JPH02193061A - 被検体固定機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、パッケージに封じ込まれた例えばＩＣ被検体
に向けて発信した超音波の反射波を基に、非破壊検査を
行う超音波検査装置において、被検体の載置位置決定と
試料台への固定を行う被検体固定機構に関するものであ
る。

［従来の技術］ パフケージ工程により封じ込まれたＩＣ被検体に対して
非破壊検査を行う超音波検査装置においては、確実な検
査を簡単に行うために、ＩＣ被検体を破損、変形させる
ことなく、着脱容易にかつ確実に所定の位置に取り付け
ることが不可欠である。

従来の超音波検査装置におけるＩＣ被検体の固定方法と
しては、ＩＣ被検体の裏面を両面粘着テープで試料台に
貼着する方法とか、第４図、第５図に示すように、超音
波照射用の開口を設けた押さえ部材１を試料台２にビス
３で固定し、ＩＣ被検体Ｓのモールド部Ｓｔを押さえ部
材ｌにより挟持する方法が採用されている。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、これらの従来方法において、貼着テープ
により固定する方法は検査が一般的に水浸法で行われ、
試料台が水中に浸されることを考慮すると、接着力が弱
かったり、水により接着力が弱体化する粘着テープの使
用は不適当である。

七の一方で接着力が逆に強過ぎると、ＩＣ被検体を試料
台から取り外す作業が困難となり、ＩＣ被検体の破損、
変形を生ずる虞れがある。また、この方法ではＩＣ被検
体の固定のための確実な位置ガイドとなるものがないた
めに、同一形状の被検体を連続検査する際にも再現性が
得られず、ＩＣ被検体ごとに検査範囲を調整する必要が
生じ、自動化、効率化が妨げられている。

一方、後者の押さえ部材ｌによる方法は、ＩＣ被検体Ｓ
を取り換える度にビス３を取り外さなければならず、検
査の作業性を低下させるばかりか、検査可能の領域が押
さえ部材１間の開口部のみに制限されるため、モールド
部Ｓ１の辺部の欠陥を見落とす虞れが大きい、また、検
査装置の汎用性を考慮すると、多様のＩＣ被検体Ｓのそ
れぞれに専用の押さえ部材ｌを用意する必要があり、こ
のためコストが高くなり、押さえ部材１の保存・選択が
複雑となる。更にこれを避けるために、押さえ部材１の
形状に余裕を持たせると、ＩＣ被検体Ｓごとにビス３の
調節等の煩雑な作業が必要となる。

このように、超音波検査装置におけるＩＣ被検体の従来
の固定方法は何れも欠点が多く、確実かつ容易に大量の
製品の検査を行うための適切な固定方法は知られていな
い。

本発明の目的は、上述の問題点を解消し、検査範囲を制
限することなく、シかも種々のＩＣ被検体を所定の位置
に正確かつ簡単に載置し、更にはＩＣ被検体を破損、変
形することなく固定できる被検体固定機構を提供するこ
とにある。

［課題を解決するための手段］ 上記の目的を達成するために、本発明に係る被検体固定
機構においては、モールド部の側部にリードフレームを
張り出した被検体を検査する装置において、被検体を載
置する試料台と、該試料台に摺動自在に取り付け前記リ
ードフレームとの当接部分を傾斜面とした押さえ部材と
、前記リードフレームの位置決め孔に嵌入するために前
記試料台上に設けた位置決めビンとを具備したことを特
徴とするものである。

［作用］ 上述の構成による被検体固定機構は、押さえ部材の傾斜
面によって被検体のリードフレームを押さえ付け、被検
体を容易に脱着でき、更には被検体の全面に渡って検査
を行うことができる。

［実施例］ 本発明を第１図〜第３図に図示の実施例に基づいて詳細
に説明する。

第１図、第２図において、水平な試料台ｌＯ上には１対
の押さえ部材１１ａ、ｌｌｂが、それぞれに２個ずつ設
けられた長孔１２に挿通された案内ビン１３を介して、
対向方向に矢印で示す距離だけ摺動自在に取り付けられ
ている。２つの押さえ部材１１ａ、ｌｌｂの対向する内
側の下面は対向方向に向けて傾斜が高くなる傾斜面１４
とされており、この部分でＩＣ被検体Ｓのリードフレー
ムＳ２を押さえ込むようになっている。また、試料台１
０には２個の位置決めピン１５が突出されており、これ
に対応してＩＣ被検体ＳのリードフレームＳ２に設けら
れた位置決め孔１６．１７が嵌合するようにされている
。

この構成において、被検体Ｓの挿着の際には試料台１０
の位置決めビン１５にＩＣ被検体ＳのリードフレームＳ
２の位置決め孔１６．１７を嵌合させることにより、Ｉ
Ｃ被検体Ｓを所定位置に載置することができる。続いて
、押さえ部材１１ａ、ｌｌｂを内側に摺動させると、そ
の傾斜面１４がＩＣ被検体ＳのリードフレームＳ２と弾
性的に当接し、ＩＣ被検体Ｓを試料台１０に圧着させる
力が生じ、これによりＩＣ被検体Ｓは固定される。

検査が終了し、ＩＣ被検体Ｓを外す場合には、第３図に
示すように押さえ部材１１ａ、１１ｂを外側に摺動すれ
ばよい。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明に係る被検体固定機構は、試
料台上に被検体のリードフレームとの当接部分を傾斜面
とした押さえ部材を設け、更に位置決めピンを設けたこ
とにより、被検体を破損・変形することなく確実に着脱
容易に固定できる。

しかも、検査範囲を制限することがなく、また被検体を
所定の位置に正確かつ簡単に載置でき、多様な被検体に
対しても位置決め孔を設ける位置を予め調整するだけで
対応が可能である。

【図面の簡単な説明】

図面第１図〜第３図は本発明に係る被検体固定機構の実
施例を示し、第１図は平面図、第２図は側面図、第３図
は被検体着脱時における平面図であり、第４図は従来の
ＩＣ被検体の固定方法の説明図、第５図はその側面図で
ある。 符号１０は試料台、１１ａ、ｌｌｂは押さえ部材、１３
は案内ビン、１４は位置決めピン、１５．１６は位置決
め孔、ＳはＩＣ被検体、Ｓｌはモールド部、Ｓ２はリー
ドフレームである。 特許出願人　　　キャノン株式会社 縞３図 第１図 苑２図 第４図 第５図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、モールド部の側部にリードフレームを張り出した被
   検体を検査する装置において、被検体を載置する試料台
   と、該試料台に摺動自在に取り付け前記リードフレーム
   との当接部分を傾斜面とした押さえ部材と、前記リード
   フレームの位置決め孔に嵌入するために前記試料台上に
   設けた位置決めピンとを具備したことを特徴とする被検
   体固定機構。