KR940005503B1 - 웨이퍼 세척방법 및 그 장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

웨이퍼 세척방법 및 그 장치

제1도는 종래의 웨이퍼 세척장치를 보인 개략도.

제2도는 본 발명에 따른 웨이퍼 세척장치를 보이 단면도.

제3도는 제2도에 도시된 웨이퍼 홀더의 변형사용예를 보인 발췌단면도.

본 발명은 웨이퍼 세척방법 및 그 장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 진동을 이용한 웨이퍼 세척방법 및 그 장치에 관한 것이다.

제1도에는 종래 웨이퍼 세척장치가 도시되어 있는 바, 이는 웨이퍼(12)가 테이트(13)에 의해 부착된 웨이퍼링(11)이 안착되는 회전테이블(10)과, 상기 회전테이블(10)의 웨이퍼링(11)을 고정시키는 웨이퍼홀더(14)와, 상기 회전테이블(10)의 상부에 설치되며 상기 웨이퍼(12)에 세척액의 분사하는 노즐(15)로 구성된다.

이와 같이 구성된 종래 웨이퍼의 세척장치를 이용한 세척방법은 웨이퍼홀더(14)로 웨어퍼(12)가 부착된 웨이퍼링(11)을 회전테이블(10)에 고정시킨 다음 회전테이블(10)을 고속으로 회전시키면서 노즐(15)로 세척액을 소정압력으로 웨이퍼(12)에 분사하여 웨이퍼(12)에 표면에 커팅시 잔류된 이물을 제거하는 것이다.

그러나 이와같은 종래 웨이퍼의 세척방법은 웨이퍼 전체표면에 동시에 세척액을 분사할 수 없어 웨이퍼의 중심 바깥부분은 중심에서 제거된 이물이 오히려 쌓이는 현상이 발생하게 되므로 웨이퍼 전체의 효과적인 세척이 어렵게 되는 문제점이 있었다. 또한 1회에 1장의 웨이퍼만을 세척할 수 있으므로 세척에 소요되는 시간이 길어지는 문제점이 있었다.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 감안하여 창출된 것으로서, 세척효율이 우수하고 세척에 소요되는 시간을 줄일 수 있는 방법 및 이 방법을 실시하기에 적합한 장치에 제공함에 그 목적이 있다.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 웨이퍼 세척방법은 웨이퍼가 부착된 웨이퍼링을 웨이퍼홀더에 부수개 결합하고, 이 웨이퍼홀더를 테이블에 고정시킨 다음, 상기 웨이퍼홀더를 세척액조의 세척액속에 잠기도록 한 상태에서 진동발생수단으로 상기 테이블, 웨이퍼홀더, 웨이퍼링을 진동시켜 웨이퍼에 부착된 이물을 제거하는 점에 그 특징이 있다.

또한 상기의 방법을 실시하기에 적합한 본 발명의 웨이퍼 세척장치는 세척액이 담긴 세척액조와; 상기 세척액조의 상부에 설치되는 테이블과; 상기 테이블의 상부에 위치되며 이를 진동시키는 진동발생수단과; 대략 ""형상으로 형성되어 그 상면이 상기 테이블의 하면에 고정되며, 그 양내측면에 상호 대향되도록 복수개의 결합돌기홈이 형성된 웨이퍼홀더와; 웨이퍼가 부착되며 그 양단이 상기 웨이퍼홀더의 결합돌기홈에 결합되는 복수개의 웨이퍼링을 구비하여 된 점에 그 특징이 있다.

이하 본 발명에 다른 웨이퍼 세척방법 및 그 장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

제2도에서는 본 발명에 따른 세척장치가 도시되어 있는 바, 이는 세척액(1a)이 단긴 세척액조(1)와, 상기 세척액조(1)의 상부에 설치되는 테이블(2)과, 상기 테이블(2)의 상부에 설치되어 이를 진동시키는 진동발생수단으로서의 초음파발생기(3)와, 대략 ""형상으로 형성되어 상기 테이블(2)의 하면에 그 상면이 고정되고, 개구부(4b)의 하단에 여과필터(5)가 설치되며, 양내측면에 상호 대향되도록 복수개의 결합돌기홈(4a)이 형성된 웨이퍼홀더(4)와, 상기 웨이퍼홀더(4)의 결합돌기홈(4a)에 그 양단이 결합되며 중앙부에 웨이퍼(7)가 테이블(8)에 의해 부착되는 웨이퍼링(6)을 구비한다. 그리고 상기 웨이퍼홀더(4)는 제3도에 도시되어 있는 바와 같이 웨이퍼링(6)이 수직이 되도록 그 측면이 테이블(2)에 고정될 수도 있다.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 웨이퍼 세척장치를 이용하여 본 발명에 따른 웨이퍼 세척방법을 설명하면 다음과 같다. 먼저 테이블(2)의 하면에 웨이퍼홀더(4)의 상면을 고정하고, 복수개의 웨이퍼링(6)에 각각 웨이퍼(7)를 테이프(8)로 고정시킨 다음 이 웨이퍼링(6)을 상기 웨이퍼홀더(4)의 양내측면에 형성된 복수개의 결합돌기(4a)에 복수개에 결합시킨다. 이상태에서 상기 웨이퍼홀더(4)를 세정액조(1)의 세정액(1a)속에 잠기도록 한 다음 진동발생수단으로서의 초음파발생기(3)로 테이블(3)을 진동시키면 진동이 테이블(2), 웨이퍼홀더(4), 웨이퍼링(6)을 거쳐 웨이퍼(7)에 전달되게 됨에 따라 웨이퍼(7)가 진동되면서 웨이퍼(7)의 전면에 걸쳐 분포된 이물이 효과적으로 제거되게 된다. 그리고 제거된 이물중 미세한 이물은 여과필터(5)에 의해 필터링되어 세척액을 오염시키지 않게 된다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명 웨이퍼 세척방법 및 그 장치는 웨이퍼를 세척액속에 잠기도록 한 상태에서 진동발생수단으로 진동을 주어 웨어퍼에 부착된 이물을 제거하도록 되어 있으므로 웨이퍼의 전면에 걸쳐 분포되어 있는 이물을 효과적으로 제거할 수 있고, 한번에 복수개의 웨이퍼를 세척할 수 있게 됨에 따라 세척에 소요되는 시간을 줄일 수 있게 되어 생산성이 향상되게 된다.

Claims (4)

1. 웨이퍼 세척방법에 있어서 웨이퍼가 부착된 웨이퍼링을 웨이퍼홀더에 복수개 결합하고, 이 웨이퍼홀더를 테이블에 고정시킨 다음, 상기 웨이퍼홀더를 세척액조의 세척액속에 잠기도록 한 상태에서 진동발생수단으로 상기 테이블, 웨이퍼 홀더, 웨이퍼링을 진동시켜 웨이퍼에 부착된 이물을 제거하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세척방법.
2. 웨이퍼 세척장치에 있어서 세척액(1a)이 담긴 세척액조(1)와; 상기 세척액조의 상부에 설치되는 테이블(2)과; 상기 테이블(2)의 상부에 위치되며 이를 진동시키는 진동발생수단과; 대략 ""형상으로 형성되어 그 상면이 상기 테이블(2)의 하면에 고정되며, 그 양내측면에 상호 대향되도록 복수개의 결합돌기홈(4a)이 형성된 웨이퍼홀더(4)와; 웨이퍼(7)가 부착되며 그 양단이 상기 웨이퍼홀더(4)의 결합돌기홈(4a)에 결합되는 복수개의 웨이퍼링(6)을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세척장치.
3. 제2항에 있어서 상기 진동발생수단이 초음파발생기(3)인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세척장치.
4. 제2항에 있어서 상기 웨이퍼홀더(4)의 개구부(4b)에 여과필터(5)가 설치되어 된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세척장치.