KR930011199A - 레이저 마킹장치 - Google Patents

레이저 마킹장치 Download PDF

Info

Publication number
KR930011199A
KR930011199A KR1019910020469A KR910020469A KR930011199A KR 930011199 A KR930011199 A KR 930011199A KR 1019910020469 A KR1019910020469 A KR 1019910020469A KR 910020469 A KR910020469 A KR 910020469A KR 930011199 A KR930011199 A KR 930011199A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
marking
center
laser
induction
conduit
Prior art date
Application number
KR1019910020469A
Other languages
English (en)
Other versions
KR950000279B1 (ko
Inventor
김강산
Original Assignee
정몽헌
현대전자산업 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 정몽헌, 현대전자산업 주식회사 filed Critical 정몽헌
Priority to KR1019910020469A priority Critical patent/KR950000279B1/ko
Publication of KR930011199A publication Critical patent/KR930011199A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR950000279B1 publication Critical patent/KR950000279B1/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/544—Marks applied to semiconductor devices or parts, e.g. registration marks, alignment structures, wafer maps

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Lasers (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

본 발명은 고정되어 있는 다수의 마킹대상 물체 안작부에 각각 대응하도록 레이저를 유도하는 한 유도관로를 회전시킴으로서 마킹대상물체의 이송 및 제거의 불필요한 공정을 수행치 않음으로서 작업의 능률 및 연속성을 기할 수 있다.

Description

레이저 마킹장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 원리를 설명하기 위한 개략적인 사시도.

Claims (6)

  1. 유도관로에 유도되는 레이저에 의하여 마킹대상물체 표면에 특정문자를 마킹하는 레이저 마킹장치에 있어서, 일정위치에 고정된 레이저 발생기(10)에 “”형의 제1유도관로(11)를 고착하고 상기 제1유도관로(11)하부에는 “”형의 상기 제1유도관로(11)에 대하여 회전가능한 상태로 제2유도관로(12)를 설치하되, 상기 각유도관로(11,12)내부의 절곡부에는, 서로 연통하는 반사거울(13A, 13B 및 13C)을 고정시키며, 상기 제2유도관로(12)하부에는 구동모터(14)의 회전축(14A)을 고정하여 상기 구동모우터(14)의 작동에 따라 상기 제2유도관로(12)가 상기 제1유도관로(11) 일단을 중심으로 회전할 수 있도록 구성하여 상기 제3반사거울(13C)에서 최종적으로 반사된 레이저가 제2유도관로(12)하부에 구성된 각 마킹대상물체 안착부(20－1,20－2,………20－n)에 안착된 각 마킹대상물체 표면에 순차적으로 주사될 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 레이저 마킹장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 다수의 마킹대상물체 안착부(20－1, 20－2, ………20－n)은 서로간에 일정한 간격정도( θ)를 유지하며, 동일 원형선상에 배열되고 그 중심(O)은 상기 제1유도관로(11)내의 제1반사거울(13A)의 중심과 제2유도관로(12)내의 제2반사거울(13B)의 중심을 있는 연장선산에 위치되도록 구성한 것을 특징으로 하는 레이저 마킹장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 각 마킹대상물체(20－1, 20－2, ………20－n)은 그 중심(9)에서 부터의 거기가 상기 제2유도관통(12)내의 제2반거울(13B)중심과 제3반사거울(13C) 중심간의 거리와 동일하게 구성한 것을 특징으로 하는 레이져 마킹장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 구동모터(14)의 회전축(14A)은 상기 제1유도관로(11)내의 제1반사거울(13A)중심과 제2유도관로(12)내의 제2반사거울(13B)의 중심을 잇는 연장선상과 일치되게 고정한 것을 특징으로 하는 레이저 마킹장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 회전축(14A)의 연변에는 다수의 구멍(15－1, 15－2, ………15－n)이 형성된 센서플레이트(15)를 장착하여 센서와 연통하도록 구성하여 상기 구멍(15－1, 15－2, ………15－n)과 센서가 대응할 경우 그 신호로 상기 레이저 발생부(10)과 구동모터(14)를 제어할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 레이저마킹장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 센서플레이트(15)의 각 구멍(15－1, 15－2, ………15－n)은 상기 마킹대상물체 안착부(20－1, 20－2, ………20－n)와 동수이며, 서로간의 간격은 상기 다수의 마킹 대상물체 안착부(20－1, 20－2, ………20－n)간의 간격(θ)정도와 동일하게 구성한 것을 특징으로 하는 레이저 마킹장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019910020469A 1991-11-18 1991-11-18 레이저 마킹장치 KR950000279B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019910020469A KR950000279B1 (ko) 1991-11-18 1991-11-18 레이저 마킹장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019910020469A KR950000279B1 (ko) 1991-11-18 1991-11-18 레이저 마킹장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR930011199A true KR930011199A (ko) 1993-06-23
KR950000279B1 KR950000279B1 (ko) 1995-01-12

Family

ID=19322965

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019910020469A KR950000279B1 (ko) 1991-11-18 1991-11-18 레이저 마킹장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR950000279B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104816559B (zh) * 2015-05-29 2017-04-12 中国电子科技集团公司第四十六研究所 一种半导体材料的激光打标方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR950000279B1 (ko) 1995-01-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3731021B2 (ja) 位置検出測量機
US4079230A (en) Laser working apparatus
US5298737A (en) Measuring apparatus for determining the position of a movable element with respect to a reference
KR930022066A (ko) 비접촉식 위치검출장치
DE69506190T2 (de) Strichkodeleser
CN212008926U (zh) 一种激光雷达
KR900015396A (ko) 레이저 빔 편향 장치
KR930011199A (ko) 레이저 마킹장치
EP0701158A3 (en) Apparatus for recording images on interior surface of cylinder
KR850003989A (ko) 홀로 그램 스캐너
CA1224256A (en) Apparatus for the inspection of sheets of material
CN107020451B (zh) 可旋转扫描的激光输出装置
JP2000174548A5 (ko)
KR880004548A (ko) 반도체웨이퍼표면검사용 레이저빔의 주사장치 및 주사방법
KR100228226B1 (ko) 3차원 형상 검출용 레이저 광선 주사장치
JPH0529887B2 (ko)
KR910001387A (ko) 실장완료프린트기판의 검사장치
JPS5820412B2 (ja) 光学読取装置
KR890016362A (ko) 막두께 측정방법
US2966655A (en) Arrangement for the map-like representation of the position and shape of reflecting objects
US4571835A (en) Method of depicting a solid
FR2444638A1 (fr) Dispositif anti-collision, notamment pour prevenir une collision entre un cable et la contre-fleche d'une grue
JPH01262520A (ja) レーザビームスキャナ
GB2164901A (en) Reading or writing apparatus
JPH0716238Y2 (ja) 指針の読み取り装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
G160 Decision to publish patent application
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20051219

Year of fee payment: 12

LAPS Lapse due to unpaid annual fee