KR940003944B1 - 본딩장치용 xy 테이블 - Google Patents

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Abstract

내용 없음.

Description

본딩장치용 XY테이블
도면은 본 발명에 따른 본딩장치용 XY 테이블의 1실시예를 나타내는 것으로,
제1도는 정면 단면도.
제2도는 제1도의 A-A선 측면 단면도.
제3도는 평면도.
제4도는 제1도의 B-B선 평면 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 기대 5 : 하부테이블
8, 18 : 상부테이블 15 : 가대
25 : 가이드부재 26 : 캠종동자
30, 40 : 이송나사 33, 43 : 이송모우터
35, 45 : 이송너트
본 발명은 본딩장치용 XY 테이블에 관한 것이다.
예컨대, 반도체 조립장치의 제조에 사용되는 본딩장치는 평면2차원 방향으로 이동하는 XY 테이블상에 본딩헤드가 탑재되어 있다.
상기 XY 테이블은 평면2차원 방향의 한쪽으로 이동 가능한 하부테이블과 이 하부테이블 상에 설치되고, 평면2차원 방향의 다른 쪽으로 이동가능한 상부테이블을 구비하고 있다.
종래, 하부테이블의 이송나사 등의 이송구동수단에 상부테이블의 이송에 대하여 발생하는 힘이 부하로서 가해짐으로써 하부테이블의 이송계의 악영향을 부여하는 것을 방지하기 위하여, 예컨대 특공소 59-52540호공보, 특공평 1-41466호 공보에 개시된 XY 테이블이 알려져 있다.
이 구조는 상부테이블의 이송을 위하여 상부테이블의 이송방향과 동일방향으로 이동가능한 상부테이블 구동기구가 하부테이블 및 상부테이블 옆쪽에 인접된 모양으로 배치되어 있다.
상기 종래기술은 상부테이블 구동기구가 하부테이블 및 상부테이블 옆쪽에 인접하는 모양으로 배치되어 있기 때문에, 특히 본딩장치에 사용할 경우에는 XY 테이블의 설치면적이 증가된다고 하는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은 설치면적이 적은 소형XY 테이블을 제공함에 있다.
상기 목적은 기대에 설치되고, 평면 2차원 방향의 한쪽으로 이동가능한 하부테이블과, 이 하부테이블 상에 설치되고 평면 2차원 방향의 다른쪽으로 이동가능한 상부테이블과 이 상부테이블 위쪽을 걸쳐서 상기 기대에 설치된 가대에 지지되고, 상기 상부테이블 위쪽을 이 상부테이블의 이동방향을 따라 직선적으로 이동가능한 상부테이블 구동대와, 상기 하부테이블의 이송구동수단과, 상기 상부테이블 구동대의 이송구동수단과, 상기 상부테이블과 상기 상부테이블 구동대를 상기 하부테이블의 이동방향으로 이동가능하게 연결하는 연결수단을 구비한 구성에 의해 달성된다.
하부테이블은 이 하부테이블의 이송구동수단에 의해 평면 2차원 방향의 한쪽방향(X방향)으로 이송된다. 상부테이블은 하부테이블에 걸쳐 놓아져 있기 때문에 하부테이블의 X방향 동작에 따라 이동한다.
또, 상부테이블 구동대의 이송구동수단에 의해 상부테이블 구동대가 평면 2차원 방향의 다른쪽 방향(Y방향)으로 이송된다.
상부테이블 구동대의 Y방향의 움직임은 연결수단을 통하여 상부테이블로 전달된다. 즉, 하부테이블의 X방향의 이송과 상부테이블 구동대의 Y방향의 이송에 의해 상부테이블은 임의의 평면2차원 방향으로 이동된다.
이하, 본 발명의 1실시예를 도면에 의해 설명한다. 기대(1) 상면에는 가대(2)가 고정되어 있고, 가대(2)에는 서로 평행으로, 또 도면중 X방향으로 연재하여 배치된 한쌍의 가이드레일 (3,3)이 고정되어 있다. 한쌍의 가이드레일(3,3) 내측에는 보올 또는 로울러(4,4)를 통하여 직선적으로 이동가능하게 하부테이블(5)이 지지되어 있다. 하부테이블(5)의 상면에는 마찬가지로, 서로 평행으로 상기 가이드레일(3,3)과 직교하는 도면중 Y 방향으로 연재하여 배치된 한쌍의 가이드레일 (6,6)이 고정되어 있다.
한쌍의 가이드레일(6,6)의 내측에는 보올 또는 로울러(7,7)를 통하여 하부테이블(5)의 이동방향과 직교하는 Y방향으로, 직선적으로 이동가능하게 상부테이블 (8)이 지지되어 있다.
또 기대(1) 상면에는 상기 상부테이블(8)을 걸타듯이 가대(15)가 고정되어 있고, 가대(15)의 상부에는 상부테이블(8)의 이동방향(Y방향)과 동일 방향으로 연재하여 서로 평행으로 배치된 한쌍의 가이드레일(16,16)이 고정되어 있다. 한쌍의 가이드레일 (16,16)의 내측에는 보올 또는 로울러(17,17)를 통하여 상부테이블 구동대(18)가 상부태이블(8)의 이동방향을 따라 이동가능하게 지지되어 있다.
상기 상부테이블(8)의 상면에는 하부테이블(5)의 이동방향(X방향)에 연재하는 가이드부재(2,5)가 고정되어 있다. 또, 가이드부재(25) 바로위에 있는 상부테이블 구동대(18)에는 가이드부재(25)를 끼워두도록 배치된 2개 한쌍의 캠종동자 (26,26)가 회전가능하게 지지되고, 상부테이블 구동대(18)의 이송동작을 상부테이블(8)의 이송동작으로 할 수 있도록 되어 있다.
가대에는 하부테이블(5)의 이동방향(X방향)을 따라 설치된 이소나사(30)가 로울러(31,32)에 의해 회전가능하게 지지되어 있고, 이송나사(30)는 도시하지 않은 제어장치에 의해 제어되는 이송모우터(33)의 출력축(33a)과 커플링(34)에 의해 연결되어 있다. 이송나사(30)에는 하부테이블(5)에 고정된 이송너트(35)에 나사맞춤되어 있다. 따라서 이송모우터(33)의 회전에 의해 하부테이블(5)을 X방향으로 이동시킬 수 있다.
또, 가대(15)의 상부에는 광체(19)가 고정되어 있고, 광채(19)에는 상부테이블 구동대(18)의 이동방향(Y방향)을 따라 설치된 이송나사(40)가 로울러(44,42)에 의해 회전가능하게 지지되어 있다. 이송나사(40)는 도시하지 않는 제어장치에 의해 제어되는 이송모우터(43)의 출력축(44)에 의해 연결되어 있다. 이송나사(40)에는 상부테이블 구동대(18)에 고정된 이송너트(45)가 나사맞춤되어 있다. 따라서, 이송모우터(43)의 회전에 의해 상부테이블 구동대(18)를 Y방향으로 이동시킬 수 있다.
다음에, 이같은 구성으로 이루어지는 본딩장치용 XY 테이블의 작용에 대하여 설명한다. 하부테이블(5)의 이송동작은 주지의 이송나사 기구에 의하는 것으로서, 이송모우터(33)가 도시하지 않는 제어장치에서 부여되는 지령에 의거하여 회전하면 그 회전에 따른 직선량의 이송이 얻어진다. 상부테이블(8)은 하부테이블(5)에 걸쳐 놓여져 있기 때문에 하부테이블(5)의 X방향의 동작에 따라 이동을 행한다. 상술한 바와 같이 하부테이블(5)의 X방향 이동에 의해 상부테이블(8)이 X방향으로 이동하고, 상부테이블(8)에 고정된 가이드부재(25)가 X방향으로 이동해도, 가이드부재(25)는 X방향으로 연재해 있으므로 가이드부재(25)는 이 가이드부재(25)의 연재방향으로 이동하고 캠종동자(26,26)는 단지 회전만하므로 상부테이블 구동대(18)를 X방향으로 이동시키는 일은 없다.
그리고, 이송모터(43)가 마찬가지로 도시하지 않는 제어장치에서 부여되는 지령에 의거하여 회전하면 주지의 이송나사 기구에 의해 상부테이블 구동대(18)에 바람직한 직선량의 이송이 얻어진다. 이 이송동작은 2대의 캠종동작(26,26) 및 가이드부재(25)를 통하여 상부테이블(8)을 하부테이블(5)에 대해 직교하는 Y방향의 이동동작이 된다.
통상 본딩장치에 있어서는 본딩헤드가 본딩장치용 XY 테이블의 상부테이블(8)에 설치되어 있고, 상부테이블(8)의 Y방향의 이송동작에 의해 바람직한 본딩작업을 행한다.
이와 같이 상부테이블(8)을 이송하는 상부테이블 이송구동수단, 즉, 이송나사(40), 이송모우터(43), 이송너트(45)등은 하부테이블(5)상에 설치되어 있지 않기 때문에 종래예와 마찬가지로 하부테이블(5)의 이송계에 악영향을 주는 일이 없다. 또, 상부테이블(8) 위쪽에 걸타듯이 가대(15)가 설치되고, 이 가대(15)에 상부테이블(8)을 구동하는 이송나사(40), 이송모우터(43), 이송너트(45)등의 상부테이블 이송구동수단이 설치된 입체적인 주합형이기 때문에 본딩장치용 XY 테이블의 설치 면적을 최소로 할 수 있다.
또, 상기 실시예에 있어서는, 하부테이블(5) 및 상부테이블 구동대(18)의 이송구동수단으로서 나사기구를 이용할 경우에 대하여 설명하였으나 특공평 1-41466호 공보와 같이 비회전 직진하는 이송구동수단을 이용하여도 좋다.
이상의 설명으로 분명한 바와 같이 본 발명에 의하면 상부테이블의 이송구동수단을 상부테이블 위쪽에 입체적으로 중합시키는 형으로 배치하여 이루어지기 때문에 설치 면적을 작고 소형화될 수 있다.

Claims (1)

  1. 기대에 설치되고 평면2차원 방향의 한쪽으로 이동가능한 하부테이블과 이 하부테이블 위에 설치되고 평면2차원 방향의 다른쪽으로 이동가능한 상부테이블을 구비한 본딩장치용 XY 테이블에 있어서, 이 상부 테이블 위쪽을 걸타고 상기 기대에 설치된 가대에 지지되며, 상기 상부테이블 위쪽을 이 상부테이블의 이동방향을 따랄 직선적으로 이동가능한 상부테이블 구동대와, 상기 하부테이블의 이송구동수단과, 상기 상부테이블과 상기 상부테이블 구동대를 상기 하부테이블의 이동방향으로 이동가능하게 연결하는 연결수단과를 구비한 것을 특징으로 하는 본딩장치용 XY 테이블.
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