KR930008138B1 - 감광제 도포장치 - Google Patents

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삼성전자 주식회사
김광호
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    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor

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Abstract

내용 없음.

Description

감광제 도포장치
제 1a 도는 종래의 감광제 도포장치를 개략적으로 나타낸 구조도, 제 1b 도는 종래의 감광제 도포장치에 의해 기판이 감광제로 도포된 상태의 단면도.
제 2a 도는 이 발명에 따른 감광제 도포장치를 개략적으로 나타낸 구조도, 제 2b 도는 이 발명에 따른 감광제 도포장치의 평면도, 제 2c 도는 이 발명에 따른 감광제 도포장치에 의해 기판이 감광제로 도포된 상태의 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1, 11 : 모터 2, 12 : 기판 홀더
3, 13 : 감광제 4, 14 : 노즐
5, 15 : 기판 16 : 진공흡입장치
16a : 흡입구
이 발명은 감광제 도포장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 박막 트랜지스터(TFT)가 이용되는 액정 표시소자를 제조함에 있어서 상기 박막 트랜지스터의 제조공정중 사진 식각 공정에서의 감광제 도포장치에 관한 것이다.
일반적으로, 박막 트랜지스터(TFT)를 이용하는 액정표시소자는 상기 박막 트랜지스터를 제조함에 있어서, 기판상에 패턴을 형성하기 위한 사진 식각 공정을 위해 기판상에 감광제를 도포하게 된다.
따라서, 종래에는 제 1a 도에 나타낸 바와같이, 모터(1)에 의해 회전가능한 기판홀더(2)를 설치하고, 상기 기판홀더(2)의 상측으로 감광제(3)가 흘러 나올수 있는 노즐(4)이 설치된 것으로, 상기 기판홀더(2)상에 감광제(3)를 도포할 기판(5)을 올려놓고, 기판홀더(2)의 바닥면에 설치된 진공흡입장치(도시않음)로 기판(5)을 흡입하여 움직이지 않도록 고정한 다음, 모터(1)를 구동시키면 기판(5) 및 기판홀더(2)가 회전하는 것이고, 이대 감광제(3)가 노즐(4)을 통해 기판(5) 상면으로 흘러 나오게 되면, 기판(5)이 회전함에 따른 원심력에 의해 감광제 (5)가 골고루 퍼져 기판(5)상에 도포되는 것이다.
그러나, 상기와 같은 종래의 감광제 도포장치는, 제 1b 도에서와 같이, 원심력에 의해 기판(5)의 테두리부로 밀린 감광제(3)의 두께가 전체적으로 균일하지 않게 됨은 물론 구심력에 의하여 기판(5)의 후면 테두리부에도 감광제(3)가 묻게되는 문제점이 발생하였고, 또한 상기와 같은 감광제(3) 도포공정이 약 10회 이상 반복하여 적층하는 것이기 때문에 노광시 기판의 두께 차이로 인해 비틀림이 생기게 되면, 각층마다 배열이 맞지 않게 되는 불량이 발생하게 되는 것이다.
따라서, 기판상에 도포되는 감광제의 평면도 유지는 아주 중요한 공정인 것이고, 기판 저면의 가장자리에도 감광제가 묻게되면 기판의 평면도에 영향이 주어지므로 이의 제거도 역시 중요한 문제로 되었던 것이다.
이 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 이 발명의 목적은 회전하는 기판의 원심력에 의해 기판 테두리부로 밀려 높아진 감광제 및 기판의 저면 테두리부에 묻은 감광제를 강한 진공흡입장치로 빨아들여 기판상에 도포되는 감광제가 전체적으로 균일한 평면도를 유지할 수 있고, 기판의 저면 테두리부에 묻은 감광제를 완전 제거시킬 수 있는 액정표시소자 제조공정에서의 감광제 도포장치를 제공하는데 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 이 발명은, 모터에 의해 회전 자유롭게 설치된 기판홀더상에 기판을 올려놓고 회전시키면서 기판홀더상측에 설치된 노즐을 통해 감광제를 흘려 보내는 것에 의해 기판상에 감광제가 도포되도록 함에 있어서, 상기 기판홀더상에 올려진 기판의 테두리부 둘레로 이 테두리부와 소정간격 떨어진 흡입구가 위치된 진공흡입장치를 상기 기판홀더 및 기판과 함께 회전하도록 설치하여 된 액정표시소자 제조공정에서의 감광제 도포장치에 그 특징이 있다.
이하, 이 발명에 따른 실시예를 첨부도면에 의하여 상세하게 설명한다. 제 2a, 2b 도의 이 발명에 따른 액정표시소자 제조공정의 감광제 도포장치를 나타낸 것으로, 모터(11)에 의해 자유롭게 회전되도록 기판홀더(12)를 설치하고, 상기 기판홀더(12)의 상부에는 감광제(13)를 흘려보내는 노즐(14)이 설치된다.
또한, 상기 기판홀더(14)상에 올려지는 기판(15)의 테두리부 둘레로 이 테두리부와 소정간격 이격시켜 흡입구(16a)가 위치되도록 하여 진공흡입장치(16)를 설치하고, 이 진공흡입장치(16)는 기판홀더(12)와 함께 회전되도록 설치한다.
이와같은 이 발명은 기판홀더(12) 상에 감광제(13)를 도포할 기판(15)을 올려놓고, 기판홀더(12) 바닥면에 설치된 진공흡입장치(도시않음)로서 기판(15)을 흡입하여 기판(15)이 움직이지 않도록 고정한 다음, 모터(11)를 구동시켜 기판(15)이 고정된 기판홀더(12) 및 진공흡입장치(16)를 함께 회전시킨다. 따라서, 감광제(13)가 노즐(14)을 통해 기판(15)상으로 흘려지면, 기판(15) 및 기판홀더(12)가 회전하므로 이로인한 원심력에 의해 감광제(13)가 기판(15)상에 균일하게 퍼지면서 도포되는 것이고, 이때 기판(15)의 테두리부에서 감광제(13)가 밀려 두꺼워지게 되는데, 이 두꺼워진 부위의 감광제(B)는 기판(15)의 테두리부 둘레로 흡입구(16a)가 위치된 진공흡입장치(16)에 의해 흡입구(16a)로 빨려 들어가게 되므로, 제 2c 도에서와 같이 기판(15) 전체에 걸쳐 감광제(13)가 균일하게 도포될 수 있는 것이며, 기판(15)의 저면 테두리부에 묻은 감광제(13)도 빨아들여 제거할 수 있는 것이다.
이상에서와 같이 이 발명에 의하면, 기판홀더에 올려진 기판의 테두리부 둘레로 이 테두리부와 소정간격 떨어진 흡입구가 위치되도록 진공흡입장치가 설치되어 기판 및 기판홀더와 함께 회전하면서 기판상의 가장자리부위가 두꺼운데 이 부위의 감광제를 빨아들여 전체적으로 균일한 상태를 유지할 수 있게 되고, 구심력에 의한 기판의 후면 테두리부에 감광제가 묻지 않도록 빨아들임으로써 기판상에 감광제에 의한 불균일성 또는 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
또한 이 발명은 진공흡입장치로 빨아들인 감광제를 모아 다시 사용할 수도 있어 경제적인 이점이 있는 것이다.

Claims (1)

  1. 모터(11)에 의해 회전자유롭게 설치된 기판홀더(12)상에 기판(15)을 올려놓고 회전시키면서 기판홀더(12)상측에 설치된 노즐(14)을 통해 감광제(13)를 흘려 보내는 것에 의해 기판(15)상에 감광제(13)가 도포되도록 함에 있어서, 상기 기판홀더(12)상에 올려진 기판(15)의 테두리부 둘레로 이 테두리부와 소정간격 떨어진 흡입구(16a)가 위치된 진공흡입장치(16)를 설치하여 상기 기판홀더(12) 및 기판(15)과 함께 회전하도록 설치하여 됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조공정에서의 감광제 도포장치.
KR1019900017632A 1990-10-31 1990-10-31 감광제 도포장치 KR930008138B1 (ko)

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