KR930015105A - 알카리 용출 방지용 실리카 막의 형성방법 - Google Patents
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Abstract
유리기판 상에 알카리 용출방지를 위한 유기 실리콘 피막을 도포하고, 소성공정을 실시하여 750∼850Å의 두께를 갖는 실리카 막을 형성함으로써 최상의 알카리 용출방지 특성을 갖는 실리카 막의 두께를 설정하여, 실제 액정셀을 조립할 경우 표시성능의 열화를 최소화할 수 있는 알카리 용출 방지용 실리카 막의 형성방법.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 이 발명의 실리카 막이 형성된 투명전극 유리기판을 나타낸 단면도,
제2도는 에칭 스피드 및 실리카막 두께별 Na 용출량과의 관계를 나타낸 그래프이다.
Claims (3)
- 유리기판 상에 알카리 용출방지를 위하여 디핑법으로 유기 실리콘 피막을 도포하고, 500∼530℃의 온도범위에서 소성공정을 실시하여 750∼850Å의 실리카 막의 형성방법.
- 제1항에 있어서, 상기 실리카 막의 에칭 스피드가 2.0∼4.2Å/초의 범위에 있는 것을 특징으로 하는 알카리 용출 방지용 실리카 막의 형성방법.
- 제4항에 있어서, 상기 에칭 스피드 측정을 위한 에칭액은 HF를 40∼50% 15g, HNO3를 55∼61% 10g, 순수 500∼600g의 혼합 용액인 것을 특징으로 하는 알카리 방지용 실리카막의 형성방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019910024661A KR100207950B1 (ko) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | 알카리 용출 방지용 실리카 막의 형성방법 |
Applications Claiming Priority (1)
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KR1019910024661A KR100207950B1 (ko) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | 알카리 용출 방지용 실리카 막의 형성방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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KR930015105A true KR930015105A (ko) | 1993-07-23 |
KR100207950B1 KR100207950B1 (ko) | 1999-07-15 |
Family
ID=19326265
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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KR1019910024661A KR100207950B1 (ko) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | 알카리 용출 방지용 실리카 막의 형성방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR100207950B1 (ko) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100342575B1 (ko) * | 1996-11-11 | 2002-07-04 | 우츠미 오사무 | 기재의 평탄화 방법, 피막 부착 기재 및 반도체 장치의 제조방법 |
KR100774566B1 (ko) * | 2001-03-26 | 2007-11-08 | 삼성전자주식회사 | 액정표시장치용 유리기판 및 이의 제조방법 |
-
1991
- 1991-12-27 KR KR1019910024661A patent/KR100207950B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100342575B1 (ko) * | 1996-11-11 | 2002-07-04 | 우츠미 오사무 | 기재의 평탄화 방법, 피막 부착 기재 및 반도체 장치의 제조방법 |
KR100774566B1 (ko) * | 2001-03-26 | 2007-11-08 | 삼성전자주식회사 | 액정표시장치용 유리기판 및 이의 제조방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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KR100207950B1 (ko) | 1999-07-15 |
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