JP3874893B2 - 走査顕微鏡 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、共焦点原理を利用した走査顕微鏡に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、共焦点原理を利用した走査顕微鏡がある。該走査顕微鏡は、対物レンズとピンホールを配設しており、対物レンズの焦点位置に試料がある場合、該ピンホールを通過したレーザ光を第1受光素子で受光するので、観察したい高さの部分についての画像(共焦点画像)だけが、鮮明に映し出される(解像度が高くなる)。かかる共焦点画像は白黒(無彩色)の映像となる。しかし、かかる白黒の映像では情報が少なく、つまり、試料の色彩に関する情報が得られず、傷や付着物の種類の判別など詳細な観察が困難となる場合がある。そのため、従来より、カラー(有彩色)の走査顕微鏡がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のカラーの走査顕微鏡は、3つの光源からの3原色のレーザ光を用いて試料表面を走査する。そのため、光学系が複雑になって、顕微鏡が高価になるうえ大型になる。
【0004】
したがって、本発明の目的は、カラーの走査顕微鏡のコストダウンと小型化を図ることである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明は、レーザ光を用いた第1光学系の第1受光素子からの輝度情報と、色情報用の照明光を用いた第2光学系の第2受光素子からの色情報に基づいて、カラー映像信号を得る。
【0006】
本発明によれば、レーザ光を用いた第1光学系からの輝度情報を用いるので、白色光を用いた単なる拡大画像に比べ解像度が高くなると共に、第2受光素子からの色情報を用いるので、カラーの映像が得られ、その結果、傷や付着物の詳細な観察が可能になる。
【0007】
本発明において、集光したレーザ光が点状である場合は、該レーザ光を試料表面に沿って二次元的に相対的に走査する。一方、集光したレーザ光が線状のラインレーザ光である場合は、該集光したラインレーザ光に略直交する方向に、該ラインレーザ光を試料表面に沿って相対的に走査する。なお、「試料表面に沿って相対的に走査する」とは、試料を静止させてレーザ光またはラインレーザ光を走査する場合と、レーザ光またはラインレーザ光を走査せずに、試料を移動させて走査する場合と、レーザ光をX方向に走査し試料をY方向(X方向に直交する方向)に移動させる場合の少なくとも3つの場合があることを意味する。また、本発明に係る走査顕微鏡は、レーザ光を対物レンズにより試料に集光させると共に前記レーザ光を試料表面に沿って相対的に走査させ、その応答光を第1受光素子に受光させる第1光学系と、前記レーザ光とは異なるカラー撮像情報用の照明光を試料に照射して、その応答光を第2受光素子に受光させる第2光学系と、前記対物レンズから前記試料までの距離を変化させながら、前記第1光学系によって輝度情報を得る手段と、前記第2光学系によってカラー撮像情報を得る手段を備えると共に、走査領域における各撮像単位ごとの前記輝度情報に基づいて、前記カラー撮像情報のうち前記各撮像単位ごとに焦点の合ったものを用いて、カラー映像用の信号を得るカラー映像信号作成手段とを備える。
【0008】
本発明において、「カラー映像用の信号」とは、光の三原色(赤、緑、青)についての強度からなる映像信号や、輝度信号および色差信号からなる信号や、水平同期信号およびカラーバースト信号を含んだ複合カラー映像信号など、そのまま、または、加工した後、カラーの映像を映し出すことのできる信号をいう。また、「輝度情報」とは、色彩を含まない輝度に関する情報をいい、「色情報」とは、たとえば色差信号のように、色の強度のバランスに関する情報をいう。
【0009】
また、「第1受光素子からの輝度情報と、第2受光素子からの色情報に基づいて」とは、以下のようにして、カラー映像用の信号を得る場合を含むことを意味する。
【0010】
すなわち、カラー映像用の信号には、第1受光素子からの輝度情報と、第2受光素子からのカラー撮像情報のうちの色情報とが含まれている場合がある。なお、「カラー撮像情報」とは、撮像した情報であって、前記「輝度情報」および「色情報」を含む情報をいう。
また、カラー映像用の信号には、第1受光素子からの輝度情報に基づく補正輝度情報と、第2受光素子からのカラー撮像情報のうちの色情報とが含まれている場合がある。
さらに、カラー映像用の信号には、第1受光素子からの輝度情報と、第2受光素子からのカラー撮像情報のうちの色情報に基づく補正色情報とが含まれている場合がある。
また、カラー映像用の信号には、前記補正輝度情報と補正色情報とが含まれている場合がある。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面にしたがって説明する。
図1〜図4は第1実施形態を示す。
図1において、走査顕微鏡は、レーザ光学系(第1光学系)1と、白色光光学系(第2光学系)2とを備えている。
【0012】
まず、レーザ光学系1について説明する。
レーザ光学系1は、試料wの深度に関する情報を検出できる共焦点光学系で、たとえば赤色のレーザ光L1を出射する He-Neレーザ10を光源としている。該レーザ10の光軸上には、第1のコリメートレンズ11、偏光ビームスプリッタ12、 1/4波長板13、二次元走査装置14、第1リレーレンズ15、第2リレーレンズ16および対物レンズ17が順に配設されている。対物レンズ17の焦点位置の付近には、試料ステージ30が配設されており、対物レンズ17はレーザ光L1を試料wの表面に集光させる。前述の二次元走査装置14は、たとえば2枚のガルバノミラーから構成され、レーザ光L1を偏向させることで、試料wへの集光位置を試料wの表面に沿って二次元的(X,Y方向)に走査させる。
なお、試料ステージ30は、ステージ制御回路40によりZ(上下)方向に駆動制御され、X,Y方向については手動ハンドルで移動可能となっている。
【0013】
試料wで反射されたレーザ光(応答光)L1は、対物レンズ17、第2リレーレンズ16および第1リレーレンズ15を通り、再び、二次元走査装置14を介して 1/4波長板13および偏光ビームスプリッタ12を透過し、第2の結像レンズ18に向かう。該レーザ光L1は、第2の結像レンズ18によって集光され、ピンホールを有する光絞り部19aを通過して第1受光素子19bに入射する。第1受光素子19bは、たとえばフォトマルチプライヤまたはフォトダイオードなどで構成され、入射したレーザ光L1を光電変換して、アナログ光量信号を、出力アンプおよびゲイン制御回路(図示せず)を介して第1A/Dコンバータ41に出力する。
【0014】
つぎに、レーザ光学系1によって得られる輝度情報について説明する。
前述の光絞り部19aは、第2の結像レンズ18の焦点位置に配設されており、一方、光絞り部19aのピンホールは極めて微小であるから、レーザ光L1が試料w上で焦点を結ぶと、その反射光L1が光絞り部19aのピンホールで結像し、第1受光素子19bに入射する受光光量が著しく大きくなり、逆に、レーザ光L1が試料w上で焦点を結んでいないと、その反射光L1は、光絞り部19aのピンホールを殆ど通過しないので、第1受光素子19bの受光光量が著しく小さくなる。したがって、レーザ光学系1による撮像領域(走査領域)のうち、焦点の合った部分(合焦点の撮像単位)について明るい映像が得られ、一方、それ以外の高さの部分については暗い映像が得られる。なお、レーザ光学系1は単色のレーザ光L1を用いた共焦点光学系であるから、分解能に優れた輝度情報が得られる。
【0015】
つぎに、白色光光学系2について説明する。
白色光光学系2は、白色光(色情報用の照明光)L2を出射する白色光源20を光源としている。該白色光源20の光軸上には、第2のコリメートレンズ21、第1のハーフミラー22および前記対物レンズ17が配設されており、前記第1のハーフミラー22において2つの光学系1,2の光軸が合致するように白色光光学系2が配設されている。したがって、白色光L2は、レーザ光L1の走査領域と同一の箇所に集光される。試料wで反射された白色光(応答光)L2は、対物レンズ17、第1のハーフミラー22および第2リレーレンズ16を透過し、さらに、第2のハーフミラー23で反射されてカラーCCD(第2受光素子)24の表面で結像する。すなわち、カラーCCD24は、光絞り部19aと共役ないし共役に近い位置に配設されている。なお、カラーCCD24で撮像された画像は、アナログのカラー撮像情報として、CCD駆動回路43に読み出されて第2A/Dコンバータ42に出力される。
【0016】
つぎに、後述するカラー共焦点画像モードにおいて作動する図2のカラー映像信号作成手段5について説明する。
カラー映像信号作成手段5は、第1受光素子19bからの輝度情報と、カラーCCD24からの色情報とを組み合わせて、カラー映像用のデジタル信号ro,go,boを作成するものである。前記カラー映像信号作成手段5は、第1および第2領域回路51,52と、輝度変換回路53などを備えている。
【0017】
前記第1および第2領域回路51,52は、図3に示すように、それぞれ、レーザ光学系1および白色光光学系2の撮像領域A1,A2の所定の共通部分を映像領域A0として選択し、選択した部分についてデジタル信号を出力する。すなわち、図2の第1領域回路51は、前記映像領域A0について、カラーCCD24の各画素に対応した分解能で輝度信号iを輝度用メモリMiに記憶させる。一方、前記第2領域回路52は、前記映像領域A0について、各画素ごとに赤、緑、青の色強度信号rm,gm,bmを第1色強度メモリMr1,Mg1,Mb1 に記憶させる。なお、色強度信号とは、三原色についての輝度(強度)を含む信号をいう。
【0018】
前記輝度変換回路53は、下記の演算式(1),(2),(3) にしたがって、各画素についての前記色強度信号rm,gm,bmの輝度情報を、輝度信号iの輝度情報に置換して、変換色強度信号ro,go,boを求め、該信号を第2色強度メモリMr2,Mg2,Mb2 に記憶させるものである。
Ro=I・Rm/(Rm+Gm+Bm) …(1)
Go=I・Gm/(Rm+Gm+Bm) …(2)
Bo=I・Bm/(Rm+Gm+Bm) …(3)
I:輝度信号iの輝度
Rm,Gm,Bm:色強度信号rm,gm,bmの輝度(強度)
Ro,Go,Bo:変換色強度信号ro,go,boの輝度(強度)
なお、第1および第2色強度メモリMr1 〜Mb1,Mr2 〜Mb2 は、カラーCCD24のうち前述の映像領域A0の部分の画素に対応した記憶部を有している。
【0019】
こうして得られた変換色強度信号ro,go,boは、カラーCCD24からのカラー撮像情報のうちの輝度情報を、第1受光素子19bからの輝度情報に置換した信号となる。前記変換色強度信号ro,go,boは、前記第2色強度メモリMr2,Mg2,Mb2 から読み出されて、D/Aコンバータ60に出力され、更に、加算器61において同期信号aが付加されて、アナログの複合カラー映像信号cとなる。該複合カラー映像信号cはモニタ62に出力されて、試料wの映像が映し出される。
【0020】
つぎに、本走査顕微鏡の用い方について説明する。
本走査顕微鏡は、領域探索モード、白黒(無彩色)共焦点画像モードおよびカラー共焦点画像モードの3つのモードのうち1つを選択して用いる。これらのモードの設定は、操作部63を操作して設定する。
【0021】
領域探索モードが選択されると、カラー映像信号作成手段5は図1のレーザ駆動回路44を停止させると共に、CCD駆動回路43を作動させてカラーCCD24により撮像させる。この領域探索モードでは、図2の第2領域回路52から第1色強度メモリMr1,Mg1,Mb1 に記憶された色強度信号rm,gm,bmが、そのまま、D/Aコンバータ60に出力されて、被写界深度の深い通常の拡大画像がモニタ62に映し出される。したがって、図1の試料ステージ30をX,Y方向に移動させることにより、撮像したい領域を探し出すことができる。
【0022】
白黒共焦点画像モードが選択されると、カラー映像信号作成手段5(図2)は、レーザ光学系1のレーザ駆動回路44および二次元走査装置14などを作動させ、レーザ光学系1により撮像させる。この白黒共焦点画像モードでは、図2の第1領域回路51から輝度用メモリMiに記憶された輝度信号iが、そのまま、D/Aコンバータ60に出力されて、解像度の高い白黒(無彩色)の拡大画像がモニタ62に映し出される。
【0023】
カラー共焦点画像モードが選択されると、以下に説明するように、レーザ駆動回路44とCCD駆動回路43とが交互に駆動される。
すなわち、図4のステップS1で該モードが選択されると、ステップS2に進み、レーザ光L1による1画面分の走査がなされた後、ステップS3に進む。ステップS3では図1のレーザ駆動回路44が停止し、レーザ10からレーザ光L1が出射されなくなる。この状態で図4のステップS4に進み、カラーCCD24に電荷を蓄積する。該ステップS4で得た図2の色強度信号rm,gm,bmは、該信号に含まれている輝度情報が前記ステップS2で得た輝度信号iの輝度情報に置換され、変換色強度信号ro,go,boとなる。該変換色強度信号ro,go,boは、それぞれ、第2色強度メモリMr2,Mg2,Mb2 に記憶された後、D/Aコンバータ60に出力されてカラーの拡大画像がモニタ62に映し出される。
なお、図4のステップS4の後にステップS5に進み、前記レーザ光L1の走査と、CCD駆動回路43による電荷の蓄積および読み出しが繰り返される。
【0024】
こうして得られるカラー共焦点画像は、色情報についての解像度が低いので、三原色のレーザ光を用いた従来のカラーレーザ顕微鏡に比べ、若干解像度が低くなるものの、通常の拡大画像よりも解像度が高いので、十分利用価値の高い映像が得られる。
【0025】
また、図1の白色光源20とカラーCCD24を用いた白色光光学系2によって色情報を得るから、三原色のレーザ光を用いた従来のカラーレーザ顕微鏡に比べ、光学系が著しく簡単な構造になるので、走査顕微鏡のコストダウンと小型化を図り得る。
【0026】
また、本実施形態の場合、図1のカラーCCD24によって撮像する(カラーCCD24に電荷を蓄積する)際には、レーザ駆動回路44を停止してレーザ光L1がカラーCCD24に入射しないようにしている。したがって、レーザ光L1の色を帯びた映像になることもなく、試料wの実際の色に近い色彩の映像が得られる。
【0027】
なお、レーザ光L1がカラーCCD24に入射しないようにする手段としては、レーザ光L1を遮光するシャッタを用いたり、あるいは、レーザ光L1の走査範囲をカラーCCD24の撮像領域外に設定するなど種々の方法を採用することができる。また、レーザ光L1がカラーCCD24に入射して、レーザ光L1の色を帯びても、カラーの映像が得られるので、本発明の範囲に含まれる。
【0028】
ところで、図1の試料wの色とレーザ光L1の色が同系色であると、試料wにおける反射光L1の光量(式(1) 〜(3) の輝度I)が大きくなるので、第1受光素子19bに入射する光量が増大する。そのため、このような場合、映像が実際の試料wの色よりも白っぽくなる。そこで、図5に示す第2実施形態では、かかる同系色の場合でも、実際の試料の色彩に近い色彩が得られる機能を備えている。
【0029】
図5の第2実施形態では、輝度変換回路53が判別手段53aおよび3つの補正変数を記憶する補正変数記憶部53bを備えている点において前記第1実施形態と異なっている。
本実施形態では、輝度変換回路53が下記の演算式(11)〜(13)にしたがって、色強度信号rm,gm,bmの輝度Rm,Gm,Bmを補正して変換色強度信号ro,go,boの輝度(強度)Ro,Go,Boを求める。
Ro=Kr・I・Rm/(Rm+Gm+Bm) …(11)
Go=Kg・I・Gm/(Rm+Gm+Bm) …(12)
Bo=Kb・I・Bm/(Rm+Gm+Bm) …(13)
Kr,Kg,Kb:補正変数
【0030】
前記輝度変換回路53の判別手段53aは、下記の(14)式に示す赤色比Rcと所定の閾値Srとを比較して、試料wの撮像領域における各撮像単位(カラーCCD24の各画素)ごとに、当該各撮像単位の部分が、所定の閾値Srよりも赤っぽいか否かを判別するものである。
Rc=Rm/(Rm+Gm+Bm) …(14)
すなわち、判別手段53aは、カラーCCD24の各画素が受光した赤色の輝度Rmが、当該3色の輝度の合計値(Rm+Gm+Bm)に対して大きいときは、当該撮像単位の部分が赤っぽいと判断するものである。
【0031】
前記輝度変換回路53は、前記(14)式の赤色比Rcが閾値Srよりも小さい場合は、Kr=Kg=Kb=1に設定して、前述の第1実施形態と同様に変換色強度信号ro,go,boを得る。一方、輝度変換回路53は、赤色比Rcが前記閾値Sr以上の場合は、補正変数記憶部53bから補正変数Kr,Kg,Kbを読み出し、前記(11)〜(13)式にしたがって変換色強度信号ro,go,boを得る。
【0032】
図5(b)は前記補正変数Kr,Kg,Kbを示すグラフである。
各補正変数Kr,Kg,Kbは、たとえば、試料wの撮像単位の赤色比Rcが大きい程“1.0"よりも小さくなるように設定されている。したがって、前記(11)〜(13)式のように補正変数Kr,Kg,Kbを乗算することで、輝度が小さくなるから、赤色比Rcが大きい場合にも、映像が白っぽくならず、実際の試料wの色彩に近い色彩の映像が得られる。
【0033】
ところで、前述のカラー共焦点画像モードで凹凸のある試料wを観察すると、焦点(高さ)の合っていない部分の映像が暗くなる。そこで、図6および図7に示す第3実施形態では、かかる凹凸のある試料wの観察に適した凹凸用カラー共焦点画像モードを備えている。
【0034】
つぎに、前記凹凸用カラー共焦点画像モードを備えた第3実施形態の構成について説明する。
図6に示すように、本第3実施形態では、カラー映像信号作成手段5が最大輝度記憶部Mmax およびZ座標記憶部Mzからなるメモリを備えている。前記最大輝度記憶部Mmax は、走査領域における各撮像単位(カラーCCD24の各画素に対応する単位)ごとに、第1受光素子19b(図5)が受光した最大輝度Imax を記憶するものである。前記Z座標記憶部Mzは、輝度Iが最大輝度Imax となったときのZ座標(試料ステージ30の高さ)を各撮像単位ごとに記憶するものである。前記第2色強度メモリMr2,Mg2,Mb2 は合成撮像情報記憶部を構成しており、前記Z座標記憶部Mzに記憶されたZ座標においてカラーCCD24の各画素が受光したカラー撮像情報を記憶する。つまり、第2色強度メモリMr2,Mg2,Mb2 は、図1の試料ステージ30の高さが変化して第1光学系1が合焦点となったときのカラー撮像情報を各画素(撮像単位)ごとに記憶する。
【0035】
前記輝度変換回路53は輝度比較手段53cを備えている。該輝度比較手段53cは、最大輝度記憶部Mmax に記憶されている最大輝度Imax と、輝度用メモリMiに新たに記憶された輝度Iとを各撮像単位ごとに比較するものである。輝度変換回路53は、前記比較の結果、各撮像単位ごとに、輝度用メモリMiに新たに記憶された輝度Iが最大輝度Imax よりも大きければ、当該輝度Iを最大輝度として最大輝度記憶部Mmax に記憶させる。
なお、その他の構成は前述の図5の第2実施形態と同様であり、その詳しい説明および図示を省略する。
【0036】
つぎに、凹凸用カラー共焦点画像モードについて説明する。
図7において、まず、ステップS11で図1の試料ステージ30を上昇端まで移動させる。つぎに、ステップS12で、第2光学系2によって撮像し、カラーCCD24に電荷を蓄積してカラー撮像情報を得る。つづいて、図7のステップS13に進み、第1光学系1によってレーザ光L1を走査して撮像することで、輝度情報を得、この内容を図6の最大輝度記憶部Mmax に、各撮像単位(カラーCCD24の画素に対応する単位)ごとに記憶させ、当該撮像時のZ座標をZ座標記憶部Mzに記憶させると共に、輝度変換を行った変換色強度信号ro,go,boを第2色強度メモリMr2,Mg2,Mb2 に記憶させる。
【0037】
つづいて、ステップS14に進み、試料ステージ30(図1)を1段階下降させた後、図7のステップS15に進む。
ステップS15では、再び、第2光学系2によってカラー撮像情報を得、この内容を図6の第1色強度メモリMr1,Mg1,Mb1 に各画素ごとに記憶させ、図7のステップS16に進む。
【0038】
ステップS16では、第1光学系1によってレーザ光L1を走査しながら、以下に説明するように、最大輝度記憶部Mmax の最大輝度Imax を更新記憶させると共に、最大輝度Imax を更新した撮像単位については第2色強度メモリMr2,Mg2,Mb2 に記憶させていた変換色強度信号ro,go,boを更新記憶させる。すなわち、レーザ光L1を走査して新たに図6の輝度用メモリMiに記憶された輝度Iと、最大輝度記憶部Mmax に記憶されている最大輝度Imax とを、各撮像単位ごとに、輝度比較手段53cが比較する。該比較の結果、I>Imax であれば、当該撮像単位については、輝度変換回路53が当該輝度Iを新たな最大輝度Imax として最大輝度記憶部Mmax に記憶させると共に、第1色強度メモリMr1,Mg1,Mb1 に記憶されている色強度信号rm,gm,bm、つまり、カラー撮像情報を輝度変換して、変換色強度信号ro,go,boとして第2色強度メモリMr2,Mg2,Mb2 の当該撮像単位のアドレスに更新記憶させる。一方、前記比較の結果、輝度Iが最大輝度Imax 以下であれば、当該撮像単位については、最大輝度Imax および変換色強度信号ro,go,boの更新をしない。
【0039】
つづいて、図7のステップS17に進み、試料ステージ30が下降端でなければ、ステップS14に戻り、一方、試料ステージ30が下降端であれば、ステップS18に進んで、変換色強度信号ro,go,boがD/Aコンバータ60(図5)に出力された後、複合カラー映像信号c(図5)が得られる。つまり、図7のステップS14〜ステップS17を繰り返すことで、前記図6の最大輝度記憶部Mmax の最大輝度Imax と、変換色強度信号ro,go,boの更新を繰り返す。したがって、ステップS18で出力される変換色強度信号ro,go,boの輝度は、前述の式(11)〜(13)と同様な下記の式(21)〜(23)で表される。
Ro=Kr・Imax ・Rm/(Rm+Gm+Bm) …(21)
Go=Kg・Imax ・Gm/(Rm+Gm+Bm) …(22)
Bo=Kb・Imax ・Bm/(Rm+Gm+Bm) …(23)
なお、図7のステップS19でモードOFF であれば、当該モードを終了する。
【0040】
このように、本実施形態では、図1のカラーCCD24の各画素ごとに、第1光学系1が合焦点となった際のZ座標についてのカラー撮像情報を用いるので、凹凸があっても各画素ごとに焦点の合った映像が得られるから、通常のカラーの拡大画像よりもピントの合った映像が得られる。
【0041】
ところで、前記各実施形態では、輝度変換を行ったが、本発明では輝度変換を必ずしも行う必要はない。
すなわち、前述の図7のステップS13およびステップS16で輝度変換を行わずに、第1色強度メモリMr1,Mg1,Mb1 に記憶されているカラー撮像情報を第2色強度メモリMr2,Mg2,Mb2 に出力して、つまり、下記の式(31)〜(33)に従って、複合カラー映像信号cを得てもよい。
Ro=Rm …(31)
Go=Gm …(32)
Bo=Bm …(33)
【0042】
この場合も、第3実施形態と同様に、図1のカラーCCD24の各画素ごとに第1光学系1が合焦点となった際のZ座標についてのカラー撮像情報を用いるので、通常のカラー拡大画像と異なり、厳密にピントの合った映像が得られる。
【0043】
ところで、前記各実施形態では、試料wの表面および第1受光素子19bにおいて点状に集光するレーザ光L1を用いたが、本発明では、試料wの表面および第1受光素子19bにおいて線状に集光するラインレーザ光L1を用いることもできる。すなわち、図8のように、レーザ光L1に代えてY方向に長いラインレーザ光L1を用いると共に、点状の第1受光素子19bに代えてY方向に長い一次元CCD19Aを用い、更に、二次元走査装置14に代えて一次元走査装置14Aを用いる。この場合、図8(b)のように、ラインレーザ光L1が試料wの表面で集光した際の長手方向に直交する方向に、ラインレーザ光L1を走査する。なお、光絞り部19aはスリット状(溝状)にする。
【0044】
ところで、前記各実施形態では、図1のレーザ光学系1の第1受光素子19bの前方に光絞り部19aを設けたが、該光絞り部19aは必ずしも設ける必要はない。
たとえば、図9のように、第2の結像レンズ18の焦点の位置に白黒用の一次元CCD19Aを設けてもよい。この場合、第1の一次元走査装置14Aを第1のコリメートレンズ11と偏光ビームスプリッタ12の間に設け、第2の一次元走査装置14Bを 1/4波長板13と第1リレーレンズ15との間に設ける。
【0045】
また、前記各実施形態では、図1の第2光学系2の第2受光素子としてカラーCCD24を用いたが、他の受光素子を用いてもよい。
たとえば、ダイクロイックミラーを使用して反射光L2を3原色に分解し、これらの3原色の反射光を3つの白黒映像用の二次元CCDに入射させてもよい。また、光学系は異なるが、第2受光素子としてカラーラインCCDを用い、白色応答光を一次元的に走査する一次元走査装置を設けてもよい。さらに、第2受光素子としては、3つの白黒映像用のラインCCD(R,G,B用)を用いることもでき、また、3つの点受光素子(R,G,B用)を用いることもできる。なお、これらの場合において、白色応答光を走査する走査装置は、レーザ光L1を走査する走査装置と兼用することもできる。
【0046】
また、第2受光素子としては、カラーCCDの他にMOS型などの他の固体撮像素子や複数の撮像管を組み合わせたテレビカメラなどを用いることもできる。
【0047】
ところで、前記図1の実施形態では、レーザ光L1および白色光L2の反射光を、それぞれ、第1受光素子19bおよびカラーCCD24に受光させることとしたが、本発明では、試料wを透過した透過光や、前記反射光を置換した蛍光を受光させるものであってもよい。
【0048】
また、前記実施形態では、色彩を光の三原色に分解したが、本発明では補色系(黄、シアン、緑)に分解してもよい。また、色情報として色差信号を用いてもよい。
【0049】
また、前記各実施形態では、レーザ光学系1および白色光光学系2に第2リレーレンズ16を設けて無限補正系を採用したが、第2リレーレンズ16を設けずに有限補正系を採用してもよい。
【0050】
【発明の効果】
以上説明したように、本走査顕微鏡によれば、レーザ光とは異なる色情報用の照明光を用いた第2光学系によって色情報を得るから、三原色のレーザ光を用いた従来のカラーレーザ顕微鏡に比べ、光学系が著しく簡単な構造になるので、コストダウンと小型化を図り得る。
なお、本走査顕微鏡は、従来のカラーレーザ顕微鏡に比べ色情報についての解像度が低いが、レーザ光によって輝度情報を得ているから、通常の拡大画像よりも解像度が高いので、十分利用価値が高い。
【0051】
また、請求項7ないし9の発明では、対物レンズから試料までの距離を変化させながら、第1受光素子に入射した応答光の最大輝度を求め、該最大輝度を輝度情報として用いるので、凹凸の大きい試料でも、映像の一部が著しく暗くなるおそれがない。
【0052】
また、第2受光素子によって撮像する際に、レーザ光が該撮像素子に入射しないようにすれば、レーザ光の色を帯びた映像となるおそれもない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の走査顕微鏡の第1実施形態を示す概略構成図である。
【図2】ブロック図である。
【図3】撮像領域を示す平面図である。
【図4】フローチャートである。
【図5】第2実施形態にかかるブロック図および補正変数を示す図である。
【図6】第3実施形態にかかるカラー映像信号作成手段のブロック図である。
【図7】フローチャートである。
【図8】走査顕微鏡の第4実施形態を示す概略構成図である。
【図9】走査顕微鏡の第5実施形態を示す概略構成図である。
【符号の説明】
1:第1光学系
17:対物レンズ
19b:第1受光素子
19A:第1受光素子
2:第2光学系
20:色情報用の照明光(白色光源)
24:第2受光素子
L1:レーザ光
L2:照明光
ro,go,bo:カラー映像用の信号
c:カラー映像用の信号(複合カラー映像信号)
Claims (10)
- レーザ光を対物レンズにより試料に集光させると共に前記レーザ光を試料表面に沿って相対的に走査させ、その応答光を第1受光素子に受光させる第1光学系と、
前記レーザ光とは異なる色情報用の照明光を試料に照射して、その応答光を第2受光素子に受光させる第2光学系と、
前記第1受光素子からの輝度情報と、前記第2受光素子からの色情報に基づいて、カラー映像用の信号を得るカラー映像信号作成手段とを備えたことを特徴とする走査顕微鏡。 - 請求項1記載の走査顕微鏡において、
前記レーザ光を試料表面に沿って二次元的に相対的に走査させる手段を備えたことを特徴とする走査顕微鏡。 - 請求項1記載の走査顕微鏡において、
前記レーザ光としてラインレーザ光を用い、そのレーザ光を対物レンズにより試料に線状に集光させる手段を備えたことを特徴とする走査顕微鏡。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか1項記載の走査顕微鏡において、
前記カラー映像用の信号には、前記第1受光素子からの輝度情報と、前記第2受光素子からのカラー撮像情報のうちの色情報とが含まれていることを特徴とする走査顕微鏡。 - レーザ光を対物レンズにより試料に集光させると共に前記レーザ光を試料表面に沿って相対的に走査させ、その応答光を第1受光素子に受光させる第1光学系と、
前記レーザ光とは異なるカラー撮像情報用の照明光を試料に照射して、その応答光を第2受光素子に受光させる第2光学系と、
前記対物レンズから前記試料までの距離を変化させながら、前記第1光学系によって輝度情報を得る手段と、前記第2光学系によってカラー撮像情報を得る手段を備えると共に、
走査領域における各撮像単位ごとの前記輝度情報に基づいて、前記カラー撮像情報のうち前記各撮像単位ごとに焦点の合ったものを用いて、カラー映像用の信号を得るカラー映像信号作成手段とを備えたことを特徴とする走査顕微鏡。 - 請求項5記載の走査顕微鏡において、
前記第2受光素子がカラーCCDであり、
前記カラー映像信号作成手段が、前記カラーCCDの各画素ごとに前記第1光学系の前記輝度情報が最大輝度となったときの前記カラー撮像情報を用いて前記カラー映像信号を得ることを特徴とする走査顕微鏡。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか1項記載の走査顕微鏡において、
前記対物レンズから前記試料までの距離を変化させながら、前記第1光学系によって輝度情報を得る手段と、前記第2光学系によってカラー撮像情報を得る手段を備えると共に、
走査領域における各撮像単位ごとに前記第1受光素子からの最大輝度を記憶する最大輝度記憶部と、
前記最大輝度が得られたときの前記距離における前記第2受光素子のカラー撮像情報を前記各撮像単位ごとに記憶する合成撮像情報記憶部と、
を備えたことを特徴とする走査顕微鏡。 - 請求項7項記載の走査顕微鏡において、
前記カラー映像信号作成手段が、前記各撮像単位ごとに、前記最大輝度記憶部に記憶された前記最大輝度と、
前記合成撮像情報記憶部に記憶されたカラー撮像情報のうちの色情報とを用いて、
前記カラー映像用の信号を得ることを特徴とする走査顕微鏡。 - 請求項8項記載の走査顕微鏡において、
前記合成撮像情報記憶部に記憶されたカラー撮像情報を前記カラー映像用の信号とした走査顕微鏡。 - 請求項1ないし9のいずれか1項記載の走査顕微鏡において、前記第2受光素子によって撮像する際には、前記レーザ光が前記第2受光素子に入射しない手段を備えた走査顕微鏡。
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