KR940010944B1 - 광학 주사 유닛 및 이를 이용한 정보 판독 및/또는 기록 장치 - Google Patents

광학 주사 유닛 및 이를 이용한 정보 판독 및/또는 기록 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR940010944B1
KR940010944B1 KR1019860004581A KR860004581A KR940010944B1 KR 940010944 B1 KR940010944 B1 KR 940010944B1 KR 1019860004581 A KR1019860004581 A KR 1019860004581A KR 860004581 A KR860004581 A KR 860004581A KR 940010944 B1 KR940010944 B1 KR 940010944B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
objective lens
radiation
detection system
scanning unit
translational
Prior art date
Application number
KR1019860004581A
Other languages
English (en)
Other versions
KR870000608A (ko
Inventor
에두아르드 반 로스마렌 게라르드
Original Assignee
엔.브이.필립스 글로아이람펜파브리켄
이반 밀러 레르너
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엔.브이.필립스 글로아이람펜파브리켄, 이반 밀러 레르너 filed Critical 엔.브이.필립스 글로아이람펜파브리켄
Publication of KR870000608A publication Critical patent/KR870000608A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR940010944B1 publication Critical patent/KR940010944B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B3/00—Simple or compound lenses
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
    • G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B7/0925—Electromechanical actuators for lens positioning
    • G11B7/0935—Details of the moving parts
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
    • G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Control And Safety Of Cranes (AREA)
  • Optical Communication System (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Vehicle Body Suspensions (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Eye Examination Apparatus (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

내용 없음.

Description

광학 주사 유닛 및 이를 이용한 정보 판독 및/또는 기록 장치
제 1 도는 본 발명에 따라 병진 운동 및 각 위치 검출시스템에 제공된 판독 장치를 도시한 도면.
제 2 도는 상기 시스템의 합성 방사 감지 검출기를 도시한 도면.
제 3 도는 상기 검출기로부터 신호를 처리하기 위한 전자 회로를 도시한 도면.
제 4 도는 집적된 원추형 링 반사경을 구비한 대물렌즈를 도시한 도면.
제 5 도는 전자기 현수 시스템에 대한 실시예의 평면도.
제 6 도는 상기 시스템의 단면도.
제 7 도는 대물렌즈에 대한 축 위치 신호가 수신되는 것을 도시한 도면.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 방사원 3 : 대물렌즈
4 : 홀더 6 : 분리소자
11 : 정보 검출기
본 발명은 방사원(radiation source)과, 주사되어질 표면상에 주사 스포트(scanning spot)가 형성되도록 방사원에서 발생된 방사빔을 집속시키기 위한 대물렌즈와, 방사 빔의 주 광선(chief ray)에 수직으로 연장하는 두개의 직각축에 따른 대물렌즈의 병진 위치 및 상기 직각축에 대한 대물렌즈의 각 위치를 검출하기 위한 병진-위치 및 각-위치 검출 시스템과(translational-position and angular-position system), 상기 병진-위치 및 각-위치 검출 시스템에 의해 제공된 전기 제어 신호에 응답하여 대물렌즈를 이동시키고 경사지게 하는 액튜에이팅 디바이스(actuating divice)를 구비하는 광학 주사 유닛에 관한 것이다. 본 발명은 또한 광학 기록 캐리어의 정보 표면내의 정보를 판독 및/또는 기록시키기 위한 장치에 관한 것이다.
"대물렌즈"라는 용어는 광범위한 의미로 해석되어져야만 한다. 그런한 렌즈는 다수의 렌즈를 구비할 수도 있지만, 대체적으로 예를 들어, 하나 또는 두개의 비구면 표면을 갖는 단일 렌즈 소자를 구비할 수도 있다. 또한 상기 대물렌즈는 예를 들어, 홀로그래픽(holographic) 렌즈 또는 또 다른 렌즈일 수도 있으며, 이 렌즈들의 동작은 굴절 대신에 회절에 기초한다.
미국 특허 명세서 제 4,425,043 호는 광학 기록 캐리어를 판독 및/또는 기록시키기 위한 장치내에 사용하기 위한 광학 주사 유닛을 기술하며, 상기 주사 유닛에 있어서, 대물렌즈와 그것의 홀더는 전자기적 시스템내에 걸려진다. 상기 시스템은 대물렌즈가 실제적으로 주사 유닛의 이동에 따르는 것을 보장하며, 바꾸어 말하면 상기 렌즈와 주사 유닛의 다른 소자간의 물리적 접촉 즉, 대물렌즈가 이동함이 없이 주사 유닛내에서 실제적으로 고정된 위치를 차지한다. 이와 같은 결과로서, 대물렌즈의 위치 또는 이동은 바람직하지 않은 공진에 의해 영향받지 않으며, 상기 공진은 대물렌즈가 예를 들어, 기계적 또는 탄성적 수단에 의해 주사 유닛내에 매달려 있는 경우에 역할을 행한다. 대물렌즈를 전자기적으로 매달리게 하거나 지지시키는 것은 대물렌즈에 의해 형성된 주사 스포트의 안정성을 위해 매우 유리하다.
대물렌즈가 주사 유닛의 이동 또는 진동을 따르도록 요구되어질 때는, 방사 빔의 주 광선에 연관된 대물렌즈의 병진 위치와 상기 주광선의 방향에 연관된 상기 렌즈의 광학축의 각 위치가 검출될 수 있도록 하고 또한 상기 위치들이 정정될 수 있도록 실행되어져야만 한다.
공개된 유럽 특허출원 제 0,070,070 호에는 대물렌즈용 전자기적 현수 시스템(eletromagnetic suspension system)의 한예가 기술되어 있으며, 여기에서 상기 장치의 동작동안 대물렌즈가 부동(floating)을 유지하도록 할 뿐만 아니라 보정 병진 위치 및 각 위치에 놓여지도록 하는 방법으로 상기 시스템의 자기 코일은 병진-위치 및 각-위치 신호에 의해 제어된다. 상기와 같이 필요한 제어 신호를 얻기 위하여, 앞에 언급된 미국 특허 명세서 제 4,425,043 호에 따라 반사 프리즘은 대물렌즈 또는 그것의 설치판 주변에 배치될 수도 있다. 상기 프리즘은 분리 병진-위치 및 각-위치 검출 시스템의 일부를 형성하며, 그것은 또한 적어도 분리 검출기를 구비하는 방사원 및 방사-감지 검출 시스템을 포함한다. 프리즘은 방사원에 의해 방사된 빔을 검출 시스템으로 반사시키며, 또한 상기 빔을 두개의 서브-빔(sub-beams)으로 분리시키며 이 서브빔은 적어도 두개의 검출기에 의해 각각 수신된다. 그러므로, 두개의 보조 빔에 걸친 방사-분리 및 검출기 출력신호는 방사 빔의 방향 및 고정된 위치에 연관된 대물렌즈와 프리즘의 병진 위치 및 각 위치에 의해 결정된다.
공지된 병진-위치 및 각-위치 검출 시스템은 부가적인 방사원과 같은 임의의 특별 설비품을 필요로 한다. 게다가, 상기 시스템은 다양한 검출기 신호와 다양한 제어 루프간에 혼선이 나타날 수도 있으며, 따라서 전체 병진-위치 및 각-위치 검출 시스템이 안정되지 못할수도 있다. 또한, 공지된 병진-위치 및 각-위치 검출 시스템은 대물렌즈의 광학축에 횡방향인 평면에서 관찰된 프리즘의 특정 위치에 대해서만 동작될 수 있다. 공지된 시스템에 있어서, 대물렌즈가 그 자체의 축에 대해 회전될 수 없도록 하는 것과, 프리즘의 위치를 보정할 수 있도록 하기 위하여 대물렌즈축(objective axis)에 대한 프리즘의 회전을 검출하는 부가적인 검출기를 제공하는 것이 필요하다.
본 발명의 목적은 대물렌즈의 두개의 병진운동 및 두개의 회전 운동의 독립된 측정이 가능하며, 주사 유닛내에 소수의 간단한 설비물만을 필요로 하며, 대물렌즈 자체의 축에 대해서 대물렌즈의 회전에 영향받지 않는 병진-위치 및 각-위치 검출시스템을 제공하는데 있다. 이 목적을 위해, 본 발명은 본 발명은 상기 병진-위치 및 각-위치 검출 시스템이 대물렌즈의 중심에 고정된 원추형-링 반사경(conical-ring mirror)과, 반사경에 서 반사된 방사 경로내에 배열되며 또한 환형 스트립(annular strip)으로 일정한 간격이 유지되어 각각 4개의 사분원으로 나누어진 두개의 검출기를 포함하는 방사-감지 검출시스템(radiation-sensitive detection system)을 구비하는 것을 특징으로 한다.
대물렌즈의 병진 위치 및 각 위치를 검출하기 위하여, 주사 스포트에 기여하지 않으며 대물렌즈의 동공(pupil)내에 떨어지지 않는 장치의 방사원으로부터 방출되는 방사의 일부를 사용함으로써, 병진 위치 및 각-위치 검출 시스템은 위치-검출 목적용 분리 방사원을 제공할 필요가 없다. 상기 방사는 환형 방사 소프트가 형성되도록 원추형 반사경에 의해 반사되며 상기 방사 스포트의 평균 직경은 방사-감지 검출 시스템의 환형 스트립의 평균 직경과 일치한다. 상기 시스템은 간단한 형태를 가지며, 한 기판상에 집적될 수 있다. 방사 빔의 주 광선에 횡방향인 두 축에 대한 대물렌즈의 원추형 반사경의 기울기와 상기 축을 따르는 원추형 반사경의 이동은 검출 시스템에 걸친 방사분배의 강도 중심(intensity centre)의 상이한 이동을 초래하여 상기 이동 및 기울기는 상호 독립적으로 검출될 수 있다. 빔의 주 광선에 관한 원추형 반사경의 반사경의 회전은 원추형 반사경이 링-형이기 때문에 검출기 신호에 영향을 미치지 않는다.
본 발명의 근본적인 특징은 원추형-링 반사경이 대물렌즈에 연관되어 고정된 병진 및 각 위치를 갖는다는 것이다. 광학 주사 유닛의 한 실시예는 원추형-링 반사경이 대물렌즈의 홀더에 접속되는 소자임을 또한 특징으로 할 수도 있다.
주사 유닛의 또 다른 실시예는 원추형-링 반사경이 대물렌즈의 렌즈 소자의 경사진 상승 단부 위치(bevelled raised edge position)에 의해 구성되며, 여기에서 상승 단부(raised edge portion)는 반사층으로 제공되는 것을 특징으로 한다. 상기 실시예에서, 대물렌즈의 단이 소자일 수도 있는 상기 렌즈 소자의 상승 단부는 상기 렌즈 소자의 제조동안 이미 형성되어질 수도 있어, 상기 상승 단부는 주로 반사층으로 제공되어진다.
무게 및 가격의 문제점 때문에, 광학 주사 유닛의 대물렌즈는 되도록 이면 하나의 렌즈 소자만으로 구성된다. 그러한 렌즈는 하나 또는 두개의 비구형 반사표면을 갖도록 요구된다. 이러한 렌즈 소자를 적절한 가격으로 대량 생산하는 것은 렌즈 다이(lens die)를 사용할 때만 가능한 데 이 렌즈 다이의 내부 표면의 외형은 렌즈 표면의 소정의 외형의 음각이다. 이러한 다이에 의하여 투명 플라스틱으로 만들어진 렌즈 소자를 제조하는 것이 가능하다. 하지만, 처리가 허용된 후에 렌즈 다이에 의하여 적절한 연질 상태의 플라스틱이 증착되어 소정의 형태가 주어지는 유리 예비 성형을 사용하는 것이 바람직하다. 이 플라스틱은 자외선-처리 합성수지일 수 있다.
상기 대물렌즈는 투명체(transparent body)로 된 하나의 렌즈 소자를 포함하며 투명체 표면은 광원과 대면하고 광원에는 비구형의 외부 외형을 가진 플라스틱층이 갖추어져 있는데 이러한 광 주사 유닛의 양호한 실시예는 상기 상승 단부가 상기 플라스틱으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
주사 유닛은 방사-감지 검출 시스템의 검출기가 환형으로 구성된 것을 특징으로 할 수 있다. 검출기의 표면 영역이 작으므로, 이들 검출기는 빠르게 응답하며 병진 위치 및 위치 검출 시스템은 주사 유닛내의 불필요한 반사에 의한 의사 방사(spurious radiation)에 대하여 더 면역성을 갖는다.
본 발명에 따른 병진-위치 및 각-위치 검출 시스템을 사용함으로써, 주사 유닛에 병진-위치 및 각-위치 시스템에 의해 제공되는 서보신호를 대물렌즈의 변위 및 기울기로 변환시키는 액튜에이팅 수단(actuating means)이 제공되면, 자장에 현수되어 있는 대물렌즈를 대물렌즈의 병진 및 각 위치에 정확하게 고정시키는 것이 가능하다.
그리고 본 발명의 다른 관점은 이러한 목적을 위하여 병진-위치 및 각-위치 검출 시스템과 전자식 액튜에이팅 디바이스를 조합하는 것이다. 이 관점에 따라 주사 유닛은, 상기 가동 디바이스가 대물렌즈에 고정적으로 접속된 환형 영구 자석과 2세트의 최소한 3개의 고정 자석 코일을 포함하며, 제 1 세트의 코일은 방사빔의 주광선에 횡방향으로 제 1 평면에 배열되며 제 2 세트의 코일은 제 1 평면에 평행하게 제 2 평면에 배열되는 것을 특징으로 한다.
액튜에이팅 디바이스는 축의 위치, 즉 방사빔의 주광선에 따른 위치와 대물렌즈의 촛점이 교정될 수 있도록 한다. 이러한 교정은 디스크형 기록 캐리어가 주사되어 주사 디바이스와 주사되는 정보 표면 지점 사이의 거리가 변할 때 요구된다. 촛점 제어 신호(focussing-control signal)는 통상의 주사 유닛에 존재하는 촛점-오차 검출 시스템에 의하여 제공되며, 대물렌즈용 병진-위치 및 각-위치 검출 시스템에 의해 제공되는 것이 아니다.
정보 표면과 주사 유닛 사이의 축 거리의 편차는 비교적 클 수 있으며, 이것은 대물렌즈의 축 위치의 교정이 비교적 넓은 범위에 걸쳐 가능하다는 것을 의미한다. 2세트의 자석 코일 사이의 축 대칭을 벗어난 위치에서의 환형 자석과 대물 시스템의 더 큰 변위는, 특정 코일이 대물렌즈의 특정 기울기의 특정 변위를 얻기 위하여 에너지를 얻게될 때, 자석 코일에 의해 발생된 불필요한 방향의 힘이 서로 더 이상 상쇄되지 않기 때문에, 소정 방향의 힘에 부가하여 다른 방향의 불필요한 힘이 발생될 수 있음을 의미한다. 이것은 이후에 액튜에이터 혼선(actuator crosstalk)이라 칭하는 혼선을 발생시킬 수 있으며, 이것은 이후에 검출기 혼선(detector crosstalk)이라 칭하는 본 발명의 서두에서 언급한 검출기 신호 사이의 혼선과는 다르다.
액튜에이터 혼선을 감소시키기 위하여 본 발명에 따르는 주사 유닛에는 방사빔의 주광선을 따라 대물렌즈의 위치를 검출하는 축-위치 검출 시스템이 제공되며, 이 검출시스템에 의하여 공급되는 신호는 자석 코일에 인가된다. 이것은 각 자석 코일을 통하는 전류와 그리고 이 코일에 의해 발생된 힘이 자석 코일의 2개의 평면 중간의 중심 위치에 대하여 환형 자석과 대물렌즈의 실제 축 위치를 고정시키거나 가중시키는 것을 보장한다.
주사 유닛의 양호한 실시예는 축-위치 검출 시스템이 제 1 세트 자석 코일에 제 1 제어 신호를 공급하고 제 2 세트자석 코일에 제 2 제어 신호를 공급하는 신호 발생기를 포함하며, 이 신호들은 동일한 진폭 및 주파수를 가지나 위상이 반대이며 대물렌즈가 방사 빔의 주광선에 횡방향으로 2개의 축중 하나를 중심으로 주기적으로 기울어지게 하며, 또한 상기 축-위치 검출 시스템은 주기적인 기울기(periodic tilting)를 주기적인 신호(periodic signal)로 변환시키는 병진-위치 및 각-위치 시스템의 소자를 포함하며 상기 주기적인 신호의 진폭 및 방향은 평면을 벗어난 환형 자석의 축중심의 변위에 대한 크기와 방향을 나타내며 상기 평면은 자석 코일이 배치된 두 평면 사이의 중앙에 위치하는 것을 특징으로 한다.
부가적인 검출 기능은 부가 소자의 최소개로 얻어지며 최적 사용은 주사 유닛에서 이미 존재하는 설비로 된다.
광학 주사 유닛은 원형 디스크 레코드 캐리어의 정보 표면의 정보를 판독 및/또는 기록하는 장치에 매우 적절하다. 이러한 장치는 방사원에 의해 방출된 방사로부터 원추형 링방사경에 의해 반사되는 방사를 분리하기 위해 방사원과 대물렌즈 사이에 분리 소자가 배열되는 것을 특징으로 한다.
원추형 링 반사경내의 구멍(opening)에서 방출된 방사는 예를 들어 디스크형 레코드의 실질적인 주사에 이용될 수 있다. 상기 레코드 캐리어는 방사 전송 표면 또는 방사 반사 표면을 구비한다. 후자의 경우에 있어서, 정보 표면에 의해 반사된 방사는 상기 분리 소자를 통해 방사 감지 정보 검출기로 향할 수 있다. 복수개의 보조 검출기를 구비한 상기 정보 검출기는 병진 위치 및 각 위치 검출 시스템의 방사 감지 검출 시스템과는 다른 위치에 배치될 수 있다. 그러나, 양호하게도 방사 감지 검출기는 병진 위치 및 각 위치 검출 시스템의 환형 내부 검출기의 내부에 배치되어 정보표면에 의해 반사된 방사를 전기 신호로 변환한다. 판독되는 정보에 부가하여, 상기 신호는 레코드 캐리어의 정보 트랙과 관련된 주사 스포트의 위치상의 정보를 포함한다.
본 발명은 도면을 참조하여 광학적 레코드 캐리어를 판독하거나 기록하기 위한 장치의 사용은 예를 들면서 설명된다.
제 1 도에 도시된 주사 유닛은 예를 들어 다이오드 레이저와 같은 방사 소스(1), 콜리메이터 렌즈(collimator lens)(2) 및 대물렌즈(3)를 구비하며, 이것은 홀더(4)내에 설치된다. 콜리메이트 렌즈 및 대물렌즈 양자는 복수개의 렌즈 소자를 구비하지만 양호하게도 상기 렌즈들은 적어도 하나의 비구형 굴절면을 갖는 단일 렌즈 소자를 구비한다.
방사원에서 방출된 발산 판독 빔(diverging reading beam) b는 콜리메이터 렌즈에 의해 평행 빔으로 변환되며, 이 빔은 적당한 방법으로 대물렌즈(3)의 구경(aperture)을 채운다. 디스크형 레코드 캐리어(30)의 정보면(31)상에서 예를 들어 1㎛의 지름을 갖는 회절 제한 방사점 V를 형성하도록 대물렌즈를 판독 빔의 촛점을 맞추며, 그 일부가 제 1 도에 방사상의 단면도로 도시되어 있다. 정보는 나사선 트랙을 구성하는 동심 트랙(33)이나 준 동심 트랜내에 배치된다. 상기 정보는 중간 영역(intermediate areas)과 교번하는 도시되지 않은 다수의 광학적 검출가능한 정보 영역을 구비한다. 정보면(31)은 레코드 캐리어의 상부 측면상에 적당하게 위치되어, 판독 빔 b이 정보면에 도달하기 전에 레코드 캐리어의 투명한 기판(32)을 통과한다. 더우기, 정보면은 방사빔을 적당히 반사시켜, 판독 빔이 방사원 방향으로 반사된다.
레코드 캐리어가 주사 유닛과 관련하여 회전됨에 따라, 정보면에 의해 반사된 빔은 판독되어야 할 정보트랙의 정보 영역 및 중간 영역의 순차에 일치하여 시간 변조한다. 방사원에서 방출되는 빔으로부터 변조된 빔을 분리시키기 위하여, 분리소자(separating element)(6)는 방사 경로내에 배치되며, 또한 상기 소자는 반투명 반사경이나 빔 분할 프리즘이 될 수 있으며, 이것들은 편광 감지되거나 그렇지 않을 수 있으며 또한 상기 소자의 인터페이스(7)는 적어도 방사선의 일부를 방사 감지 정보 검출기(11)로 반사시킨다. 예를 들어 화상 다이오드 형태의 정보 검출기는 인터페이스(7)에 관련되어 반사경에 의해 반전되는 다이오드 레이저 방출면에 일치하는 평면(10)내에 적절히 배치된다. 정보 검출기(11)는 변조된 판독 빔을 전기 신호로 변환하는데, 상기 전기 신호는 레코드 캐리어내에 기억된 정보형에 따라 다른 방법으로 표시되거나, 재생되거나 또는 처리되기에 적당한 신호를 형성하기 위해 공지된 방법으로 처리된다. 정보 검출기로부터 나오는 신호의 처리 및 정보의 특성은 본 발명의 범주 밖이며, 더 이상 상세히 기술되지 않는다.
대물렌즈(3)와 주사 유닛의 다른 소자 사이에 어느 물리적 접촉없이 대물렌즈가 주사 유닛의 운동에 따르도록 하기 위하여, 대물렌즈는 제 5 및 6 도와 관련하여 더욱 상세히 기술될 전자기 시스템내에서 현수된다. 이러한 것은 병진 위치 및 각 위치 검출 시스템을 사용하여, 도면의 평면내의 X축과 도면의 평면과 직각인 Y축을 따라 대물렌즈의 중심 M과 빔 b의 주광선 L 사이의 편차를 측정하며, 상기 두 축에 대해 대물렌즈의 기울기를 측정함으로써 병진 위치 및 각 위치에서의 상기 편차는 제어 시스템에 의해 해소될 수 있다.
제 1 도의 오른쪽편에 도시된 XYZ축 시스템의 원점은 사실상 점 M내에 위치되어, Z축이 주광선 L과 일치한다. 상기 축을 따른 방향은 또한 축방향으로서 언급된다. X축에 대한 대물렌즈의 기울기는 기울기각 α로 표시되며, Y축에 대한 기울기는 기울기각 β로 표시된다. X축 및 Y축은 예를 들어 각각 반사 방향 및 접선 방향과 평행하게 정보면내에서 연장된다.
본 발명에 따라, 병진-위치 및 각-위치 검출 장치는 링 반사경(5)과 방사-감지 검출 시스템(P)을 포함하며, 상기 링 반사경은 반사경이 원추형인, 즉 반사 표면이 주광선 L에 대하여 90°차이가 있는 각도에서 위치되는 대물렌즈에 견고하게 접속되어 있으며, 상기 방사-감지 검출 시스템은 평면(10)에 배열되고 제 1 도의 선 Ⅱ-Ⅱ'을 절취한 제 2 도의 전면도에 도시되어 있다. 원추형 링 반사경(5)은 대물렌즈 구경(8)의 내부이면서 동공의 외부에 비추어지는 방사 빔(b)의 일부를 분리 소자(6)에 반사하며, 분리 소자는 방사 광선을 검출 시스템(9)으로 반사한다. 환형 방사 패턴이 상기 시스템위에 형성되어진다. 방사 광선-감지 검출 시스템(9)은 중간 링(12)에 의해 간격이 띄워진 그리고 각 네개의 검출기 13,14,15,16 및 17,18,19,20으로 각각 구성된 두개의 검출기 링으로 구성된다. 환형 방사 패턴은 제 2 도에서 점선 원(21)으로 표시되어진다. 이 방사 패턴의 평균 지름은 중간 링(12)의 지름과 같다.
여덟 개의 검출기 사이에 분포된 방사 패턴은 원추형 링 반사경(5)과 대물렌즈(3)의 병진 위치 및 각 위치에 따른다. X축 혹은 Y-축에 대해 기울어진 위치는 화살표(22 및 23)로 각각 표시된 방향으로 이동되어진 환형 방사 패턴(21)이 된다. X-축에 따른 변위의 경우, 검출 시스템의 왼쪽 부분은 오른쪽 부분보다 더 많은 방사 광선 혹은 더 적은 방사 광선을 받을 것이며, 이에 따라 X-축 및 Y-축에 따른 반사경(5)의 이동은 환형 방사 패턴에 방사 분포의 변화를 초래하는데, 그 이유는 빔 안에 위치한 그리고 구경(8)에 의해 막혀진 반사경의 두 반쪽은 더 이상 같지 않기 때문이다. 유사하게 Y-축에 따른 변위가 생긴 경우, 검출 시스템의 상부는 하부 보다 더 많거나 혹은 더 적은 방사광선을 받을 것이다.
검출기(13 내지 20)으로부터의 신호들이 대응 지표에 따라 S로 표현된다면, X-축 및 Y-축에 따른 변위와 이 축에 대한 추축 이동은 다음처럼 표시되어진다.
Sx=(S14+S15+S18+S19)-(S13+S16+S17+S20)
Sy=(S13+S14+S17+S18)-(S15+S16+S13+S20)
Sα=(S13+S14+S13+S20)-(S17+S18+S15+S26)
Sβ=(S14+S15+S17+S20)-(S18+S19+S13+S26)
개개의 검출 신호는 전자 회로에 의하여 복합 신호 Ss,Sy,S 및 Sβ를 형성하도록 처리될 수 있으며, 그것의 예가 제 3 도에 도시된다. 다수의 가산기 회로(40 내지 47 및 50 내지 57) 및 감산기 회로(48,49,58,59)로 구성된 회로의 작동은 도면으로부터 분명해지므로 더 이상 설명하지 않는다. 복합 신호 Sx,Sy, Sα및 Sβ는 서로 독립이며 상호간에 혼선이 없으므로, 여러 변위와 기울기 각은 서로에 대해 독립적으로 검출되어질 수 있다. Z축에 대한 대물렌즈의 회전은 환형 방사 패턴(21)의 변화를 만들지 않으며 그 결과 검출 신호에 영향을 주지 않는다. Z-축에 따른 대물렌즈의 변위도 또한 방사 패턴(21)에 어떠한 영향도 주지 않는다.
주사 유닛에서, 신호들은 전자기 현수 시스템에 있는 자석 코일을 구동시키는데 사용되어진다. 이런 방법으로 대물렌즈의 병진 위치와 각 위치는 복합 검출기(13 내지 20)의 병진 운동 위치와 각 위치에 고정되어지며, 유사 유닛내에서 고정된 위치를 차지하므로 판독 장치가 작동하는 동안에 대물렌즈는 주사 유닛내의 정확한 병진 운동 위치와 각 위치를 취하도록 항상 제어된다.
상기 요구에 부합되어, 원추형 링 반사경을 대물렌즈에 대해 고정된 병진 위치 및 각 위치를 가지는 것이 요구된다. 상기 목적으로, 제 1 도에 도시된 바와 같이, 반사경(5)은 장착대(mounting)(4)상에 대물 홀더의 일부를 형성할 수 있다. 상기 반사경내에서 대물렌즈는 고정될 수 있게 배치된다. 또한 상기 반사경을 위하여 분리 소자를 사용하는 것도 가능하며, 이 분리 소자는 대물렌즈 홀더의 내부 또는 외부에 고착된다. 상기 렌즈가 복제 처리로 제작될 때 환형 반사경(5)의 병진위치 및 각 위치를 대물렌즈(3)의 상기 병진 위치 및 각 위치에 매우 정확하게 고정시킬 수 있다. 상기 가능성은 제 4 도에 도시되어 있다.
기술된 유사 유닛에 있어서, 다수의 소자를 구비하는 대물렌즈는 단지 하나의 렌즈 소자를 구비하는 대물렌즈로 대체될 수 있는 것으로 공지되어 왔다. 그러나, 구형 굴절 표면 대신에, 상기 렌즈 소자는 렌즈 수차를 적절히 교정하기 위해 비구형 굴절 표면을 가진다. 저렴한 가격으로 정교한 표면 외형을 가진 상기 단일 대물렌즈를 대량으로 제작하기 위해서, 예로서 두 구형 굴절 표면(61) 및 (62)을 가진 유리투명체 또는 예비 형성체(60)를 사용하는 것이 제의되어 왔다. 적당한 연질 상태인 플라스틱 재질은 상기 한 표면 또는 양 표면상에 배치된다. 상기 플라스틱 재질은 열경화성 플라스틱이 될 수 있으나, 자외선 중합체 합성수지도 될 수 있다. 플라스틱 재질이 표면에 배치된 후에, 표면 외형이 소정의 네가티브 렌즈 외형인 다이는 상기 재질로 채워진다. 그후, 상기 재질은 경화되며 다이는 제거되고, 비구형 외형(64)을 가진 플라스틱층(53)이 제공된 렌즈가 얻어진다. 상기 렌즈에는 연마와 같은 작업이 더 이상 요구되지 않는다.
본 발명에 따라, 대물렌즈가 제작될 수 있는 다이는 경사형 표면(66)을 가진 상승 단부(65)가 비구형 층(63)과 함께 형성되므로 적절하게 제작될 수 있다. 대물렌즈가 제작된 후에, 집적된 원추형 링 반사경을 가진 대물렌즈를 얻기 위해, 예로서 증착에 의해 반사 코팅(67)이 표면(66)에 제공된다. 반사 상승 단부는 방사원에 가장 근접된 렌즈표면상에 형성될 수 있으나 다른 렌즈 표면상에도 형성될 수도 있다.
또, 전체 대물렌즈는 소정의 외형을 가진 다이에 의해 투명 플라스틱으로 성형될 수 있다. 렌즈 표면을 제작하기 위해 사용되는 다이에는 단부에 리세스(recess)가 형성될 수 있어서, 상기와 같이 제작된 렌즈는 경사형 내부 표면을 가진 상승 단부로 형성된다. 유리 예비 형성체가 처음에 기술된 복제 렌즈로 사용된다면 온도 변화, 습기와 같은 다른 외부 영향에 대해 더욱 면역성을 가진다.
주사 유닛은 다수의 렌즈 소자를 구비하는 대물렌즈를 가질 수 있으며, 방사원을 향해 있는 마지막 렌즈의 표면은 비구형 표면을 가질 수 있으며 집적 원추형 링 반사경을 지지할 수 있다. 또, 상기 반사경은 다른 렌즈 표면중 한 표면상에 배치될 수도 있다.
제 1 도에 도시된 바와 같이, 정보 검출기(11)는 병진-위치 및 각-위치 검출 시스템의 합성 검출기 내부에 배치될 수 있으며, 집적 회로를 제작하기 위해 공지되어 있는 매우 정확한 기술을 사용함으로써 한 기판상에 상기 시스템과 함께 집적될 수 있다. 정보 검출기는 단일 검출기를 구비할 수 있으며, 이 단일 검출기는 기록 캐리어에 기억된 정보를 나타내는 신호만을 제공한다. 한편, 정보 검출기는 정보 신호는 물론 트래킹 신호와 같은 제어 신호를 공급하는 보조 검출기(sub-detectors)로 나뉘어질 수 있다.
트래킹 신호는 래코드 캐리어(30)에 대하여 접선 방향에 대응하는 제 2 도의 파선(45)으로 표시된 것과 같이 검출기(11)가 두개의 보조 검출기(11a 및 11b)로 분리됨으로써 얻어진다. 보조 검출기(11a 및 11b)의 출력 신호들간의 차이는 판독 스포트(V)의 중앙 스포트와 판독되는 정보 트랙의 중앙선 사이의 편차의 크기 및 방향에 대한 정보를 포함하고 있다. 트래킹 신호를 발생시키는 방법은 본 발명의 분야와 관계없으며, 상세히 설명되지도 않을 것이다. 특허 제 4,425,045 호에는 예를 들어서 트래킹 신호를 발생시키는 상기 방법은 물론 촛점 오차 신호를 발생시키는 방법이 기술되어 있다.
본 발명에 따른 주사 유닛에서, 앞서 상술된 방법을 유추함으로써 주빔(main beam) 즉, 검출기(11)에 투사되는 빔으로부터 프리즘(6)에 의해 반사된 주빔 방사의 일부를 예를 들어, 반투명 반사경을 사용하여 분리시키는 것은 가능하다. 예를 들어, 루프 프리즘(roof prism)에 의해 분리된 부분은 두개의 보조 빔으로 분리될 수 있으며, 사이 보조빔들은 프리즘의 루프 단부에 횡방향으로 차례대로 배치된 3 또는 4빔방출 검출기에 투사된다. 촛점 오차 신호는 두개의 외부 검출기의 합신호와 두개의 내부 검출기의 합 신호 사이의 차이에 의해 나타난다.
정보 트랙에 접속된 방출 스포트(V)를 유지시키기 위하여 판독 장치는 개략 제어(coarse control) 및 미세 제어(fine control)를 포함한다. 개략 제어 목적을 위하여 제 1 도에 도시된 주사 유닛은 판독 캐리어에 관하여 방사 방향(rodial direction)으로 몸체가 이동될 수 있다. 이러한 목적을 위하여 소자(1,2,3,6,9 및 11)는 하나의 관 홀더(tubular holder)내에 배치될 수 있으며, 상기 관 홀더는 추축 암(pivotal arm) 또는 직선 이동가능 슬라이더에 의해 방사상으로 이동가능하다. 미세 제어는 예를 들어 제 1 도에 도시되지 않은 추축 반사경에 의해 또는 X-방향 또는 방사 방향의 짧은 거리(small distances)에 걸쳐 대물렌즈를 이동시킴으로써 작동된다. 미국 특허 제 4,423,496 호에 기술되어 있는 바와 같이, 상기 미세 제어는 방사 스포트(V)의 중앙에 판독되는 트랙의 중앙선 사이의 편차와 무관한 검출기(11a 및 11b)에 관해 판독 빔의 주광선(L)이 대체되는 결과가 된다. 이것은 오프셋(offset)이라 칭하는 오차를 트래킹 신호를 보낸다. 미국 특허 제 4,423,496 호에 설명되어 있는 바와 같이, 상기 오차는 대물렌즈의 방사 위치에 비례하는 신호를 사용하는 검출기(11a 및 11b)에 의해 얻어진 트래킹 신호를 보정함으로써 제거될 수 있다. 본 발명에 따른 주사 유닛에서, 상기 신호(sx)는 병진 위치 및 각 위치 검출시스템에 의해 앞서 공급되기 때문에, 분리 시스템이 상기 목적을 위해 필요하지 않은 것이 미국 특허 제 4,423,496 호에 따른 장치와 다르다.
방사-반사 정보 표면을 갖고 광학 레코드 캐리어가 다이오드 레이저에 의해 판독될 때, 상기 레이저의 궤환 효과가 사용될 수 있다. 정보 구조에 의해 변조되는 빔은 다이오드 레이저에 의해 방출된 빔으로부터 분리되진 않으나, 서두에서 상술된 빔은 다이오드 레이저에 다시 들어가게 레이저 공진공동(resonant cavity)에 발생된 방사와 간섭한다. 이러한 결과로 다이오드 레이저에 의해 방출된 빔은 판독되는 정보와 일치하여 변조된다. 상기 변조는 다이오드 레이저의 후면에 배치된 방사-감지 검출기에 의해 검출될 수 있으며 이러한 검출로부터 다이오드 레이저의 정면에서 방출하는 방사와 관련한 방사가 방출한다. 궤환 효과의 또 하나의 결과는 다이오드 레이저의 전기 저항이 판독되는 정보에 따라 변한다는 것이다. 이러한 변화를 검출하는 것은 레코드 캐리어에 저장된 정보를 판독하는 또 하나의 가능성이 된다.
본 발명에 다른 병진-위치 및 각-위치 검출 시스템은 궤환 효과를 사용하는 주사 유닛에 사용될 수 있다. 이러한 주사 유닛은 분리 소자(6)가 필요하지 않고, 정보 검출기(11)의 기능이 다이오드 레이저(1)에 의해 실행되며, 병진-위치 및 각-위치 검출을 위한 방사 감지 검출 시스템(9)이 다이오드 레이저(1) 둘레에 배치된다는 점에서 제 1 도에 도시된 것과 다르다.
또한, 본 발명은 전송되는 광학 레코드 캐리어를 판독하는 장치에 사용될 수 있다. 그러한 장치에서 정보 검출기는 제 1 도의 상단에 도시된 배열에서 방출원으로부터 멀리 있는 레코드 캐리어의 다른 한쪽편에 배치되어 있다. 이러한 검출기는 검출 시스템(9)과 더 이상 통합될 수 없다. 이러한 검출 시스템은 제 1 도에 도시된 위치에 배치될 수 있거나 또는, 다시 다이오드 레이저 둘레에 배치될 수 있다.
대물렌즈를 교전 X-위치 및 Y-위치에 유지시키고 또한 대물렌즈의 축을 Z-축에 평행하게 유지시키기 위하여, 병진-위치 및 각-위치 검출 시스템에서 나오는 신호(Sx,Sy,Sα및 Sβ)가 인가되는 다수의 코일을 포함하는 전자기 시스템을 사용한다. 유럽 특허 제 0,103,929 호에는 전자기 시스템이 설명되어 있으며, 상기 전자기 시스템에서 광 레코드 캐리어를 판독하는 대물렌즈는 이동되어 기울어져 있는데 이에 따라, 상기 대물렌즈에 의해 형성된 방사 스포트가 교정된 방출위치 및 접점 위치의 정보 표면상에 투사된다.
본 발명에 따른 유사한 전자기 시스템은 방사-감지 검출시스템(8)에 관한 교정 병진-위치 및 각-위치에 대물렌즈를 유지시키는데 사용될 수 있다.
제 5 도는 전자기 시스템 평면도이고, 제 6 도는 선 Ⅵ-Ⅵ'를 따라 절취한 시스템 단면도이다. 이러한 도면에서 번호 3은 대물렌즈를 나타내고 번호 4는 대물렌즈의 홀더를 표시한다. 영구자석 재질의 링(70)은 이 홀더에 고정된다. 이 링은 최소한 6개의 고정 자석코일의 자기력장에 위치하며, 상기 자석 코일은 2개의 축상으로 이동된 평면에 배치되어 있다. 세개의 자석코일(71),(72) 및 (73)은 제 5 도의 평면도에서 볼 수 있다. 제 2 세트의 자석 코일(74),(75) 및 (76)은 서두에서 상술한 자석 코일 세트 아래에 위치하며, 그러므로 그것은 볼 수가 없고, 형태는 동일하다. 자석 코일은 영구 자석(70)의 3차원 장과 일치하도록 적당한 아치형을 이룸으로써 로렌츠 힘이 가능한한 크다. 세개의 자석 코일 대신에 각 평면마다 4개의 자석 코일, 환언하면, 전체 8개의 자석 코일을 제공하는 것이 가능하다. 전자기의 시스템 구조에 대한 보다 상세한 설명은 유럽 특허원 제 0,103,929 호에 기술되어 있다. 상기 출원에는 특정 코일에 특정 제어 신호를 인가함으로써 X방향 또는 Y방향에 대한 변위와 대물렌즈의 X축 또는 Y축에 대한 기울기를 어떻게 얻을 수 있는가에 대해서 기술되어 있으며 또한 대물렌즈가 어떻게 축의 방향을 따라 움직일 수 있는가에 대해서도 기술되어 있다. 유럽 특허원 제 0,103,929 호의 표에 있어서, 어느 코일을 통하여 또한 어느 위상으로, 전류는 대물렌즈의 특정 변위 및 추축 변위를 얻기 위해 흘러야만 하는 것과, 신호 Sx,Sy,Sα혹은β에 비례하는 전류는 상기 출원에 나타난 각각의 범위에 대해 상기 표의 근사점으로 투입되어야만 한다는 것을 나타내고 있다. 대물렌즈의 축 변위에 대한 전류는 촛점-에러 신호에 비례하며, 상기 에러 신호는 종래의 촛점-에러 검출 시스템에 의해 인가되며, 상기 시스템은 예를 들어 미국 특허 제 4,425,043 호에 기술되어 있다.
다섯가지의 각각 가능한 이동에 있어서 최소한 두개의 자석 코일은 위상이 반대인 신호로 구동됨으로써, 대규모 이동에 있어서 로렌츠의 힘의 미세한 변동만이 일어난다. 이런 전자기 시스템에서 다양한 구동은 다른 구동으로부터 올바르게 격리되며, 이러한 격리는 5개의 제어 시스템의 높은 안정도를 보증한다.
여기서 기술된 주사 유닛이 회전하는 디스크형 레코드 캐리어를 판독하는데 사용될 때는 대물렌즈와 정보 표면(information surface)사이의 축 거리에서 비교적 큰 변화가 발생할 수 있다. 이러한 변화하는 판독 장치의 진동에 의해 야기되며, 기록 캐리어 혹은 회전축의 경사에 의해서 야기되며 또는 특히 레코드 캐리어가 큰 경우에 단부(edge)쪽으로 레코드 캐리어가 처지기 때문에 야기될 수도 있다. 상기 변동을 고정하기 위해 주사 유닛의 대물렌즈의 축변위를 더 크게한 경우에, 액튜에이터 혼선이라 칭하는 혼선이 여러 액튜에이터들 사이에서 발생될 수 있다. 본 발명의 또다른 측면에 있어서, 이 혼선은 주사 유닛의 대물렌즈의 축 위치를 검출함으로써, 또한 X 및 Y이동용 제어 신호를 정정함으로써 제거될 수 있으며, 그리하여 축-위치 신호에 의해 기울기 α, β가 얻어진다.
이 부가적인 제어기는 제 7 도에서 도시된다. 제 7 도에서 블럭(79)은 제 1 도에서, 대물렌즈(3) 및 원추형-링 반사경(5)을 제외한 주사 유닛의 모든 소자를 포함한다. 대물렌즈의 주기적인 추축 이동을 얻기 위해 두 개의 180° 위상 변이된 주기적인 신호 Sw및 Sw'를 제공하는 발진기(77)를 사용한다. 이러한 신호중 하나는 상부자석 코일의 어레이에 인가되며 제 2 신호는 자석 코일의 하부 어레이에 인가되며 제 2 신호는 자석 코일의 하부 어레이에 인가된다. 하나의 자석 코일 어레이내에서, 추축에 대해 상대적으로 반대되는 곳에 위치하는 자석 코일들은 반대의 위상으로 구동된다.
이러한 신호들은 예를 들어 원주형-링 반사경(5)을 갖춘 대물렌즈(3)의 X-축에 대해서 주기적으로 기울어지게 함으로써, 병진-위치 및 각-위치 검출 시스템은 부가적인 신호 Sα'를 공급하는데, 이 신호는 특정 위상의 주기적 신호이다. 이 위상은 상위 혹은 하위 자석-코일 어레이가 환형 자석(70)과 대물렌즈(3)에 매우 큰 힘을 가하는지와 그 결과 대물렌즈가 평면(80) 및 (81) 사이의 중앙 위치에 대해 위 혹은 아래로 이동했는가를 나타낸다. 신호 Sα'의 크기는 중앙 위치로부터의 편차 크기에 비례한다. 신호 Sw의 위상과 신호 Sα'의 위상을 비교함으로써 위상 비교기(78)의 Sw와 축-위치 신호 Sz이 얻어진다. 이 신호는 신호 Sx,Sy,Sα및 Sβ에 중복되어져서 대물렌즈와 환형 자석의 축 위치에 대하여 상기 신호들에 의하여 에너지가 가해지는 액튜에이터를 정정한다.
본 발명의 판독 장치에 대해 기술하려는 사실은 본 발명이 제한받는 범위를 의미하지 않는다. 대신에, 본 발명에 의한 주사 유닛은 광학 레코드 캐리어에 있는 정보를 판독하는 장치에 사용될 수 있으며, 이 장치는 원리적으로 판독 장치와 같은 구조를 가졌지만 매우 높은 방사 강도로 작동하며, 그 강도는 기록되는 정보에 따라서 변조되어진다. 이런 목적을 위해, 변조는 예를 들어 음향-광학 변조기는 방사원(1)과 분사 소자(6) 사이의 방사로(radiation path)에 배열되어질 수 있다. 만약 방사원이 다이오드 레이저라면, 상기 방사원에 의해 방출되는 방사는 기록되어지는 정보에 따라서 다이오드 레이저를 통해 보내지는 전류를 변조시킴으로써 직접 변조되어 질 수 있다. 더우기, 본 발명은 주사 현미경과 같은 다른 광학 주사 시스템 및 일반적으로 고 영상도를 가지며 작은 렌즈들로 구성된 영상 시스템에 사용되어질 수 있으며, 상기 렌즈들의 영상 영역은 제한되어질 수 있다.

Claims (10)

  1. 방사원과 주사될 표면상에 주사 스포트가 형성되도록 방사원에서 발생된 방사 빔을 접속하는 대물렌즈와, 방사빔의 주사광선에 수직으로 연장하는 2개의 직각 축에 따른 상기 대물렌즈의 병진 위치 및 상기 직각 축에 따른 상기 대물렌즈의 병진 위치 및 상기 직각 축에 대한 각 위치를 검출하는 병진-위치 및 각-위치 검출 시스템과, 상기 병진-위치 각-위치 시스템에 의해 제공된 제어 신호에 응답하여 상기 대물렌즈를 이동시키고 경사지게 하는 액튜에이팅 디바이스를 구비하는 광학 주사 유닛에 있어서, 상기 병진-위치 및 각-위치 검출 시스템은 대물렌즈의 중심에 고정된 원추형 링 반사경과, 상기 반사경에서 반사된 반사 경로에 배열되며 또한 환형 스트립으로 일정한 간격이 유지되어 나누어진 2개의 검출기를 가진 방사-감지 검출 시스템을 구비하는 것을 특징으로 하는 광학 주사 유닛.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 원추형 반사경은 대물렌즈의 홀더에 연결된 소자인 것을 특징으로 하는 광학 주사 유닛.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 원추형링 반사경은 대물렌즈의 렌즈소자의 경사형 상승 단부(bevelled raised edge portion)으로 구성이 되며, 상기 상승 단부에는 반사층이 구비되는 것을 특징으로 하는 광학 주사 유닛.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 대물렌즈가 투명체 형태의 하나의 렌즈 소자를 구비하는 방사원과 대면하는 상기 투명체의 표면에는 외형이 비구형인 플래스틱 층을 구비하며, 상기 상승 단부는 상기 플래스틱으로 구성되는 것을 특징으로 하는 광학 주사 유닛.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 방사-감지 검출 시스템의 검출기는 환형으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 광학 주사 유닛.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 액튜에이팅 디바이스는 대물렌즈에 고정 접속된 환형 영구 자석과 각각 세개의 고정 자석 코일로 구성된 2셋트의 고정 자석 코일을 구비하며, 제 1 셋트의 코일은 방출빔의 주광선에 횡방향인 제 1 평면에 배치되고 제 2 셋트의 코일은 제 1 평면에 평행한 제 2 평면에 배치되는 것을 특징으로 하는 광학 주사 유닛.
  7. 제 1 항에 있어서, 방사 빔의 주광선을 따라 대물렌즈의 위치를 검출하기 위한 축-위치 검출 시스템이 제공되어 있으며, 상기 검출 시스템에 의해 공급되는 신호는 자석 코일에 인가되는 것을 특징으로 하는 광학 주사 유닛.
  8. 제 7 항에 있어서, 축-위치 검출 시스템은 제 1 제어 신호를 제 1 셋트의 자석 코일에 제공하고 제 2 제어 신호를 제 2 셋트의 자석 코일에 제공하는 신호 발생기를 구비하며, 상기 신호들은 동일한 진폭과 주파수를 갖지만 위상이 서로 반대로 되어 대물렌즈가 방사 빔의 주광선에 횡방향인 2개의 축중 하나에 대해 수직으로 기울어지게 하며, 상기 축위치 검출 시스템은 또한 주기적인 기울기를 주기적인 신호로 변환하는 병진-위치 및 각-위치 검출 시스템의 소자들을 더 구비하며 상기 주기적인 신호의 진폭과 위상은 자석이 배치된 2개의 평면 사이의 중간에 위치된 평면으로부터 환형자석의 축 중심의 변위에 대한 크기 및 방향을 나타내는 것을 특징으로 하는 광학 주사 유닛.
  9. 격리 소자가 대물렌즈와 방사원 사이에 배치되어 방사원에 의해 방출된 방사 빔과 원추형 링 반사경에 의해 반사된 방사빔을 분리시키는 것을 특징으로 하며, 제 1 항에 청구된 바와 같이 광 주사 유닛을 구비하며, 원형 기록 매체의 표면에 정보를 판독 및/또는 기록하는 장치.
  10. 제 9 항에 있어서, 방사-감지 검출기는 병진 위치 및 각 위치 검출시스템의 환형 내부 검출기의 내부에 배치되어 정보 표면에 의해 반사된 방사를 전기신호로 변환하는 정보 판독 및/또는 기록하는 장치.
KR1019860004581A 1985-06-10 1986-06-10 광학 주사 유닛 및 이를 이용한 정보 판독 및/또는 기록 장치 KR940010944B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL8501665A NL8501665A (nl) 1985-06-10 1985-06-10 Optische aftasteenheid met positie- en standdetektiestelsel voor een elektromagnetisch gelagerd objektief.
NL8501665 1985-06-10

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR870000608A KR870000608A (ko) 1987-02-19
KR940010944B1 true KR940010944B1 (ko) 1994-11-19

Family

ID=19846113

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019860004582A KR870000601A (ko) 1985-06-10 1986-06-10 복사렌즈 및 그 제조 방법
KR1019860004581A KR940010944B1 (ko) 1985-06-10 1986-06-10 광학 주사 유닛 및 이를 이용한 정보 판독 및/또는 기록 장치

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019860004582A KR870000601A (ko) 1985-06-10 1986-06-10 복사렌즈 및 그 제조 방법

Country Status (18)

Country Link
US (1) US4638471A (ko)
EP (1) EP0206396B1 (ko)
JP (2) JPS623438A (ko)
KR (2) KR870000601A (ko)
CN (1) CN1003682B (ko)
AT (1) ATE56299T1 (ko)
AU (1) AU585770B2 (ko)
BR (1) BR8602670A (ko)
CA (1) CA1263747A (ko)
CS (1) CS268680B2 (ko)
DE (1) DE3673885D1 (ko)
ES (1) ES8708267A1 (ko)
HK (1) HK92091A (ko)
HU (1) HU200022B (ko)
NL (1) NL8501665A (ko)
RU (1) RU2037860C1 (ko)
SG (1) SG50391G (ko)
YU (1) YU98086A (ko)

Families Citing this family (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5278066A (en) * 1985-08-09 1994-01-11 Gist-Brocades Nv Molecular cloning and expression of gene encoding lipolytic enzyme
US4951274A (en) * 1987-01-23 1990-08-21 Nec Corporation Magneto-optical head capable of separating beams for reading recorded information and servo information by use of one optical element
DE3777627D1 (de) * 1987-01-26 1992-04-23 Philips Nv Repliklinse mit glaslinsenkoerper.
US5830735A (en) * 1987-03-06 1998-11-03 Gist-Brocades Nv Method for producing lipolytic enzymes using transformed Pseudomonas
US4863252A (en) * 1988-02-11 1989-09-05 Tracor Northern, Inc. Objective lens positioning system for confocal tandem scanning reflected light microscope
US5017768A (en) * 1988-09-14 1991-05-21 Copal Company Limited Optical focusing control apparatus
JP2737998B2 (ja) * 1989-03-31 1998-04-08 ソニー株式会社 対物レンズ位置検出装置
US5027340A (en) * 1989-06-01 1991-06-25 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Object lens head assembly
US5101393A (en) * 1990-07-25 1992-03-31 Hewlett-Packard Company Optical position error detection using complementary steep angle reflections/transmissions
US5281797A (en) * 1991-12-26 1994-01-25 Hitachi, Ltd. Short wavelength optical disk head having a changeable aperture
US5289442A (en) * 1992-06-19 1994-02-22 U.S. Philips Corporation Optical scanner with a long fast access stroke
TW224169B (ko) * 1992-06-19 1994-05-21 Philips Nv
EP0801760B1 (de) * 1994-04-11 2000-09-13 Leica Microsystems AG Verfahren zur ermittlung der distanz zwischen einem objektdetail und einem operationsmikroskop und vorrichtung dazu
US5732054A (en) * 1995-03-28 1998-03-24 Eastman Kodak Company Combined tracking position and tilt sensor for optical recording actuator
US5768037A (en) * 1995-10-06 1998-06-16 Eastman Kodak Company Actuator with single surface-field motor
TW330907B (en) * 1996-09-09 1998-05-01 Riso Kagaku Corp The ink container and ink supplied device for packing ink container
TW332188B (en) * 1996-11-06 1998-05-21 Riso Kagaku Corp The ink-supplying apparatus for printer
JP3750703B2 (ja) * 1997-02-10 2006-03-01 日本紙パック株式会社 液用可撓容器
US5909285A (en) * 1997-05-05 1999-06-01 Beaty; Elwin M. Three dimensional inspection system
US6055054A (en) * 1997-05-05 2000-04-25 Beaty; Elwin M. Three dimensional inspection system
WO1998058370A1 (en) * 1997-06-16 1998-12-23 Digital Papyrus Corporation Planar proximity lens element and disk drive using same
AUPO790397A0 (en) * 1997-07-16 1997-08-07 Lions Eye Institute Of Western Australia Incorporated, The Laser scanning apparatus and method
US6915007B2 (en) 1998-01-16 2005-07-05 Elwin M. Beaty Method and apparatus for three dimensional inspection of electronic components
US6915006B2 (en) * 1998-01-16 2005-07-05 Elwin M. Beaty Method and apparatus for three dimensional inspection of electronic components
US6072898A (en) * 1998-01-16 2000-06-06 Beaty; Elwin M. Method and apparatus for three dimensional inspection of electronic components
EP1065658B1 (en) * 1998-02-27 2009-09-30 Optware Corporation Method and apparatus for optical information, method and apparatus for reproducing optical information, apparatus for recording/reproducing optical information, and optical information recording medium
US7034859B2 (en) 2002-08-08 2006-04-25 Canon Kabushiki Kaisha Optical scanning device and image forming apparatus using the same
KR100498979B1 (ko) * 2003-04-09 2005-07-01 삼성전기주식회사 전압 감도와 위상 제어할 수 있는 액추에이터 및 이를구비한 광픽업
JP4412142B2 (ja) * 2003-12-19 2010-02-10 Ｔｄｋ株式会社 光ヘッド
JP4093209B2 (ja) 2004-07-12 2008-06-04 ティアック株式会社 光ピックアップ装置および光ディスク装置
DE102005015627A1 (de) * 2005-04-06 2006-10-12 Carl Zeiss Smt Ag Optische Abbildungsvorrichtung
JP6287546B2 (ja) 2014-04-25 2018-03-07 ミツミ電機株式会社 アクチュエータ及びエアポンプ、理美容機器及びレーザー走査機器
DE102014217517A1 (de) * 2014-09-02 2016-03-03 Laser- Und Medizin-Technologie Gmbh, Berlin Vorrichtung zur Steuerung einer relativen Verlagerung einer ersten Halterung und einer zweiten Halterung
US9726524B2 (en) 2014-10-09 2017-08-08 Raytheon Company Optical position encoder
KR102568462B1 (ko) * 2017-06-26 2023-08-21 트리나미엑스 게엠베하 적어도 하나의 대상체의 위치를 결정하는 검출기
CN107727009B (zh) * 2017-11-06 2023-11-24 深圳精创视觉科技有限公司 手机盖板玻璃质量检测装置
CN109870735A (zh) * 2018-12-29 2019-06-11 同方威视技术股份有限公司 毫米波/太赫兹波安检仪及其反射板扫描驱动装置
CN110631483B (zh) * 2019-09-29 2020-11-17 华中科技大学 正交光栅三自由度磁浮测量传感器、检测仪及其检测方法
CN112683164B (zh) * 2020-12-03 2022-07-29 中国科学院光电技术研究所 一种适用于视觉-激光测量系统的相对位姿测量精度评估方法
CN114967089B (zh) * 2022-05-17 2023-04-07 浙江大学 一种具有自动光束准直的三维超分辨显微成像系统

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4273468A (en) * 1978-03-23 1981-06-16 Balfour Beatty Limited Tunnelling shields and like moveable apparatus
JPS54130047A (en) * 1978-03-31 1979-10-09 Olympus Optical Co Ltd Aspherical optical element and production of the same
DE2910588C2 (de) * 1979-03-17 1982-04-29 Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5300 Bonn Vorrichtung zum Empfang einer elektromagnetischen Strahlung
NL8101669A (nl) * 1981-04-03 1982-11-01 Philips Nv Inrichting voor het detekteren van de stand van een voorwerp.
NL8103305A (nl) * 1981-07-10 1983-02-01 Philips Nv Opto-elektronische inrichting voor het met een stralingsbundel inschrijven en/of uitlezen van registratiesporen.
DE3234288C2 (de) * 1982-09-16 1984-07-26 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg Optische Vorrichtung zur Lenkung bzw. Ausrichtung eines Strahlenbündels
JPS59154677A (ja) * 1983-02-22 1984-09-03 Matsushita Electric Ind Co Ltd トラツキング制御装置
JPS59168835U (ja) * 1983-04-27 1984-11-12 パイオニア株式会社 光学式記録情報読取装置
DE3484723D1 (de) * 1983-09-05 1991-07-25 Mitsubishi Electric Corp Automatisches fokussierungsverfahren.
NL8304402A (nl) * 1983-12-22 1985-07-16 Philips Nv Optische aftasteenheid met een focusfout-detectiestelsel.
AU580793B2 (en) * 1984-01-31 1989-02-02 Sony Corporation Tracking error detector for optical head
US4563058A (en) * 1984-06-28 1986-01-07 International Business Machines Corporation Optical signal recorder employing a transducer having an adjustable dichroic mirror
JP2575099B2 (ja) * 1984-10-04 1997-01-22 ソニー株式会社 光学式ヘツドのトラツキング誤差検出装置
JPS6194246A (ja) * 1984-10-15 1986-05-13 Sony Corp 光学式ヘッドのトラッキング誤差検出方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN1003682B (zh) 1989-03-22
CS268680B2 (en) 1990-04-11
EP0206396B1 (en) 1990-09-05
ES8708267A1 (es) 1987-10-01
JPS623438A (ja) 1987-01-09
AU5850486A (en) 1986-12-18
YU98086A (en) 1989-12-31
CS423386A2 (en) 1989-07-12
SG50391G (en) 1991-08-23
JPH0535485B2 (ko) 1993-05-26
US4638471A (en) 1987-01-20
KR870000601A (ko) 1987-02-19
BR8602670A (pt) 1987-02-03
JPS62901A (ja) 1987-01-06
ES555805A0 (es) 1987-10-01
RU2037860C1 (ru) 1995-06-19
NL8501665A (nl) 1987-01-02
EP0206396A1 (en) 1986-12-30
AU585770B2 (en) 1989-06-22
CN86104848A (zh) 1987-05-27
ATE56299T1 (de) 1990-09-15
HUT44110A (en) 1988-01-28
DE3673885D1 (de) 1990-10-11
HU200022B (en) 1990-03-28
CA1263747A (en) 1989-12-05
HK92091A (en) 1991-11-22
KR870000608A (ko) 1987-02-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR940010944B1 (ko) 광학 주사 유닛 및 이를 이용한 정보 판독 및/또는 기록 장치
US3992574A (en) Opto-electronic system for determining a deviation between the actual position of a radiation-reflecting plane in an optical imaging system and the desired position of said plane
US4761776A (en) Device for determining a centring error of an optical disc relative to the axis of rotation of a turntable supporting the disc
US4850673A (en) Optical scanning apparatus which detects scanning spot focus error
KR890000199B1 (ko) 전자 광학장치
US5131744A (en) Mirror rotation angle detection mechanism
GB2288483A (en) An opto-magnetic head aparatus
KR950027716A (ko) 광픽업장치 및 이를 이용한 광디스크장치
KR20000069317A (ko) 주 렌즈와 보조 렌즈를 갖는 광학 주사 유니트
US5198916A (en) Optical pickup
CA1319194C (en) Focusing error detector and optical data detecting device incorporating the focusing error detector
US4900910A (en) System for detecting the position of an objective lens
JPH04231805A (ja) 物体の位置と方位を光学的に決定する装置
KR100634131B1 (ko) 주 렌즈 및 보조 렌즈를 구비한 광학 주사장치
EP0990187B1 (en) Method of manufacturing a lens system comprising two lens elements
JP3967525B2 (ja) レンズ駆動装置
US20020021523A1 (en) Displacement detection apparatus, and magnetic recording apparatus and encoder using the displacement detection apparatus
JPH09320084A (ja) 円盤状光記録媒体の傾き測定装置
US5732054A (en) Combined tracking position and tilt sensor for optical recording actuator
JPH0660387A (ja) 光学的に面を走査する装置
JP2000149284A (ja) ビ―ム照射装置と、フォ―カス制御装置と、情報記録媒体に対するビ―ム照射装置を有する光学装置と、情報記録媒体用原盤の製造方法と、情報記録媒体の製造方法
KR20080056727A (ko) 광학주사장치용 액추에이터
JPH0668478A (ja) 光学式走査装置
JP2898380B2 (ja) 光ヘッド調整装置
JPH0262735A (ja) 分離型光ヘッド装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
G160 Decision to publish patent application
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 19971112

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee