KR930020375A - 초해상주사 광학장치, 광학장치의 초해상용 광원장치 및 광학장치의 초해상용 필터 - Google Patents

초해상주사 광학장치, 광학장치의 초해상용 광원장치 및 광학장치의 초해상용 필터 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 심플한 광학계에 의해서 메인로브이 광량의 현저한 감소를 초래하는 일없이 회절한계를 초과하는 초해상을 얻을 수 있도록 하는 것을 목적으로 한 것으로서, 그 구성에 있어서, 광원면(300)에는, 제1의 광원(301)(위상 =0)과, 제1의 광원(301)의 바깥쪽 또한 근처에 위치하는 제2의 광원(위상 =π)(302A),(302B)와, 제2의 광원(302A),(302B)의 바깥쪽이고 또한 근처에 위치하는 제3의 광원(303A),(303B)(위상 =0)가 형성되어 있다. 걸상면(310)에 있어서는, 제1의 광원(301)의 광원이미지를 X₁로 하고, 제2의 광원(302A),(302B)의 광원 이미지를로 하고, 제3의 광원(303A),(303B)의 광원이미지를

Description

초해상주사 광학장치, 광학장치의 초해상용 광원장치 및 광학장치의 초해상용 필터
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에 관한 초해상주사 광학장치에 있어서의 광픽업헤드 광학계의 개략구성도.
제4도는 본 발명의 제2실시예에 관한 초해상주사 광학장치에 있어서, 광픽업헤드 광학계의 개략구성도.
제7도는 상기 제1및 제2실시예에 관한 초해상주사 광학장치에 있어서의 광픽업헤드 광학계의 작용을 설명하는 설명도.
제10도는 상기 제1및 제2실시예에 관한 초해상주사 광학장치에 있어서의 초해상용 광원장치의 제1실시예를 표시한 사시도.

Claims (22)

  1. 코히어런트광원을 결상광학계를 개재해서 컬레면에 미소한 스포트로서 결상시키는 결상수단과, 상기 켤레면에 걸상한 미소한 스포트를 주사하는 주사수단을 구비한 초해상주사 광학장치로서, 상기 코히어런트광원은 제1의 광원과 이 제1의 광원과 반대위상인 제2의 광원을 적어도 가지고 있으며, 상기 제1의 광원과 상기 제2의 광원과는 상기 제1의 광원의 상기 켤레면에 있어서의 광원이미지의 메인로브의 옆부분에 상기 제2의 광원의 상기 켤레면에 있어서의 광원이미지의 메인로브가 중첩하는 관계에 있는 것을 특징으로 하는 초해상주사 광학장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 코히러런트광원은 상기 제1의 광원과 동일위상인 제3의 광원을 더 구비하고 있고, 상기 제2의 광원과 상기 제3의 광원과는 상기 제2의 광원의 상기 켤레면에 있어서의 광원이미지의 메인로브의 옆부분에 상기 제3의 광원의 상기 컬레면에 있어서의 광원이미지의 메인로브의 옆부분에 상기 제3의 광원의 상기 켤레면에 있어서의 광원이미지의 메인로브가 중첩하는 관계를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 초해상주사 광학장치.
  3. 서로 코히어런트인 제1의 광원과 이 제1의 광원과 반대위상의 제2의 광원을 적어도 구비하고 있으며, 상기 제1의 광원이 결상광학계의 광축상 또는 이 광축에 근접해서 형성되어 있는 동시에 상기 제2의 광원은 상기 제1의 광원의 근처에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 광학장치의 초해상용 광원장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제2의 광원의 출력이 상기 제1의 광원의 출력보다도 작게되도록 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 광학장치의 초해상용 광원장치.
  5. 제3항에 있어서, 상기 제2의 광원과 서로 코히어런트이고 또한 이 제2의 광원과 반대위상의 제3의 광원을, 상기 제2의 광원의 근처이고 이 제2의 광원에 대한 상기 제1의 광원의 반대쪽으로 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 광학장치의 초해상용 광원장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제2의 광원의 출력이 상기 제1의 광원의 출력보다도 작게 설정되고, 상기 제3의 광원의 출력이 상기 제2의 광원의 출력보다 작게 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 광학장치의 초해상용 광원장치.
  7. 코히어런트빔을 출사하는 코히어런트광원과, 이 코히어런트광원에 있어서의 코히어런트빔을 출사하는 빔출사부의 근처에 이 빔출사부에 대향해서 형성되고, 상기 빔출사부로부터 출사되는 코히어런트빔의 중심영역인 제1의 영역에 소정의 위상을 부여하는 제1의 위상영역과 상기 빔출사부로부터 출사되는 코히어런트 빔에 있어서의 상기 제1의 영역보다 바깥쪽의 제2의 영역에 상기 소정의 위상과 반대의 위상을 부여하는 제2의 위상영역을 가진 위상판에 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 광학장치의 초해상용 광원장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 위상판은, 상기 빔출사부로부터 출사되는 코히어런트빔의 상기 제2의 영역의 출력을 이 코히어런트빔의 상기 제1의 영역의 출력보다도 작게시키는 것을 특징으로 하는 광학장치의 초해상용 광원장치.
  9. 제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 제1의 위상영역은 원형으로 형성되고, 상기 제2의 위상영역은 윤대형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 광학장치의 초해상용 광원장치.
  10. 제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 제1의 위상영역은 내모형상으로 형성되고, 상기 제2의 위상영역은 내모 태두리형태로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 광학장치의 초해상용 광원장치.
  11. 제7항에 있어서, 상기 위상판은, 상기 빔출사부로부터 출사되는 코히어런트빔에 있어서의 상기 제2의 영역보다 바깥쪽의 제3의 영역에 상기 제2의 위상영역과 반대의 위상을 부여하는 제3의 위상영역을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 광학장치의 초해상용 광원장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 위상판은, 상기 빔출사부로부터 출사되는 코히어런트빔의 상기 제3의 영역의 출력을 이 코히어런트빔의 상기 제2의 영역의 출력보다도 작게시키는 것을 특징으로 하는 광학장치의 초해상용 광학장치.
  13. 제11항 또는 제12항에 있어서, 상기 제3의 위상영역은 윤대형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 광학장치의 초해상용 광원장치.
  14. 제11항 또는 제12항에 있어서, 상기 제3의 위상영역은 네모 태두리형태로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 광학장치의 초해상용 광원장치.
  15. 서로 반대위상의 물결면으로 출사되는 제1이 광원 및 제2의 광원을 포함하는 위상열광원의 물결면의 홀로그램로서, 코히어런트빔을 조사해서 얻게되는 회절광을 집광하면 상기 제1의 광원에 의해 형성되는 메인로브의 옆부분에 상기 제2의 광원에 의해 형성되는 메인로브가 중첩하게되는 홀로그램이 홀로그램 소자의 표면에 기록되어 있는 것을 특징으로 하는 광학장치의 초해상용필터.
  16. 서로 반대위상의 물결면으로 출사되는 제1의 광원 및 제2의 광원과, 이 제2의 광원과 반대위상인 제3의 광원을 포함하는 위상열광원의 물결면의 홀로그램로서, 코히어런트빔을 조사해서 얻게되는 회절광을 집광하면 상기 제1의 광원에 의해 형성되는 메인로브의 옆부분에 상기 제2의 광원에 의해 형성되는 메인로브가 중첩하고 또한 이 제2의 광원에 의해 형성되는 메인로브의 옆부분에 상기 제3의 광원에 의해 형성되는 메인로브가 중첩하게 되는 홀그램이 홀로그램소자표면에 기록되어 있는 것을 특징으로 하는 광학장치의 초해상용 필터.
  17. 서로 반대위상의 물결면으로 출사되는 제1의 광원 및 제2의 광원을 포함하는 위상열광원의 물결면이 인라 인형의 푸우리에 변환홀로그램로서 계산된 컴퓨터 합성홀그램로서, 코히어런트빔을 조사해서 얻게되는 회절광을 집관하면 상기 제1의 광원에 의해 형성되는 메인로브의 옆부분에 상기 제2의 광원에 의해 형성되는 메인로브가 중첩하게되는 컴퓨터합성홀로그램이 홀로그램소자의 표면에 기록되어 있는 것을 특징으로 하는 광학장치의 초해상용필터.
  18. 서로 반대위상의 물결면으로 출사되는 제1의 광원 및 제2의 광원과, 이 제2의 광원과 반대위상의 제3의 광원을 포함하는 위상열광원의 물결면이 인라인형의 푸우리에 변환홀로그램로서 계산된 컴퓨터합성홀로그램로서, 코히어런트를 조사해서 얻게되는 회절광을 집광하면 상기 제1의 광원에 의해 형성되는 메인로브의 옆부분에 상기 제2의 광원에 의해 형성되는 메인로브가 중첩하게되는 컴퓨터합성홀로그램이 홀로그램소자의 표면에 기록되어 있는 것을 특징으로 하는 광학장치의 초해상용필터.
  19. 제15항~제18항의 어느 한 항에 있어서, 코히어런트광원과, 콜리메인트렌즈를 가지고, 상기 코히어런트광원으로부터 출사된 코히어런트빔을 광디스크기록면에 집광하는 집광수단과, 이 집광수단의 상기 광디스크기록면에 대한 상대위치를 제어하는 제어수단을 구비한 초해상주사 광학장치로서, 상기 콜티메이트렌즈에 광학장치의 초해상용필터가 일체적으로 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 초해상주사 광학장치.
  20. 제15항~제18항의 어느 한 항에 있어서, 코히어런트광원과, 대물렌즈를 가지고 상기 코히어런트광원으로부터 출사된 코히어런트빔을 광디스크기록면에 집광하는 집광수단과, 이 집광수단의 상기 광디스크기록면에 대한 상대위치를 제어하는 제어수단을 구비한 초해상주사 광학장치로서, 상기 대물렌즈에 광학장치의 초해상용필터가 일체적으로 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 초해상주사 광학장치.
  21. 제15항~제18항의 어느 한 항에 있어서, 코히어런트광원과, 콜리메이트렌즈, 플리곤미러 및 집광렌즈를 가지고 상기 코히어런트광원으로부터 출사된 코히어런트빔을 집광하는 집광수단을 구비한 초해상주사 광학장치로서, 상기 콜리메인트렌즈에 광학장치의 초해상용필터가 일체적으로 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 초해상주사 광학장치.
  22. 제15항~제18항의 어느 한 항에 있어서, 코히어런트광원과, 콜리메이트렌즈, 플리콘미러 및 집광렌즈를 가지고 상기 코히어런트광원으로부터 출사된 코히어런트빔을 집광하는 집광수단을 구비한 초해상주사 광학장치로서, 상기 집광렌즈에 광학장치의 초해상용필터가 일체적으로 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 초해상주사 광학장치.
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