JP4185711B2 - 複数の光源を備えた顕微鏡 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の光源を備えた顕微鏡に関し、より詳しくは、対物レンズと、これに隣接して配置され、該対物レンズとの間に平行光線を生成するレンズとを備えた顕微鏡に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、対物レンズと、これに隣接して配置され、該対物レンズとの間に平行光線を生成するレンズとを備えた顕微鏡が知れており、このような対物レンズを経た光線は対物レンズでは結像しないで、無限遠の平行光線として、対物レンズに隣接して配置された結像レンズに入り、この結像レンズによって中間像を結ぶ光学システムは無限遠補正光学系と呼ばれている。また、必要により、対物レンズと結像レンズとの間にハーフミラー等を挿入する場合もある。
【0003】
このような無限遠補正光学系を利用した顕微鏡の例として、特開平11−14907号公報は、光源と白色光源を備えたカラーレーザ走査顕微鏡を開示している。このカラーレーザ顕微鏡は、光源を含む共焦点(コンフォーカル)光学系と、白色光源を含む非コンフォーカル光学系とが、一つの無限遠補正光学系を共用するようになっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
複数の光源の波長が大きく異なる場合、一般的に、通常のレンズの屈折率は波長によって大きく変化することから、波長によって異なる像を結ぶ。つまり、色収差が発生する。色収差には、横の色収差(倍率色収差)と、縦の色収差(軸上色収差)とが存在する。
【0005】
例えば、カラーコンフォーカル顕微鏡において、非コンフォーカルモードの画面、すなわち、白色光源からの光(白色光)を試料に照射したときに得られる画面(例えば、金属顕微鏡にCCDカメラを取り付けたときの画面)と、コンフォーカルモード、すなわち、白色光源に多く含まれる波長とは大きく異なる波長を持つ光源からの光を試料に照射したときに得られる画面(例えば、紫外線レーザ顕微鏡の画面)とは、軸上色収差のために、二つの画面はどちらか一方の画面が焦点外になってしまうので、高い解像度と良好な色再現性とを両立することのできるカラー画面を得ることができない。
【0006】
これに対して、複数の光源の波長領域において色収差補正が良好な無限遠補正光学系レンズを用いることが考えられるが、色収差補正が良好なレンズを用いたとしても改善効果は限定的であり、完全に良好な画面を得ることは実際上難しいだけでなく、このようなレンズは一般的に高価であり、このことは顕微鏡のコストアップ要因になる。また、色収差以外の収差(例えば、波面収差)についても、複数の光源の波長領域において収差補正が良好な無限遠補正光学系レンズを得ることは困難であり、かりに、このようなレンズを採用することは顕微鏡の製造コストが大幅に上昇してしまう。
【0007】
本発明の目的は、無限遠補正光学系を使用して収差の少ない良好な画面又は像を得ることのできる複数の光源を備えた顕微鏡を提供することにある。
【0008】
本発明の更なる目的は、無限遠補正光学系を使用して収差の少ない良好な画面又は像を得ることのできる複数の光源を備えた、非コンフォーカルモードを具備するコンフォーカル顕微鏡を提供することにある。
【0009】
本発明の別の目的は、複数の光学系が共通の対物レンズを共用し、この共通対物レンズと無限遠補正光学系レンズとの組み合わせを使用して、収差の少ない良好な画面又は像を得ながら、試料にレーザ光を照射することのできるレーザ照射顕微鏡を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
かかる技術的課題は、本発明によれば、
対物レンズを共用する第1、第2の2つの光学系を含み、これら第1、第2の光学系が、夫々、光源を有する顕微鏡であって、
前記第1光学系が、
単色光を放射する第1光源と、
該第1光源から放射される単色光を偏向させ、当該単色光により試料を一次元的又は二次元的に走査するための走査装置と、
該走査装置により偏向された前記単色光を受けるリレーレンズと、
前記対物レンズと協働して無限遠補正光学系を構成し且つ前記リレーレンズからの前記単色光が前記対物レンズを通って前記試料に集光するように配置される第1結像レンズと、
前記試料からの前記単色光による応答光を前記対物レンズ、前記第1結像レンズ、前記リレーレンズ、前記走査装置を介して受けて該応答光を集光する第2結像レンズと、
前記第2結像レンズからの前記応答光を受光する第1受光手段とを有するコンフォーカル光学系であり、
前記第2光学系が、
前記単色光とは波長の異なる色情報用照明光を放射する第2光源と、
前記対物レンズと協働して無限遠補正光学系を構成する第3結像レンズと、
試料からの応答光を受光する二次元固体撮像素子を有する第2受光手段とを有し、
前記第2光源からの色情報用照明光が、前記対物レンズを通って試料に集光すると共に、該試料からの応答光が前記第3結像レンズを通って前記第2受光手段に入射する非コンフォーカル光学系であり、
前記第1受光手段からの輝度情報と前記第2受光手段からの色情報に基づいて、カラー映像用の信号を得るカラー映像信号作成手段を更に有することを特徴とする複数の光源を備えた顕微鏡を提供することにより達成される。
【0012】
【発明の作用及び効果】
本発明によれば、コンフォーカル光学系と非コンフォーカル光学系とを有し、各々が光源を備えた顕微鏡において、対物レンズを共用すると共に、個々に無限遠補正光学系レンズ結像を具備すると共に、第1光学系の走査装置と対物レンズとの間に、リレーレンズと第1結像レンズとを配置することで、各々の無限遠補正光学系結像レンズを各光源が放射する光に適合するように選定することにより収差の少ない良好な画面又は像を得ることができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面にしたがって説明する。
【0014】
第1の実施形態(図1〜図3)
図1において、コンフォーカル走査顕微鏡(レーザ顕微鏡)100は、レーザ光学系(第1光学系)1と、白色光光学系(第2光学系)2とを備えている。
【0015】
レーザ光学系1
レーザ光学系1は、試料wの深度に関する情報を検出できる共焦点光学系で、可視領域又は赤外線領域或いは紫外線領域のレーザ光L1を出射する光源10を有する。光源10は単色光を出射する高輝度ランプであってもよい。
【0016】
レーザ光源10の光軸上には、光源10側から、順に、第1のコリメートレンズ11、偏光ビームスプリッタ12、1/4波長板13、二次元走査装置14、リレーレンズ15、レンズ16、対物レンズ17が配設されている。対物レンズ17と、これに隣接して配置されたレンズ16は第1の無限遠補正光学系を構成する。以下、対物レンズ17と組み合わされて無限遠補正光学系を構成する結像レンズを無限遠補正光学系結像レンズと呼ぶ。
【0017】
対物レンズ17の焦点位置の付近には、試料ステージ30が配設されており、対物レンズ17はレーザ光L1を試料wの表面に集光させる。前述の二次元走査装置14は、例えば2枚のガルバノミラーから構成され、レーザ光L1を偏向させることで、試料wへの集光位置を試料wの表面に沿って二次元的(X方向及び/又はY方向)に走査させる。
【0018】
なお、試料ステージ30は、ステージ制御回路40によりZ方向(上下方向)に駆動制御され、X、Y方向については手動ハンドルで移動可能となっている。
【0019】
試料wで反射されたレーザ光(応答光)L1は、レーザ入射光と同じ経路をたどって、対物レンズ17、該対物レンズ17と対をなす第1無限遠光学系結像レンズ16を通って中間像を形成し、次いで、リレーレンズ15を通り、再び、二次元走査装置14を介して1/4波長板13および偏光ビームスプリッタ12を透過し、結像レンズ18に向かう。応答光つまり反射光であるレーザ光L1は、結像レンズ18を通り、この結像レンズ18で集光されてピンホールを有する光絞り部19aを通り、光絞り部19aを通過したレーザ光L1は第1受光素子19bに入射する。第1受光素子19bは、たとえばフォトマルチプライヤまたはフォトダイオードなどで構成され、入射したレーザ光L1を光電変換して、アナログ光量信号を、出力アンプおよびゲイン制御回路(図示せず)を介して第1A/Dコンバータ41に出力する。
【0020】
つぎに、レーザ光学系1によって得られる輝度情報について説明する。
【0021】
前述の光絞り部19aは、結像レンズ18の焦点位置に配設されており、一方、光絞り部19aのピンホールは極めて微小であるから、レーザ光L1が試料w上で焦点を結ぶと、その反射光L1が、結像レンズ18によって光絞り部19aのピンホールで結像し、第1受光素子19bに入射する受光光量が著しく大きくなり、逆に、レーザ光L1が試料w上で焦点を結んでいないと、その反射光L1は、光絞り部19aのピンホールを殆ど通過しないので、第1受光素子19bの受光光量が著しく小さくなる。したがって、レーザ光学系1による撮像領域(走査領域)のうち、焦点の合った部分(合焦点の撮像単位)について明るい映像が得られ、一方、それ以外の高さの部分については暗い映像が得られる。なお、レーザ光学系1は、単色光としてレーザ光L1を用いた共焦点光学系であり、特に、光源10からの光の波長が短いほど分解能に優れた輝度情報を得ることができる。
【0022】
白色光光学系2
白色光光学系2は、白色光(色情報用の照明光)L2を出射する白色光源20を光源としている。白色光源20の光軸上には、レンズ21、第1のハーフミラー22および前記対物レンズ17が配設されており、前記第1のハーフミラー22において2つの光学系1、2の光軸が合致するように白色光光学系2が配設されている。したがって、白色光L2は、レーザ光L1の走査領域を包含した状態で集光される。
【0023】
試料wで反射された白色光(応答光)L2は、白色入射光と同じ経路をたどって対物レンズ17を通り、次いで第1のハーフミラー22で反射され、更に、第2のハーフミラー23で反射され、そして、この反射光は、対物レンズ17と組み合わされて第2の無限遠補正光学系を作る結像レンズ24を通り、この無限遠補正光学系結像レンズ24によってカラーCCD(第2受光素子)25の表面で結像する。すなわち、カラーCCD25は、光絞り部19aと共役ないし共役に近い位置に配設されている。なお、カラーCCD25で撮像された画像は、アナログの色情報として、CCD駆動回路43に読み出されて第2A/Dコンバータ42に出力される。
【0024】
なお、無限遠補正光学系を構成する対物レンズ17とレンズ24とは、無限遠補正光学系ユニットとして市販されており、この市販の無限遠補正光学系ユニットを採用してもよい。市販の無限遠補正光学系ユニットは、一般的に、可視光に適合するように設計されている。
【0025】
つぎに、後述するカラー共焦点画像モードにおいて作動する図2のカラー映像信号作成手段5について説明する。
【0026】
カラー映像信号作成手段5は、第1受光素子19bからの輝度情報と、カラーCCD25からの色情報とを組み合わせて、カラー映像用のデジタル信号ro、go、boを作成するものである。前記カラー映像信号作成手段5は、第1および第2領域回路51、52と、輝度変換回路53などを備えている。ここに、輝度情報とは、色彩を含まない輝度に関する情報をいい、「色情報」とは、たとえば色差信号のように、色の強度のバランスに関する情報をいう。
【0027】
前記第1および第2領域回路51、52は、図3に示すように、それぞれ、レーザ光学系1および白色光光学系2の撮像領域A1、A2の所定の共通部分を映像領域AOとして選択し、選択した部分についてデジタル信号を出力する。すなわち、図2の第1領域回路51は、前記映像領域AOについて、カラーCCD25の各画素に対応した分解能で輝度信号iを輝度用メモリMiに記憶させる。一方、前記第2領域回路52は、前記映像領域AOについて、各画素ごとに赤、緑、青の色強度信号rm、gm、bmを第1色強度メモリMr1、Mg1、Mb1に記憶させる。なお、色強度信号とは、三原色についての輝度(強度)を含む信号をいう。
【0028】
前記輝度変換回路53は、下記の演算式(1)、(2)、(3)にしたがって、各画素についての前記色強度信号rm、gm、bmの輝度情報を、輝度信号iの輝度情報に置換して、変換色強度信号ro、go、boを求め、該信号を第2色強度メモリMr2、Mg2、Mb2に記憶させるものである。
【0029】
Ro=I・Rm/(Rm+Gm+Bm) ・・・(1)
Go=I・Gm/(Rm+Gm+Bm) ・・・(2)
Bo=I・Bm/(Rm+Gm+Bm) ・・・(3)
【0030】
ここに、Iは輝度信号iの輝度であり;
Rm、gm、bmは色強度信号rm、gm、bmの輝度(強度)であり;
Ro、Go、Boは変換色強度信号ro、go、boの輝度(強度)である。
【0031】
なお、第1および第2色強度メモリMr1〜Mb1、Mr2〜Mb2は、カラーCCD25のうち前述の映像領域Aoの部分の画素に対応した記憶部を有している。
【0032】
このようにして得られた変換色強度信号ro、go、boは、カラーCCD25からの色情報のうちの輝度情報を、第1受光素子19bからの輝度情報に置換した信号となる。前記変換色強度信号ro、go、boは、前記第2色強度メモリMr2、Mg2、Mb2から読み出されて、D/Aコンバータ60に出力され、更に、加算器61において同期信号aが付加されて、アナログの複合カラー映像信号cとなる。該複合カラー映像信号cはモニタ62に出力されて、試料wの映像が映し出される。
【0033】
第2の実施形態(図4)
前記第1の実施形態では、試料wの表面および第1受光素子19bにおいて点状に集光するレーザ光L1を用いたが、試料wの表面および第1受光素子19bにおいて線状に集光するライン単色光つまりラインレーザ光L1を用いてもよい。すなわち、図4に示す第2の実施形態のレーザ顕微鏡200のように、レーザ光L1に代えてY方向に長いラインレーザ光L1を用いると共に、点状の第1受光素子19bに代えてY方向に長い一次元CCD19Aを用い、更に、二次元走査装置14に代えて一次元走査装置14Aを用いる。この場合、図4(b)のように、ラインレーザ光L1が試料wの表面で集光した際の長手方向に直交する方向に、ラインレーザ光L1を走査する。なお、光絞り部19aはスリット状(溝状)にする。
【0034】
第3の実施形態(図5)
前記第1、第2の実施形態では、図1のレーザ光学系1の第1受光素子19bの前方に光絞り部19aを設けたが、該光絞り部19aは必ずしも設ける必要はない。
【0035】
たとえば、図5に示す第3の実施形態のレーザ顕微鏡300のように、結像レンズ18の焦点の位置に白黒用の一次元CCD19Aを設けてもよい。この場合、第1の一次元走査装置14Aを第1のコリメートレンズ11と偏光ビームスプリッタ12の間に設け、第2の一次元走査装置14Bを1/4波長板13とリレーレンズ15との間に設けるのがよい。
【0036】
第4の実施形態(図6)
図6は、第4の実施形態としてのレーザ照射顕微鏡又はレーザリペア顕微鏡400を示す。レーザ照射顕微鏡又はレーザリペア顕微鏡400は、白色光光学系402を有し、この白色光光学系402は、白色光(色情報用の照明光)L2を出射する白色光源20を含み、白色光源20の光軸上には、レンズ21、第1のハーフミラー22および対物レンズ17が配設されており、第1のハーフミラー22で反射された白色光が対物レンズ17によって試料wに集光される。
【0037】
試料wで反射された白色光(応答光)L2は、白色入射光と同じ経路をたどって対物レンズ17を通り、次いで、第1のハーフミラー22で反射され、更に、第1のハーフミラー22と第2コリメートルレンズ21との間に配置された第2のハーフミラー23で反射され、そして、白色光に適した焦点距離を有する無限遠補正光学系結像レンズ24を通ってカラーCCD(第2受光素子)25の表面で結像する。
【0038】
この顕微鏡400のレーザ光学系401は、レーザ光L1を出射する光源110を有する。光源110の光軸上には、光源110側から、順に、リレーレンズ15、第1無限遠光学系レンズ16、対物レンズ17が配設されている。上述した第1のハーフミラー22は、第1無限遠光学系の結像レンズ16と対物レンズ17との間に配置され、この第1のハーフミラー22において2つの光学系401、402の光軸が合致する。レーザ光L1は、対物レンズ17を通って試料wの表面に集光される。
【0039】
すなわち、レーザ照射顕微鏡又はレーザリペア顕微鏡400は、白色光源20による試料wの観察と同時に、試料wにレーザを照射することより、試料wを加工又は修復したり、レーザトラップ(レーザにより生物組織の一部を引き寄せるピンセットの役割)を行うことができる。
【0040】
この顕微鏡400に採用されるレーザの出力及び波長は、用途に応じて選択される。例えば、加工又は修復用であればYAGなどの高出力レーザを用いればよく、トラップ用であれば、小出力のNe−Heレーザを用いればよい。
【0041】
以上、本発明の好ましい実施例を説明したが、前記第1〜第3の各実施形態では、例えば、図1の第2光学系2において、ダイクロイックミラーを使用して反射光L2を3原色に分解し、これらの3原色の反射光を3つの白黒映像用の二次元CCDに入射させてもよい。また、光学系は異なるが、第2受光素子としてカラーラインCCDや、3つの白黒映像用のラインCCD(赤(R)、緑(G)、青(B)用)や、回転するRGBフィルタを前面に設けたラインCCDを用いることもでき、また、3つの点受光素子(R、G、B用)を用いることもできる。なお、これらの場合において、白色応答光を走査する走査装置は、レーザ光L1を走査する走査装置と兼用又は一部を兼用することもできる。
【0042】
また、第2受光素子としては、カラーCCDの他にMOS型などの他の固体撮像素子や複数の撮像管を組み合わせたテレビカメラなどを用いることもできる。
【0043】
ところで、図1を参照して説明した第1実施形態では、レーザ光L1および白色光L2の反射光を、それぞれ、第1受光素子19bおよびカラーCCD25に受光させることとしたが、第2、第3の実施態様も含めて、試料wを透過した透過光や、また、レーザ光1を励起光として試料に照射した時に励起される蛍光を、励起光を遮断するフィルタを通過させ、その光を第1受光素子に受光させるものであってもよい。
【0044】
また、第1〜第3の実施形態では、色彩を光の三原色に分解したが、補色系(黄、シアン、緑)に分解してもよい。また、色情報として色差信号や、CIELAB(L*a*b*)表色系信号を用いてもよい。
【0045】
また、図1などを参照して説明したコンフォーカル顕微鏡は、前述したように反射型であってよいが、透過型であってもよく、また、蛍光を用いた顕微鏡であってもよく、また、非コンフォーカルモード兼コンフォーカルモード用の光源として、紫外線領域、可視領域、赤外線領域の波長の複数の光源や単色光を放射する光源(典型的な例として高輝度ランプ)を備えたものであってもよい。
【0046】
また、コンフォーカル顕微鏡は、図1に例示したように共焦点(コンフォーカル)光学系1が単一であってよいが複数であってもよい。具体的な例としては、輝度情報を得るための光源としてRGBの3つの光源を具備し、各光源毎に独立した無限遠補正光学系レンズを配置して、これら無限遠補正光学系レンズと共通の対物レンズとで、各光源毎の無限遠補正光学系を構成するようにしてもよいし、一組の対物レンズと無限遠補正光学系レンズをRGBの3つの光源が共用するようしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施形態の走査顕微鏡の概略構成図である。
【図2】ブロック図である。
【図3】撮像領域を示す平面図である。
【図4】第2の実施の形態の走査顕微鏡の概略構成図である。
【図5】第3の実施の形態の走査顕微鏡の概略構成図である。
【図6】第4の実施の形態のレーザ照射顕微鏡又はレーザリペア顕微鏡の概略構成図である。
【符号の説明】
1 第1光学系
2 第2光学系
16 結像レンズ(第1)
17 無限遠補正光学系対物レンズ
18 結像レンズ(第2)
19b 第1受光素子
20 色情報用の照明光(白色光源)
24 結像レンズ(第3)
25 第2受光素子
L1 レーザ光
L2 白色照明光
Claims (1)
- 対物レンズを共用する第1、第2の2つの光学系を含み、これら第1、第2の光学系が、夫々、光源を有する顕微鏡であって、
前記第1光学系が、
単色光を放射する第1光源と、
該第1光源から放射される単色光を偏向させ、当該単色光により試料を一次元的又は二次元的に走査するための走査装置と、
該走査装置により偏向された前記単色光を受けるリレーレンズと、
前記対物レンズと協働して無限遠補正光学系を構成し且つ前記リレーレンズからの前記単色光が前記対物レンズを通って前記試料に集光するように配置される第1結像レンズと、
前記試料からの前記単色光による応答光を前記対物レンズ、前記第1結像レンズ、前記リレーレンズ、前記走査装置を介して受けて該応答光を集光する第2結像レンズと、
前記第2結像レンズからの前記応答光を受光する第1受光手段とを有するコンフォーカル光学系であり、
前記第2光学系が、
前記単色光とは波長の異なる色情報用照明光を放射する第2光源と、
前記対物レンズと協働して無限遠補正光学系を構成する第3結像レンズと、
試料からの応答光を受光する二次元固体撮像素子を有する第2受光手段とを有し、
前記第2光源からの色情報用照明光が、前記対物レンズを通って試料に集光すると共に、該試料からの応答光が前記第3結像レンズを通って前記第2受光手段に入射する非コンフォーカル光学系であり、
前記第1受光手段からの輝度情報と前記第2受光手段からの色情報とに基づいて、カラー映像用の信号を得るカラー映像信号作成手段を更に有することを特徴とする複数の光源を備えた顕微鏡。
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