KR100352712B1

KR100352712B1 - 핸들러용 이송장치의 밀봉구조체

Info

Publication number: KR100352712B1
Application number: KR1020000067385A
Authority: KR
Inventors: 황현주
Original assignee: 미래산업 주식회사
Priority date: 2000-11-14
Filing date: 2000-11-14
Publication date: 2002-09-16
Also published as: KR20020037472A

Abstract

본 발명은 핸들러의 캐리어 이송장치의 밀폐구조체에 관한 것으로, 핸들러의 밀폐된 챔버의 바닥면을 이루는 베이스판의 양측부에 베이스판의 전후방향으로 형성된 장공형의 슬롯과, 상기 베이스판의 외측 하부면에 전후방향으로 이동가능하게 설치된 전후진 구동부와, 상기 전후진 구동부에 고정되어 전후진 이동하며 각 꼭지점 부분에 관통공이 형성되어 있는 고정판과, 상기 고정판의 하부에 설치되어 상하방향으로 구동하는 승강구동부와, 상기 승강구동부에 고정된 승강판과, 상기 승강판의 각 꼭지점부분에 고정되어 상기 고정판의 각 관통공을 관통한 다음 상기 베이스판의 양측 슬롯을 관통하여 그 끝단부가 챔버 내부에 위치하게 되는 복수개의 승강바아 및, 핸들러의 챔버 내부에서 상기 승강바아중 전후로 배치된 승강바아 쌍의 끝단부에 고정되게 설치되어 캐리어가 안착되며 이송되는 이송부재를 포함하여 구성되어, 챔버 내로 이송된 캐리어를 챔버의 전방측에서 후방측으로 단계적으로 이송하도록 된 캐리어 이송장치에 있어서, 상기 챔버의 베이스판 하부 양측부에서 베이스판 양측의 슬롯을 각각 덮도록 베이스판의 길이방향으로 고정되게 설치되고, 그 내측부에는 오목한 수용홈이 형성됨과 더불어, 중심부에는 상기 고정판을 관통한 승강바아들이 관통하여 전후로 이동가능하도록 상기 베이스판의 슬롯과 동일한 크기와 위치로 대응슬롯이 형성되어 있는 셔터커버와; 상기 셔터커버의 수용홈 내에 상기 베이스판의 하부면에 밀착되도록 수용되고, 상기 셔터커버의 대응슬롯을 관통하는 승강바아들이 관통하는 복수개의 관통공이 형성되어, 상기 승강바아들의전후진 이동에 의해 상기 베이스판의 슬롯과 셔터커버의 대응슬롯을 막으면서 셔터커버의 수용홈 내에서 슬라이딩 이동하도록 된 셔터 및; 상기 셔터과 셔터커버 간의 공극을 없애주기 위해 셔터과 셔터커버 사이에서 셔터의 모서리부위를 따라 설치된 밀봉재를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.

Description

핸들러용 이송장치의 밀봉구조체{Structure for sealing transfer for handler}

본 발명은 핸들러의 이송장치에 적용된 밀봉구조체에 관한 것으로, 특히 고온 및/또는 저온 테스트가 가능한 핸들러의 챔버에서 모듈램(Module RAM) 또는 디바이스 등이 장착된 캐리어를 이송하는 이송장치에 적용되어 챔버 내의 고온 또는 저온 공기가 이송장치를 통해 외부로 누출되는 것을 방지하도록 된 핸들러용 이송장치의 밀봉구조체에 관한 것이다.

일반적으로, 메모리 혹은 비메모리 반도체 소자와 같은 디바이스, 또는 복수개의 아이씨(IC) 및 기타 소자를 하나의 기판상에 납땜 고정하여 독립적인 회로를 구성한 모듈램 등은 생산 후 출하 전에 반드시 그의 이상상태를 점검하는 테스트과정을 거치게 되는데, 이러한 테스트과정에는 상기 디바이스 또는 모듈램들이 상온 상태에서는 물론이고 고온 및 저온의 극한 온도상태에서도 정상적인 제기능을 수행하는가를 테스트하는 고온 테스트 및 저온 테스트가 포함된다.

첨부된 도면 중 도 1은 단일 핸들러내에서 모듈램의 상온 테스트는 물론 고온 테스트 및 저온 테스트 모두가 가능하도록 된 모듈램 테스트 핸들러의 일례를 나타낸 것이다.

도 1에 도시된 바와 같은 모듈램 테스트 핸들러는, 트레이(미도시)에 수납되어 있는 다수의 모듈램들을 테스트용 캐리어(C)에 장착하는 로딩부(1)와, 상기 로딩부(1)의 모듈램 장착된 캐리어(C)를 별도의 이송장치(미도시)로 순차적으로 이동시키며 캐리어(C)의 모듈램들을 소정의 온도로 가열 또는 냉각시키는 예열챔버(2)와, 상기 예열챔버(2)에서 예열된 후 이송되어 온 캐리어(C)의 모듈램들을 외부의 테스트장치와 결합된 테스트소켓(7)에 장착하여 소정의 온도상태 하에서 테스트를 수행하게 되는 테스트챔버(3)와, 상기 테스트챔버(3)에서 테스트 완료된 후 이송되어 온 캐리어(C)에 반대 상태의 냉기 또는 열을 공급함으로써 모듈램을 냉각 또는 가열하여 초기의 상온 상태로 만들어주는 디프로스팅챔버(4; defrosting chamber) 및, 상기 디프로스팅챔버(4)를 통해 이송되어 온 캐리어(C)로부터 테스트 완료된 모듈램들을 분리하여 테스트 결과에 따라 지정된 트레이에 분류 적재하게 되는 언로딩부(5)로 크게 구성되어, 소정의 온도범위 내에서 모듈램의 상온 테스트와 고온 테스트 및 저온 테스트를 수행하게 된다.

그런데, 상기와 같은 핸들러에 있어서, 상기 예열챔버(2)는 -10℃ 정도의 저온상태와 +125℃에 이르는 고온 상태로 되므로 이 예열챔버(2) 내에서 캐리어를 순차적으로 이송하는 이송장치(미도시)는 그 구동원이 챔버 내에 설치될 수 없었다.

따라서, 상기 예열챔버(2)의 이송장치는 그 구동원은 예열챔버(2)의 외부에 설치되고, 상기 구동원에 의해 상하 및 전후방향으로 운동하며 캐리어를 이송하게 되는 이송부는 챔버 내부에 설치되는 바, 이로 인하여 챔버 외부의 구동부와 챔버 내부의 이송부를 연결하는 결합부는 챔버 벽을 관통할 수 밖에 없고, 상기 이송부의 상하 및 전후운동을 위해 챔버 벽에 홈과 같은 공간이 형성되어야 했다.

그러나, 상기와 같은 핸들러에서는 상기 이송장치의 운동을 위해 형성된 공간 등으로 인하여 챔버 내의 공기가 누출되는 현상이 발생하여 챔버 내의 온도를 정확히 제어하기가 어렵고, 저온 테스트 경우 냉각가스가 상기 공간을 통해 누출되어 외부의 구성부품에 성에가 발생하는 등의 문제점이 있었다.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 핸들러의 챔버 내에서 캐리어 등을 이송하는 이송장치에 의해 발생된 공간을 완전히 밀봉하여 공기의 누출을 방지하면서 이송장치에 의한 원활한 캐리어 이동을 보장할 수 있도록 한 핸들러용 이송장치의 밀봉구조체를 제공함에 그 목적이 있다.

도 1은 디바이스의 고온 및 저온 테스트가 가능한 핸들러의 주요 구성을 나타낸 구성도

도 2는 본 발명에 따른 밀봉구조체가 적용되는 핸들러의 예열챔버의 저면부 구성을 나타낸 사시도

도 3은 도 2의 핸들러의 예열챔버의 저면부를 아래쪽에서 바라본 저면 사시도

도 4는 도 2의 캐리어 이송장치의 분해사시도

도 5는 도 2의 캐리어 이송장치에 적용된 본 발명의 밀봉구조체를 나타내기 위하여 일부 구성요소들을 생략하여 나타낸 부분 사시도

*도면의 주요부분의 참조부호에 대한 설명*

21 - 베이스판 22 - 슬롯

210 - 전후진구동부 211 - 전동모터

212 - 볼스크류 214 - 결합부재

220 - 고정판 230 - 승강구동부

241 - 승강판 242 - 승강바아

251 - 셔터커버 252 - 셔터

253 - 밀봉용 사각링 260 - 이송부재

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 핸들러용 이송장치의 밀봉구조체는, 핸들러의 밀폐된 챔버의 바닥면을 이루는 베이스판의 양측부에 베이스판의 전후방향으로 형성된 장공형의 슬롯과, 상기 베이스판의 외측 하부면에 전후방향으로 이동가능하게 설치된 전후진 구동부와, 상기 전후진 구동부에 고정되어 전후진 이동하며 각 꼭지점 부분에 관통공이 형성되어 있는 고정판과, 상기 고정판의 하부에 설치되어 상하방향으로 구동하는 승강구동부와, 상기 승강구동부에 고정된 승강판과, 상기 승강판의 각 꼭지점부분에 고정되어 상기 고정판의 각 관통공을 관통한 다음 상기 베이스판의 양측 슬롯을 관통하여 그 끝단부가 챔버 내부에 위치하게 되는 복수개의 승강바아 및, 핸들러의 챔버 내부에서 상기 승강바아중 전후로 배치된 승강바아 쌍의 끝단부에 고정되게 설치되어 캐리어가 안착되며 이송되는 이송부재를 포함하여 구성되어, 챔버 내로 이송된 캐리어를 챔버의 전방측에서 후방측으로 순차적으로 이송하도록 된 캐리어 이송장치에 있어서, 상기 챔버의 베이스판 하부 양측부에서 베이스판 양측의 슬롯을 각각 덮도록 베이스판의 길이방향으로 고정되게 설치되고, 그 내측부에는 오목한 수용홈이 형성됨과 더불어, 중심부에는 상기 고정판을 관통한 승강바아들이 관통하여 전후로 이동가능하도록 상기 베이스판의 슬롯과 동일한 크기와 위치로 대응슬롯이 형성되어 있는 셔터커버와; 상기 셔터커버의 수용홈 내에 상기 베이스판의 하부면에 밀착되도록 수용되고, 상기 셔터커버의 대응슬롯을 관통하는 승강바아들이 관통하는 복수개의 관통공이 형성되어, 상기 고정판의 전후진 이동에 따른 승강바아들의 전후진 이동에 의해 상기 베이스판의 슬롯과 셔터커버의 대응슬롯을 막으면서 셔터커버의 수용홈 내에서 슬라이딩 이동하도록 된 셔터 및; 상기 셔터과 셔터커버 간의 공극을 없애주기 위해 셔터과 셔터커버 사이에서 셔터의 모서리부위를 따라 설치된 밀봉재를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 셔터의 상부면과 상기 셔터커버의 수용홈 각각에 그리스(grease)가 도포되어 있는데, 이에 의하면 상기 셔터, 셔터커버, 베이스판 및, 승강바아 간의 결합부위의 공극을 거의 완전히 메울 수 있으며, 작동시 각 구성부 간의 동작이 원활하게 이루어지게 된다.

이하, 본 발명에 따른 핸들러용 이송장치의 밀봉구조체의 일 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

이하에서 설명하는 밀봉구조체의 실시예는 종래 기술에서 설명한 핸들러 구성부중 예열챔버에 적용된 것으로 되어 있지만, 반드시 여기에 국한될 필요는 없다.

도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 예열챔버(2; 도 1참조)의 바닥면을 이루는 베이스판(21)에는 로딩부(1; 도 1참조)를 거쳐 예열챔버(2) 내로 이송되어 온 캐리어(C)들을 전후 및 상하로 운동시키면서 예열챔버(2)의 전방에서부터 후방으로 단계적으로 이송시켜주는 이송장치가 설치되어 있다.

여기서, 상기 베이스판(21)의 양측부에는 베이스판(21)의 전후방향으로 장공형의 슬롯(22)이 형성되어 있다.

그리고, 상기 이송장치는 베이스판(21)의 외측 하부면에 전후방향으로 이동가능하게 설치된 전후진 구동부(210)와, 상기 전후진 구동부(210)에 고정되게 설치되어 전후진 이동하며 각 꼭지점 부분에는 관통공(221)이 형성되어 있는 고정판(220)과, 상기 고정판(220)의 하부에 설치되어 상하방향으로 구동하는 승강구동부(230)와, 상기 승강구동부(230)에 고정되어 상하로 승강 운동하는 승강판(241)과, 상기 승강판(241)의 각 꼭지점부분에 고정되어 상기 고정판(220)의 각 관통공(221)을 관통한 다음 상기 베이스판(21)의 양측 슬롯(22)을 관통하여 그 끝단부가 챔버 내부에까지 연장된 복수개의(여기서 4개) 승강바아(242) 및, 핸들러의 챔버 내부에서 상기 승강바아(242)중 전후로 배치된 승강바아(242) 쌍의 끝단부에 고정되게 설치되어 캐리어가 안착되며 이송되는 이송부재(260)로 구성된다.

상기 이송장치 중 전후진 구동부(210)는 전동모터(211)와; 이 전동모터(211)에 결합되어 베이스판(21)의 전후방향으로 구동하는 볼스크류(212)와; 상기 볼스크류(212)의 이동부(213)의 양측부에 결합됨과 더불어 베이스판(21)의 하부면에 전후방향으로 설치된 엘엠가이드(LM Guide)와 같은 가이드부재(215)에 고정되게 결합되어, 상기 볼스크류(212)의 이동부(213)의 이동에 따라 가이드부재(215)를 따라 전후진 이동하도록 된 결합부재(214)로 구성된다.

상기 고정판(220)은 상기 결합부재(214)의 하부면에 결합되어 결합부재(214)의 이동에 따라 전후방향 이동하게 된다.

그리고, 상기 고정판(220)에 설치된 승강구동부(230)는 실린더(231) 및 이 실린더(231)의 작동에 의해 상하로 승강하는 실린더로드(232)로 구성되고, 상기 실린더로드(232)의 끝단부는 승강판(241)의 중앙부를 관통하여 고정용 캡(243)에 결합되는데, 상기 고정용 캡(243)은 그의 외주부가 상기 승강판(241)에 고정되게 설치되는 한 쌍의 고정편(244)에 의해 삽입 고정된다.

이로써 상기 실린더로드(232)와 승강판(241)과의 결합이 이루어지게 되고, 승강판(241)은 실린더로드(232)의 승강 운동에 따라 상하로 승강하게 되는 것이다.

한편, 상기 베이스판(21)의 하부면 양측부에는 그의 슬롯(22)으로 인해 발생하는 챔버 내외측간의 공기유동을 방지하기 위한 밀봉구조체가 설치되는 바, 이 밀봉구조체는, 상기 예열챔버(2)의 베이스판(21) 하부면 양측부에서 상기 슬롯(22)들을 각각 덮도록 베이스판의 길이방향으로 고정되게 설치되고, 그 내측부에는 오목한 수용홈(251a)이 형성되어 있는 셔터커버(251)와; 상기 셔터커버(251)의 수용홈(251a)보다 작은 크기로 되어 상기 수용홈(251a) 내에서 상기 베이스판의 하부면에 밀착되어 이동하면서 상기 슬롯(22)을 막도록 된 셔터(252) 및, 상기셔터(252)과 셔터커버(251) 간의 공극을 없애주며 기밀을 유지하기 위해 셔터(252)과 셔터커버(251) 사이에서 셔터(252)의 모서리부분을 따라 설치되는 밀봉용 사각링(253)으로 구성된다.

상기 셔터커버(251)의 중심부에는 상기 고정판(220)을 관통하는 승강바아(242)들이 관통한 후 전후로 이동가능하도록 상기 베이스판(21)의 슬롯(22)과 동일한 크기와 위치로 대응슬롯(251b)이 형성되어 있다.

그리고, 상기 셔터(252)에는 상기 승강바아(242)의 외경보다 약간 큰 내경을 갖도록 되어 상기 승강바아(242)들이 관통하며 결합하게 되는 복수개의 관통공(252a)이 형성되어 있는 바, 이로써 상기 승강바아(242)들의 전후이동에 의해 상기 셔터(252)가 연동함과 더불어, 상기 승강바아(242)들은 상기 관통공(252a)을 관통하며 상하로 자유롭게 승강운동을 하게 된다.

또한, 상기 셔터(252)의 상부면과 상기 셔터커버(251)의 수용홈 각각에는 그리스(grease)가 도포되어, 셔터(252)과 셔터커버(251) 간에 발생하는 미세한 틈을 메워줌과 더불어 셔터(252)의 관통공(252a)과 승강바아(242)들 간의 틈새를 메워주면서, 작동시 각 구성요소간의 원활한 동작이 이루어지도록 되어 있다.

상기와 같이 구성된 본 발명의 캐리어 이송장치 및 밀봉구조체는 다음과 같이 작동한다.

핸들러의 로딩부(1; 도 1참조)에서 모듈램이 장착된 캐리어는 별도의 이송수단에 의해 예열챔버(2) 내로 이송되어 이송장치의 이송부재(260) 및, 베이스판(21) 상면에 전후방향으로 고정 배치된 홀딩부재(미도시)의 최전방부에 안착된다.

이어서, 상기 베이스판(21)의 하부에 설치되어 있는 이송장치의 승강구동부(230)의 작동에 의해 승강판(241) 및 승강바아(242)가 상측으로 상승하면서 이송부재(260)가 캐리어를 홀딩부재(미도시)에서 들어 올린다.

그런 다음, 상기 전동모터(211)의 작동에 의해 결합부재(214) 및 이에 고정된 고정판(220)이 후진함에 따라 승강바아(242)가 베이스판(21)의 슬롯(22)을 따라 후진동작하며 캐리어를 홀딩부재(미도시)의 다음 안착위치로 이동시키고, 이 위치에서 다시 승강구동부(230)의 작동에 의해 이송부재(260)가 하강동작하며 캐리어를 홀딩부재 상에 안착시키게 된다.

이어서, 상기 이송부재(260)는 이송장치의 하강 및 전진동작에 의해 원위치로 복귀하여, 전술한 바와 같은 동작을 반복 수행하며 캐리어들을 홀딩부재(미도시) 상으로 단계적으로 후진이동시킨다.

한편, 상기와 같이 이송장치에 의한 승강바아(242)의 전후진 및 승강동작이 이루어지는 과정에서 본 발명의 밀봉구조체는 다음과 같이 동작하며 챔버 내외측간의 완전한 밀봉을 이루게 된다.

먼저, 상기 승강바아(242)의 승강동작시, 상기 승강바아(242)는 셔터(252)을 이동시키지 않고 정지시킨 상태에서 셔터(252)의 관통공(252a)을 관통하며 승강동작하게 되는데, 이 경우 상기 승강바아(242)와 셔터의 관통공(252a)과의 틈새가 그리스에 의해 거의 완전히 밀봉됨으로써 챔버 내외측간의 공기 유동현상은 없어지게 된다.

다음으로, 상기 승강바아(242)의 전후진 작동시, 상기 승강바아(242)가 관통결합하고 있는 셔터(252)이 항상 베이스판(21)의 슬롯(22)을 막은 상태에서 승강바아(242)와 연동하게 되므로, 승강바아(242)의 전후진시에도 셔터(252)에 의해 항상 슬롯(22)이 폐쇄상태를 유지하게 되어 챔버 내외측간의 공기 유동이 방지된다.

이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 핸들러의 캐리어 이송장치의 각 구성부의 전후진 및 승강작동 중에도 챔버에 발생된 공간이 완전히 폐쇄 상태를 유지할 수 있게 되므로 챔버 내외측간으로 공기의 누출 방지되면서 이송장치에 의한 원활한 캐리어 이동을 보장할 수 있게 되어 테스트의 신뢰성이 향상된다.

Claims

핸들러의 밀폐된 챔버의 바닥면을 이루는 베이스판의 양측부에 베이스판의 전후방향으로 형성된 장공형의 슬롯과, 상기 베이스판의 외측 하부면에 전후방향으로 이동가능하게 설치된 전후진 구동부와, 상기 전후진 구동부에 고정되어 전후진 이동하며 각 꼭지점 부분에 관통공이 형성되어 있는 고정판과, 상기 고정판의 하부에 설치되어 상하방향으로 구동하는 승강구동부와, 상기 승강구동부에 고정된 승강판과, 상기 승강판의 각 꼭지점부분에 고정되어 상기 고정판의 각 관통공을 관통한 다음 상기 베이스판의 양측 슬롯을 관통하여 그 끝단부가 챔버 내부에 위치하게 되는 복수개의 승강바아 및, 핸들러의 챔버 내부에서 상기 승강바아중 전후로 배치된 승강바아 쌍의 끝단부에 고정되게 설치되어 캐리어가 안착되며 이송되는 이송부재를 포함하여 구성되어, 챔버 내로 이송된 캐리어를 챔버의 전방측에서 후방측으로 순차적으로 이송하도록 된 캐리어 이송장치에 있어서,

상기 챔버의 베이스판 하부 양측부에서 베이스판 양측의 슬롯을 각각 덮도록 베이스판의 길이방향으로 고정되게 설치되고, 그 내측부에는 오목한 수용홈이 형성됨과 더불어, 중심부에는 상기 고정판을 관통한 승강바아들이 관통하여 전후로 이동가능하도록 상기 베이스판의 슬롯과 동일한 크기와 위치로 대응슬롯이 형성되어 있는 셔터커버와;

상기 셔터커버의 수용홈 내에 상기 베이스판의 하부면에 밀착되도록 수용되고, 상기 셔터커버의 대응슬롯을 관통하는 승강바아들이 관통하는 복수개의 관통공이 형성되어, 상기 고정판의 전후진 이동에 따른 승강바아들의 전후진 이동에 의해 상기 베이스판의 슬롯과 셔터커버의 대응슬롯을 막으면서 셔터커버의 수용홈 내에서 슬라이딩 이동하도록 된 셔터을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 핸들러용 이송장치의 밀봉구조체.
제 1항에 있어서, 상기 셔터과 셔터커버 사이에는 셔터과 셔터커버 간의 공극을 없애주기 위해 셔터의 모서리부위를 따라 밀봉재가 개재된 것을 특징으로 하는 핸들러용 이송장치의 밀봉구조체.
제 1항에 있어서, 상기 셔터의 상부면과 상기 셔터커버의 수용홈 각각에 그리스(grease)가 도포된 것을 특징으로 하는 핸들러용 이송장치의 밀봉구조체.