KR930017106A - 웨이퍼 세척방법 및 그 장치 - Google Patents

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김광호
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Abstract

본 발명은 웨이퍼 세척방법 및 그 장치에 관한 것이다.
본 발명은 웨이퍼가 부착된 웨이퍼링을 웨이퍼홀더에 복수개 결합하고, 이 웨이퍼홀더를 테이블에 고정시킨다음, 상기 웨이퍼홀더를 세척액조의 세척액속에 잠기도록 한 상태에서 진동발생수단으로 상기 테이블, 웨이퍼홀더, 웨이퍼링을 진공시켜 웨이퍼에 부착된 이물을 제거하는 웨이퍼 세척방법과, 세척액이 담긴 세척액조와; 상기 세척액조의 상부에 설치되는 테이블과; 상기 테이블(2)의 상부에 위치되며 이를 진동시키는 진동발생수단과; 대략 "" 형상으로 형성되어 그 상면이 상기 테이블의 하면에 고정되며, 그 양내측면에 상호 대향되도록 복수개의 결합돌기홈이 형성된 웨이퍼홀더와; 웨이퍼가 부착되며 그 양단이 상기 웨이퍼홀더의 결합돌기홈에 결합되는 복수개의 웨이퍼링을 구비하여 된 웨이퍼 세척장치를 제공함에 그 특징이 있다.
따라서 웨이퍼 전면에 걸쳐 분포되어 있는 이물은 효과적으로 제거할 수 있으며, 한번에 복수개의 웨이퍼를 세척할 수 있어 세척시간 단축으로 인해 생산성이 향상되게 된다.

Description

웨이퍼 세척방법 및 그 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 웨이퍼 세척장치를 보인 단면도.
제3도는 제2도에 도시된 웨이퍼 홀더의 변형사용예를 보인 발췌단면도.

Claims (4)

  1. 웨이퍼 세척방법에 있어서 웨이퍼가 부착된 웨이퍼링을 웨이퍼홀더에 복수개 결합하고, 이 웨이퍼홀더를 테이블에 고정시킨 다음, 상기 웨이퍼홀더를 세척액조의 세척액속에 잠기도록 한 상태에서 진동발생수단으로 상기 테이블, 웨이퍼 홀더,웨이퍼링을 진동시켜 웨이퍼에 부착된 이물을 제거하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세척방법.
  2. 웨이퍼 세척장치에 있어서 세척액(1a)이 담긴 세척액조(1)와; 상기 세척액조의 상부에 설치되는 테이블(2)과; 상기 테이블(2)의 상부에 위치되며 이를 진동시키는 진동발생수단과; 대략 "" 형상으로 형성되어 그 상면이 상기 테이블(2)의 하면에 고정되며, 그 양내측면에 상호 대향되도록 복수개의 결합돌기홈(4a)이 형성된 웨이퍼홀더(4)와; 웨이퍼(7)가 부착되며 그 양단이 상기 웨이퍼홀더(4)의 결합돌기홈(4a)에 결합되는 복수개의 웨이퍼링(6)을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세척장치.
  3. 제2항에 있어서 상기 진동발생수단이 초음파발생기(3)인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세척장치.
  4. 제2항에 있어서 상기 웨이퍼홀더(4)의 개구부(4b)에 여과필터(5)가 설치되어 된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세척장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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