KR950000279B1 - 레이저 마킹장치 - Google Patents

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KR950000279B1
KR950000279B1 KR1019910020469A KR910020469A KR950000279B1 KR 950000279 B1 KR950000279 B1 KR 950000279B1 KR 1019910020469 A KR1019910020469 A KR 1019910020469A KR 910020469 A KR910020469 A KR 910020469A KR 950000279 B1 KR950000279 B1 KR 950000279B1
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김강산
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현대전자산업 주식회사
정몽헌
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    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/544Marks applied to semiconductor devices or parts, e.g. registration marks, alignment structures, wafer maps

Abstract

내용 없음.

Description

레이저 마킹장치
제 1 도는 종래의 레이저 마킹장치의 원리를 설명하기 위한 개략도.
제 2 도는 본 발명의 원리를 설명하기 위한 개략적인 사시도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 레이저 발생기 11 : 제 1 유도관로
12 : 제 2 유도관로 13a, 13b 및 13c : 제 1 차, 제 2, 제 3 반사거울
14 : 구동모터 15 : 센서플레이트
20-1, 20-2, …20-n : 마킹대상물체 안착부
본 발명은 레이저 마킹(Laser Marking) 장치에 관한 것으로서, 특히 레이저를 안내하는 유도관을 회전 가능하게 설치하여 마킹대상물체의 위치에 따라 유도관을 회전시켜 간단하게 레이저 마킹작업을 실행할 수 있도록 구성한 레이저 마킹장치에 관한 것이다.
반도체 제조공정에서, IC패캐이지 표면에 어떤 문자를 표시하기 위하여 레이저 마킹장치를 이용한다.
레이저 발생기에서 발생된 레이저는 다수의 거울에 반사되어 마킹대상물체 표면에 주사됨으로서 마킹이 이루어지게 된다.
그 구조를 간단히 설명하면, 제 1 도는 일반적인 레이저 마킹장치의 원리를 설명하기 위한 개략도로서, 레이저 발생기(1) 선단에는형태의 유도관(2)이 장착되어 있으며, 유도관(2) 내부의 각 절곡부에는 제 1, 제 2 및 제3 반사거울(3A, 3B, 및 3C)이 고정되어 있어 레이저 발생기(1)에서 발생된 레이저는 유도관(2) 내의 각 반사거울(3A, 3B 및 3C)에 반사되어 유도관(2)외부로 주사된다.
이 경우, 유도관(2)은 레이저 발생기(1)의 일정위치에 고정된 상태이며, 따라서 마킹대상물체(4)가 유도관(2)하부의 대응 위치까지 이동되어져야만 레이저에 의한 마킹작업이 가능하게 된다.(마킹대상물체(4)의 유무를 감지하는 센서(5)가 마킹대상물체(4)의 이송을 감지하여 감지신호를 레이저 발생기(1)에 전달함으로서 레이저의 발생이 이루어짐)
이와 같이 다수의 마킹대상물체를 하나 하나씩 개별적으로 유도관의 하부로 직접 이송시키는 작업과정과 마킹이 완료된 물체를 유도관 하부에서 제거시키는 과정은 매우 번거로워 작업의 능률을 저하시키는 원인이 된다.
본 발명의 목적은 고정식의 유도관을 회전가능한 상태로 구성하여 마킹대상물체의 이송없이도 유도관의 회전에 따라 고정된 다수의 마킹대상물체를 순차적으로 마킹시킬 수 있도록 한 레이저 마킹장치를 제공하는데 있다.
이하, 본 발명을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
제 1 도는 종래의 레이저 마킹장치의 원리를 설명하기 위한 개략도로서, 명세서 서두에서 설명하였기에 중복설명을 생략한다.
제 2 도는 본 발명의 구성 및 작동을 설명하기 위한 개략적인 사시도로서, 본 발명은 특정 위치에 고정, 설치된 레이저 발생기(10)와 레이저 발생기(10)의 한면에 고정된 ㄱ형의 제 1 유도관로(11), 제 1 유도관로(11)의 하단에 회전가능한 상태로 연결된 형의 제 2 유도관로(12)로 구성된다.
각 유도관로(11, 12)의 절곡부에는 서로 대향하는 다수의 반사거울(13A, 13B 및 13C)이 고정되어 있으며, 따라서 레이저 발생기(10)에서 발생된 레이저는 제 1 반사거울(13A), 제 2 반사거울(13B) 및 제 3 반사거울(13C)에 순차적으로 반사되어 제 2 유도관로(12)하단을 통하여 외부로 주사된다.
이때 각 반사거울(13A, 13B 및 13C)은 수평상태의 각 유도관로(11, 12)에 대하여 45°의 경사각을 유지한 상태로 고정되어야만 레이저가 각 유도관로(11, 12)의 중심선을 따라 반사가 이루어진다.
한편, 제 1 반사거울(13A)과 제 2 반사거울(13B)의 중심을 연결하는 가상성(C1, 레이저 반사로)이 지나는 제 2 유도관로(12) 하부에는 구동모터(14)가 설치되며, 구동모터(14)의 회전축(14A)은 제 2 유도관로(12) 하부에 고정되어 있다. 따라서 구동모터(14)의 작동에 따라 제 2 유도관로(12)는 제 1 유도관로(11)하단을 중심으로 회전이 이루어지게 된다.
한편, 구동모터(14)의 회전축(14A) 연변에는 센서플레이트(15)가 고정설치되어 있어 회전축(14A)과 동일방향으로의 회전이 이루어지며, 이 센서플레이트(15) 외곽면에는 다수의 구멍(15-1, 15-2, …15-n)이 형성되어 있다.
센서플레이트(15) 외주면에는 센서(도시되지 않음)가 설치되어 있으며, 이 센서(16)는 센서플레이트(15) 외곽면에 구성된 각 구멍(15-1, 15-2, …15-n)에 대응할 경우 감지신호를 레이저 발생기(10)와 구동모터(14)로 전달하여 각각의 동작을 제어하게 된다.
구동모터(14)의 하부에는 한점을 중심(0)으로 일정반경(R)으로 이루어지는 원의 원주상에 다수의 마킹대상물체안착부(20-1, 20-2, …20-n)가 형성되어 있다.
이때, 상술한 원(가상원)의 중심(0)은 제 1 반사거울(13A)과 제 2 반사거울(13B)의 중심을 연결하는 가상선(C1)과 일치되도록하며, 중심(0)에서 각 마킹대상물체 안착부(20-1, 20-2, …20-n) 중심까지의 간격(반경 R)을 제 2 유도관로(12) 내에 고정된 제 2 반사거울(13B)과 제 3 반사거울(13C)의 중심간의 간격(C2)과 동일하게 구성한다.
각 마킹대상물체 안착부(20-1, 20-2, …20-n)간의 중심 0에 대한 이격각도 θ는 상술한 센서플레이트(15) 외곽원주변에 구성한 각 구멍(15-1, 15-2, …15-n)간의 중심(회전축의 중심)에 대한 이격각도와 동일하게 한다.
한편, 각 마킹대상물체 안착부(20-1, 20-2, …20-n)의 인접부에는 마킹대상물체를 자동적으로 공급하는 엘리베이터(30)를 각각 설치한다.
이상과 같이 구성된 본 발명의 작동을 설명하면, 각 엘리베이터(30)가 각 마킹대상물체 안착부(20-1, 20-2, …20-n)에 마킹대상물체를 공급한후 본 발명을 작동시키면, 구동모터(14)가 회전하게 되어 제 2 유도관로(12)도 제 1 유도관로(11)에 대하여 회전을 하게 된다. 이때 제 2 유도관로(12)가 회전하게 되면 제 2 유도관로(12) 내의 제 3 반사거울(13C)은 각 마킹대상물체 안착부(20-1, 20-2, …20-n) 직상단에 대응한 상태가 계속적으로 유지된다.(제 2 도의 C2와 R이 동일하게 때문임)
제 2 유도관로(12)의 하단이 어느 한 마킹대상물체 안착부(20-) 상부에 대응되면, 센서가 센서플레이트(15-1)의 구멍에 대응하게 되어 그 신호(구멍을 통하여 발광부의 빛이 수광부에 전달됨)가 구동모터(14)와 레이저 발생기(10)에 전달된다.
따라서, 구동모터(14)는 정지하게 되며, 레이저 발생기(10)에서는 레이저가 발생되어 각 유도관로(11, 12) 내의 각 반사거울(13A, 13B, 13C)에 반사되어 해당 마킹 대상물체에 주사됨으로서 대응하는 마킹대상물체 안착부(20-1)에 놓여진 마킹대상물체의 표면을 마킹하게 된다.
일정시간이 경과된 후, 레이저의 발생이 중지됨과 동시에 구동모터(14)가 작동되어 설정된 각도(Q)의 회전이 이루어지며, 따라서 제 2 유도관로(12) 역시 동일각도(Q)의 회전이 이루어져 마킹이 실시된 마킹대상 물체 안착부(20-1)에 인접된 또 다른 마킹대상물체 안착부(20-2)에 대응되어 상술한 동작을 반복 실행하게 된다(센서플레이트(15) 역시 동일각도 회전함으로서 그 표면에 구성된 새로운 구멍(15-2)에 센서(16)가 대응하게 됨).
한편, 마킹이 완료된 마킹대상물체를 제거하게 되면, 각 엘리베이터(30) 내의 새로운 마킹대상물체가 대응하는 마킹대상물체안착부(20-1)에 자동적으로 이송되어 계속적인 마킹작업이 이루어지게 된다.
이때, 제 2 유도관로(12)가 제1유도관로(11)에 대하여 회전을 하더라도 제 1 반사거울(13A)과 제 2 반사거울(13B)은 일직선상에 위치하고 또한 서로 45°경사각도를 유지하므로 초기와 마찬가지로 정확한 레이저의 반사가 이루어질 수 있다.
이상과 같은 본 발명은 레이저를 유도하는 유도관로가 회전하여 일정한 원을 이루는 상태로 고정되어 있는 각 마킹대상물체 상부에 위치하므로서 다수의 마킹대상물체를 교체시키지 않고서도 계속적인 마킹작업이 이루어지므로 작업의 능률을 향상시킬 수 있다.

Claims (6)

  1. 유도관로에 유도되는 레이저에 의하여 마킹대상물체 표면에 특정문자를 마킹하는 레이저 마킹장치에 있어서, 일정위치에 고정된 레이저 발생기(10)에 "ㄱ" 형의 제 1 유도관로(11)을 고정하고 상기 제 1 유도관로(11) 하부에는형의 상기 제 1 유도관로(11)에 대하여 회전가능한 상태로 제 2 유도관로(12)를 설치하되, 상기 각 유도관로(11, 12) 내부의 절곡부에는 서로 연통하는 반사거울(13A, 13B 및 13C)를 고정시키며, 상기 제 2 유도관로(12) 하부에는 구동모터(14)의 회전축(14A)을 고정하여 상기 구동모터(14)의 작동에 따라 상기 제 2 유도관로(12)가 상기 제 1 유도관로(11) 일단을 중심으로 회전할 수 있도록 구성하여 상기 제 3 반사거울(13C)에서 최종적으로 반사된 레이저가 제 2 유도관로(12) 하부에 구성된 각 마킹대상물체 안착부(20-1. 20-2, …20-n)에 안착된 각 마킹대상물체 표면에 순차적으로 주사될 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 마킹장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 다수의 마킹대상물체 안착부(20-1, 20-2, …20-n)는 서로간에 일정한 간격정도(θ)를 유지하며, 동일 원형선상에 배열되고 그 중심(0)은 상기 제 1 유도관로(11) 내의 제 1 반사거울(13A)의 중심과 제 2 유도관로(12) 내의 제 2 반사거울(13B)의 중심을 잇는 연장선상에 위치되도록 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 마킹장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 각 마킹대상물체(20-1, 20-2, …20-n)는 그 중심(0)에서 부터의 거리가 상기 제 2 유도관로(12) 내의 제 2 반사거울(13B) 중심과 제 3 반사거울(13C) 중심간의 거리와 동일하게 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 마킹장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 구동모터(14)의 회전축(14A)은 상기 제 1 유도관로(11) 내의 제 1 반사거울(13A) 중심과 제 2 유도관로(12) 내의 제 2 반사거울(13B)의 중심을 잇는 연장선상과 일치되게 고정된 것을 특징으로 하는 레이저 마킹장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 회전축(14A)의 연변에는 다수의 구멍(15-1, 15-2, …15-n)이 형성된 센서플레이트(15)를 장착하여 센서와 연통되도록 구성하여 상기 구멍(15-1, 15-2, …15-n)과 센서가 대응할 경우 그 신호로 상기 레이저 발생부(10)와 구동모터(14)를 제어할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 마킹장치.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 센서플레이트(15)의 각 구멍(15-1, 15-2, …15-n)은 상기 마킹대상물체 안착부(20-1, 20-2, …20-n)와 동수이며, 서로간의 간격은 상기 다수의 마킹 대상물체 안착부(20-1, 20-2, …20-n) 간의 간격(θ)정도와 동일하게 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 마킹장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104816559A (zh) * 2015-05-29 2015-08-05 中国电子科技集团公司第四十六研究所 一种半导体材料的激光打标方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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