용되는 테스트 보조체에 관한 것이다.
일반적으로, 메모리 또는 비메모리 반도체소자 등의 반도체소자 및 이들을 적절히 하나의 기판상에 회로적으로 구성한 모듈 아이씨(Module IC)들은, 생산 후 여러 가지 테스트과정을 거친 후 최종 제품이 완성된다. 그리고, 상기와 같은 반도체 소자 및 모듈램 등을 테스트하는데 사용되는 장치가 핸들러(Handler)이다.
상기 핸들러에는 첨부된 도 1에서 보는 바와같이, "하이픽스보드(Hi-Fix-Board)"라고 불리는 테스트용 보드(1)가 구비된다. 상기 테스트용 보드(1)는 테스트 헤드와 접촉하여 전압(전류) 및 펄스를 받아 상기 핸들러에 의해 공급되는 피시험장치(DUT : Device Under Test) 즉 반도체소자에 인터페이스 시키는 기능을 담당한다.
이때, 상기 테스트용 보드(1)의 각 인터페이스 영역이 정상 작동되는지 여부를 파악하기 위해 사용되는 것이 테스트 보조체(일명 "디버그 툴" : Debug Tool)이다.
종래의 테스트 보조체(10)는 첨부된 도 2에서 보는 바와 같이, 몸체(20)와 패키지커버(30)로 크게 구성된다.
상기 몸체(20)는 평판의 플레이트 형상으로 구비되고, 그 양측에는 각각 체결홀(21)이 구비된다. 그리고, 상기 패키지커버(30)는 상기 몸체(20)의 저면에 결합될 수 있도록 그 중심부에 고정홀(31)이 형성된다. 따라서, 테스트에 이용되는 반도체소자(PKG)는 상기 몸체(20)와 상기 패키지커버(30) 사이에 위치된 상태에서 상기 패키지커버(PKG)를 상기 몸체(20)에 고정시키게 된다.
이때, 상기 패키지커버(30)는 고정홀(31)에 볼트(B1)를 삽입하여 상기 몸 체(20)에 고정시키고, 상기 패키지커버(30)가 상기 몸체(20)의 저면에 고정되면 상기 몸체(20)의 측면에 형성된 체결홀(21)을 볼트(B2)를 삽입하여 상기 패키지커버(30)의 측면을 상기 몸체(20)에 고정하게 되는 것이다.
상기 반도체소자(PKG)가 상기 몸체(20)에 고정되면 테스트용 보드에 구비된 수 십개의 인터페이스 영역에 고정시키게 되고, 이후 상기 테스트용 보드의 각 인터페이스 영역마다 전기적 신호 연결상태를 점검하는데 이용 되는 것이다.
그러나, 상기한 테스트 보조체(10)의 방법을 처음부터 설명하면, 이미 체결되어 있는 상태에서 각각의 볼트(B1,B2)를 분해하여 상기 몸체(20)와 상기 패키지커버(30)를 분리하게 된다. 이후, 상기 패키지커버(30)의 상면에 반도체ㅅ소자(PKG)를 위치시키고, 상기 볼트(B1,B2)들을 순차적으로 체결하여 상기 패키지커버(30)를 상기 몸체(20)에 고정시키게 된다.
이러한 구조는 상기 볼트(B1,B2)를 조립하는 별도의 공구가 필요하고, 분해 후 재차 조립하여 사용하는 구조로 인해 작업자에게 피로감을 주고 있었다.
뿐만 아니라, 최근에는 디바이스 멀티화에 의한 볼의 개수가 증가하여 이 커버와의 거리가 근접하게 위치되는데, 이때 상기 볼트(B1,B2)의 체결에 의한 커버를 사용함으로써, 반도체소자(PKG)의 단락 및 이 반도체소자(PKG)가 패키지커버(30)에서 이탈되는 문제점이 있었다.
또한, 숙련된 작업자가 아닐 경우, 상기 볼트(B1)의 조임으로 인해 패키지커버(30)가 휘어지게 되어 상기 반도체소자(PKG)가 파열되는 문제점이 발생되고 있었다.
상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 반도체소자를 고정하는 패키지커버가 없이도 반도체소자를 이용하여 테스트용 보드의 신호 연결상태를 점검할 수 있는 테스트 보조체를 제공하는 데 있다.
또한, 하나의 반도체소자, 또는 두 개의 반도체소자를 장착하여 테스트용 보드의 신호 연결상태를 점검할 수 있는 테스트 보조체를 제공하는 데 있다.
뿐만 아니라, 반도체소자의 장착 및 고정을 슬라이딩 방식으로 구현하여 한번의 조작으로 상기 반도체소자를 장착시킬 수 있는 테스트 보조체를 제공하는 데 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 테스트 보조체는, 중심부에 관통홀이 형성되고, 하면에는 한 쌍의 반도체소자가 각각 안착되는 장착홈이 형성된 몸체; 및 상기 관통홀 내에 위치하며, 중심부에서 각각 양측 방향으로 가해지는 탄성력을 통해 한 쌍의 상기 반도체패키지를 각각 가압하여 고정하는 제1ㆍ제2가압부;를 포함하는 것이 특징이다.
본 발명의 테스트 보조체에 있어서, 상기 제1ㆍ제2가압부는, 상기 관통홀 내에 위치되어 한 쌍의 상기 반도체소자의 일측이 밀착되는 제1ㆍ제2가압부재; 상기 제1ㆍ제2가압부재와 횡 방향으로 각각 결합되고, 상기 몸체 내부에서 양측 방향으로 각각 슬라이딩 왕복 운동되는 제1ㆍ제2슬라이딩부재; 상기 제1ㆍ제2슬라이딩부재, 또는 상기 제1ㆍ제2가압부재와 각각 결합되어 상측으로 돌출 형성된 제1ㆍ제2 조작부재;가 포함된다.
본 발명의 테스트 보조체에 있어서, 상기 제1ㆍ제2가압부는, 일단은 상기 제1슬라이딩부재에 지지되고, 타단은 상기 제2슬라이딩부재에 지지되는 스프링;이 더 포함된다.
본 발명의 테스트 보조체에 있어서, 상기 몸체는, 상기 관통홀의 상부와 연통되고, 상기 제1ㆍ제2슬라이딩부재의 슬라이딩 왕복 운동을 안내하는 홈;이 더 구비된다.
본 발명의 테스트 보조체에 있어서, 상기 몸체는, 상기 홈의 양측에 마주보는 형태로 배치된 위치고정홈; 상기 위치고정홈과 동일한 수평방향으로 상기 제1ㆍ제2슬라이딩부재에 형성된 가이드홀; 및 상기 가이드홀 내에 삽입된 상태로 상기 위치고정홈에 고정되어 상기 제1ㆍ제2슬라이딩부재의 횡 방향 운동을 안내하는 가이드바;이 더 포함된다.
본 발명의 테스트 보조체에 있어서, 상기 몸체는, 상기 홈에 형성된 안착턱; 상기 안착턱에 결합되고 상기 제1ㆍ제2슬라이딩부재의 이탈을 방지하는 이탈방지부재;가 더 포함된다.
본 발명의 테스트 보조체에 있어서, 상기 이탈방지부재는, 중심부에 형성되어 상기 제1ㆍ제2슬라이딩부재에 형성된 조작부재가 위치되는 위치고정홀;이 더 포함된다.
본 발명의 테스트 보조체에 있어서, 상기 스프링은, 상기 제1가압부와 상기 제2가압부 사이에 위치된 상기 가이드바의 외주면에 위치된다.
한편, 본 발명의 테스트 보조체는 중심부에 관통홀이 형성되고, 하면에는 반도체소자가 안착되는 장착홈이 형성된 몸체; 및 상기 관통홀 내에 위치하며, 횡 방향으로 발생되는 탄성력을 통해 상기 반도체소자의 일측을 가압하여 상기 장착홈 내에 상기 반도체소자를 고정시키는 가압수단;을 포함하는 것이 특징이다.
본 발명의 테스트 보조체에 있어서, 상기 가압수단은, 상기 관통홀 내에 수직으로 설치되어 횡 방향으로 슬라이딩 되는 가압부재; 및 일단은 상기 가압부재에 지지되고, 타단은 상기 관통홀 또는 상기 몸체에 지지되는 스프링;을 포함하되, 상기 장착홈으로 인해 형성된 걸림턱에 상기 반도체소자의 일측이 지지되고, 상기 가압부재가 상기 스프링의 탄성력에 의해 상기 반도체소자의 타측을 가압하는 것이 특징이다.
본 발명의 테스트 보조체에 있어서, 상기 가압수단은, 상기 관통홀과 연통되어 상기 몸체 내부로 형성된 위치고정홈; 및 상기 위치고정홈을 따라 횡 방향으로 슬라이딩되고, 상기 스프링 내부에 위치된 상태로 상기 가압부재에 결합되는 가이드바;가 더 포함된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 테스트 보조체의 구성 및 작용효과를 설명하도록 한다.
먼저, 이하에서 설명되는 상기 테스트 보조체(100)는 두 개의 반도체소자를 고정할 수 있는 듀얼타입의 제1실시예와, 하나의 반도체소자를 고정할 수 있는 싱글타입의 제2실시예를 갖는다.
상기 테스트 보조체(100)의 제1실시예는 도시된 도 3내지 도 7에서 보는 바와 같이, 몸체(110)와 제1ㆍ제2가압부(130a,130b)로 크게 구성된다.
상기 몸체(110)는 두께를 갖는 평판의 플레이트로 구비되고, 평면에서 봤을 때 사각의 형상을 갖는다. 또한, 상기 몸체(110)에는 그 중심부에 사각형상의 관통홀(111)이 형성되고, 하면에는 장착홈(112)이 형성된다. 상기 관통홀(111)은 후술되는 제1ㆍ제2가압부(130a,130b)의 일부분이 위치되고, 상기 장착홈(112)에는 반도체소자의 상면이 밀착된 상태로 고정되는 것이다.
또한, 상기 몸체(110)의 상면에는 그 모서리부에 각각 관통되어진 체결홀(113)이 형성된다. 그리고, 상기 체결홀(113)에는 고정부재(120)가 위치되어 테스트용 보드에 상기 몸체(110)를 고정시키게 된다. 이 고정부재(120)는 머리부(121)와 삽입부(122)로 크게 구성되는데, 상기 머리부(121)는 그 외주면에 다수개의 골과 산이 형성되어 작업자의 회전 조작을 용이하게 할 수 있다. 그리고, 상기 삽입부(122)는 상기 체결홀(113)에 관통되고, 그 하단에는 나사산이 형성된다. 따라서, 상기 나사산을 이용하여 상기 테스트용 보드에 고정시키게 되는 것이다.
상기 몸체(110)의 상면에는 상기 관통홀(111)과 연통되는 홈(114)이 형성된다. 상기 홈(114)은 상기 관통홀(111)보다 더 큰 영역을 갖도록 구비된다. 그리고, 상기 홈(114)의 내측벽에는 적어도 하나 이상의 위치고정홈(115)이 형성된다. 이 위치고정홈(115)은 상기 홈(114)의 내측벽에 서로 마주보는 형태로 위치된다.
한편, 상기 제1ㆍ제2가압부(130a,130b)는 제1ㆍ제2가압부재(131a,131b), 제1ㆍ제2슬라이딩부재(132a,132b), 제1ㆍ제2조작부재(133a,133b)로 크게 구성된다.
상기 제1ㆍ제2가압부재(131a,131b)는 각각 상기 관통홀(111) 내에 위치되고, 그 하단은 상기 몸체(110)의 하면에 형성된 장착홈(112) 내에 위치된다. 그리고, 상기 제1ㆍ제2슬라이딩부재(132a,132b)는 상기 제1ㆍ제2가압부재(131a,131b)의 상단과 횡 방향으로 연결된다. 이 제1ㆍ제2슬라이딩부재(132a,132b)는 그 하면이 상기 홈(114)에 밀착된 상태로 구비된다. 또한, 상기 제1ㆍ제2조작부재(133a,133b)는 상기 제1ㆍ제2가압부재(131a,131b)의 상단과 결합되거나, 상기 제1ㆍ제2슬라이딩부재(132a,132b)와 결합된다. 여기서, 상기 제1가압부(130a)는 측면에서 봤을 때, "┤"과 같은 형상을 가지며, 상기 제2가압부(130b)는 "├"과 같은 형상으로 구비되는 것이다.
또한, 상기 제1ㆍ제2슬라이딩부재(132a,132b)에는 그 양측에 각각 가이드홀(132a-1,132a-2,132b-1,132b-2)이 형성된다. 상기 가이드홀(132a-1,132a-2,132b-1,132b-2)은 두 개의 상기 제1ㆍ제2슬라이딩부재(132a,132b)의 동일한 위치에 횡 방향으로 형성된다. 또한, 상기 가이드홀(132a-1,132a-2,132b-1,132b-2)은 상기 몸체(110)의 내측벽에 형성된 위치고정홈(115)과 동일한 직경 및 높이를 갖도록 구비된다. 그리고, 상기 위치고정홈(115)과 상기 가이드홀(132a-1,132a-2,132b-1,132b-2)에는 가이드바(134a,134b)가 연결되는 것이다.
상기 가이드바(134a,134b)는 상기 제1ㆍ제2가압부(130a,130b)에 구비된 상기 제1ㆍ제2슬라이딩부재(132a,132b)의 슬라이딩 운동을 안내하는 역할을 한다. 즉, 상기 제1ㆍ제2슬라이딩부재(132a,132b)에 형성된 가이드홀(132a-1,132a-2,132b-1,132b-2)에 삽입되고, 상기 가이드바(134a,134b)의 양단은 상기 위치고정홈(115) 에 각각 고정되는 것이다.
뿐만 아니라, 상기 가이드바(134a,134b)에는 스프링(135a,135b)이 구비되는데, 상기 스프링(135a,135b)은 상기 제1ㆍ제2가압부(130a,130b) 사이에 위치된다. 상기 스프링(135a,135b)은 가장 바람직하게는 상기 가이드바(134a,134b)의 외주면에 위치되고, 그 일단은 상기 제1슬라이딩부재(132a)에 지지되고, 타단은 상기 제2슬라이딩부재(132b)에 지지되는 것이다.
따라서, 상기 제1ㆍ제2가압부(130a,130b)는 상기 스프링(135a,135b)에 의해서 상기 몸체(110)의 중심부에서 양측 방향으로 탄성력이 발생되는 것이다. 그러므로, 상기 제1ㆍ제2가압부(130a,130b)는 항상 양측 방향으로 벌어지는 힘이 작용하게 된다.
한편, 본 발명의 테스트 보조체(100)에는 이탈방지부재(140)가 더 구비된다. 상기 이탈방지부재(140)는 전술되어진 몸체(110)의 상면에 형성된 홈(114)에 위치되고, 상기 제1ㆍ제2가압부(130a,130b)가 분리되거나 슬라이딩의 최소 및 최대영역을 설정하게 된다.
상기 이탈방지부재(140)는 그 중심부에 두 개의 위치고정홀(141)이 형성되는데, 상기 위치고정홀(141)은 상기 제1ㆍ제2가압부(130a,130b)에 형성된 제1ㆍ제2조작부재(133a,133b)가 각각 위치되는 것이다. 그리고, 상기 이탈방지부재(140)의 모서리부에 각각 볼트취부홀(142)이 형성되어 접시머리볼트가 상기 볼트취부홀(142)에 삽입되어 상기 몸체(110)에 결합되는 것이다.
한편, 하나의 반도체소자를 고정할 수 있는 싱글타입의 제2실시예에서는 하나의 몸체에 하나의 가압수단(가압부재)이 구비된다.
먼저, 전술되어진 제1실시예의 몸체(110)에 구비된 관통홀(111)과 장착홈(112), 체결홀(113), 홈(114), 그리고 위치고정홈(115)의 구성은 모두 동일하다. 뿐만 아니라, 이 몸체(110)에 설치되어 반도체소자를 실질적으로 고정하게 되는 제1ㆍ제2가압부재(130a,130b)의 구성과 이탈방지부재(140)의 구성은 모두 제1실시예와 동일하다.
그러나, 하나의 가압부재로 하나의 반도체소자를 고정하는 것이 상기 제1실시예의 구성과 상이한 것이다. 따라서, 상기 테스트 보조체의 제2실시예에 대한 구성의 자세한 설명 및 도면의 부호 병기는 생략하기로 한다.
이하에서는 상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 테스트 보조체의 사용상태를 설명하도록 한다.
먼저, 상기 테스트 보조체(100)의 듀얼타입 또는 싱글타입은 테스트용 보드의 형상에 따라 작업자가 선택적으로 채용하게 된다. 그러나, 이하의 사용상태 설명은 듀얼타입의 제1실시예의 도면을 참조하여 설명하도록 한다.
상기 테스트 보조체(100)는 제1ㆍ제2가압부(130a,130b)의 초기 상태를 그 중심부가 이격된 상태로 위치된다. 이는 상기 제1ㆍ제2가압부(130a,130b) 사이에 스프링이 위치되기 때문에 상기 스프링(135a,135b)의 탄성력에 의해서 상기 제1ㆍ제2가압부(130a,130b)가 양측 방향으로 벌어진 상태로 구비되는 것이다.
이러한 상태에서 작업자는 도시된 도 8a에서 보는 바와 같이, 제1ㆍ제2가압부(130a,130b)에 구비된 제1ㆍ제2조작부재(133a,133b)를 몸체(110)의 중심부로 이동시킨다. 이때 공구를 이용할 수도 있으나, 엄지와 검지 손가락을 이용하여 상기 제1ㆍ제2조작부재(133a,133b)를 잡은 상태로 힘을 가하게 된다.
여기서, 상기 제1ㆍ제2조작부재(133a,133b)는 상기 제1ㆍ제2가압부(130a,130b)에 구비된 제1ㆍ제2슬라이딩부재(132a132b)가 가이드바(134a,134b)에 슬라이딩 안내되면서 위치이동되는 것이다. 상기 제1ㆍ제2가압부(130a,130b)가 중심부로 위치되면 상기 테스트 보조체(100)의 저면이 상부로 보이게 상하 반전시킨다.
상기 테스트 보조체(100)의 상하 반전을 먼저 시행한 후 상기 제1ㆍ제2가압부(130a,130b)를 구동시킬 수도 있으며, 상하 반전을 시행하면서 동시에 제1ㆍ제2가압부(130a,130b)를 구동시킬 수도 있다.
이후, 도시된 도 8b에서 보는 바와 같이, 몸체(110)에 형성된 장착홈(112)에 한 쌍의 반도체소자(PKG)를 안착시킨다. 이때, 상기 반도체소자(PKG)는 그 외측면이 각각 상기 장착홈(112)에 형성된 턱에 밀착된다.
그리고, 도시된 도 8c에서 보는 바와 같이, 작업자가 상기 제1ㆍ제2가압부(130a,130b)에 구비된 제1ㆍ제2조작부재(133a,133b)를 놓게 되면 상기 반도체소자(PKG)가 서로 인접된 있는 내측면이 상기 제1ㆍ제2가압부재(133a,133b)가 각각 상기 반도체소자(PKG)를 가압하게 되는 것이다.
이후, 도시된 도 9에서 보는 바와 같이, 상기 테스트 보조체(100)에 반도체소자(PKG)가 장착된 상태에서 상기 테스트 보조체(100)에 형성된 고정부재(120)를 테스트용 보드의 인터페이스 영역에 고정시키게 되는 것이다. 그리고, 전기적 신호를 인가하여 상기 테스트용 보드의 인터페이스 영역의 상태를 체크하게 된다.
어느 하나의 인터페이스 영역의 검사가 완료되면 고정부재(120)를 해제한 후 상기 테스트용 보드의 다른 인터페이스 영역을 체크하게 되는 것이다. 즉, 테스트용 보드의 모든 인터페이스 영역 체크가 완료된 테스트용 보드는 테스트 핸들러에 공급되어 반도체소자를 테스트 하는데 이용되는 것이다.
따라서, 상기한 본 발명의 테스트 보조체는 반도체소자(PKG)를 이 테스트 보조체(100)에 고정시키는 작업이 매우 신속하고 편리하게 구현되는 것이다.
이상과 같이 이루어진 본 발명의 테스트 보조체는 제1ㆍ제2가압부를 한 번에 조작으로 반도체소자를 테스트 보조체에 고정시킬 수 있다.
즉, 종래와 같이 다수개의 체결볼트를 구비하지 않아도 되며, 이 체결볼트를 분해한 후 결합하지 않아도 되는 것이다.
뿐만 아니라, 종래와 같이 반도체소자를 이 테스트 보조체에 고정시키기 위해 별도의 패키지커버가 구비되지 않아도 된다.
상기 패키지커버가 구비되지 않아도 되기 때문에 상기 체결볼트의 가압력으로 인해서 상기 패키지커버 및 반도체소자가 휘어지는 것을 방지할 수 있다.
또한, 다수의 체결볼트를 이용하지 않고 원터치 방식으로 구현되기 때문에, 상기 체결볼트의 체결시 반도체소자가 단락되는 우려가 없다.
그리고, 한 번의 조작으로 인해서 작업자가 매우 신속하게 반도체소자를 테스트 보조체에 고정시킬 수 있다.
또한, 제1ㆍ제2가압부재는 반도체소자의 측면을 가압하여 테스트 보조체에 고정시키기 때문에, 상기 반도체소자의 볼이 제1ㆍ제2가압부재와 접촉되지 않아 쇼트가 발생되지 않는다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.

Claims (11)

  1. 테스트용 보드에 형성된 복수개의 인터페이스 영역의 양부를 체크하기 위해 이용되는 테스트 보조체에 있어서,
    중심부에 형성된 관통홀,
    하면에 한 쌍의 반도체소자가 각각 안착되는 장착홈,
    상기 관통홀의 상부와 연통되도록 형성되며, 안착턱이 구비된 홈,
    상기 안착턱에 결합되도록 구비된 이탈방지부재,
    를 포함하는 몸체; 및
    상기 관통홀 내에 위치하며, 중심부에서 각각 양측 방향으로 가해지는 탄성력을 통해 한 쌍의 상기 반도체소자를 각각 가압하여 고정하기 위해,
    상기 관통홀 내에 위치되어 한 쌍의 상기 반도체소자의 일측에 각각 밀착되는 제1ㆍ제2가압부재,
    상기 제1ㆍ제2가압부재와 횡 방향으로 각각 결합되고, 상기 몸체 내부에서 양측 방향으로 상기 홈에 안내되며, 상기 이탈방지부재에 의해 이탈이 방지되면서, 각각 슬라이딩 왕복 운동되는 제1ㆍ제2슬라이딩부재, 및
    상기 제1ㆍ제2슬라이딩부재, 또는 상기 제1ㆍ제2가압부재와 각각 결합되어 상측으로 돌출 형성된 제1ㆍ제2조작부재,
    를 포함하는 제1ㆍ제2가압부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 보조체.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1ㆍ제2가압부는,
    일단은 상기 제1슬라이딩부재에 지지되고, 타단은 상기 제2슬라이딩부재에 지지되는 스프링;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 테스트 보조체.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 몸체는,
    상기 홈의 양측에 마주보는 형태로 배치된 위치고정홈;
    상기 위치고정홈과 동일한 수평방향으로 상기 제1ㆍ제2슬라이딩부재에 형성된 가이드홀; 및
    상기 가이드홀 내에 삽입된 상태로 상기 위치고정홈에 고정되어 상기 제1ㆍ제2슬라이딩부재의 횡 방향 운동을 안내하는 가이드바;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 테스트 보조체.
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 이탈방지부재는,
    중심부에 형성되어 상기 제1ㆍ제2슬라이딩부재에 형성된 조작부재가 위치되는 위치고정홀;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 테스트 보조체.
  8. 제 3항에 있어서,
    상기 스프링은,
    상기 제1가압부와 상기 제2가압부 사이에 위치된 상기 가이드바의 외주면에 위치되는 것을 특징으로 상기 테스트 보조체.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 삭제
KR1020070028714A 2007-03-23 2007-03-23 테스트 보조체 KR100865890B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070028714A KR100865890B1 (ko) 2007-03-23 2007-03-23 테스트 보조체

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070028714A KR100865890B1 (ko) 2007-03-23 2007-03-23 테스트 보조체

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080086702A KR20080086702A (ko) 2008-09-26
KR100865890B1 true KR100865890B1 (ko) 2008-10-29

Family

ID=40025865

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070028714A KR100865890B1 (ko) 2007-03-23 2007-03-23 테스트 보조체

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100865890B1 (ko)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101218348B1 (ko) * 2011-06-01 2013-01-03 유니셉 주식회사 반도체 패키지용 인서트
KR101882706B1 (ko) 2011-11-21 2018-07-30 삼성전자주식회사 반도체 패키지용 인서트 및 이를 포함하는 테스트 장치
KR101397269B1 (ko) * 2013-03-04 2014-05-21 세메스 주식회사 반도체 소자 홀더 유닛 및 이를 포함하는 테스트 장치

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02107978A (ja) * 1988-10-17 1990-04-19 Fujitsu Ltd 試験機の部品セット装置
JPH02193061A (ja) * 1989-01-20 1990-07-30 Canon Inc 被検体固定機構
JPH0933612A (ja) * 1995-07-18 1997-02-07 Oki Electric Ind Co Ltd 半導体素子基板の検査用端子装置
KR19990002086U (ko) * 1997-06-25 1999-01-15 문정환 비지에이 패키지 검사용 소켓
KR20040076391A (ko) * 2003-02-25 2004-09-01 삼성전자주식회사 칩 스케일 패키지(csp)용 인서트

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02107978A (ja) * 1988-10-17 1990-04-19 Fujitsu Ltd 試験機の部品セット装置
JPH02193061A (ja) * 1989-01-20 1990-07-30 Canon Inc 被検体固定機構
JPH0933612A (ja) * 1995-07-18 1997-02-07 Oki Electric Ind Co Ltd 半導体素子基板の検査用端子装置
KR19990002086U (ko) * 1997-06-25 1999-01-15 문정환 비지에이 패키지 검사용 소켓
KR20040076391A (ko) * 2003-02-25 2004-09-01 삼성전자주식회사 칩 스케일 패키지(csp)용 인서트

Also Published As

Publication number Publication date
KR20080086702A (ko) 2008-09-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101259264B1 (ko) 가압 레버유닛을 갖는 반도체 소자 검사소켓
US10393771B2 (en) Exchangeable contact unit and inspection jig
KR20210028231A (ko) 고주파 어플리케이션을 위한 프로브 카드
KR100865890B1 (ko) 테스트 보조체
KR20130062060A (ko) 볼 그리드 어레이 패키지용 테스트 소켓
US9653230B1 (en) Push plate, mounting assembly, circuit board, and method of assembling thereof for ball grid array packages
KR101299715B1 (ko) 양방향 좌굴핀을 이용한 검사용 소켓
KR20080006683U (ko) 테스트보조체
KR101506623B1 (ko) 프로브 카드
US6793512B2 (en) Socket for semiconductor device
KR20090019384A (ko) 반도체 웨이퍼 검사용 프로브카드
KR20080006681U (ko) 테스트보조체
US20230038252A1 (en) Socket
KR100917000B1 (ko) 테스트 보조체
KR101332656B1 (ko) 반도체 모듈 테스트용 반도체칩 접속 디바이스
KR200479310Y1 (ko) 커스터머 트레이 이송암
KR20080006680U (ko) 테스트보조체
KR20100121261A (ko) 전기 커넥터
KR101299722B1 (ko) 좌굴핀을 이용한 검사용 소켓
KR950006473A (ko) Ic핸들러에 있어서의 스페이싱 프레임 구조
TW200809204A (en) Improved probe card for flip chip testing
US10197624B2 (en) Compact package assembly and methods for the same
KR20190135153A (ko) 소켓 보드 조립체
KR102647632B1 (ko) 반도체 소자 테스트용 소켓장치
JP7464848B2 (ja) プローブカード及びその設置方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120928

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130930

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141006

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150922

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180928

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190925

Year of fee payment: 12