KR920008539A - 감광제 도포장치 - Google Patents

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KR920008539A
KR920008539A KR1019900017632A KR900017632A KR920008539A KR 920008539 A KR920008539 A KR 920008539A KR 1019900017632 A KR1019900017632 A KR 1019900017632A KR 900017632 A KR900017632 A KR 900017632A KR 920008539 A KR920008539 A KR 920008539A
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윤기천
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김정배
삼성전자 주식회사
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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

내용 없음.

Description

감광제 도포장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1a 도는 종래의 감광제 도포장치를 개략적으로 나타낸 구조도, 제 1b 도는 종래의 감광제 도포장치에 의해 기판이 감광제로 도포된 상태의 단면도.
제 2a 도는 이 발명에 따른 감광제 도포장치를 개략적으로 나타낸 구조도, 제 2b 도는 이 발명에 따른 감광제 도포장치의 평면도, 제 2c 도는 이 발명에 따른 감광제 도포장치에 의해 기판이 감광제로 도포된 상태의 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1, 11 : 모터 2, 12 : 기판 홀더
3, 13 : 감광제 4, 14 : 노즐
5, 15 : 기판 16 : 진공흡입장치
16a : 흡입구

Claims (1)

  1. 모터(11)에 의해 회전자유롭게 설치된 기판홀더(12)상에 기판(15)을 올려놓고 회전시키면서 기판홀더(12)상측에 설치된 노즐(14)을 통해 감광제(13)를 흘려 보내는 것에 의해 기판(15)상에 감광제(13)가 도포되도록 함에 있어서, 상기 기판홀더(12)상에 올려진 기판(15)의 테두리부 둘레로 이 테두리부와 소정간격 떨어진 흡입구(16a)가 위치된 진공흡입장치(16)를 설치하여 상기 기판홀더(12) 및 기판(15)과 함께 회전하도록 설치하여 됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조공정에서의 감광제 도포장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
KR1019900017632A 1990-10-31 1990-10-31 감광제 도포장치 KR930008138B1 (ko)

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