KR930011902B1 - 유리기판 세정장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

유리기판 세정장치

제1도는 본 발명 장치의 개략사시도.

제2도는 종래 장치의 개략사시도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 수조 2 : 안내레일부재

3 : 안내로울러 4 : 노즐부재

5 : 세정액 공급관 6 : 스프라켓

7 : 체인 8 : 왕복운동기구

9 : 유리기판 10 : 유리기판 장치 카세트

본 발명은 유리기판 세정장치에 관한 것으로, 특히 유리기판의 세정효율을 향상시킴과 동시에 세정액의 소요량도 감소시킬 수 있는 유리기판 세정장치에 관한 것이다.

일반적으로 표시장치용 유리기판에 도전막등을 형성시키거나 반도체 웨이퍼등을 제작할때, 미리 유리기판상에 부착된 이물질 및 불순물을 제거하기 위해 질소(N₂) 혹은 순수(純水)로써 세정작업을 실시하게 된다.

이와 같은 세정작업을 위한 종래 세정장치는 제2도에 도시된 바와 같이, 직6면체 형상의 수조(20)의 길이방향 상단부 양쪽 가장자리부에 세정액을 분사하는 노즐부재(21)가 각각 고정설치되고, 이들 노즐부재(21)의 아랫쪽 수조(20) 내부공간에는 세정하고자 하는 다수의 유리기판(22)을 끼우는 기판장착 카세트(23)가 수직으로 세워 배열되며, 수조(20)의 일측면에는 수조(20)내의 상기 노즐부재(21)에 세정액을 공급해주도록 세정액 공급판(24)이 연결된 구조로 되어 있어 상기 노즐부재(21)로부터 45° 내지 60°각도로 세정액이 분사되면서 기판장착 카세트(23)에 장착된 유리기판(22)을 세정시키도록 되어 있다.

그러나 상기와 같은 구조로 된 종래 세정장치는, 세정액을 분사하는 노즐부재(21)가 수조(20)의 상단 양쪽 가장자리부에 고정되어 있으므로, 분사 각도를 벗어난 곳, 특히 중앙에 위치된 유리기판(22)은 세정상태가 양호하지 못하여 전체 유리기판(22)을 균일하게 세정할 수가 없어 세정시간이 길어질 뿐만 아니라, 이로 인해 세정액이 과다하게 소모된다고 하는 결점이 있었다.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 제반 결점을 해결하기 위해 발명된 것으로, 본 발명은 세정액을 분사하는 노즐부재를 수조 상단에서 왕복이동 가능하게 배설해서 유리기판의 세정 작업이 단시간에 균일하게 이루어지도록 하여 세정효률을 향상시킴과 동시에, 세정액의 소비량도 감소시킬 수 있도록 한 유리기판 세정장치를 제공함에 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 수조 내부공간에 장착된 유리기판 장착카세트에 배열된 유리기판을 세정시키도록 노즐부재를 구비한 유리기판 세정장치에 있어서, 상기 수조의 상단측면에 형성된 개구부에 장착된 안내레일부재와, 상기 안내레일부재상에서 상기 노즐부재를 왕복이동시키면서 상기 유리기판 장착카세트에 배열된 유리기판에 세정액을 분사시키도록 상기 노즐부재를 구동하는 왕복운동기구를 구비한 것을 특징으로 한다.

따라서 상기와 같은 구성으로 된 본 발명은 왕복운동기구가 동작됨에 따라 이에 연결된 노즐부재가 수조 측벽에 갖춰진 아아치 형상의 안내레일부재를 따라 왕복이동하면서 세정액을 소정각도로 분사하므로, 이 수조 내부공간에 배열된 유리기판을 균일하게 세정시킬 수 있으며, 또한 세정작업시간을 단축시킬 수 있을 뿐만 아니라, 세정액 소비를 절감할 수 있게 되는 것이다.

이하, 본 발명을 첨부된 예시도면에 의거 상세히 설명한다.

본 발명의 세정장치는 제1도에 도시된 바와 같이, 직6면체 형상으로 된 수조(1)의 길이방향 한쪽 또는 양쪽 측벽(1a) 상단에 소정곡률을 갖도록 중앙부가 볼록한 아아치 형상의 안내레일부재(2)가 수조(1)의 길이방향의 60%를 점유하도록 설치되고, 이 안내레일부재(2)상에는 그 사이를 가로질러 한쪽 선단 또는 양쪽 선단에 안내로울러(3)가 장착됨과 동시에 소정직경의 세정액 분사구멍(4a)이 형성된 노즐부재(4)가 설치되어 있다. 즉, 이 안내로울러(3)가 상기 안내레일부재(2)상에서 제1도에서 좌측 또는 우측으로 안내되면서 자유로이 이동할 수 있도록 되어 있다. 상기 노즐부재(4)의 한쪽 선단에는 N₂또는 순수와 같은 세정액 공급장치(도시안됨)로부터 세정액을 공급받아 이 노즐부재(4)에 공급하는 세정액 공급관(5)이 연결되어 있다.

또한, 상기 노즐부재(4)의 안내로울러(3)가 안내레일부재(2)를 따라 왕복이동되도록 상기 노즐부재(4)의 한쪽 선단에는 스프라켓(6)과 체인(7)으로 구성된 왕복운동기구(8)가 연결되어 있고, 상기 수조(1)의 내부공간에는 세정하고자 하는 다수의 유리기판(9)을 소정간격을 두고 각각 재치되도록 유리기판 장착카세트(10)가 수직으로 세워져 배설되어 있다.

다음에, 상기와 같이 구성된 본 발명의 작용 효과를 설명한다.

먼저, 세정하고자 하는 유리기판(9)이 장착된 다수개의 유리기판 장착카세트(10)를 수조(1)의 내부공간에 수직으로 세워 배열한 다음, 왕복운동기구(8)를 도시하지 않은 모터로 구동시키면, 스프라켓(6)이 회전되므로 체인(7)이 회전되어 체인(7)에 결합된 안내로울러(3) 측면에 배설된 풀리가 회전하여 안내로울러(3)를 회전시켜서 노즐부재(4)에 전달되므로, 이 노즐부재(4)의 안내로울러(3)가 안내레일부재(2)를 따라 좌회전 또는 우회전되어 노즐부재(4)가 1분당 10회 정도의 속도로 직선왕복운동하게 된다.

이와 동시에, 세정액 공급장치(도시안됨)의 밸브수단을 개방시키면 세정액 공급판(5)을 통해 세정액이 왕복운동하고 있는 노즐부재(4)에 유입되어, 노즐부재(4)로부터 소정각도, 예컨대 45°∼60°각도로 아랫쪽 방향으로 분사된다. 이때, 수조(1) 내부공간에 배열된 유리기판(9)에는 세정액이 골고루 분사되므로, 종래의 세정장치에 비하여 모든 유리기판(9)의 세정작업이 균일하게 이루어짐과 동시에, 세정작업시간이 단축됨과 동시에 소비되는 세정액의 양을 감소시킬 수 있다.

한편, 상기 설명에서는 노즐부재(4)를 왕복운동시켜주기 위한 왕복운동기구(8)가 스프라켓(6)과 체인(7)으로 구성된 경우를 설명하였으나, 본 발명의 다른 실시예로써 링크등과 같은 다른 동력전달장치를 사용할 수도 있고, 또 상기 노즐부재(4)의 분사구멍(4a)의 직경 및 왕복운동 횟수는 수조(1)의 크기라던가 세정하고자 하는 유리기판(9)의 갯수 및 소요 세정액의 양에 따라 왕복운동기구(8)의 회전수를 증감시켜 조절할 수 있음은 물론이다.

이상의 설명에서와 같이 본 발명은, 수조(1)의 상단 측벽(1a)의 개구부에 아아치 형상이 안내레일부재(2)가 장착되고, 이 안내레일부재(2)에는 노즐부재(4)가 안내로울러(3)를 매개하여 왕복운동기구(8)에 의해 왕복운동하면서 세정액을 유리기판 장착카세트(10)에 재치되어 있는 유리기판(9)에 분사할 수 있도록 설치되어 있으므로, 수조(1) 내부공간에 장착된 유리기판 장착카세트(10)내에 배열된 유리기판(9)에 세정액이 골고루 균일하게 분사하여 유리기판(9)을 세정시킴으로써 세정작업 시간을 단축시키며 또한 세정효율을 향상시킴과 동시에 소요되는 세정액의 양을 감소시킬 수 있다는 효과가 있다.

Claims (4)

1. 수조(1) 내부공간에 장착된 유리기판 장착카세트(10)에 배열된 유리기판(9)을 세정시키도록 노즐부재(4)를 구비한 유리기판 세정장치에 있어서, 상기 수조(1)의 상단측면(1a)에 형성된 개구부에 장착된 안내 레일부재(2)와, 상기 안내레일부재(2)상에서 상기 노즐부재(4)를 왕복이동시키면서 상기 유리기판 장착카세트(10)에 배열된 유리기판(9)에 세정액을 분사시키도록 상기 노즐부재(4)를 구동하는 왕복운동기구(8)를 구비한 것을 특징으로 하는 유리기판 세정장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 안내레일부재(2)는 중앙부가 볼록한 아아치 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 유리기판 세정장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 노즐부재(4)의 선단에는 상기 안내레일부재(2)상에 장착되어 자유로이 왕복이동되도록 안내로울러(3)가 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 유리기판 세정장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 왕복운동기구(8)는 스프라켓(6)과, 상기 스프라켓(6)에 일측이 편가되고 타측이 안내로울러(3)의 측면에 배설된 풀리에 현가되어 있는 체인(7)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 유리기판 세정장치.

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