KR940018926A - 아르곤에 의한 표면세정 - Google Patents

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Abstract

아르곤가스와 질소가스를 혼합하고, 냉각기로 냉각하여 그 압력에서의 아르곤가스의 액화점이하로 냉각하여, 가스중에 미세액체방울을 형성한다. 그후 가스를 노즐로부터 진공용기중에 분사함으로써, 단열팽창에 의해 더욱 온도를 저하시키고 미세액체방울을 고체미립자로 변환시켜 피세정표면에 분사시킨다.

Description

아르곤에 의한 표면세정
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에 따른 표면세정방법을 실시하기 위한 세정장치의 기본구성을 나타내는 구성도이다.

Claims (39)

  1. 아르곤액채를 포함하는 유체를 노즐장치로부터 감압분위기 중에 분사하는 것에 의해서 팽창시켜, 전기 아르곤액체의 적어도 일부를 고화시켜서 아르곤미립자로 하는 아르곤미립자형성공정과, 전기 아르곤미립자를 포함하는 유체을 피세정표면에 분사시키는 분사공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면세정방법.
  2. 제1항에 있어서, 또한, 전기아르곤미립자형성공정전에, 아르곤가스를 포함하는 가스를 그 압력에서의 아르곤가스의 액화점이하로 냉각하여 아르곤미세액체방울을 형성하는 냉각공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면세정방법.
  3. 제2항에 있어서, 전기노즐장치 및 피세정표면이 진공용기중에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 표면세정방법.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 전기아르곤을 포함하는 가스가 아르곤가스와 질소가스의 혼합가스이고, 질소가스의 농도는 2∼70몰%인것을 특징으로 하는 표면세정방법.
  5. 제3항에 있어서, 전기진공용기중의 압력은 0.2기압이상 0.7기압 이하인 것을 특징으로 하는 표면세정방법.
  6. 제3항에 있어서, 전기노즐장치내의 전기아르곤을 포함하는 가스의 압력은 3기압 7기압 이하인 것을 특징으로 하는 표면세정방법.
  7. 제2항에 있어서, 전기아르곤미립자는 표면이 고상상태이고, 내부가 액상상태인 것을 특징으로 하는 표면세정방법.
  8. 제2항에 있어서, 전기냉각공정은, 전기노즐장치내의 아르곤을 포함하는 가스의 온도를 측정하여, 온도가 거의 일정하게 되어 아르곤을 포함하는 가스중에 미세액체방울이 형성되기 시작하는 시점을 검출하는 공정과, 전기온도가 거의 일정하게 된시점에서의 전기노즐장치내의 가스의 제1압력을 측정하여, 그 제1압력으로부터 더욱 소정량 낮은 제2압력에서 전기노즐장치내의 가스의 압력이 일정하게 되도록 아르곤을 포함하는 가스의 냉각량을 조절하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면세정방법.
  9. 제2항에 있어서, 전기냉각공정은, 전기노즐장치내의 압력을 소정의 압력으로 유지하면서 전기아르곤을 포함하는 가스를 냉각함과 동시에, 전기아르곤을 포함하는 가스의 몰유량을 서서히 증가하여, 그 몰유량이 급격히 증가하기 시작하는 시점에서의 제1몰유량을 측정하는 공정과, 전기노즐장치내의 압력을 소정의 압력으로 유지하면서 전기아르곤을 포함하는 가스를 냉각함과 동시에, 그 몰유량을 더욱 증가하여, 그 몰유량이 소정의 제2몰유량이 되도록 전기아르곤가스의 냉각량 및 그 몰유량을 조절하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면세정방법.
  10. 제9항에 있어서, 전기노즐장치내의 압력은 3기압 이상 7기압 이하인 것을 특징으로 하는 표면세정방법.
  11. 제9항에 있어서, 전기 제2몰유량은 전기 제 제1몰유량의 1.2배 이상 4배 이하인 것을 특징으로 하는 표면세정방법.
  12. 제2항에 있어서, 전기분사공정은, 또한, 다른 노즐장치에서 기체를 분사하여 전기 피세정표면에 분사하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 면세정방법.
  13. 제12항에 있어서, 전기분사공정은, 또한 전기 다른 노즐장치에서 분사하는 기체를 가열하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면세정방법.
  14. 제12항에 있어서, 전기분사공정은, 또한 전기노즐장치로부터의 전기아르곤을 미립자를 포함하는 유체가 전기피세정물표면에 분사된 뒤에, 전기 다른 노즐장치에서 나오는 기체를 분사시키는 것을 특징으로 하는 표면세정방법.
  15. 제12항에 있어서, 전기 다른 노즐장치에서 분사하는 기체가 질소가스인 것을 특징으로 하는 표면세정방법.
  16. 제1항에 있어서, 또한, 전기노즐장치와 전기피세정표면을 상대적으로 이동시키는 이동공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면세정방법.
  17. 제16항에 있어서, 전기노즐장치는 어느 방향으로 거의 등간격으로 배열한 다수의 노즐을 포함하고, 전기 이동공정은 전기 다수의 노즐과 전기피세정표면을 상대적으로, 전기 어느방향으로 고속으로 전기 등간격과 동등 이상의 폭으로, 그리고 전기 어느 방향과 거의 직각인 방향으로 저속으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 표면세정방법.
  18. 제16항에 있어서, 전기아르곤미립자형성공정은, 아르곤미세액체방울을 포함하는 유체를 적어도 소정의 제1방향으로 분사하는 공정과, 아르곤미세액체방울을 포함하는 유체를 전기 제1방향과는 다른 제2방향으로 분사하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면세정방법.
  19. 제18항에 있어서, 전기 제1방향은, 전기 제2방향에 대하여, 전기피세정표면에의 사영(射影)이 역방향인 것을 특징으로 하는 표면세정방법.
  20. 제19항에 있어서, 전기 이동공정중, 전기 피세정표면을 전기 상대이동방향에 대하여 교차하는 방향으로 보다 고속으로 왕복이동시키는 것을 특징으로 하는 표면세정방법.
  21. 제19항에 있어서, 전기이동공정 중, 전기피세정표면을 그 중심축을 중심으로 하여 소정회전각의 범위에서 회전시키는 것을 특징으로 하는 표면세정방법.
  22. 제16항에 있어서, 전기이동공정은, 피세정표면을 소정의 방향으로 왕복이동하는 공정을 포함하고, 전기분사공정은, 전기피세정표면의 왕복이동방향과 직교하는 방향으로 거의 등간격으로 배열한 다수의 노즐로부터 아르곤미립자를 포함하는 유체를 전기 피세정표면의 왕로(往路)의 이동방향으로 경사지게 분사하는 공정과, 다수의 노즐로부터 아르곤미립자를 포함하는 유체를 전기 피세정표면의 복로(復路)의 이동방향으로 경사지게, 그리고 전기피세정표면상에의 사영이 서로 역방향이 되도록 분사하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면세정방법.
  23. 아르곤액체를 포함하는 가스를 공급하기 위한 가스공급수단과, 적어도 전기 아르곤액체를 포함하는 가스가 공급되어, 전기아르곤액체를 포함하는 가스를 분출하기 위한 다수의 노즐이 설치되어 있는 노즐장치와, 전기노즐장치의 가스분사방향으로 피세정물을 지지하기 위한 피세정물지지수단과, 전기노즐장치 및 전기피세정물지지수단을 수용하는 기밀용기와, 전기기밀용기내를 배기할 수 있는 배기수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면세정장치.
  24. 제23항에 있어서, 전기가스공급수단은, 적어도 아르곤가스를 포함하는 가스를 공급하는 아르곤가스원과, 전기아르곤가스원으로부터 공급된 가스를, 그 압력에서의 아르곤가스의 액화점이하로 냉각하기 위한, 냉각량가변의 냉각수단을 포함하며, 또한, 전기노즐장치내의 온도를 측정하기 위한 온도계와, 전기노즐장치내의 압력을 측정하기 위한 압력계와, 전기온도계에 의해서 측정된 온도값과 전기압력계에 의해서 측정된 압력값이 입력되어, 전기압력력값이 소정의 값이 되도록 전기 냉각수단의 냉각량을 조절하기 위한 제어수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면세정장치.
  25. 제24항에 있어서, 또한, 아르곤가스를 포함하는 가스를 소정의 몰유량으로 흐르게 하기 위한 아르곤유량조절수단이, 전기냉각수단의 상류에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 표면세정장치.
  26. 제24항에 있어서, 전기냉각수단은, 열교환기와, 이 열교환기를 흐르는 액화질소의 유량을 제어하기 위한 냉각용유량조절수단으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 표면세정장치.
  27. 제24항에 있어서, 전기냉각수단은, 클라이오시스템과 가열수단으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 표면세정장치.
  28. 제23항에 있어서, 전기피세정물지지수단은, 전기노즐장치와 피세정물을 상대적으로 소정방향으로 이동시킬 수 있는 구동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면세정장치.
  29. 제28항에 있어서, 전기노즐장치는 어느방향으로 거의 등간격으로 배열한 다수의 노즐을 포함하고, 전기구동수단은 전기노즐장치와 피세정물을 상대적으로, 전기 어느방향으로 고속으로 전기등간겨과 동등이상의 폭으로, 그리고 전기 어느방향과 거의 직각인 방향으로 저속으로 이동시킬 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 표면세정장치.
  30. 제28항에 있어서, 전기노즐장치는, 아르곤미세액체방울을 포함하는 가스를 분사하기 위한 노즐로 된 일방의 노즐군과, 기체를 분사하기 위한 노즐로 된 타방의 노즐군을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면세정장치.
  31. 제30항에 있어서, 전기일방의 노즐군 및 전기타방의 노즐군은 각각, 다수의 노즐이 어느 방향으로 배열된 노즐열을 가지며, 전기노즐군의 전기노즐열로 전기다른 노즐군의 전기노즐열과 평행으로 배치된 것을 특징으로 하는 표면세정장치.
  32. 제31항에 있어서, 전기구동수단이 전기 일방의 노즐군 및 전기 타방의 노즐군의 노즐열의 방향 및, 그것에 직교하는 방향으로 이동가능한 것임을 특징으로 하는 표면세정장치.
  33. 제31항에 있어서, 전기 타방의 노즐군은 또한 전기기체를 가열하는 장치를 갖는 것을 특징으로 하는 표면세정장치.
  34. 제28항에 있어서, 전기노즐장치는 아르곤미세액체방울을 포함하는 가스를 다수의 다른 방향으로 분사할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 표면세정장치.
  35. 제34항에 있어서, 전기 노즐장치는 전기 피세정물표면에의 사영이 역방향인 두개의 분사방향을 갖는 다수의 노즐을 구비한 것을 특징으로 하는 표면세정장치.
  36. 제34항에 있어서, 전기 노즐장치는 전기 피세정물표면에의 사영이 서로 역방향인 분사방향으로 방향을 가변할 수 있는 다수의 노즐을 갖는 것을 특징으로 하는 표면세정장치.
  37. 제35항 또는 제36항에 있어서, 전기 다수의 노즐은 전기 노즐장치와 전기 피세정물간의 상대이동방향으로 평행항 수직면에 대하여 소정의 각도를 갖는 것을 특징으로 하는 표면세정장치.
  38. 제34항에 있어서, 전기 구동수단은 전기노즐장치와 전기피세정물간의 상대이동방향에 대하여 교차하는 방향으로 요동가능한 것임을 특징으로 하는 표면세정장치.
  39. 제34항에 있어서, 전기 구동수단은 전기 피세정물을 어느 점을 중심으로 하여 소정의 회전각의 범위에서 회전가능한 것임을 특징으로 하는 표면세정장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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