JP2809995B2 - 極低温用ウルトラクリーンノズルとその製造方法 - Google Patents
極低温用ウルトラクリーンノズルとその製造方法Info
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- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24C—ABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
- B24C7/00—Equipment for feeding abrasive material; Controlling the flowability, constitution, or other physical characteristics of abrasive blasts
- B24C7/0046—Equipment for feeding abrasive material; Controlling the flowability, constitution, or other physical characteristics of abrasive blasts the abrasive material being fed in a gaseous carrier
- B24C7/0053—Equipment for feeding abrasive material; Controlling the flowability, constitution, or other physical characteristics of abrasive blasts the abrasive material being fed in a gaseous carrier with control of feed parameters, e.g. feed rate of abrasive material or carrier
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- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
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- B24C3/32—Abrasive blasting machines or devices; Plants designed for abrasive blasting of particular work, e.g. the internal surfaces of cylinder blocks
- B24C3/322—Abrasive blasting machines or devices; Plants designed for abrasive blasting of particular work, e.g. the internal surfaces of cylinder blocks for electrical components
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ノズルとその製造方法
に関し、特に液滴を含む極低温流体をクリーンな雰囲気
中に置かれた対象物上に噴射して対象物を洗浄するため
の極低温用ウルトラクリーンノズルとその製造方法に関
する。
に関し、特に液滴を含む極低温流体をクリーンな雰囲気
中に置かれた対象物上に噴射して対象物を洗浄するため
の極低温用ウルトラクリーンノズルとその製造方法に関
する。
【０００２】なお、本明細書で「極低温」とは、約１２
０Ｋ以下の温度、特に約８５〜１１０Ｋの温度を指す。
０Ｋ以下の温度、特に約８５〜１１０Ｋの温度を指す。
【０００３】
【従来の技術】半導体ウエハのような対象物のウルトラ
クリーンな条件を必要とする洗浄方法として、極低温ア
ルゴンガス吹き付けによる洗浄が提案されている。アル
ゴンガスまたはアルゴンガスを含む混合ガスを極低温に
し、真空容器内の減圧雰囲気中に置かれた対象物表面に
ノズルから吹き付ける方法である。
クリーンな条件を必要とする洗浄方法として、極低温ア
ルゴンガス吹き付けによる洗浄が提案されている。アル
ゴンガスまたはアルゴンガスを含む混合ガスを極低温に
し、真空容器内の減圧雰囲気中に置かれた対象物表面に
ノズルから吹き付ける方法である。
【０００４】ノズルから減圧雰囲気中に解放されたガス
は、急激に断熱膨張してその温度を低下させる。温度低
下の結果、固体アルゴン微粒子が形成され、対象物の表
面に衝突する。
は、急激に断熱膨張してその温度を低下させる。温度低
下の結果、固体アルゴン微粒子が形成され、対象物の表
面に衝突する。
【０００５】たとえば、加圧状態のアルゴン含有ガス
を、その圧力でのアルゴンの液化点よりもわずかに高い
温度まで冷却し、ノズルから真空容器中に吹き出す。膨
張したアルゴンガスの一部は固体アルゴン微粒子に変化
して対象物表面に衝突する。
を、その圧力でのアルゴンの液化点よりもわずかに高い
温度まで冷却し、ノズルから真空容器中に吹き出す。膨
張したアルゴンガスの一部は固体アルゴン微粒子に変化
して対象物表面に衝突する。
【０００６】このようなアルゴン微粒子の吹き付けは、
洗浄を目的とするものであり、洗浄対象物を汚染するこ
とは極力避けなければならない。吹き付け前のアルゴン
含有ガス中の固体および液体のパーティクルは、フィル
タで除去することができる。アルゴンより高い液化点を
有する不純物ガスは、ノズルより上流でガスを予冷する
ことにより凝縮させ、除去することができる。
洗浄を目的とするものであり、洗浄対象物を汚染するこ
とは極力避けなければならない。吹き付け前のアルゴン
含有ガス中の固体および液体のパーティクルは、フィル
タで除去することができる。アルゴンより高い液化点を
有する不純物ガスは、ノズルより上流でガスを予冷する
ことにより凝縮させ、除去することができる。
【０００７】アルゴンよりも低い液化点を有するガス
は、窒素、水素、ヘリウム等、その種類が限られてお
り、たとえ対象物表面に付着しても、加熱等により容易
に脱離させることができる。
は、窒素、水素、ヘリウム等、その種類が限られてお
り、たとえ対象物表面に付着しても、加熱等により容易
に脱離させることができる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところが、実際に真空
容器中でノズルからアルゴンガスを噴射させると、無視
できない数のパーティクルが観察された。原因の１つ
は、ノズル加工時に生じたノズル材の研削粉等であろ
う。ノズルの使用時間と共に発生するパーティクルの数
が減少するのは、このような付着パーティクルが脱離す
るためであろう。しかし、長期にノズルを使用しても発
生するパーティクルの数はあるレベル以下にはなかなか
減らないことが判った。
容器中でノズルからアルゴンガスを噴射させると、無視
できない数のパーティクルが観察された。原因の１つ
は、ノズル加工時に生じたノズル材の研削粉等であろ
う。ノズルの使用時間と共に発生するパーティクルの数
が減少するのは、このような付着パーティクルが脱離す
るためであろう。しかし、長期にノズルを使用しても発
生するパーティクルの数はあるレベル以下にはなかなか
減らないことが判った。
【０００９】本発明の目的は、パーティクルの発生を防
止しつつ、ウルトラクリーンな環境に極低温ガスを噴射
することのできるノズルを提供することである。本発明
の他の目的は、パーティクル発生を極力防止できる極低
温用ノズルの製造方法を提供することである。
止しつつ、ウルトラクリーンな環境に極低温ガスを噴射
することのできるノズルを提供することである。本発明
の他の目的は、パーティクル発生を極力防止できる極低
温用ノズルの製造方法を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の極低温用ノズル
は、液滴を含む極低温流体をクリーンな雰囲気中に置か
れた対象物上に噴射するための極低温用ノズルであっ
て、純アルミニウム材で形成されたノズル孔部を有す
る。
は、液滴を含む極低温流体をクリーンな雰囲気中に置か
れた対象物上に噴射するための極低温用ノズルであっ
て、純アルミニウム材で形成されたノズル孔部を有す
る。
【００１１】本発明の極低温用ノズルの製造方法は、純
アルミニウム材の無垢材を準備する工程と、純アルミニ
ウム無垢材を機械加工して、中空部を有する筒状体であ
り、外部から中空部に貫通するノズル孔を有するノズル
ヘッドを形成する工程と、中空部を化学機械研磨する工
程と、ノズル孔を超音波洗浄する工程とを含む。
アルミニウム材の無垢材を準備する工程と、純アルミニ
ウム無垢材を機械加工して、中空部を有する筒状体であ
り、外部から中空部に貫通するノズル孔を有するノズル
ヘッドを形成する工程と、中空部を化学機械研磨する工
程と、ノズル孔を超音波洗浄する工程とを含む。
【００１２】
【作用】極低温用構造材としては、一般にステンレス鋼
や高張力アルミニウム合金が用いられている。しかし、
これらの材料を用いてノズルを作製すると、Ａｒガス吹
き付け時に発生するパーティクルの数はなかなか低減し
ないことが判った。
や高張力アルミニウム合金が用いられている。しかし、
これらの材料を用いてノズルを作製すると、Ａｒガス吹
き付け時に発生するパーティクルの数はなかなか低減し
ないことが判った。
【００１３】純アルミニウム材でノズルヘッドを作成す
ると、発生するパーティクルの数は使用時間と共に急激
に減少することが判った。純アルミニウム材からノズル
を作成するには、まず機械加工でノズルを作成する。ノ
ズル作成後、研削粉等を除去するため、洗浄を行なうこ
とが必要である。半径の大きい部分は、化学機械研磨
（ＣＭＰ）で洗浄することが好ましい。しかし、内径の
小さなノズル孔にはＣＭＰを行なうことが困難である。
ノズル孔に対しては、超音波洗浄を行なうことで良好な
洗浄を行なうことができる。
ると、発生するパーティクルの数は使用時間と共に急激
に減少することが判った。純アルミニウム材からノズル
を作成するには、まず機械加工でノズルを作成する。ノ
ズル作成後、研削粉等を除去するため、洗浄を行なうこ
とが必要である。半径の大きい部分は、化学機械研磨
（ＣＭＰ）で洗浄することが好ましい。しかし、内径の
小さなノズル孔にはＣＭＰを行なうことが困難である。
ノズル孔に対しては、超音波洗浄を行なうことで良好な
洗浄を行なうことができる。
【００１４】
【実施例】図１に、本発明の実施例によるノズル構造を
示す。図１（Ａ）に示すように、ノズルヘッド１は、純
アルミニウム材で形成され、熱交換器２にメタルガスケ
ット５を介して気密に接続されている。ノズルヘッド１
の接続部８は大径化され、その外周にネジ９が切られて
いる。
示す。図１（Ａ）に示すように、ノズルヘッド１は、純
アルミニウム材で形成され、熱交換器２にメタルガスケ
ット５を介して気密に接続されている。ノズルヘッド１
の接続部８は大径化され、その外周にネジ９が切られて
いる。
【００１５】熱交換器２の接続部１１も、接続部８と同
一径に大径化されている。締結具３は、滑動用ベアリン
グ６を介して熱交換器接続部１１に係合し、内径部に設
けられたネジ１３が、ノズルヘッド１のネジ９と互いに
螺合する。
一径に大径化されている。締結具３は、滑動用ベアリン
グ６を介して熱交換器接続部１１に係合し、内径部に設
けられたネジ１３が、ノズルヘッド１のネジ９と互いに
螺合する。
【００１６】締結具３を回転させることにより、ネジ
９、１３の螺合により、ノズルヘッド１は熱交換器２に
押し付けられ、メタルガスケット５によって気密性を保
持する。
９、１３の螺合により、ノズルヘッド１は熱交換器２に
押し付けられ、メタルガスケット５によって気密性を保
持する。
【００１７】ノズルヘッド１の他端は、図１（Ｂ）、
（Ｃ）に示すような部材で終端化されている。図１
（Ｂ）は、盲蓋となる終端部材４ａがノズルヘッド１の
開口を閉じる構成を示す。熱電対Ｔｃが終端部材４ａ内
に埋め込まれるように配置されている。各部材間の結合
は、熱交換器２側の結合と同様である。図１（Ｃ）は、
小径のスリーブを構成する終端部材４ｂをノズルヘッド
１の開口に結合する場合を示す。小径部内に熱電対や圧
力計を設ける。
（Ｃ）に示すような部材で終端化されている。図１
（Ｂ）は、盲蓋となる終端部材４ａがノズルヘッド１の
開口を閉じる構成を示す。熱電対Ｔｃが終端部材４ａ内
に埋め込まれるように配置されている。各部材間の結合
は、熱交換器２側の結合と同様である。図１（Ｃ）は、
小径のスリーブを構成する終端部材４ｂをノズルヘッド
１の開口に結合する場合を示す。小径部内に熱電対や圧
力計を設ける。
【００１８】ノズルヘッド１の中央部には、円筒状の中
空部１５が形成されている。また、ノズルヘッド１の外
周から中空部１５に向かってノズル孔１６が形成されて
いる。ノズル孔１６は、円筒状の形状を有する。中空部
１５は、たとえば、内径４〜１２ｍｍ程度であり、ノズ
ル孔１６はたとえば内径０．１５〜０．３ｍｍ程度であ
る。ノズル孔の径とノズル孔の数は、ノズルヘッド内で
所望の圧力を維持できるように選択する。
空部１５が形成されている。また、ノズルヘッド１の外
周から中空部１５に向かってノズル孔１６が形成されて
いる。ノズル孔１６は、円筒状の形状を有する。中空部
１５は、たとえば、内径４〜１２ｍｍ程度であり、ノズ
ル孔１６はたとえば内径０．１５〜０．３ｍｍ程度であ
る。ノズル孔の径とノズル孔の数は、ノズルヘッド内で
所望の圧力を維持できるように選択する。
【００１９】ノズル孔１６のピッチは、洗浄対象物を載
置して２次元走査を行なうステージの横方向走査幅に合
わせる。たとえば、１０〜３０ｍｍ程度とする。ノズル
孔の分布する幅は、洗浄対象物の幅に合わせる。たとえ
ば、６インチウエハ洗浄用の場合、ピッチ１２．５ｍｍ
で１２個のノズル孔を１３７．５ｍｍの幅に分布させ
る。
置して２次元走査を行なうステージの横方向走査幅に合
わせる。たとえば、１０〜３０ｍｍ程度とする。ノズル
孔の分布する幅は、洗浄対象物の幅に合わせる。たとえ
ば、６インチウエハ洗浄用の場合、ピッチ１２．５ｍｍ
で１２個のノズル孔を１３７．５ｍｍの幅に分布させ
る。
【００２０】ノズルヘッド１を作成するには、まず真空
鋳造した純度５Ｎ（９９．９９９％以上）のスパッタリ
ングターゲット用アルミニウム材を無垢棒状に加工し、
この無垢棒に対し、旋盤加工により外形を整える。次に
ガンドリル加工により、貫通中空部１５を形成する。中
空部１５形成後、ドリル加工によりノズル孔１６を形成
する。
鋳造した純度５Ｎ（９９．９９９％以上）のスパッタリ
ングターゲット用アルミニウム材を無垢棒状に加工し、
この無垢棒に対し、旋盤加工により外形を整える。次に
ガンドリル加工により、貫通中空部１５を形成する。中
空部１５形成後、ドリル加工によりノズル孔１６を形成
する。
【００２１】このような機械加工によりノズルヘッド１
の構造を作成した後、酸による化学的エッチングと機械
的研磨を組み合わせた化学機械研磨（ＣＭＰ）により、
中空部１５を研磨し、表面に残留する研削粉等を除去す
る。
の構造を作成した後、酸による化学的エッチングと機械
的研磨を組み合わせた化学機械研磨（ＣＭＰ）により、
中空部１５を研磨し、表面に残留する研削粉等を除去す
る。
【００２２】図２（Ａ）は、ＣＭＰ工程を示す。砥粒を
付着させた棒状ないし紐状の研磨部材１７をノズルヘッ
ド１の中空部１５に通し、エッチング剤１８を流しなが
ら、機械的研磨を行なう。
付着させた棒状ないし紐状の研磨部材１７をノズルヘッ
ド１の中空部１５に通し、エッチング剤１８を流しなが
ら、機械的研磨を行なう。
【００２３】次に、ノズル孔１６の洗浄を行なう。ノズ
ル孔が０．３ｍｍ程度以上の直径を有する場合は、ダイ
ヤモンド粒子等を含むエッチング液を噴射させる化学機
械研磨を行なうことができる。直径が約０．２５ｍｍ以
下の場合、化学機械研磨を行なうことは極めて困難とな
る。ノズル孔１６は、たとえば、直径０．１８ｍｍであ
り、化学機械研磨を行なうことは困難である。
ル孔が０．３ｍｍ程度以上の直径を有する場合は、ダイ
ヤモンド粒子等を含むエッチング液を噴射させる化学機
械研磨を行なうことができる。直径が約０．２５ｍｍ以
下の場合、化学機械研磨を行なうことは極めて困難とな
る。ノズル孔１６は、たとえば、直径０．１８ｍｍであ
り、化学機械研磨を行なうことは困難である。
【００２４】図２（Ｂ）は、ノズル孔の洗浄工程を示
す。容器１９に純水を収容し、ノズルヘッド１を浸漬す
る。上方より超音波振動子２０を水中に入れ、先端をノ
ズルヘッド近傍に配置する。
す。容器１９に純水を収容し、ノズルヘッド１を浸漬す
る。上方より超音波振動子２０を水中に入れ、先端をノ
ズルヘッド近傍に配置する。
【００２５】各ノズル孔１６直上に振動子を順次配置
し、超音波洗浄することにより、ノズル孔１６内に残留
する研削粉等を効率的に除去することが可能である。図
３は、上述の純アルミニウムノズルを用いたアルゴン洗
浄装置を示す。マスフローコントローラ９１、９２によ
ってそれぞれ一定流量に調整されたＡｒガス及びＮ2 ガ
スの混合ガスが配管２１を通してフィルタ２５に供給さ
れる。フィルタ２５によって粒子が除去されたガスは、
配管２２を介して二重管熱交換器７７に供給される。
し、超音波洗浄することにより、ノズル孔１６内に残留
する研削粉等を効率的に除去することが可能である。図
３は、上述の純アルミニウムノズルを用いたアルゴン洗
浄装置を示す。マスフローコントローラ９１、９２によ
ってそれぞれ一定流量に調整されたＡｒガス及びＮ2 ガ
スの混合ガスが配管２１を通してフィルタ２５に供給さ
れる。フィルタ２５によって粒子が除去されたガスは、
配管２２を介して二重管熱交換器７７に供給される。
【００２６】二重管熱交換器７７には、配管８６から液
化窒素が供給されている。液化窒素は配管２２を介して
供給された混合ガスをＡｒガスのその圧力での液化点以
下に冷却し、一部または全部が気体になって配管８７を
介して排出される。配管８７には、フローレートコント
ローラ８２が設けられており、排出される窒素ガス及び
液化窒素の流量を所望の値に調整することができる。
化窒素が供給されている。液化窒素は配管２２を介して
供給された混合ガスをＡｒガスのその圧力での液化点以
下に冷却し、一部または全部が気体になって配管８７を
介して排出される。配管８７には、フローレートコント
ローラ８２が設けられており、排出される窒素ガス及び
液化窒素の流量を所望の値に調整することができる。
【００２７】二重管熱交換器７７に供給された混合ガス
はＡｒガスのその圧力での液化点以下に冷却され、微細
液滴となって真空容器２４内に配置されたノズルヘッド
１に供給される。このとき、二重管熱交換器７７とノズ
ルヘッド１との間の配管は直線状であることが好まし
い。ノズルヘッド１は、上述のように純アルミニウムで
形成されている。
はＡｒガスのその圧力での液化点以下に冷却され、微細
液滴となって真空容器２４内に配置されたノズルヘッド
１に供給される。このとき、二重管熱交換器７７とノズ
ルヘッド１との間の配管は直線状であることが好まし
い。ノズルヘッド１は、上述のように純アルミニウムで
形成されている。
【００２８】屈曲部があると、内面の鏡面研磨、電解研
磨が困難となり、配管内面の凹凸からのパーティクル発
生を防止できないからである。また、屈曲部内面には、
多くの凹凸が発生し、パーティクル発生の原因となる。
ノズルヘッド１には複数のノズル孔が設けられており、
冷却された混合ガスは、アルゴンの液滴と共にノズル孔
から真空容器２４内に吹き出される。
磨が困難となり、配管内面の凹凸からのパーティクル発
生を防止できないからである。また、屈曲部内面には、
多くの凹凸が発生し、パーティクル発生の原因となる。
ノズルヘッド１には複数のノズル孔が設けられており、
冷却された混合ガスは、アルゴンの液滴と共にノズル孔
から真空容器２４内に吹き出される。
【００２９】ノズルヘッド１は、配管７５により真空容
器２４の外部の圧力計７８に接続されており、ノズルヘ
ッド１内の圧力を測定することができる。また、配管７
５を通してノズルヘッド１内に熱電対７６が挿入されて
おり、内部の温度を測定することができる。
器２４の外部の圧力計７８に接続されており、ノズルヘ
ッド１内の圧力を測定することができる。また、配管７
５を通してノズルヘッド１内に熱電対７６が挿入されて
おり、内部の温度を測定することができる。
【００３０】ノズルヘッド１の下方には、ウエハテーブ
ル７９が配置されている。ノズル孔から吹き出したアル
ゴン微粒子を含む混合ガスは、ウエハテーブル７９の上
に載置された被洗浄物表面に噴射され、被洗浄物表面を
洗浄する。
ル７９が配置されている。ノズル孔から吹き出したアル
ゴン微粒子を含む混合ガスは、ウエハテーブル７９の上
に載置された被洗浄物表面に噴射され、被洗浄物表面を
洗浄する。
【００３１】真空容器２４は、配管８３及びオイルトラ
ップ８４を介して真空排気装置８５に接続されている。
これにより、真空容器２４内は、真空排気される。オイ
ルトラップ８４は真空排気装置８５からのオイルの逆流
を防止するためのものである。さらに、オイルの逆流を
減少させるために、ドライポンプを使用してもよい。
ップ８４を介して真空排気装置８５に接続されている。
これにより、真空容器２４内は、真空排気される。オイ
ルトラップ８４は真空排気装置８５からのオイルの逆流
を防止するためのものである。さらに、オイルの逆流を
減少させるために、ドライポンプを使用してもよい。
【００３２】圧力計７８及び熱電対７６の測定結果は電
気信号の形で制御手段８１に送られる。制御手段８１
は、ノズルヘッド１内部が所望の圧力になるように流量
調整手段８２の流量を調整する。
気信号の形で制御手段８１に送られる。制御手段８１
は、ノズルヘッド１内部が所望の圧力になるように流量
調整手段８２の流量を調整する。
【００３３】図４は、ノズルヘッド１内の温度と圧力の
変化の様子を示すグラフである。横軸は、時間を表し、
縦軸は温度及び圧力を表す。二重管熱交換器７７によっ
て混合ガスを冷却すると、ノズルヘッド１内の温度は低
下する。アルゴンのその圧力での液化点Ｔ０に達する
と、その後は前述したように温度はほとんど低下しな
い。
変化の様子を示すグラフである。横軸は、時間を表し、
縦軸は温度及び圧力を表す。二重管熱交換器７７によっ
て混合ガスを冷却すると、ノズルヘッド１内の温度は低
下する。アルゴンのその圧力での液化点Ｔ０に達する
と、その後は前述したように温度はほとんど低下しな
い。
【００３４】圧力は、温度の低下と共に減少し、温度Ｔ
０の時の圧力Ｐ０に達する。さらに冷却すると、Ａｒガ
スの液化が始まるため、圧力の減少速度は速くなり、事
前に制御装置１１に与えられている所望の圧力Ｐ１に達
する。
０の時の圧力Ｐ０に達する。さらに冷却すると、Ａｒガ
スの液化が始まるため、圧力の減少速度は速くなり、事
前に制御装置１１に与えられている所望の圧力Ｐ１に達
する。
【００３５】制御手段８１は、ノズルヘッド１内の圧力
がＰ１に達したことを検出すると、その後圧力が一定に
なるように、流量調整手段８２の流量を調整する。この
ときＰ０とＰ１との差は、Ａｒガスの液化量に対応して
いるため、この差分からＡｒガスの液化量を推定するこ
とができる。従って、圧力Ｐ１を所望の値に設定してお
くことにより、所望のＡｒガスを液化させることが可能
になる。また、液化量に応じて圧力は大きく変化するた
め、Ａｒガスの液化量を少ない誤差で制御することがで
きる。
がＰ１に達したことを検出すると、その後圧力が一定に
なるように、流量調整手段８２の流量を調整する。この
ときＰ０とＰ１との差は、Ａｒガスの液化量に対応して
いるため、この差分からＡｒガスの液化量を推定するこ
とができる。従って、圧力Ｐ１を所望の値に設定してお
くことにより、所望のＡｒガスを液化させることが可能
になる。また、液化量に応じて圧力は大きく変化するた
め、Ａｒガスの液化量を少ない誤差で制御することがで
きる。
【００３６】Ａｒガスの液化量が一定であれば、ノズル
から吹き出した後のアルゴン微粒子も一定と考えられる
ため、所望の量のアルゴン微粒子を、被洗浄物表面に噴
射することができる。これによって、被洗浄物表面に与
えるダメージと洗浄力を適正な値に維持して洗浄を行う
ことができる。
から吹き出した後のアルゴン微粒子も一定と考えられる
ため、所望の量のアルゴン微粒子を、被洗浄物表面に噴
射することができる。これによって、被洗浄物表面に与
えるダメージと洗浄力を適正な値に維持して洗浄を行う
ことができる。
【００３７】図４では、混合ガスの流量を一定にし、圧
力の変化を検出して冷却量を調整する場合について説明
したが、圧力を所望の値に設定しておき、圧力を一定に
保ちつつ混合ガスの流量を増加させてもよい。
力の変化を検出して冷却量を調整する場合について説明
したが、圧力を所望の値に設定しておき、圧力を一定に
保ちつつ混合ガスの流量を増加させてもよい。
【００３８】図５は、ノズル装置内の圧力を一定に保ち
つつ流量を増加させた場合の混合ガスの冷却温度に対す
る流量の変化を示す。横軸は混合ガスの冷却後の温度を
絶対温度Ｋで表し、縦軸はアルゴンガスと窒素ガスとの
合計の冷却前の流量を単位ｓｌｍで表す。
つつ流量を増加させた場合の混合ガスの冷却温度に対す
る流量の変化を示す。横軸は混合ガスの冷却後の温度を
絶対温度Ｋで表し、縦軸はアルゴンガスと窒素ガスとの
合計の冷却前の流量を単位ｓｌｍで表す。
【００３９】流量を徐々に増加させると、ノズルヘッド
１内の圧力が上昇する。圧力を一定に保つため、制御手
段８１による制御によって冷却量が増加し、混合ガスの
温度が下がる。このように、流量を徐々に増加させる
と、混合ガスの冷却後の温度が徐々に低下する。
１内の圧力が上昇する。圧力を一定に保つため、制御手
段８１による制御によって冷却量が増加し、混合ガスの
温度が下がる。このように、流量を徐々に増加させる
と、混合ガスの冷却後の温度が徐々に低下する。
【００４０】混合ガスの冷却後の温度が、その圧力にお
けるアルゴンの液化点に達するとアルゴンの液化が始ま
る。この液化開始時点の混合ガスの温度及び流量は、ノ
ズルヘッド１内の圧力、ノズルの形状等によって相違す
るが、本実施例の条件下では、混合ガスの温度は約１０
６Ｋ、流量は約１２ｓｌｍであった。
けるアルゴンの液化点に達するとアルゴンの液化が始ま
る。この液化開始時点の混合ガスの温度及び流量は、ノ
ズルヘッド１内の圧力、ノズルの形状等によって相違す
るが、本実施例の条件下では、混合ガスの温度は約１０
６Ｋ、流量は約１２ｓｌｍであった。
【００４１】さらに流量を増加させると、制御手段８１
による制御によって冷却量が増加し、さらにアルゴンの
液滴化が進む。ただし、混合ガスの温度は、アルゴンの
液化温度でほぼ一定となる。従って、混合ガスがアルゴ
ンの液化点まで冷却されると、図５に示すように混合ガ
スの温度はほとんど低下せず流量のみが急激に増加す
る。この増加分は、アルゴンの液化量に相当する。
による制御によって冷却量が増加し、さらにアルゴンの
液滴化が進む。ただし、混合ガスの温度は、アルゴンの
液化温度でほぼ一定となる。従って、混合ガスがアルゴ
ンの液化点まで冷却されると、図５に示すように混合ガ
スの温度はほとんど低下せず流量のみが急激に増加す
る。この増加分は、アルゴンの液化量に相当する。
【００４２】このことから、洗浄を行っている時の混合
ガスの流量と、アルゴンの液化開始点における流量との
差からアルゴンの液化量を求めることができる。洗浄表
面に大きなダメージを与えることなく高い洗浄効果を得
るためには、洗浄時の混合ガスの流量をアルゴンの液化
開始点における流量の１．２〜４倍程度とすることが好
ましい。
ガスの流量と、アルゴンの液化開始点における流量との
差からアルゴンの液化量を求めることができる。洗浄表
面に大きなダメージを与えることなく高い洗浄効果を得
るためには、洗浄時の混合ガスの流量をアルゴンの液化
開始点における流量の１．２〜４倍程度とすることが好
ましい。
【００４３】上記実施例では、二重管熱交換器７７のＮ
2 ガスの排気側の流量を変化させることにより、冷却量
を制御する方法について説明したが、他の方法で冷却量
を制御してもよい。例えば、液化窒素を供給するボンベ
の圧力を変化させて液化窒素の流量を変化させ、冷却量
を制御してもよい。
2 ガスの排気側の流量を変化させることにより、冷却量
を制御する方法について説明したが、他の方法で冷却量
を制御してもよい。例えば、液化窒素を供給するボンベ
の圧力を変化させて液化窒素の流量を変化させ、冷却量
を制御してもよい。
【００４４】また、上記実施例では、冷却手段として液
化窒素を使用した二重管熱交換器を使用したが、その他
の冷却手段を使用してもよい。例えば、ギフォード・マ
クマホン冷凍機（ＧＭ冷凍機）、スターリング冷凍機、
ターボ冷凍機等のクライオシステムを使用してもよい。
化窒素を使用した二重管熱交換器を使用したが、その他
の冷却手段を使用してもよい。例えば、ギフォード・マ
クマホン冷凍機（ＧＭ冷凍機）、スターリング冷凍機、
ターボ冷凍機等のクライオシステムを使用してもよい。
【００４５】図６、図７は、ＧＭ冷凍機を使用した場合
の、冷却手段を示す。図６は冷却手段の平面図、図７は
側面図を示す。図６に示すように、フィルタを通して粒
子が除去されたＡｒガスとＮ2 ガスの混合ガスが、配管
２２の曲折点８８から供給される。配管２２の曲折点８
８と真空容器２４の間の部分には、ＧＭ冷凍機の冷却板
８９が熱伝導性よく接触されており、周囲には、ヒータ
９０が配置されている。屈曲点８８からノズルに至る配
管２２は直線状に配置されている。図３の実施例同様、
直線状配管はパーティクル発生防止に効果がある。な
お、配管２２、冷却板８９、ヒータ９０は、断熱のため
真空容器９４内に配置されている。
の、冷却手段を示す。図６は冷却手段の平面図、図７は
側面図を示す。図６に示すように、フィルタを通して粒
子が除去されたＡｒガスとＮ2 ガスの混合ガスが、配管
２２の曲折点８８から供給される。配管２２の曲折点８
８と真空容器２４の間の部分には、ＧＭ冷凍機の冷却板
８９が熱伝導性よく接触されており、周囲には、ヒータ
９０が配置されている。屈曲点８８からノズルに至る配
管２２は直線状に配置されている。図３の実施例同様、
直線状配管はパーティクル発生防止に効果がある。な
お、配管２２、冷却板８９、ヒータ９０は、断熱のため
真空容器９４内に配置されている。
【００４６】図７に示すように、冷却板８９の下にはＧ
Ｍ冷凍機９５ａ、９５ｂが配置されており、冷却板を冷
却することができる。なお、図７では、２台のＧＭ冷凍
機を配管２２に対して直列に配置した場合を示したが、
十分な冷凍能力が得られるのであれば１台でもよい。ま
た、冷凍能力が十分でない場合には、図３に示す液化窒
素による冷却を併用してもよい。
Ｍ冷凍機９５ａ、９５ｂが配置されており、冷却板を冷
却することができる。なお、図７では、２台のＧＭ冷凍
機を配管２２に対して直列に配置した場合を示したが、
十分な冷凍能力が得られるのであれば１台でもよい。ま
た、冷凍能力が十分でない場合には、図３に示す液化窒
素による冷却を併用してもよい。
【００４７】ヒータ９０は制御手段９３に接続されてお
り、制御手段９３によって発熱量が制御される。ヒータ
９０の発熱量を調整することにより、Ａｒガスの冷却量
を制御することができる。制御手段９１には、ノズル装
置内の圧力測定結果が電気信号の形で入力されており、
圧力が所望の値になるようにヒータ９０の発熱量を調整
する。
り、制御手段９３によって発熱量が制御される。ヒータ
９０の発熱量を調整することにより、Ａｒガスの冷却量
を制御することができる。制御手段９１には、ノズル装
置内の圧力測定結果が電気信号の形で入力されており、
圧力が所望の値になるようにヒータ９０の発熱量を調整
する。
【００４８】なお、図３、７の配管２２、特に熱交換器
より下流部分は純アルミニウム材で形成することが好ま
しい。図８は、ノズルヘッド１の中空部１５とノズル孔
１６の関係を示す。中空部１５にアルゴン含有ガスが速
度ｖ１で供給され、ノズル孔１６から速度ｖ２で噴出す
る。中空部１５内の流速ｖ１は、ノズル孔１６内の流速
ｖ２と比較して著しく小さい。
より下流部分は純アルミニウム材で形成することが好ま
しい。図８は、ノズルヘッド１の中空部１５とノズル孔
１６の関係を示す。中空部１５にアルゴン含有ガスが速
度ｖ１で供給され、ノズル孔１６から速度ｖ２で噴出す
る。中空部１５内の流速ｖ１は、ノズル孔１６内の流速
ｖ２と比較して著しく小さい。
【００４９】アルゴン含有ガスがノズル孔１６を通過す
る時には、高い流速を有するため、ノズル孔１６内にパ
ーティクル源が存在すると、アルゴン含有ガス噴射と共
にパーティクルを吹き出す。したがって、ノズル孔１６
部分は、少なくともパーティクル発生を極力抑えた構造
とすることが必要である。
る時には、高い流速を有するため、ノズル孔１６内にパ
ーティクル源が存在すると、アルゴン含有ガス噴射と共
にパーティクルを吹き出す。したがって、ノズル孔１６
部分は、少なくともパーティクル発生を極力抑えた構造
とすることが必要である。
【００５０】本発明者は、初めノズルヘッド１をステン
レス鋼および高張力アルミニウム合金で作成した。この
ようなノズルヘッドを用い、真空雰囲気中でアルゴン含
有ガスをＳｉウエハ上に噴射し、真空容器中から取り出
したＳｉウエハ上のパーティクルを観察した。ウエハ上
の残留パーティクル数はノズルから噴き出すガス中のパ
ーティクル数を反映していると考えられる。
レス鋼および高張力アルミニウム合金で作成した。この
ようなノズルヘッドを用い、真空雰囲気中でアルゴン含
有ガスをＳｉウエハ上に噴射し、真空容器中から取り出
したＳｉウエハ上のパーティクルを観察した。ウエハ上
の残留パーティクル数はノズルから噴き出すガス中のパ
ーティクル数を反映していると考えられる。
【００５１】図９は、ノズルヘッド１をＡｌ合金（ＪＩ
Ｓ−Ａ６０６１）で形成した場合の６インチＳｉウエハ
上のパーティクル測定結果を示す。横軸はノズルヘッド
使用開始からの積分テスト回数を示し、縦軸は洗浄後の
６インチＳｉウエハ上のパーティクル数を示す。
Ｓ−Ａ６０６１）で形成した場合の６インチＳｉウエハ
上のパーティクル測定結果を示す。横軸はノズルヘッド
使用開始からの積分テスト回数を示し、縦軸は洗浄後の
６インチＳｉウエハ上のパーティクル数を示す。
【００５２】ノズルヘッドは、図１に関連して説明した
構造を有し、図７に示す構成で用いた。１回のテストは
約３０分程度であり、そのうち約１０分間Ａｒ混合ガス
をノズルから噴き出す。ノズルは使用時には常温から１
００Ｋ程度までまず冷却される。Ａｒ混合ガスの流量は
４２ｓｌｍ（Ａｒ３８ｓｌｍ、Ｎ2 ４ｓｌｍ）とした。
ノズルヘッド内のゲージ圧力は３〜３．５ｋｇ、真空容
器内の圧力は約０．３気圧である。
構造を有し、図７に示す構成で用いた。１回のテストは
約３０分程度であり、そのうち約１０分間Ａｒ混合ガス
をノズルから噴き出す。ノズルは使用時には常温から１
００Ｋ程度までまず冷却される。Ａｒ混合ガスの流量は
４２ｓｌｍ（Ａｒ３８ｓｌｍ、Ｎ2 ４ｓｌｍ）とした。
ノズルヘッド内のゲージ圧力は３〜３．５ｋｇ、真空容
器内の圧力は約０．３気圧である。
【００５３】１回の洗浄テストが終わる毎にＡｒ混合ガ
スを止め、真空容器内を真空に排気した後、Ｓｉウエハ
を外部に取出し、ウエハ上のパーティクルをカウントし
た。測定後、ウエハを真空容器中に戻し、真空排気後Ａ
ｒ混合ガス噴出系を冷却し、次の洗浄工程を行なった。
スを止め、真空容器内を真空に排気した後、Ｓｉウエハ
を外部に取出し、ウエハ上のパーティクルをカウントし
た。測定後、ウエハを真空容器中に戻し、真空排気後Ａ
ｒ混合ガス噴出系を冷却し、次の洗浄工程を行なった。
【００５４】０．２８μｍ以上のパーティクルを４チャ
ンネルで測定した。全パーティクル数を実線で１．５μ
ｍ以上のパーティクル数を破線で示す。横軸にはテスト
回数と共にテストの月日を示す。
ンネルで測定した。全パーティクル数を実線で１．５μ
ｍ以上のパーティクル数を破線で示す。横軸にはテスト
回数と共にテストの月日を示す。
【００５５】全体として、残留パーティクル数が減少す
る傾向が示されている。ノズルヘッド表面にパーティク
ルが残留し、Ａｒ混合ガスの噴出に伴って脱離するとす
れば、残留パーティクル数は徐々に減少するはずであ
り、この傾向に一致する。
る傾向が示されている。ノズルヘッド表面にパーティク
ルが残留し、Ａｒ混合ガスの噴出に伴って脱離するとす
れば、残留パーティクル数は徐々に減少するはずであ
り、この傾向に一致する。
【００５６】各１日内の残留パーティクル数を見ると、
その日の１回目のテストの残留パーティクル数は、直前
テストの残留パーティクル数よりも多くなっている。た
だし、その絶対値は減少する傾向を示している。これ
は、夜間装置が常温まで昇温し、次に１００Ｋ程度まで
冷却されることに起因するのであろうと考えられる。
その日の１回目のテストの残留パーティクル数は、直前
テストの残留パーティクル数よりも多くなっている。た
だし、その絶対値は減少する傾向を示している。これ
は、夜間装置が常温まで昇温し、次に１００Ｋ程度まで
冷却されることに起因するのであろうと考えられる。
【００５７】さらに、５月１６日、１７日等の測定結果
から明らかなように、１日内でテスト回数を重ねる間に
突然残留パーティクル数が増大することがある。また、
５月２３日の測定結果のように、前日までの測定結果か
らは予想もつかない多量の残留パーティクル数を示すこ
ともある。
から明らかなように、１日内でテスト回数を重ねる間に
突然残留パーティクル数が増大することがある。また、
５月２３日の測定結果のように、前日までの測定結果か
らは予想もつかない多量の残留パーティクル数を示すこ
ともある。
【００５８】なお、７０回のテストを行なった時点で残
留パーティクル数は２００〜３００個程度である。図１
０は、ノズルヘッド１を上述の実施例に従って、純アル
ミニウム材で形成した場合のウエハ上の残留パーティク
ル数測定結果を示す。
留パーティクル数は２００〜３００個程度である。図１
０は、ノズルヘッド１を上述の実施例に従って、純アル
ミニウム材で形成した場合のウエハ上の残留パーティク
ル数測定結果を示す。
【００５９】ノズルヘッド材料が異なる他は、Ａｌ合金
のノズルヘッドを用いた場合と同じ測定条件を採用し
た。まず、初期の残留パーティクル数がＡｌ合金の場合
の１０００個以上から３００個程度まで減少している。
のノズルヘッドを用いた場合と同じ測定条件を採用し
た。まず、初期の残留パーティクル数がＡｌ合金の場合
の１０００個以上から３００個程度まで減少している。
【００６０】この場合、使用後１０日程度（テストを行
なわなかった日を除く）後には、既に発生するパーティ
クル数は実用レベルに近い平均２０個程度に達してい
る。また、１日内の残留パーティクル数はほぼ単調に減
少し、各日付の最初のテストにおける残留パーティクル
数もほぼ単調に減少している。すなわち、突然変異的に
パーティクル数が急増することがほとんどなくなってい
る。
なわなかった日を除く）後には、既に発生するパーティ
クル数は実用レベルに近い平均２０個程度に達してい
る。また、１日内の残留パーティクル数はほぼ単調に減
少し、各日付の最初のテストにおける残留パーティクル
数もほぼ単調に減少している。すなわち、突然変異的に
パーティクル数が急増することがほとんどなくなってい
る。
【００６１】Ａｌ合金を用いたノズルヘッドの場合、７
０回のテストで残留パーティクル数は２００〜３００程
度となったが、純アルミニウム材を用いたノズルヘッド
の場合には、７０回のテストで残留パーティクル数は２
０程度まで減少している。
０回のテストで残留パーティクル数は２００〜３００程
度となったが、純アルミニウム材を用いたノズルヘッド
の場合には、７０回のテストで残留パーティクル数は２
０程度まで減少している。
【００６２】このように、純アルミニウム材を用いた場
合の残留パーティクル数が減少する現象は、以下のよう
に考えることができるであろう。Ａｌ合金は、複数の成
分を含む合金であり、微視的に観察した時には全体が一
様な組成ではなく、局所的に不純物を核とした非金属介
在物が含まれているものと考えられる。このようなＡｌ
合金を、常温と極低温の間で熱サイクルさせると、Ａｌ
合金の内部に存在する非金属介在物はその周囲と熱膨張
の程度が異なり、また脆性が低い。
合の残留パーティクル数が減少する現象は、以下のよう
に考えることができるであろう。Ａｌ合金は、複数の成
分を含む合金であり、微視的に観察した時には全体が一
様な組成ではなく、局所的に不純物を核とした非金属介
在物が含まれているものと考えられる。このようなＡｌ
合金を、常温と極低温の間で熱サイクルさせると、Ａｌ
合金の内部に存在する非金属介在物はその周囲と熱膨張
の程度が異なり、また脆性が低い。
【００６３】したがって、ノズルが大きな熱サイクルを
経験すると、Ａｌ合金内の非金属介在物には熱膨張係数
の差による歪が生じ、微細な滑りやひび割れが生じるこ
とが予想される。このような非金属介在物が表面に一部
でも露出すると、その表面上を高速のガスが流れる時に
ガス流の与える応力によって組成の崩壊が進み、微粉が
ガス流にのって噴射されてしまう。新たな領域が崩壊す
ると、残留パーティクル数は急激な増大を示すことにな
ろう。
経験すると、Ａｌ合金内の非金属介在物には熱膨張係数
の差による歪が生じ、微細な滑りやひび割れが生じるこ
とが予想される。このような非金属介在物が表面に一部
でも露出すると、その表面上を高速のガスが流れる時に
ガス流の与える応力によって組成の崩壊が進み、微粉が
ガス流にのって噴射されてしまう。新たな領域が崩壊す
ると、残留パーティクル数は急激な増大を示すことにな
ろう。
【００６４】このような、熱サイクルによる微粉の発生
は、ノズル材が合金である場合には避けることができな
いと考えられる。したがって、ステンレス鋼を用いた場
合にも、同様の微粉化が発生するであろう。
は、ノズル材が合金である場合には避けることができな
いと考えられる。したがって、ステンレス鋼を用いた場
合にも、同様の微粉化が発生するであろう。
【００６５】これに対し、ノズルヘッド１を純アルミニ
ウム材で形成した場合には、材料が全て均一組成である
ため、不純物が少なく、熱膨張による局所的応力が発生
せず、微粉化が発生しにくいものと考えられる。なお、
上記実施例では純度５Ｎのアルミニウム材を用いたが、
少なくとも純度２Ｎ（９９％）以上のアルミニウム材を
用いれば、純粋材料を用いる利点が得られるであろう。
ウム材で形成した場合には、材料が全て均一組成である
ため、不純物が少なく、熱膨張による局所的応力が発生
せず、微粉化が発生しにくいものと考えられる。なお、
上記実施例では純度５Ｎのアルミニウム材を用いたが、
少なくとも純度２Ｎ（９９％）以上のアルミニウム材を
用いれば、純粋材料を用いる利点が得られるであろう。
【００６６】なお、たとえ微粉化が発生しても、発生箇
所のガス流速が遅い時には、噴射ガスにさほどパーティ
クルを添加しないと考えられる。したがって、ノズルヘ
ッド１のうちガス流速が最も高いノズル孔１６がパーテ
ィクル発生の最大の原因であろう。したがって、少なく
ともノズル孔１６部分を純アルミニウム材で形成すれ
ば、噴射ガスに含まれるパーティクル数は減少するもの
と考えられる。もちろん、ノズルヘッド全体を純アルミ
ニウム材で形成すれば、微粉発生の可能性はさらに減少
するであろう。なお、上述の測定において熱交換器はス
テンレス鋼で作成してある。熱交換器のガス通路も純ア
ルミニウム材で形成すれば、パーティクル発生の確率は
さらに減少するであろう。
所のガス流速が遅い時には、噴射ガスにさほどパーティ
クルを添加しないと考えられる。したがって、ノズルヘ
ッド１のうちガス流速が最も高いノズル孔１６がパーテ
ィクル発生の最大の原因であろう。したがって、少なく
ともノズル孔１６部分を純アルミニウム材で形成すれ
ば、噴射ガスに含まれるパーティクル数は減少するもの
と考えられる。もちろん、ノズルヘッド全体を純アルミ
ニウム材で形成すれば、微粉発生の可能性はさらに減少
するであろう。なお、上述の測定において熱交換器はス
テンレス鋼で作成してある。熱交換器のガス通路も純ア
ルミニウム材で形成すれば、パーティクル発生の確率は
さらに減少するであろう。
【００６７】以上説明したように、ノズルヘッドを純金
属材料、特に純アルミニウム材料で形成することによ
り、ノズルからガスを噴射する際に噴射ガスに混入され
るパーティクル数を減少させることができる。
属材料、特に純アルミニウム材料で形成することによ
り、ノズルからガスを噴射する際に噴射ガスに混入され
るパーティクル数を減少させることができる。
【００６８】以上実施例に沿って本発明を説明したが、
本発明はこれらに制限されるものではない。たとえば、
種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者
に自明であろう。
本発明はこれらに制限されるものではない。たとえば、
種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者
に自明であろう。
【００６９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ノズルから噴射されるガス中に含まれるパーティクル数
を減少させることができる。
ノズルから噴射されるガス中に含まれるパーティクル数
を減少させることができる。
【００７０】したがって、Ａｒガス噴射による洗浄効果
を高めることができる。
を高めることができる。
【図１】本発明の実施例による極低温用ノズルの構造を
示す概略断面図である。
示す概略断面図である。
【図２】本発明の実施例による極低温用ノズルを洗浄す
る工程を示す概略断面図である。
る工程を示す概略断面図である。
【図３】本発明の実施例によるアルゴン洗浄装置の構成
を示す概略断面図である。
を示す概略断面図である。
【図４】ノズルヘッダ内の温度と圧力の時間変化を示す
グラフである。
グラフである。
【図５】アルゴンを含む混合ガスの冷却温度と流量との
関係を示すグラフである。
関係を示すグラフである。
【図６】他の構成例による洗浄装置の冷却手段の概略平
面図である。
面図である。
【図７】図６に示す他の構成例による洗浄装置の冷却手
段の概略断面図である。
段の概略断面図である。
【図８】図１に示すノズルの部分拡大図である。
【図９】ノズルヘッドをアルミニウム合金で作成した場
合の、洗浄後のウエハ上に残留するパーティクル数測定
結果を示すグラフである。
合の、洗浄後のウエハ上に残留するパーティクル数測定
結果を示すグラフである。
【図１０】本発明の実施例によるノズルヘッドを用いた
場合の、洗浄後のウエハ上に残留するパーティクル数測
定結果を示すグラフである。
場合の、洗浄後のウエハ上に残留するパーティクル数測
定結果を示すグラフである。
１ ノズルヘッド ２ 熱交換器 ３ 締結具 ４ 終端部材 ５ メタルガスケット ６ ベアリング ８、１１ 大径部 ９、１３ ネジ １５ 中空部 １６ ノズル孔 １７ 研磨部材 １８ エッチング剤 １９ 容器 ２０ 超音波振動子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B05B 1/00 - 1/36 B08B 3/02 H01L 21/02 H01L 21/304 341
Claims (4)
- 【請求項１】 液滴を含む極低温流体をクリーンな雰囲
気中に置かれた対象物上に噴射するための極低温用ノズ
ルであって、 純アルミニウム材で形成されたノズル孔部を有する極低
温用ノズル。 - 【請求項２】 前記純アルミニウム材は、９９％以上の
純度を有する請求項１記載の極低温用ノズル。 - 【請求項３】 前記純アルミニウム材は、真空鋳造され
たものである請求項１ないし２記載の極低温用ノズル。 - 【請求項４】 純アルミニウム材の無垢材を準備する工
程と、 前記純アルミニウム無垢材を機械加工して、中空部を有
する筒状体であり、外部から中空部に貫通するノズル孔
を有するノズルヘッドを形成する工程と、 前記中空部を化学機械研磨する工程と、 前記ノズル孔を超音波洗浄する工程とを含む極低温用ノ
ズルの製造方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6253297A JP2809995B2 (ja) | 1994-10-19 | 1994-10-19 | 極低温用ウルトラクリーンノズルとその製造方法 |
| GB9515688A GB2294217B (en) | 1994-10-19 | 1995-07-31 | Ultra clean nozzle |
| TW084107977A TW362996B (en) | 1994-10-19 | 1995-08-01 | Surface cleaning system with its nozzle and the method of manufacturing the nozzle |
| KR1019950025274A KR100267268B1 (ko) | 1994-10-19 | 1995-08-17 | 극저온용 노즐 및 그 제조방법 |
| DE19531780A DE19531780A1 (de) | 1994-10-19 | 1995-08-29 | Ultrareine Düse |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6253297A JP2809995B2 (ja) | 1994-10-19 | 1994-10-19 | 極低温用ウルトラクリーンノズルとその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08117644A JPH08117644A (ja) | 1996-05-14 |
| JP2809995B2 true JP2809995B2 (ja) | 1998-10-15 |
Family
ID=17249333
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6253297A Expired - Lifetime JP2809995B2 (ja) | 1994-10-19 | 1994-10-19 | 極低温用ウルトラクリーンノズルとその製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2809995B2 (ja) |
| KR (1) | KR100267268B1 (ja) |
| DE (1) | DE19531780A1 (ja) |
| GB (1) | GB2294217B (ja) |
| TW (1) | TW362996B (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10308299A1 (de) * | 2003-02-26 | 2004-09-16 | MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Düsenanordnung |
| BRPI0715966A2 (pt) | 2006-08-28 | 2013-08-06 | Air Prod & Chem | aparelho, e mÉtodo |
| WO2009032709A1 (en) | 2007-08-28 | 2009-03-12 | Air Products And Chemicals, Inc. | Apparatus and method for controlling the temperature of a cryogen |
| KR101103270B1 (ko) | 2009-07-24 | 2012-01-10 | 주식회사 비스 | 단열성능이 향상된 3중 배관구조의 액체질소 분사장치 |
| KR101129468B1 (ko) * | 2009-12-08 | 2012-03-28 | 주식회사 비스 | 히팅블록이 형성된 3중 배관구조의 액체질소 분사장치 |
| CN106238374A (zh) * | 2015-11-03 | 2016-12-21 | 无锡市三立轴承有限公司 | 小型轴承清洗结构 |
| KR102054212B1 (ko) * | 2019-08-08 | 2020-01-22 | 하명세 | 차량용 수소연료저장탱크의 알루미늄 노즐 제조방법 및 이를 이용한 수소연료저장탱크의 알루미늄 노즐 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5209028A (en) * | 1992-04-15 | 1993-05-11 | Air Products And Chemicals, Inc. | Apparatus to clean solid surfaces using a cryogenic aerosol |
| US5512106A (en) * | 1993-01-27 | 1996-04-30 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Surface cleaning with argon |
-
1994
- 1994-10-19 JP JP6253297A patent/JP2809995B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-07-31 GB GB9515688A patent/GB2294217B/en not_active Expired - Fee Related
- 1995-08-01 TW TW084107977A patent/TW362996B/zh active
- 1995-08-17 KR KR1019950025274A patent/KR100267268B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1995-08-29 DE DE19531780A patent/DE19531780A1/de not_active Ceased
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE19531780A1 (de) | 1996-04-25 |
| GB2294217B (en) | 1998-08-05 |
| GB2294217A (en) | 1996-04-24 |
| KR960013477A (ko) | 1996-05-22 |
| GB9515688D0 (en) | 1995-09-27 |
| TW362996B (en) | 1999-07-01 |
| JPH08117644A (ja) | 1996-05-14 |
| KR100267268B1 (ko) | 2000-11-01 |
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