KR930013770A - 주사형 레이저 현미경 - Google Patents

주사형 레이저 현미경 Download PDF

Info

Publication number
KR930013770A
KR930013770A KR1019920023821A KR920023821A KR930013770A KR 930013770 A KR930013770 A KR 930013770A KR 1019920023821 A KR1019920023821 A KR 1019920023821A KR 920023821 A KR920023821 A KR 920023821A KR 930013770 A KR930013770 A KR 930013770A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
light
waveguide layer
detector
laser
scanning laser
Prior art date
Application number
KR1019920023821A
Other languages
English (en)
Other versions
KR970004471B1 (en
Inventor
세이지 니시와키
쥰이치 아사다
신지 우치다
Original Assignee
다니이 아끼오
마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 다니이 아끼오, 마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤 filed Critical 다니이 아끼오
Publication of KR930013770A publication Critical patent/KR930013770A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR970004471B1 publication Critical patent/KR970004471B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002—Scanning microscopes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Abstract

본 발명은, 장치의 조정이 용이하고, 경시적인 오차의 영향도 적고, 염가이며 간단한 구성의 주사형레이저 현미경을 제공하는 것을 목적으로 하며, 그 구성에 있어서, 적색 레이저광(1R)은 오목렌즈(2R), 볼록렌즈(3R)에 의해 빔이 확대되고, 색선별거울(4G)(4B), 빔스플릿터(5)를 투과해서, 대물렌즈(6)에 의해 집광된 후, 색선별거울(8B)(8G)을 투과하고, 1/4파장판(14R)을 투과해서 집광렌즈(9R)에 의해 집광되어 적색검출 결합소자(15R)에 입사하고, 그 결합광(도파광)이 검출되고, 적색비데오앰프(12R)에 의해 신호 증폭된다.
또 녹색레이저광(1G)(청색레이저광(1B))도 마찬가지로 해서 시료(7)위에 집광되고 반사광은 적색검출 결합소자(15G(15B))도 마찬가지로 해서 시료(7)위에 집광되고 반사광은 적색검출 결합소자(15H(15B))에 입사하고, 그 결합광(도파광)이 검출되고, 녹색비데오앰프(12G)(청색비데오앰프(12B))에 의해 신호 증폭된다.
이들의 증폭신호를 도입하여 광속을 고정해서 시료를 주사하거나, 시료를 고정해서 광속을 주사하거나하는 방법에 의해서, 시료상의 영상신호가 컬러모니터(13)상에 비추어나오는 것을 특징으로 한 것이다.

Description

주사형 레이저 현미경
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에 있어서의 주사형 레이저현미경의 구성도,
제2도는 본 발명의 제1실시예에 있어서의 검출결합 소장의 단면 구성도,
제3도는 본 발명의 제1실시예에 있어서의 검출결합 소자의 효과를 표시한 설명도,
제4도는 본 발명의 제2실시예에 있어서의 검출결합소자의 단면 구성도.

Claims (12)

  1. 적어도 1개의 레이저광원과, 이 광원으로부터의 광을 시료면에 집광하는 대물렌즈와, 상기 시료면으로부터의 복귀광(또는 투과광)을 도파층에 인도하는 거울로 이루어지고, 상기 도파층위에는 오목볼록등의 주기구조를 가진 광결합수단이 형성되고, 상기 주기구조에 의해 상기 복귀광(또는 투과광)을 도파광에 결합시켜서 검출하는 것을 특징으로 하는 주사형 레이저 현미경.
  2. 제1항에 있어서, 주기구조가 동심원형상인 것을 특징으로 하는 주사형 레이저 현미경.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 레이저광원으로부터 출사하는 레이저광이 적어도 3개의 파장을 포함하고, 복귀광(또는 투과광의 집속광)을 적어도 3개의 거울에 의해 파장마다 분리해서 도파층에 인도하고, 각 도파층위의 주기구조에 의해 각 파장의 레이저광을 도파광에 결합시켜 검출하는 것을 특징으로 하는 주사형 레이저 현미경.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 레이저광원으로부터 출사하는 레이저광이 적어도 3개의 파장을 포함하고, 상기 도파층위의 주기구조는 피차가 다른 적어도 3개의 영역으로 나누어지고, 각 영역에서 각 파장의 레이저광을 도파광에 결합시켜 검출하는 것을 특징으로 하는 주사형 레이저 현미경.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 도파층을 광축에 대해서 기울어지게 하는 경사수단을 가진 것을 특징으로 하는 주사형 레이저 현미경.
  6. 제2항에 있어서, 레이저광원으로 부터 출사하는 레이저광이 적어도 3개의 파장으로 포함하고, 상기 도파층을 광축에 대해서 기울어지게 하는 경사수단에 의해 상기 레이저광을 도파층에 경사지게 해서 입력시키고, 상기 동심원형상 주기구조의 중심을 통과하는 동작직경에 의해서 적어도 3개의 영역으로 분할된 검출기에 의해서 파장이 다른 도파광을 각각 검출하는 것을 특징으로 하는 주사형 레이저 현미경.
  7. 제2항에 있어서, 거울과 도파층의 사이에 1/4파장판과 집광렌즈를 삽입하고, 집광렌즈 혹은 도파층을 광축을 따라서 움직이게 하는 접동수단을 가진 것을 특징으로 하는 주사형 레이저 현미경.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서, 도파층위 또는 도파층의 바로앞에는 레이저광을 차단하는 차광체가 있고, 도파광을 검출하는 검출기를 상기 차광체에 의해서 생기는 그림자의 영역에 형성하는 것을 특징으로 하는 주사형 레이저 현미경.
  9. 제1항 또는 제2항에 있어서, Si기판표면에 검출기를 형성하고, 상기 도파층을 버퍼층을 사이에 두고 상기 Si기판상에 형성하고, 상기 버퍼층의 일부는 싱기 Si기판을 이면으로부터 에칭함으로써 노출하고 있으며, 상기 광결합수단이 상기 노출부의 영역내에 수납되고, 상기 검출기가 노출부의 영역외에 수납되고, 레이저광을 상기 Si기판 이면쪽으로부터 입력하는 것을 특징으로 하는 주사형레이저 현미경.
  10. 제1항 또는 제2항에 있어서, 검출기의 위치에 대응하는 도파층위에 오목볼록등의 주기구조를 구성하는 것을 특징으로 하는 주사형 레이저 현미경.
  11. 제1항 또는 제2항에 있어서, 검출기의 위치에 대응하는 도파층을 얇게 하는 것을 특징으로 하는 주사형 레이저 현미경.
  12. 제1항 또는 제2항에 있어서, 도파층이 버퍼층을 사이에 두고 검출기위에 형성되고, 상기 검출기의 위치에 대응하는 버퍼층을 얇게하는 것을 특징으로 하는 주사형 레이저 현미경.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR92023821A 1991-12-12 1992-12-10 Scanning laser microscope with photo coupling and detecting unit KR970004471B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3328726A JP3018687B2 (ja) 1991-12-12 1991-12-12 走査型レーザー顕微鏡
JP91-328726 1991-12-12

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR930013770A true KR930013770A (ko) 1993-07-22
KR970004471B1 KR970004471B1 (en) 1997-03-28

Family

ID=18213493

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR92023821A KR970004471B1 (en) 1991-12-12 1992-12-10 Scanning laser microscope with photo coupling and detecting unit

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5343038A (ko)
EP (1) EP0548699B1 (ko)
JP (1) JP3018687B2 (ko)
KR (1) KR970004471B1 (ko)
DE (1) DE69218148T2 (ko)

Families Citing this family (45)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9302799D0 (en) * 1993-02-12 1993-03-31 Medical Res Council Detecting means for a scanning optical microscope
US6104945A (en) * 1995-08-01 2000-08-15 Medispectra, Inc. Spectral volume microprobe arrays
US5813987A (en) * 1995-08-01 1998-09-29 Medispectra, Inc. Spectral volume microprobe for analysis of materials
US5713364A (en) * 1995-08-01 1998-02-03 Medispectra, Inc. Spectral volume microprobe analysis of materials
US6826422B1 (en) 1997-01-13 2004-11-30 Medispectra, Inc. Spectral volume microprobe arrays
JP3874893B2 (ja) * 1997-06-20 2007-01-31 株式会社キーエンス 走査顕微鏡
US6304373B1 (en) * 1998-03-09 2001-10-16 Lucid, Inc. Imaging system using multi-mode laser illumination to enhance image quality
US6055106A (en) * 1998-02-03 2000-04-25 Arch Development Corporation Apparatus for applying optical gradient forces
EP1161178A2 (en) 1998-12-23 2001-12-12 Medispectra Inc. Systems and methods for optical examination of samples
US20020007122A1 (en) 1999-12-15 2002-01-17 Howard Kaufman Methods of diagnosing disease
US20040224421A1 (en) * 2000-06-15 2004-11-11 Deweerd Herman Bi-directional scanning method
AU785424B2 (en) * 2000-07-26 2007-05-17 Regents Of The University Of California, The Manipulation of live cells and inorganic objects with optical micro beam arrays
US6936811B2 (en) * 2000-11-13 2005-08-30 Genoptix, Inc. Method for separating micro-particles
US20030007894A1 (en) * 2001-04-27 2003-01-09 Genoptix Methods and apparatus for use of optical forces for identification, characterization and/or sorting of particles
US6833542B2 (en) * 2000-11-13 2004-12-21 Genoptix, Inc. Method for sorting particles
US6784420B2 (en) * 2000-11-13 2004-08-31 Genoptix, Inc. Method of separating particles using an optical gradient
US20020123112A1 (en) * 2000-11-13 2002-09-05 Genoptix Methods for increasing detection sensitivity in optical dielectric sorting systems
US20020160470A1 (en) * 2000-11-13 2002-10-31 Genoptix Methods and apparatus for generating and utilizing linear moving optical gradients
US6744038B2 (en) 2000-11-13 2004-06-01 Genoptix, Inc. Methods of separating particles using an optical gradient
US6778724B2 (en) * 2000-11-28 2004-08-17 The Regents Of The University Of California Optical switching and sorting of biological samples and microparticles transported in a micro-fluidic device, including integrated bio-chip devices
US6839661B2 (en) 2000-12-15 2005-01-04 Medispectra, Inc. System for normalizing spectra
US20030194755A1 (en) * 2001-04-27 2003-10-16 Genoptix, Inc. Early detection of apoptotic events and apoptosis using optophoretic analysis
CN1854778A (zh) 2001-06-20 2006-11-01 阿尔利克斯公司 光开关和光路由器以及光滤波器
TW556226B (en) * 2002-04-09 2003-10-01 Winbond Electronics Corp Dual-phase pre-charging circuit and the assembled static-current elimination circuit
US20040033539A1 (en) * 2002-05-01 2004-02-19 Genoptix, Inc Method of using optical interrogation to determine a biological property of a cell or population of cells
US6818903B2 (en) 2002-07-09 2004-11-16 Medispectra, Inc. Method and apparatus for identifying spectral artifacts
US6768918B2 (en) 2002-07-10 2004-07-27 Medispectra, Inc. Fluorescent fiberoptic probe for tissue health discrimination and method of use thereof
US7103401B2 (en) 2002-07-10 2006-09-05 Medispectra, Inc. Colonic polyp discrimination by tissue fluorescence and fiberoptic probe
US20040053209A1 (en) * 2002-09-12 2004-03-18 Genoptix, Inc Detection and evaluation of topoisomerase inhibitors using optophoretic analysis
US20040067167A1 (en) * 2002-10-08 2004-04-08 Genoptix, Inc. Methods and apparatus for optophoretic diagnosis of cells and particles
US20040121474A1 (en) * 2002-12-19 2004-06-24 Genoptix, Inc Detection and evaluation of chemically-mediated and ligand-mediated t-cell activation using optophoretic analysis
DE10323923A1 (de) * 2003-05-22 2004-12-16 Carl Zeiss Jena Gmbh Einstellbares Pinhole, insbesondere für ein Laser-Scanning-Mikroskop
JP4533382B2 (ja) 2003-08-28 2010-09-01 セルラ・インコーポレイテッド マイクロ流体分析およびソーティング用の一体化された構造物
US7330250B2 (en) * 2004-05-18 2008-02-12 Agilent Technologies, Inc. Nondestructive evaluation of subsurface damage in optical elements
JP4746311B2 (ja) * 2004-12-08 2011-08-10 大倉インダストリー株式会社 カラーレーザ顕微鏡
JP2006308336A (ja) * 2005-04-26 2006-11-09 Ohkura Industry Co 撮像システム
DE102005054184B4 (de) * 2005-11-14 2020-10-29 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Multispektrale Beleuchtungsvorrichtung und Messverfahren
US7643046B2 (en) * 2005-12-21 2010-01-05 Ricoh Company, Ltd. Laser beam scanning device, image forming apparatus, and laser beam detecting method by the laser beam scanning device
US10114213B2 (en) 2008-04-04 2018-10-30 Cvi Laser, Llc Laser systems and optical devices for manipulating laser beams
US7903706B2 (en) * 2008-04-04 2011-03-08 O'shaughnessy John Compact, thermally stable multi-laser engine
US9413130B2 (en) 2012-12-12 2016-08-09 Cvi Laser, Llc Optical systems
US8975572B2 (en) 2008-04-04 2015-03-10 Cvi Laser, Llc Compact, thermally stable fiber-optic array mountable to flow cell
CN106029904A (zh) * 2013-11-17 2016-10-12 宽腾矽公司 用于探测、检测和分析分子的具有外部光源的集成装置
WO2018089839A1 (en) 2016-11-10 2018-05-17 The Trustees Of Columbia University In The City Of New York Rapid high-resolution imaging methods for large samples
US11378808B2 (en) 2018-07-18 2022-07-05 Idex Health & Science Llc Laser systems and optical devices for laser beam shaping

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4521680A (en) * 1981-07-20 1985-06-04 Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha System for focusing a light beam on a light reflecting surface
NL8603108A (nl) * 1986-12-08 1988-07-01 Philips Nv Mikroskoop.
NL8701716A (nl) * 1987-07-21 1989-02-16 Philips Nv Aftastende optische mikroskoop.
NL8702071A (nl) * 1987-09-03 1989-04-03 Philips Nv Inrichting voor het puntsgewijs aftasten van een voorwerp.
WO1989006424A1 (en) * 1987-12-29 1989-07-13 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical head
US5032720A (en) * 1988-04-21 1991-07-16 White John G Confocal imaging system
JP2644829B2 (ja) * 1988-06-24 1997-08-25 株式会社リコー 光情報記録再生装置
CA1325537C (en) * 1988-08-01 1993-12-28 Timothy Peter Dabbs Confocal microscope
US5272330A (en) * 1990-11-19 1993-12-21 At&T Bell Laboratories Near field scanning optical microscope having a tapered waveguide

Also Published As

Publication number Publication date
US5343038A (en) 1994-08-30
EP0548699B1 (en) 1997-03-12
EP0548699A1 (en) 1993-06-30
JP3018687B2 (ja) 2000-03-13
DE69218148D1 (de) 1997-04-17
JPH05164967A (ja) 1993-06-29
DE69218148T2 (de) 1997-06-19
KR970004471B1 (en) 1997-03-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR930013770A (ko) 주사형 레이저 현미경
US5062715A (en) Method and apparatus for detecting photoacoustic signal and method for detecting internal defect of semiconductor device
EP1049925B1 (en) Optical inspection method and apparatus
US10721411B2 (en) Smart photonic imaging method and apparatus
US4990776A (en) Electron microscope
EA200201292A1 (ru) Устройство и способ оптического воспроизведения изображения особенностей на поверхности руки
US6496307B2 (en) Confocal scanning microscope
ES2144441T3 (es) Procedimiento y aparato para el analisis espectral de imagenes.
JPH05173085A (ja) 光ビーム走査装置及びレーザ走査顕微鏡
US3751593A (en) Multiplex image accommodation system
JPH1195114A (ja) 走査型光学顕微鏡装置
SU1721616A1 (ru) Способ определени координат объекта в поле зрени и устройство дл его осуществлени
JPH10133117A (ja) 焦点検出装置を備えた顕微鏡
RU2162616C2 (ru) Лазерный проекционный микроскоп
JPH03131811A (ja) 共焦点走査型透過顕微鏡
JP2003121748A (ja) カラーレーザー走査型顕微鏡
JPH01149354A (ja) 電子顕微鏡
RU2077702C1 (ru) Устройство для формирования, преобразования, передачи и регистрации оптической информации
KR20000020546A (ko) 원격 대기분석시스템의 송.수신 겸용 광학 장치
SU1739381A1 (ru) Устройство дл слежени за информационной дорожкой оптического носител
CN113873933A (zh) 光学系统及其检测方法
JPS6217724A (ja) 赤外線撮像装置
KR100744499B1 (ko) 액정 프로젝터의 조명계
RU2029327C1 (ru) Устройство для наблюдения объектов
JPH063578A (ja) 焦点検出装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
G160 Decision to publish patent application
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20030807

Year of fee payment: 7

LAPS Lapse due to unpaid annual fee