KR940003022A - 폴리실리콘 박막 트랜지스터를 이용한 마스크 롬의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 폴리실리콘 박막 트랜지스터를 이용한 마스코 룸의 제조 방법에 관한 것으로. 특히 절연막(16)상에 폴리실리콘을 증착한 후에 예정된 크기로 게이트 전극(10)을 형성하고 게이트 산화막(11)을 상기 게이트 전극(10)상에 중착한 다옴 폴리 실리콘을 증작하고 불순물 주입을 통하여 고농도 활성 영역(7')과 채널영 역을 형성하는 제1단계, 및 상기 제1단제 후에 공핍형 트랜지스터로 만들고자 귀는 지역의 상기 채널영역 (15)에 인접한 상기 고농도 활성영역 (7')과 같은 형의 불순물을 주입하여 소오스와 드레인을 연결시키는 제2단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 박막 트랜지스터를 이용한 마스크 롬의 제조방법에 관한 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 일실시예의 마스크 롬 구조도.
Claims (1)
- 폴리 실리콘 박막 트랜지스터를 이용한 마스크 폼에 있어서. 절연막(16)상애 폴리실리콘을 증착한 후에 예정된 크기로 게이트 전극(10)을 형성하고 게이트 산화막 (11)을 상기 게이트 전극 (10)상에 증착한 다음 폴리실리콘을 중착하고 불순물 주입을 통하여 고농도 활성 영역(7')과 채널영역을 형성하는 제1단계, 및 상기 제1단계 후에 공핍형 트랜지스터로 만들고자 하는 지역의 상기 채널영역(15)에 인접한 상기 고농도 활성영역 (7')과 같은 형의 불순물을 주입하여 소오스와 드레인을 연결시키는 제2단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 박막 트랜지스터를 이용한 마스크 롬 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920012087A KR940003022A (ko) | 1992-07-07 | 1992-07-07 | 폴리실리콘 박막 트랜지스터를 이용한 마스크 롬의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1019920012087A KR940003022A (ko) | 1992-07-07 | 1992-07-07 | 폴리실리콘 박막 트랜지스터를 이용한 마스크 롬의 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR940003022A true KR940003022A (ko) | 1994-02-19 |
Family
ID=67147271
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019920012087A KR940003022A (ko) | 1992-07-07 | 1992-07-07 | 폴리실리콘 박막 트랜지스터를 이용한 마스크 롬의 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR940003022A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100373368B1 (ko) * | 1995-11-24 | 2003-05-09 | 주식회사 하이닉스반도체 | 마스크롬제조방법 |
-
1992
- 1992-07-07 KR KR1019920012087A patent/KR940003022A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100373368B1 (ko) * | 1995-11-24 | 2003-05-09 | 주식회사 하이닉스반도체 | 마스크롬제조방법 |
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