KR930703711A - 자기저항소자, 그의 제조방법 및 그것을 이용한 자기센서 - Google Patents

Abstract

본 발명은 자기엔코더 등에 사용된다. 내구성과 신뢰성이 우수하고, 고감도인 자기저항소자, 자기센서 및 그의 제조방법을 제공하기 위한 것이다. 본 발명의 자기저항소자는 강자성박막이 특정한 조성인 2중 보호막으로 씌워져 있다. 본 발명의 자기센서는 상기 자기저항소자를 이용하여, 자기매체와의 미끄러져 움직이는 부위에 보호막을 갖도록 되어 있다. 본 발명의 자기센서의 제조방법은 상기 자기저항소자에 리드부를 접속할때에 정확한 위치결정을 할수 있게 특수한 치구를 사용하도록 되어 있다.

Description

자기저항소자, 그의 제조방법 및 그것을 이용한 자기센서

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명의 자기저항소자의 단면도.

제3도는 본 발명의 실시예 B의 자기저항효과형 소자센서의 측면 단면도.

제4도는 본 발명의 실시예 B의 자기저항효과형 소자 센서의 헤드부의 단면도.

제5도는 본 발명의 실시예 C에 관한 제조방법에 의해 제조된 자기저항효과형 자기 센서의 검출부와 리드부와의 접속부분의 단면도.

제15도는 검출헤드의 검출부와 리드부와의 관계를 표시한 사시도.

제16도는 본 발명에 의한 자기저항효과형 자기 센서를 사용하너 리니어 엔코더의 사시도.

제17도는 자기매체의 평면도.

Claims (11)

1. 기판과, 그 기판상에 형성된 강자성박막과, 그 강자성박막성에 형성된 규소산화물(SiOx, 단 0.5≤x≤2)로 이루어진 제1보호막과 그 제1보호막상에 형성된 합성수지로 이루어진 제2보호막으로 이루어진 것을 특징으로 하는 자기저항소자.
2. 제1항에 있어서, 상기 합성수지는 폴리이미드 수지, 에폭시 수지, 폴리에테르아미드 수지 또는 폴리아미드 수지인 것을 특징으로 하는 자기저항소자.
3. 제1항에 있어서, 제1보호막의 막두께는 0.1-10㎛인 자기저항소자.
4. 제1항에 있어서, 제2보호막의 막두께는 1-10㎛인 자기저항소자.
5. 강자성박막이 형성된 기판을 진공중에서 150-350℃로 가열하는 제1공정과, 그 기판의 강자성박막성에 (SiOx, 단 0.5≤x≤2)의 제1보호막을 형성하는 제2공정과, 그 제1보호막상에 합성수지로 된 제2보호막을 형성하는 제3공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자기저항소자의 제조방법.
6. 기판과 그 기판상에 형성된 강자성박막과 그 강자성박막상에 형성된 합성수지박막으로 이루어진 자기저항 효과형 수지 센서 헤드와;측에 대하여 수직방향으로 자성을 붙인 원주상자기기록매체를 끼워 넣은 자기저항효과형 마운트와;의 사이에 합성수지박막을 눌러 붙인 것을 특징으로 하는 자기저항효과형 자기 센서.
7. 제6항에 있어서, 기판은 유리 또는 세라믹으로 된 것을 특징으로 하는 자기저항효과형 자기 센서.
8. 제6항에 또는 제7항에 있어서, 강자성박막은 퍼멀로이인 것을 특징으로 하는 자기저항효과형 자기 센서.
9. 제6항 내지 제8항에 있어서, 자기저항효과형 자기센서 헤드와 자기저항효과형 마운트와의 사이에 눌러 붙인 합성수지인 박막은 폴리이미드 수지 또는 폴리아미드 수지인 것을 특징으로 하는 자기저항효과형 소자센서.
10. 기판상에 자기저항효과를 갖는 박막층을 형성함과 아울러 그 박막층에 지그재그모양의 절연라인을 형성해서 소자형성용 전류통로를 설치하고, 그 박막층을 합성수지제의 보호층으로 피복한 검출부와, 그 검출부의 전류통로에 접속되는 전류통로를 가진 리드부와를 한쪽에 대하여 다른쪽이 정확한 접근동작을 하는 한쌍의 치구에 각각 세트하고, 그들 검출부와 리드부를 그들의 단자부끼리 서로 합쳐진 상태로 접속시키는 자기저항효과형 자기센서의 제조방법에 있어서, 상기 한쌍의 치구중, 리드부에 그 치구의 핀이 끼워지는 위치 결정용 구멍을 형성하고, 리드부를 그 치구와 일체적으로 이동시키게 되는 것을 특징으로 하는 자기저항효과형 소자 센서의 제조방법.
11. 기판상에 자기저항효과를 갖는 박막층을 형성함과 아울러 그 박막층에 지그재그모양의 절연라인을 형성하여 소자형성용 전류통로를 설치하고, 그 박막층을 합성수지제의 보호층으로 피복한 검출부와, 그 검출부의 전류통로에 접속되는 전류통로를 가진 리드부와로 이루어진 자기저항효과형 자기 센서의 제조방법에 있어서, 상기 검출부의 박막층을 보호층으로 전면을 씌움과 아울러, 그 보호층의 단자부에 대응하는 일부를 제거하고 그 보호층의 제거부에 납땜을 시행하고, 그 납땜 상면에 리드부측의 전류통로의 단자부를 포개합쳐서 가열하고, 검출부와 리드부의 단자부끼리를 접속시키는 것을 특징으로 하는 자기저항효과형 자기센서의 제조방법.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.