CS268680B2 - Optical scanning device - Google Patents

Optical scanning device Download PDF

Info

Publication number
CS268680B2
CS268680B2 CS864233A CS423386A CS268680B2 CS 268680 B2 CS268680 B2 CS 268680B2 CS 864233 A CS864233 A CS 864233A CS 423386 A CS423386 A CS 423386A CS 268680 B2 CS268680 B2 CS 268680B2
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
lens
radiation
detection system
optical
unit according
Prior art date
Application number
CS864233A
Other languages
English (en)
Other versions
CS423386A2 (en
Inventor
Rosmalen Gerard E Van
Original Assignee
Philips Nv
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Nv filed Critical Philips Nv
Publication of CS423386A2 publication Critical patent/CS423386A2/cs
Publication of CS268680B2 publication Critical patent/CS268680B2/cs

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B3/00Simple or compound lenses
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/08Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
    • G11B7/09Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B7/0925Electromechanical actuators for lens positioning
    • G11B7/0935Details of the moving parts
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/08Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
    • G11B7/09Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Control And Safety Of Cranes (AREA)
  • Optical Communication System (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Vehicle Body Suspensions (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Eye Examination Apparatus (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Description

(57) lešení se týká optické snímací jednotky, která obsahuje zdroj záření, objektiv a detekční soustavu tranalační polohy a úhlová polohy pro určení translačni polohy a úhlové polohy objektivu uvnitř snínaci jednotky· Tato eoustava obeahuje kuželovité prstencové zrcadlo, které je ustředěno a ustáleno vůči objektivu· Detekční soustavě citlivá na záření je umístěna v dráze záření odraženého od zrcadla a obsahuje dva detektory, jež jsou od sebe oddáleny prstencovým proužkem a každý z nich je rozdělený na čtyři kvadranty detektorů. Snímací jednotka dále obsahuje elektromagnetickou soustavu obsahující prstencový permanentní magnet kolem objektivu a nejméně šest magnetických cívek, které jaou uspořádány ve dvou osově vůči sobě posunutých rovinách.
CS 268 680 B2
Vynález ее týká optické snímací jednotky, obsahující zdroj záření, volný objektiv detekční soustavy translační polohy a uhlové polohy objektivu, sestávájící z odrazného členu na čočce objektivu a z detekční eouetavy citlivá na záření, uspořádané v dráze záření odraženého od odrazného členu a z ovládací soustavy objektivu·
Výraz objektiv musí být Interpretován v nejširším smyslu toho slova· Takový objektiv může sestávat z většího počtu čočkových členů, avšak v jiném připadá může sestávat z jediné čočky, která má například jeden nebo dva asférlcké povrchy· v jiném připadá může být objektiv například tvořen hologreflckou čočkou nebo jinou čočkou, jejíž funkce je založena na ohybu mleto na lomu·
Patentový eple USA č. 4,425.043 popisuje optickou snímací jednotku určenou pro použití v přístroji pro snímání a/nabo zapisování optického záznamového nosiče, přičemž snímací jednotka má objektiv a jeho držákem zavěšeným v elektromagnetická soustavě. Teto soustava zaručuje, že objektiv v podstatě sleduje pohyby snímací jednotky, jinými slovy zaujímá v podstatě pevnou polohu ve enlmací jednotce bez fyzického kontaktu mezi objektivem a ostatními členy snímací jednotky, tj· objektiv je plovoucí člen· v důsledku toho nemohou být poloha nebo pohyb objektivu ovlivňovány nežádoucími resonancemi, která se uplatňují, je-11 objektiv ve snímací jednotce zavěšen nebo uložen například za pomoci mechanických nebo pružných členů. Elektromagnetická zavěšení nebo uložení objektivu je velmi příznivé pro stabilitu snímací skvrny vytvářené objektivem.
Když objektiv má být schopen sledovat pohyby nebo vibrace snímací jednotky, Je třeba sáhnout к opatření, aby byly detekovány traneleční polohy objektivu vůči hlavnímu paprsku svazku záření, jakož 1 uhlová poloha optické oey objektivu vůči směru hlavního paprsku, a aby tyto polohy byly korigovány·
Evropská patentová přihláška č· 070 080, která byla Již vyložena, popisuje některé příklady elektromagnetické zavěěovacl eouetavy pro objektiv, ve které Jeou magnetické cívky eouetavy řízeny signály traneleční polohy в uhlové polohy takovým způsobem, že při funkci přístroje není objektiv pouze udržován v plovoucím 9tevu, nýbrž Je také nastavován do správné translační polohy a uhlové polohy·
Aby ee získaly řídící signály potřebné pro tuto funkci, může být umístěn odrazný hranol na obvodu objektivu nebo jeho uloženi v souhlasu se shora uvedeným patentovým spisem USA č* 4,425.043. Tento hranol tvoři čáet oddělené detekční soustavy pro translační polohu a úhlovou polohu, která dále obsahuje zdroj záření a detekční systém citlivý na zářeni, který obsahuje nejméně dvě oddělená detekční ústrojí. Hranol odráží svazek vysílaný zdrojem záření do detekčního systému a štěpí tento svazek do dvou podsvazků, z nichž každý je přijímán oddělenou sestavou alespoň dvou detektorů. Rozložení záření rta oba' podevazку a tím výstupní signály derektorcr^soU určeny translačnípolohou a úhlovou polohou hranolu a v důsledku toho objektivu vůči pevné poloze a orientaci svazku záření.
Známý detekční systém translační polohy a úhlové polohy vyžaduje některých zvláštních opatření, Jako je přídavný zdroj záření. Kromě toho může tento systém mít přeslechy mezi různými signály detektoru a tím mezi různými řídícími smyčkami, což může způsobit, Že celý detekční systém translační polohy a úhlové polohy Je nestabilní. Kromě toho může známý detekční systém translační polohy e úhlové polohy fungovat pouze pro určitou polohu hranolu, pozorováno v rovině příčné к optické oee objektivu. Ve známém systému je nutné bud zajistit, že objektiv ee nemůže otáčet kolem evé vlastní osy, nebo upravit přídavný detektor pro detekování otáčení hranolu kolem osy objektivu, eby se umožnila korekce polohy hranolu.
Účelem vynálezu Je vytvořit detekční soustavu translační polohy e úhlové polohy tak, aby umožňovala nezávisle měření obou translačních a otáčivých pohybů objektivu, což vyžaduje pouze nepatrný počet jednoduchých opatření ve snímací Jednotce, která tak není ovlivňována otáčením objektivu kolem Jeho vlastní osy.
CS 268 680 B2
V souladu s tím je odrazný člen tvořen kuželovitým prstencovým zrcadlem ustředěným a ustáleným vůči objektivu a detekční soustava citlivá na záření obsahuje dva páry detektorů, jež jsou navzájem oddáleny prstencovým proužkem a rozděleny do čtyř kvadrantů·
Pro detekování traneleční polohy a úhlové polohy objektivu ae použije té části záření ze zdroje záření přístroje, která nepadá do pupily objektivu a nepřispívá ke snímáni skvrny, takže není zapotřebí upravit oddělený zdroj záření ze účelem detekování polohy· Toto záření se odráží kuželovitým zrcadlem pro vytvoření prstencové skvrny záření, jejíž etřední průměr je v souhlasu a průměrem prstencového proužku detekční soustavy citlivé na zářeni· . Tato soustava má jednoduchý tvar a může být integrována na jednom substrátu· Naklánění kuželovitého zrcadla a tím objektivu kolea dvou oa napřič hlavního paprsku svazku záření a posunu kuželovitého zrcadle podél těchto os vyvolávají pokaždé odlišná posunuti středu Intenzity rozložení zářeni v detekční soustavě, takže tato posunuti a naklánění mohou být detekována navzájem nezávisle· Otáčení kuželovitého zrcadla kolem hlavního paprsku svazku nemá žádný vliv na signály detektoru, jelikož kuželovité zrcadlo je prstencové·
Výhodné provedení optické animaci jednotky je charekterizovéno tím, že kuželové prstencové zrcadlo je spojeno e držákem objektivu·
Podle jiného provedení snímací Jednotky je kuželové prstencové zrcadlo vytvořeno zvýšeným okrajovým úsekem na čočkovém členu objektivu, kterýžto zvýšený okrajový úsek je opatřen odraznou vrstvou na středovém skosení·
Výhodná provedení optické snímací jednotky, и něhož objektivová čočka sestává z jediné čočky v podobě průhledného tělesa, jehož povrch, obrácený ke zdroji zářeni, je opatřen vrstvou plastické hmoty s asférickým vnějším profilem, je dále charakterizováno tím, že zvednutý okrajový úsek sestává z vrstvy plastické hmoty·
Výhodné provedení snímací jednotky sestává v tom, že páry detektorů detekční soustevy citlivé na záření jsou uspořádány do prstence·
Další provedení vynálezu proto apočívá v tom, že ovládací ústrojí je vytvořeno prstencovým permanentním magnetem, který je pevně spojen e objektivem, a dvěma sadami stacionárních magnetických cívek, první sady jsou uspořádány v první rovině napříč к hlavnímu paprsku svazku záření a cívky druhé sady jsou uspořádány v druhé rovině rovnoběžné s první rovinou·
Podle dalšího provedení vynálezu obsahuje snímací jednotka přídavnou detekční soustavu osové polohy objektivu, jejíž výstup Je spojen s magnetickými cívkami·
Výhodné provedení snímací jednotky záleží v tom, že přidávací detekční soustava osové polohy objektivu je tvořena signálním generátorem, jehož první výstup je spojen s první sadou magnetických cívek a druhý výstup je spojen a druhou sadou magnetických cívek a že výstup detekční eoustevy translační a úhlové polohy objektivu je spojen se vstupem fázového komparátoru, jehož druhý vstup je spojen s výstupem signálního generátoru·
Optická snímací jednotka při použití v přístroji pro čteni a/nebo záznam informace v informačním povrchu okrouhlého diskového nosiče záznamu je s výhodou proveden tak, že mezi objektivem a zdrojem záření je umístěn oddělovací Člen·
Podle jiného provedení vynálezu je uvnitř prstencového vnitřního detektoru detekční soustavy translační polohy a uhlové polohy objektivu upraven detektor citlivý na záření·
Vynález bude nyní vysvětlen ve spojitosti a výkresy na příkladu jeho použiti v přístroji pro Čtení nebo popisování optického nosiče záznamu, kde znázorňuje obr· 1 čtecí přistroj opatřený detekční soustavou pro detekci translečni polohy a úhlové
CS 268 680 B2 polohy podle vynálezu, obr· 2 složený detektor této soustavy citlivý na záření, obr· 3 elektronický obvod pro zpracovávání signálů tohoto detektoru, obr· 4 objektiv v celku a kuželovitý* pratencovltý· podkladem, na obr· 5 je pohled ahora na přiklad elektromagnetické zavěšovací soustavy, na obr· 6 je pohled v průřezu na tuto aouatavu X a .
obr· 7 znázorňuje, jak lze získat signál osové polohy pro objektiv· «
Snímači jednotka znázorněná na obr· 1 obsahuje zdroj 1 záření, například diodový laser, коlimačni čočku 2, a objektiv 3, který je uložen v držáku 4· Зак kolimační čočka 2, tak i objektiv 3 mohou obsahovat větší počet čočkových členů, avšak s výhodou sestávají z jediného čočkového členu, tj· z jediné čočky, která má nejméně jednu asférickou lámavou plochu·
Rozbíhavý čtecí svazek b vysílaný zdrojem 1 zářeni se přeměňuje na paralelní svazek kolimační čočkou 2 a tento svazek b vyplňuje aperturu objektivu 3 přiměřeným způsobe·· Objektiv 3 fokusuje čtecí svazek za vytvořeni skvrny V záření, omezené difrakci a mající průměr například 1 ^um, na ioformačním povrchu 31 diskového záznamového nosiče 10. jehož malá čáet je znázorněna v radiálním průřezu na obr· 1· Informace je uspořádána v soustředných nebo téměř soustředných stopách 33, které dohromady tvoří spirální stopy. Tato informace obsahuje velký počet opticky detekovaných informačních plošek, jež nejsou znázorněny, a které se střídají s mezilehlými ploškami· Informační povrch 31 je s výhodou umístěn na horní streriě záznamového nosiče 30, takže snímací svazek b projde průhledným podkladem 32 záznamového nosiče 30, než dospěje к informačnímu povrchu 31· Informační povrch 31 je dále výhodně odrazivý pro záření, takže snímací svazek se odráží эшёгет ke zdroji 1 záření·
Když záznamový nosič 30 otáčí vůči snímací jednotce, je svazek odrážený informačním povrchem 31 Čeeovš modulován ve shodě se sledem informačních plošek a mezilehlých plošek ve snímané informační stopě 33· Aby se modulovaný svazek oddělil od svazku, který je vysílán zdrojem 1 záření, je v dráze záření umístěn oddělovací člen 6, který může být například poloprůhledné zrcadlo nebo hranol, které svezek Štěpí, jež mohou být nebo nemusí být citlivé na polarizaci a jejichž rozhraní 7 odráží alespoň část záření к informačnímu detektoru 11 citlivému na záření· Informační detektor 11 v podobě například fotodiody je vhodně umístěn v rovině 10. která je rovnoběžná a výstupní stranou diodového laseru, která je zrcadlově převrácena vůči rozhraní 7· Informační deта přeměňuje modulovaný snímací syeze=k na elektrický signál, který se zpracuje^ :
známým způsobem za vytvoření signálu, který je vhodný pro displej, je reprodukován nebo může být zpracován jiným způsobem podle typu informace uložené v záznamovém nosiči 30· Povaha této informace a zpracování signálu z detektoru 11 informace spadají mimo rozsah vynálezu a proto nebudou podrobněji popisovány·
Aby objektiv 3 mohl sledovat pohyby snímací jednotky bez jakéhokoliv fyzického styku mezi nim a ostatními členy animaci jednotky, je objektiv 3 zavěšen v elektromagnetické soustavě, která bude podrobněji popsána v souvislosti s obr· 5 a 6. To vyžaduje použití detekční soustavy traneleční polohy e úhlové polohy pro měřeni odchylek mezi středem M objektivu 3 a hlavním paprskem L svazku b podél osy X v rovině výtreeu a podél osy Y kolmé к rovině výkresu, jakož i sklápění objektivu 3 kolem obou těchto oe XY, takže takové odchylky od translační polohy a uhlové polohy mohou být řídící soustavou eliminovány·
Počátek osové soustavy X, Y, Z znázorněné v pravé části obr. 1, je ve skutečnosti umístěn v bodu M, takže osa Z oplývá a hlavním paprskem L· Směr podél této osy'L mOže být také označován jeko osový směr. Naklonění objektivu 3 kolem osy X může být znázorněno sklápěcím uhlem db в naklonění kolem osy Y sklápěcím úhlem β· Osa X a osa
CS 268 680 B2
Y probíhají například v Informační rovině rovnoběžné a radiálním směrem popřípadě s tangenciálním směrem·
Podle vynálezu obsahuje detekční soustava tranelační polohy a uhlové polohy podle vynálezu prstencové zrcadlo 5, která je pevně spojeno s objektivem 3 a Je také kuželovité, tj. odrazný povrch je umístěn v úhlu, který se liší o 90°, vůči hlavnímu paprsku L, a dále obsahuje detekční soustavu 9 citlivou na zářsní, která je umístěna v rovině 10 a je znázorněna v pohledu shora na obr· 2, totiž v řezu provedeném podle čáry II - II* na obr· 1· Kuželovité prstencové zrcadlo 5 odráží tu část svazku b záření, která padá do apertury 8, avSak mimo pupilu objektivu do oddělovacího členu 6, který zase odráží část záření к detekční soustavě 9. Na táto detekční soustavě 9 ee vytváří prstencový obrazec záření· Detekční soustava 9 citlivá na záření obsahuje dva složené detektory, které jsou oddáleny vloženým kroužkem 12 a z nichž každý sestává ze čtyř detektorů 13, 14, 15, 16. popřípadě 17, 18, 19, 20· Prstencový obrazec zářeni je znázorněn čárkovanými kroužky 21 na obr· 2· Střední průměr tohoto pretencového obrazce záření Je roven průměru mezilehlého kroužku 12.
Rozložení prstencového obrazce záření mezi osou detektorů 13. 14. 15, 16, 17, 18, 19. 20 závieí na translační poloze a na úhlové poloze kuželovitého prstencového zrcedla 5 a v důsledku toho na objektivu 3· Nakloněná poloha kolem osy X nebo kolem osy V vede к tomu, že prstencový obrazec záření se posune ve směru vyznačeném Šipkou 22, popřípadě Šipkou 23. Posunutí zrcadla 5 podél osy X a podél osy Y vede ke změně rozložení záření uvnitř prstencového obrazce zářeni takovým způsobem, že v případě posunutí osy X bude levá část detekční aouatavy 9 přijímat více zářeni, nebo méně záření, než pravá část, jelikož ty úseky obou polovin zrcadla 5, které jsou umístěny uvnitř svazku, zastaveného aperturou 8, již nejsou totožné. Podobně bude horní Část detekční soustavy 9 přijímat více zářeni nebo méně záření, než dolní část v případě pohybu podél osy Y·
Jestliže signály z detektorů 13 až 20 jsou označena plamenem S, za kterým následuji odpovídající Indexy, mohou být posunuty podél osy X a podél osy Y a otáčivé pohyby kolem těchto os mohou být popsány následujícími vzorci:
s15 * S 18 * S19^ (S13 * S16 * S17 * S2C)) + S14 + S17 * Sie) ” (S15 * S16 + S19 + S2tP ♦ s14 ♦ si9 ♦ S2(P “ <s17 * S18 * S15 + S16^ SX (S14 sY - (su Sd - (S13 s() - (s14 * S15 * S17 * S2Cp “ (S18 * S19 * S13 * S16>
Jednotlivá signály detekční soustavy 9 mohou být zpracovány na složené signály Sx, SY, Seta Sp za pomoci elektronického obvodu, jehož přlkled je znázorněn na obr.3. Funkce tohoto elektronického'obvodu, který obsahuje několik sčítecích obvodů¢40 až 47 a 50 až 57) a několik odečitacich obvodů (48, 49, 58, 59), je zřejmé z vyobrazeni. Slo-
takže různé úhly posunutí a otáčení mohou být detekovány nezávisle na sobě· Otáčení objektivu 3 kolem osy Z nevyvolává změnu prstencového obrazce záření a v důsledku toho neovlivňuje eignály detekční eouatavy 9· Posuny objektivu 3 podél osy Z také nemají žádný vliv na prstencový obrazec záření·
Ve snímací jednotce je těchto signálů použito pro pohon magnetických cívek elektromagnetické zavěěovací aouatavy· Tímto způsobem je translační poloha a úhlová poloha objektivu 3 vázána na translační polohu a úhlovou polohu složeného detektoru 13 ež 20, který zaujímá pevnou polohu uvnitř snímací jednotky, takže při činnosti snímacího přístroje je objektiv 3 etále řízen, aby zaujal správnou translační polohu a správnou úhlovou polohu uvnitř snímací jednotky·
К tomu je zapotřebí, aby kuželovité prstencové zrcadlo 5 mělo stélou translační polohu, a úhlovou polohu vůči objektivu 3· Za tím účelem, jek jo znázorněno na obr. 1.
CS 268 680 B2 tvoří prstencové zrcadlo 5 případné část objektivového držáku 4, ve kterém je objektiv 3 pevně umístěn* Oe teké možné užít pro toto prstencové zrcadlo 5 odděleného členu, který je upevněn na vnější nebo vnitřní části držáku 4 objektivu 3· Velmi výhodná možnost к dosaženi toho, aby translačnl poloha a uhlová poloha prstencového zrcadle 5 byla přesně vázána na obdobné polohy objektivu 3, je doeežitelná tím, když se objektiv vyrábí kopírovacím postupem· Tato možnost jo znázorněna na obr· 4· □e již dlouho známo, že v popeané snímací jednotce může být objektiv 3, sestávající z většího počtu členů, nahrazen objektivem, který obsahuje pouze jeden čočkový člen popřípadě jednu Čočku· Avšak místo kulových lámových ploch musí mít tento čočkový člen asférické lámavé plochy, aby byla dána přiměřená korekce pro aberece čočky· Aby taková jediná čočka objektivu 3 se složitými povrchovými profily mohla být vyráběna ve velkých množstvích a při přijatelné ceně, bylo již nevrženo použít průhledného tělesa nebo předběžného útvaru 60 například ze skla, který má například dva sférické lámavé povrchy 61 a 62·
Na jeden z těchto povrchů nebo na oba povrchy se nanese plastický materiál ve stavu přiměřeně měkkém· Tento plastický materiál může být materiál tvrdnoucí teplem, avšak v jiném případě to může být syntetická pryskyřice polymerovatelná ultrafialovým světlem. Po uloženi plastického materiálu na tomto povrchu se do materiálu vtlačí lisovnlce, jejíž povrchový profil je negativem žádaného profilu čočky. Potom se materiál vytvrdí a lisovni·ce se odstraní, takže se obdrží čočke opatřená plastickou vrstvou 63 a mající asférický profil 64· Taková čočky nemusí být dále vystaveny žádnému dalšímu opracování, jako je leštění.
Podle vynálezu může být lisovnlce nebo zápustka, pomocí níž se objektiv 3 vyrábí, uzpůsobena tak, že podél asférické plastické vrstvy 63 se vytvoří zvýšený okrajový úsek 65 ae skosenou plochou 66· Po výrobě objektivu 3 je pouze zapotřebí opatřit plochu 66 odrazným povlakem 67, například pokovením ve vakuu, aby se obdržel objektiv 3 vcelku s kuželovitým prstencovým zrcadlem 5. Odrazný zvýšený okrajový usek 65 může být vytvořen na tom povrchu objektivu 3, který je umístěn nejblíže u zdroje 1 záření, avšak může být případně vytvořen na jiné části povrchu objektivu 3.
Podle jiného provedení může být celá Čočke objektivu 3 odlita z průhledné plastické hmoty za pomoci forem majících žádaný profil. Forma použitá pro výrobu povrchu Čočky může být vytvořena na okraji 8 prohloubením, takže takto vyrobená čočka se vytvoří se zvýšeným okrajovým úsekem 65 opatřeným skosenou vnitřní plochou 66. Užije-li se skleněného předchozího útvaru, pak shora uvedená kopírovaná čočka má tu výhodu, že je odolnější VŮČI změnám teploty a jiným vlivům okolí, jako je vlhkost.
□a zřejmé, že snímací jednotka může obsahovat ob jekrivS Nestává jící z většího * počtu Čočkových členů, a že povrch poslední čočky, který je obrácen ke zdroji 1 zářeni, může mít asférický tvar a nést v jednom celku s ním zhotovená kuželovité prstencové zrcadlo 5. V jiném případě může být toto prstencové zrcadlo 5 upraveno na jednom z ostatních povrchů Čočky.
□ak je znázorněno na obr· 1, může být detektor 11 informace umístěn uvnitř složeného detektoru detekční soustavy 9 translační polohy a úhlové polohy a může být proveden v jednom celku s podkladem společně s uvedenou detekční soustavou 9 za použití známé a velni přesné technologie pro výrobu integrovaných obvodů. Detektor 11 informace může sestávat z jediného detektoru, který pouze dodává signál představující informaci uloženou na nosiči 30 záznamu· Podle jiného rpovedení může být detektor 11 informace rozdělen na eubdetektory, které kromě informačního signálu také dodávají řídící signály, například sledovací signál.
Sledovací eignál může být zíekán rozdělením detektoru 11 informace ne dva subdetektory 11a a 11b. jak je vyznačeno přerušovanou čarou 45 v obr. 2, která odpovídá tangenciálnímu směru na záznamovém nosiči 30. Rozdíl mezi výstupními signály subde
CS 268 680 B2 tektorů 11a a 11b obsahuje informaci o velikosti a směru odchylky mezi středem snímací skvrny V a středovou čarou snímané informační stopy 33» Způsob, kterým může být generován sledovací signál, spadá mimo rozsah vynálezu a nebude proto podrobněji popisován· V patentován spisu USA č· 4,425*043, je již kromě uvedeného způsobu generování sledovacího signálu popsán způsob generování signálu fokueační chyby·
Ve sledovací jednotce podle vynálezu je možné anelogicky ke shora uvedenému způsobu oddělit část záření hlavního svazku, odráženou rozhraním 7, od hlevního peprsku, tj· svazku, který dopadá na detektor 11, a to například za ponoci poloprůhledného zrcadla 5· Například pomocí střechového hranolu může být takto oddělená část rozdělena na dva podsvazky, které dopadají na tři nebo čtyři detektory 11, lla« 11b citlivé na záření, které jsou uspořádány v přímce napříč hrany střechového hranolu· Signál fokueační chyby je dán rozdílem mezi součtovým signálem obou vnějších detektorů 9 a mezi součtovým signálem obou vnitřních detektorů 11a a 11b·
Aby byla skvrna V záření udržována zaostřená na informační stopě 33, obsahuje čtecí přístroj hrubé řízeni a jemné řízení· Pro účely hrubého řízení může být snímací jednotka znázorněná na obr· 1 pohybována jako celek v radiálním směru vůči nosiči 30 záznamu· Za tím účelem mohou být členy 1, 2, 3, 4, 9 a 11 uspořádány uvnitř jednoho trubkového držáku, který je radiálně pohyblivý za pomoci výkyvného ramena, nebo přímočaře pohyblivých sání·
Jemné řízení může být prováděno například ze pomoci otáčivého zrcadla (v obr· 1 neznázorněnáho), nebo tím, že se objektivovou čočkou pohybuje ne malé vzdálenosti ve směru X nebo v radiálním směru· Jak je popsáno v patentovém spisu USA č· 4,423.496, vede toto Jemné řízeni к tomu, Že hlavní paprsek L čtecího svazku Je posouván vůči detektorům 11a a 11b nezávisle na odchylce mezi středem skvrny V zářeni a mezi středovou čarou snímané stopy 33·
To zavádí do sledovacího signálu chybu, která ee označuje jako přesazení· Jak je popsáno v patentovém spisu USA č· 4,423.496, může být teto chyba odstraněna korekcí sledovacího signálu, která se obdrží pomocí detektorů 11a o 11b při použití signálu, který Je úměrný radiální poloze objektivu 3· Ve snímací jednotce podle vynálezu je tento signál Sx již dodáván detekční soustavou 9 translační polohy a úhlové polohy, takže ne rozdíl od přístrojů podle tohoto patentového spisu USA č· 4,423·496 není к uvedenému účelu zapotřebí žádná oddělená soustavy·
Jestliže nosič 30 optického záznamu, mající informační povrch odrážející záření, so snímá diodovým laserem, lze užít zpětnovazebního efektu takového laseru· Svazek, který je modulován informační strukturou, se pak neoddělí od svazku vysílaného diodivým laserem, avšak první zmíněný svazek vstoupí opět do diodového laseru a interferuje se zářením vytvářeným* v resonanční dutihě laseru· V důsledku toho je svazek-*vysílaný diodovým laserem modulován ve shodě se snímanou informací·
Tato modulace může být detekována detektorem citlivým na zářeni, umístěným na zadní části diodového laseru, ze kterého vychází záření korelující se zářením vycházejícím z přední části diodového laseru· Jiným důsledkem zpětnovazebního efektu Je okolnoet, že elektrický odpor diodového laseru kolísá ve shodě se snímanou informaci· Detekování této změny, popřípadě tohoto kolísání, představuje druhou možnost snímání informace uložené v záznamovém nosiči 30·
Soustava 9 pro detekci translační polohy a úhlové polohy podle vynálezu může pak být použita ve snímacích Jednotkách za použiti zpětnovazebního efektu· Taková snímací jednotka se liší od jednotky znázorněné na obr· 1 v tom, že Je vynechán oddělovací člen 6 a funkce detektoru 11 informace je vykonávána diodovým laserem 1, a detekční soustavě 9, citlivá na zářeni, pro detekci translační polohy a úhlové polohy je uspořádána kolem diodového laseru 1·
Kromě toho lze vynálezu užít v přístrojích pro čteni nosičů s optický* záznamem d
CS 268 680 B2 v přenosu. U takového přístroje Je detektor II informace umístěn na druhé straně záznamového nosiče, odlehlé od zdroje 1 záření, v uspořádání znázorněném na horní straně podle obr· 1· Tento detektor 11 Již nemůže být integrován nebo proveden v celku s detekční soustavou 9· Teto detekční soustava 9 může být uspořádána v poloze znázorněné na obr.l, nebo může být zase uspořádána kolem diodového laseru·
Aby objektiv 3 byl udržován ve správné poloze X a ve správné poloze Y a aby se osa objektivu 3 udržovala rovnoběžnou e osou Z, lzs použit elektromagnetické soustavy, obsahující větěí počet cívek, na které es přivádějí signály βχ, Sy, a z detekční soustavy 9 tranelační polohy a úhlově polohy· Evropská patentová přihláška č· 103.929 popisuje elektromagnetickou soustavu, ve které Je objektiv pro snímání nosiče optického záznamu posouván a nakláněn takovým způsobem, že skvrna záření, vytvářená tímto objektivem, dopadá na Informační povrch ve správné radiální a tangenciální poloze· Podle vynálezu Ůže být užito podobná elektromagnetické soustavy pro udržování objektivu 3 ve správné translaČni poloze a úhlové poloze vůči detekční soustavě 9 citlivé na záření·
Obr· 5 Je pohled shora na elektromagnetickou soustavu a obr· 6 je průřez touto soustavou podle čáry VI-VI· Na těchto vyobrazeních Je objektiv 3 a Jeho držák 4· К tomuto držáku 4 Je připevněn pretenec 70 z permanentně magnetického meteriálu· Tento prstenec 70 je umístěn v poli magnetické síly nejméně šesti nepohyblivých magnetických cívek 71, 72, 73, 74, 75, 76, které Jsou uspořádány ve dvou osově přesazených rovinách Θ0, 81. Tři magnetická cívky 71. 72, 73 Jsou viditelné v pohledu shora na obr· 5· Magnetické cívky 74. 75 a 76 druhé sady, které Jsou umístěny pod touto první sadou magnetických cívek a které proto nejsou viditelné, přičemž mohou mít stejný tvar· Magnetické cívky mají výhodně obloukový tvar ve shodě a třírozměrným polem permanentního magnetu 70, takže Lorentzovy síly Jsou co největší· Místo tří cívek je možno upravit v každá rovině čtyři magnetické cívky, to znamená celkově osm magnetických cívek·
Pro další podrobnosti při konstruování elektromagnetická soustavy se poukazuje na evropskou patentovou přihlášku č· 103·929· V této přihlášce Je také popsáno, jak přiváděním specifických řídících signálů ne specifické cívky lze obdržet posouvání objektivu 3 ve směru X nebo ve směru Y nebo sklápění kolem osy X nebo osy Y, e také, jak objektiv 3 může být pohybován v osovém směru· Na tabulce v evropské petentové přihlášce č.103. 929, kde Je vyznačeno, kterými cívkami a Jakými fázovými proudy má být prováděno napájení pro.obdržení specifického posunutí nebo otáčivého pohybu objektivu, má být zaveden proud úměrný eignálu βχ, Sy, S<$ nebo S(b ve vhodných místech této tabulky pro každý z pohybů v ní vyznačených· Proud pro osové posunutí objektivu je úměrný signálu fokusační chyby, který Je dodáván vhodnou detekční soustavou fokusační cívky, například soustavou popsanou v patentovém spisu USA č· 4,425.043.
Pro každý z pěti možných pohybů Jaou nejméně dvě magnetické cívky poháněny signály v protlfázi, takže pro značný postup nastává pouze nepatrné kolísání Lorentzových sil· V této elektromagnetické soustavě Jsou různé pohony od sebe správně izolovány, což zaručuje vysokou stabilitu pěti řídících soustav·
Užije-li ее shora popsané snímací Jednotky pro snímání otáčivého diskového záznamového nosiče 30. nastává poměrně velké kolísání v osové vzdálenosti mezi objektivem 3 a informačním povrchem'31· Taková kolísání mohou být vyvolána vibracemi ve snímacím přístroji, sešikmenlm záznamového nosiče nebo osy otáčení, šikmou polohou informačního povrchu v záznamovém nosiči 30 nebo zejména v případě velkých záznamových nosičů sklouznutím záznamového nosiče 30 směrem к okraji· V případě větších osových posunutí objektivu 3 ve snímací Jednotce za účelem korekce těchto kolísání může nastat přeslech mezi různými ovladači, který je označován jako přeslech ovledače· Podle dalšího provedení vynálezu může být tento přeslech eliminován detekováním osové polohy objektivu ve snímací jednotce a korigováním řídících signálů pro pohyby X a Y e pro natáčeníďa β za pomoci takto získaného signálu osové polohy· β
CS 268 680 Β2
Toto přídavné řídící ustrojí 79 jo znázorněno na obr· 7, kde v tomto vyobrazení blok 79* obsahuje všechny členy snínací jednotky podlá obr· 1 s výjimkou objektivu 3 a kuželovitého prstencového zrcadlo 5· Os použito přídavné detekční soustavy tvořené signálním generátorem 77, který dodává dva periodické, vo fázi o 180° posunuté signály S* a Sw*t aby oa obdržel periodicky natáčivý pohyb objektivu 3· Oeden z těchto signálč se vede do horní sestavy magnetických cívek 71, 72, 73 a druhý signál se vede do dolní sestavy magnetických cívek 74. 75, 76» Uvnitř jedné sestavy magnetických cívek jsou ty magnetické cívky, ktoré jsou umíotěny navzájem opačně vůči ose otáčeni, poháněny v opačné fázi· Tyto oignály vyvolávají periodické natáčení, například kolem oey X, objektivu 3 s kuželovitým prstencovým zrcadle® 5, tekžo přídavné detekční soustave 79 trenelačni polohy э uhlové polohy dodává přídavný signál S^f , což je periodický signál o specifické fázi·
Tato fáze vyznačuje zda-li horní nebo dolní eeetava magnetických cívek 71. 72, 73, popřípadě 74, 75, 76 působí větěí silou na prstencový magnet 70 a na objektiv 3, a v důsledku toho, byl-11 objektiv 3 posunut nahoru nebo dolů vůči středové poloze mezi rovinami 80 a 81» Amplituda S^* je úměrná velikosti odchylky od středové polohy· Srovnáním fáze signálu S^* e fázi signálu Sw, S^, ve fázovém komparátoru 78 se obdrží signál osové polohy· Tento signál je překládán přes signál Sx, Sy, a S[), aby se korigovaly těmito signály buzené ovladače vůči osové poloze objektivu 3 a prstencového magnetu 70·
Okolnost, že vynález je popsán pro snímací přistroj, neznamená, že vynález je na tento přístroj omezen· V jiném případě může být animaci jednotka podle vynálezu použita v přístrojích pro zaznamenáváni informace v nosičích optického záznamu, kteréžto přístroje mají v zásadě stejnou konstrukci jako čtecí přístroje, avšak pracují a vyδčí intenzitou záření, která je modulována ve ahodě se zaznamenávanou informací· Za tím účelem může být v dráze záření mezi zdrojem 1 záření a oddělovacím členem 6 umístěn modulátor, například akusticko-optický modulátor· □estliže zdroj 1 záření je diodový laser, může býti záření, vysílané tímto zdrojem, modulováno přímo modulpvánlm elektrického proudu vedeného diodovým laserem ve shodě se zaznamenávanou informaci· Dále může být vynálezu užito v jiných optických snímacích systémech, například ve snímacím mikroskopu a obecně v zobrazovacích ayatémech obsahujících malé čočky a majících vyaokou jakost zobrazení, ve kterých zobrazovací pole čoček může být omezeno·

Claims (10)

PŘEDMĚT VYNALEZU
1· Optická animací jednotka, obsahující zdroj záření, volný objektiv detekční soustavy trenelačni polohy a úhlová polohy objektivu, sestávející z odrazného členu na čočce objektivu a z detekční soustavy citlivé na záření, uspořádané v dráze záření odraženého od «Odrazového členu *a~ z ovládací soustavy-objektivu, vyznačujte!-'-se tím, že odrazný člen je tvořen kuželovitým prstencovým zrcadlem (5) uspořádaným souose a ustáleným vůči objektivu (3), a detekční soustava citlivá na záření obsahuje dva páry detektorů (13, 14, 15, 16| 17, 18, 19, 20), jež jsou navzájem odděleny prstencovým proužkem /12/, a rozděleny do čtyř kvadrantů·
2· Optická animací jednotka podle bodu 1, vyznačující ae tím, že kuželové prstencové zrcadlo (5) je spojeno a držákem (4) objektivu (3)·
3· Optická snímači jednotka podle bodu 1, vyznačující se tím, že kuželové prstencové zrcadlo (5) je vytvořeno zvýšeným okrajovým úsekem (65) na čočkovém členu objektivu (3), kterýžto zvýšený okrajový úsek (65) je opatřen odraznou vrstvou (67) na středovém skosení (66).
4· Optická snímací jednotka podle bodu 3, u níž objektiv aestává z jednoho čočkového členu v podobě průhledného tělesa, jehož povrch, obrácený ke zdroji záření, je opatřen vrstvou plastické hmoty mající aaférický vnější profil, vyznačující se tím, že zvýšený okrajový úsek (65) sestává z vrstvy (63) plastické hmoty·
CS 268 680 B2
5. Optická snímací jednotka podle bodu 1, vyznačující se tím, že páry detektorů (13, 14, 15, 16; 17, 18, 19, 20) detekční soustavy citlivé na záření jsou uspořádány do prstence·
6· Optická snímači jednotka podle bodů 1, 2, 3, 4 nebo 5, vyznačující se tím, že ovládací ústrojí je vytvořeno prstencovým permanentním magnetem (70, který je pevné spojen s objektivem (3), a dvěma eadami stacionárních magnetických cívek (71, 72, 73, 74, 75, 76), přičemž cívky (71, 72, 73) první sady jsou uspořádány v první rovině napříč к hlavnímu paprsku svazku (b) zdroje (1) záření a cívky (74, 75, 76) druhé sedy jsou uspořádány v druhé rovině rovnoběžné a první rovinou·
7· Optická snímací jednotka podle kteréhokoliv z předcházejících bodů, vyznačující se tím, že obaahuje přídavnou detekční soustavu (79) osové polohy objektivu (3), jejíž výstup je spojen e magnetickými cívkami (71, 72, 73; 74, 75, 76)·
8. Optická animaci jednotka podle bodu 7, vyznačující se tím, že přídavná detekční sousteva (79) oeové polohy objektivu (3), je tvořena signálním generátorem (77), jehož první výstup (Sw*) je spojen s první sadou magnetických cívek (71, 72, 73) a druhý výstup (s w) je spojen s druhou sadou magnetických cívek (74, 75, 76) a že výstup detekční soustavy (79) translační a úhlové polohy objektivu (3) je spojen se vstupem fázového komparátoru (78), jehož druhý vstup je spojen s výstupy (Sw·, Sw) signálního generátoru (77).
9. Optická snímací jednotka podle kteréhokoliv z předcházejících bodů, při použití v přístroji pro čteni a/nebo zaznamenávání informace v informačním povrchu okrouhlého deskového nosiče záznamu, vyznačující se tím, že mezi objektivem (3) a zdrojem záření (1) je umístěn oddělovací člen (6).
10« Optická snímací jednotka podle bodu 9, vyznačující se tím, že uvnitř prstencového vnitřního detektoru (17, 18, 19,20) detekční soustavy (9),translační polohy a úhlové polohy objektivu (3) je upraven informační detektor (11) citlivý na záření.
CS864233A 1985-06-10 1986-06-09 Optical scanning device CS268680B2 (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL8501665A NL8501665A (nl) 1985-06-10 1985-06-10 Optische aftasteenheid met positie- en standdetektiestelsel voor een elektromagnetisch gelagerd objektief.

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CS423386A2 CS423386A2 (en) 1989-07-12
CS268680B2 true CS268680B2 (en) 1990-04-11

Family

ID=19846113

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS864233A CS268680B2 (en) 1985-06-10 1986-06-09 Optical scanning device

Country Status (18)

Country Link
US (1) US4638471A (cs)
EP (1) EP0206396B1 (cs)
JP (2) JPS623438A (cs)
KR (2) KR870000601A (cs)
CN (1) CN1003682B (cs)
AT (1) ATE56299T1 (cs)
AU (1) AU585770B2 (cs)
BR (1) BR8602670A (cs)
CA (1) CA1263747A (cs)
CS (1) CS268680B2 (cs)
DE (1) DE3673885D1 (cs)
ES (1) ES8708267A1 (cs)
HK (1) HK92091A (cs)
HU (1) HU200022B (cs)
NL (1) NL8501665A (cs)
RU (1) RU2037860C1 (cs)
SG (1) SG50391G (cs)
YU (1) YU98086A (cs)

Families Citing this family (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5278066A (en) * 1985-08-09 1994-01-11 Gist-Brocades Nv Molecular cloning and expression of gene encoding lipolytic enzyme
US4951274A (en) * 1987-01-23 1990-08-21 Nec Corporation Magneto-optical head capable of separating beams for reading recorded information and servo information by use of one optical element
DE3777627D1 (de) * 1987-01-26 1992-04-23 Philips Nv Repliklinse mit glaslinsenkoerper.
US5830735A (en) * 1987-03-06 1998-11-03 Gist-Brocades Nv Method for producing lipolytic enzymes using transformed Pseudomonas
US4863252A (en) * 1988-02-11 1989-09-05 Tracor Northern, Inc. Objective lens positioning system for confocal tandem scanning reflected light microscope
US5017768A (en) * 1988-09-14 1991-05-21 Copal Company Limited Optical focusing control apparatus
JP2737998B2 (ja) * 1989-03-31 1998-04-08 ソニー株式会社 対物レンズ位置検出装置
US5027340A (en) * 1989-06-01 1991-06-25 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Object lens head assembly
US5101393A (en) * 1990-07-25 1992-03-31 Hewlett-Packard Company Optical position error detection using complementary steep angle reflections/transmissions
US5281797A (en) * 1991-12-26 1994-01-25 Hitachi, Ltd. Short wavelength optical disk head having a changeable aperture
US5289442A (en) * 1992-06-19 1994-02-22 U.S. Philips Corporation Optical scanner with a long fast access stroke
TW224169B (cs) * 1992-06-19 1994-05-21 Philips Nv
EP0801760B1 (de) * 1994-04-11 2000-09-13 Leica Microsystems AG Verfahren zur ermittlung der distanz zwischen einem objektdetail und einem operationsmikroskop und vorrichtung dazu
US5732054A (en) * 1995-03-28 1998-03-24 Eastman Kodak Company Combined tracking position and tilt sensor for optical recording actuator
US5768037A (en) * 1995-10-06 1998-06-16 Eastman Kodak Company Actuator with single surface-field motor
TW330907B (en) * 1996-09-09 1998-05-01 Riso Kagaku Corp The ink container and ink supplied device for packing ink container
TW332188B (en) * 1996-11-06 1998-05-21 Riso Kagaku Corp The ink-supplying apparatus for printer
JP3750703B2 (ja) * 1997-02-10 2006-03-01 日本紙パック株式会社 液用可撓容器
US5909285A (en) * 1997-05-05 1999-06-01 Beaty; Elwin M. Three dimensional inspection system
US6055054A (en) * 1997-05-05 2000-04-25 Beaty; Elwin M. Three dimensional inspection system
WO1998058370A1 (en) * 1997-06-16 1998-12-23 Digital Papyrus Corporation Planar proximity lens element and disk drive using same
AUPO790397A0 (en) * 1997-07-16 1997-08-07 Lions Eye Institute Of Western Australia Incorporated, The Laser scanning apparatus and method
US6915007B2 (en) 1998-01-16 2005-07-05 Elwin M. Beaty Method and apparatus for three dimensional inspection of electronic components
US6915006B2 (en) * 1998-01-16 2005-07-05 Elwin M. Beaty Method and apparatus for three dimensional inspection of electronic components
US6072898A (en) * 1998-01-16 2000-06-06 Beaty; Elwin M. Method and apparatus for three dimensional inspection of electronic components
EP1065658B1 (en) * 1998-02-27 2009-09-30 Optware Corporation Method and apparatus for optical information, method and apparatus for reproducing optical information, apparatus for recording/reproducing optical information, and optical information recording medium
US7034859B2 (en) 2002-08-08 2006-04-25 Canon Kabushiki Kaisha Optical scanning device and image forming apparatus using the same
KR100498979B1 (ko) * 2003-04-09 2005-07-01 삼성전기주식회사 전압 감도와 위상 제어할 수 있는 액추에이터 및 이를구비한 광픽업
JP4412142B2 (ja) * 2003-12-19 2010-02-10 Tdk株式会社 光ヘッド
JP4093209B2 (ja) 2004-07-12 2008-06-04 ティアック株式会社 光ピックアップ装置および光ディスク装置
DE102005015627A1 (de) * 2005-04-06 2006-10-12 Carl Zeiss Smt Ag Optische Abbildungsvorrichtung
JP6287546B2 (ja) 2014-04-25 2018-03-07 ミツミ電機株式会社 アクチュエータ及びエアポンプ、理美容機器及びレーザー走査機器
DE102014217517A1 (de) * 2014-09-02 2016-03-03 Laser- Und Medizin-Technologie Gmbh, Berlin Vorrichtung zur Steuerung einer relativen Verlagerung einer ersten Halterung und einer zweiten Halterung
US9726524B2 (en) 2014-10-09 2017-08-08 Raytheon Company Optical position encoder
KR102568462B1 (ko) * 2017-06-26 2023-08-21 트리나미엑스 게엠베하 적어도 하나의 대상체의 위치를 결정하는 검출기
CN107727009B (zh) * 2017-11-06 2023-11-24 深圳精创视觉科技有限公司 手机盖板玻璃质量检测装置
CN109870735A (zh) * 2018-12-29 2019-06-11 同方威视技术股份有限公司 毫米波/太赫兹波安检仪及其反射板扫描驱动装置
CN110631483B (zh) * 2019-09-29 2020-11-17 华中科技大学 正交光栅三自由度磁浮测量传感器、检测仪及其检测方法
CN112683164B (zh) * 2020-12-03 2022-07-29 中国科学院光电技术研究所 一种适用于视觉-激光测量系统的相对位姿测量精度评估方法
CN114967089B (zh) * 2022-05-17 2023-04-07 浙江大学 一种具有自动光束准直的三维超分辨显微成像系统

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4273468A (en) * 1978-03-23 1981-06-16 Balfour Beatty Limited Tunnelling shields and like moveable apparatus
JPS54130047A (en) * 1978-03-31 1979-10-09 Olympus Optical Co Ltd Aspherical optical element and production of the same
DE2910588C2 (de) * 1979-03-17 1982-04-29 Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5300 Bonn Vorrichtung zum Empfang einer elektromagnetischen Strahlung
NL8101669A (nl) * 1981-04-03 1982-11-01 Philips Nv Inrichting voor het detekteren van de stand van een voorwerp.
NL8103305A (nl) * 1981-07-10 1983-02-01 Philips Nv Opto-elektronische inrichting voor het met een stralingsbundel inschrijven en/of uitlezen van registratiesporen.
DE3234288C2 (de) * 1982-09-16 1984-07-26 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg Optische Vorrichtung zur Lenkung bzw. Ausrichtung eines Strahlenbündels
JPS59154677A (ja) * 1983-02-22 1984-09-03 Matsushita Electric Ind Co Ltd トラツキング制御装置
JPS59168835U (ja) * 1983-04-27 1984-11-12 パイオニア株式会社 光学式記録情報読取装置
DE3484723D1 (de) * 1983-09-05 1991-07-25 Mitsubishi Electric Corp Automatisches fokussierungsverfahren.
NL8304402A (nl) * 1983-12-22 1985-07-16 Philips Nv Optische aftasteenheid met een focusfout-detectiestelsel.
AU580793B2 (en) * 1984-01-31 1989-02-02 Sony Corporation Tracking error detector for optical head
US4563058A (en) * 1984-06-28 1986-01-07 International Business Machines Corporation Optical signal recorder employing a transducer having an adjustable dichroic mirror
JP2575099B2 (ja) * 1984-10-04 1997-01-22 ソニー株式会社 光学式ヘツドのトラツキング誤差検出装置
JPS6194246A (ja) * 1984-10-15 1986-05-13 Sony Corp 光学式ヘッドのトラッキング誤差検出方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN1003682B (zh) 1989-03-22
EP0206396B1 (en) 1990-09-05
ES8708267A1 (es) 1987-10-01
JPS623438A (ja) 1987-01-09
KR940010944B1 (ko) 1994-11-19
AU5850486A (en) 1986-12-18
YU98086A (en) 1989-12-31
CS423386A2 (en) 1989-07-12
SG50391G (en) 1991-08-23
JPH0535485B2 (cs) 1993-05-26
US4638471A (en) 1987-01-20
KR870000601A (ko) 1987-02-19
BR8602670A (pt) 1987-02-03
JPS62901A (ja) 1987-01-06
ES555805A0 (es) 1987-10-01
RU2037860C1 (ru) 1995-06-19
NL8501665A (nl) 1987-01-02
EP0206396A1 (en) 1986-12-30
AU585770B2 (en) 1989-06-22
CN86104848A (zh) 1987-05-27
ATE56299T1 (de) 1990-09-15
HUT44110A (en) 1988-01-28
DE3673885D1 (de) 1990-10-11
HU200022B (en) 1990-03-28
CA1263747A (en) 1989-12-05
HK92091A (en) 1991-11-22
KR870000608A (ko) 1987-02-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CS268680B2 (en) Optical scanning device
US4337531A (en) Scanning head for an optical disc system
US6936810B2 (en) Method and apparatus for scanning an optical beam using an optical conduit
JP2003279337A (ja) 偏向角検出装置、光信号スイッチシステム、情報記録再生システム、偏向角検出方法および光信号スイッチング方法
GB2220748A (en) Probe
TW589635B (en) Optical disc device and tilt detecting method
KR100229302B1 (ko) 물체 위치 및 방위 광학적 결정 디바이스
US6459492B1 (en) Non-contact position sensor
EP0164687B1 (en) Optical head for focusing a light beam on an optical disk
US4900910A (en) System for detecting the position of an objective lens
CA1174492A (en) Optical playback apparatus, focusing elements, and focusing system for producing a prescribed energy distribution along an axial focal zone
US7054095B2 (en) Displacement detection apparatus, and magnetic recording apparatus and encoder using the displacement detection apparatus
EP0884564B1 (en) Displacement sensor and method for producing target feature thereof
JP2001319350A (ja) レンズ駆動装置
JPH03131817A (ja) 光ビーム走査光学装置
JPH0668478A (ja) 光学式走査装置
JPH0660387A (ja) 光学的に面を走査する装置
KR20080056727A (ko) 광학주사장치용 액추에이터
JP2002116361A (ja) レーザダイオードユニットの製造方法及び装置
KR100498192B1 (ko) 비-접촉 위치 센서
JP2000113489A (ja) 光学部品及び光ピックアップ装置及び光軸傾き調整方法及び光軸傾き調整装置
JPS6350920A (ja) 光軸調整装置付光ヘツド
CA1193893A (en) Focusing elements and system for producing a prescribed energy distribution along an axial focal zone
KR100549664B1 (ko) 초점거리및디센터조절장치
JPH0612679A (ja) 光ピックアップ調整方法