KR930007570B1 - 슬라이싱기계의 내주칼 드레싱 방법 및 장치 - Google Patents

슬라이싱기계의 내주칼 드레싱 방법 및 장치 Download PDF

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카쯔오 혼다
마사토 이나무라
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가부시키가이샤 토쿄세이미쯔
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Abstract

내용 없음.

Description

슬라이싱기계의 내주칼 드레싱 방법 및 장치
제1도는 슬라이싱기계의 개략형상을 나타내는 사시도,
제2도는 드레싱장치의 제어계를 나타내는 블록도,
제3도는 드레싱장치의 구동기구를 나타내는 설명도,
제4도는 인고트의 단면형상의 측정장치를 나타내는 사시도,
제5도는 인고트를 내주칼로 절단하는 상태를 나타내는 단면도,
제6도는 내주칼의 칼날을 나타내는 확대 단면도,
제7도(a)는 내주칼의 드레싱 상태를 나타내는 사시도,
제7도(b)는 제7도(a)의 B방향에서 본 도면,
제7도(c)는 제7도(b)의 C방향에서 본 도면,
제7도(d)는 제7도(b)의 D방향에서 본 도면,
제8도는 드레싱 스틱에 의한 드레싱 방법을 나타내는 설명도,
제9도 및 제10도는 드레싱 스틱에 의한 내주칼의 드레싱 상태를 나타내는 설명도,
제11도 및 제12도는 드레싱 스틱과 내주칼의 칼날과의 관계를 나타내는 설명도,
제13도는 드레싱 스틱에 의한 내주칼의 트루잉 상태를 나타내는 설명도,
제14도는 2개의 드레싱 스틱을 이용한 드레싱장치를 나타내는 단면도,
제15도(a)(b)는 상측 드레싱 스틱과 내주칼의 칼날과의 관계를 나타내는 설명도,
제16도(a)(b)는 하측 드레싱 스틱과 내주칼의 칼날과의 관계를 나타내는 설명도,
제17도는 드레싱 스틱의 구동축 나사부와 나합되는 개폐가능한 닛트를 나타내는 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 인고트 10 : 내주칼
11 : 칼날 12 : 드레싱스틱
50 : 드레싱장치 30,54,57,58 : 모터
60 : 제어부 62 : 절단저항 검출기
63 : 회전수 검출기 64 : 내주칼 변위검출기
66 : 인고트 단면 형상검출기 73,83 : 스틱축,
77,84A : 실린더 76,86 : 나사부
79, 85 : 1방향 클러치 87,87',88,88' : 너트
81 : 모터
본 발명은 반도체 제조공정에 있어서 실리콘등의 인고트를 얇은 웨이퍼로 절단하는 슬라이싱기계(Slicing machine)에 사용되는 내주칼(內周刀)의 칼날을 드레싱(dressing : 칼날을 세우기 위한 연삭공정)하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다.
슬라이싱기계에 있어서, 내주칼의 절단정도가 나빠지면, 그대의 악화상태를 판단하여 내주칼의 칼날에 대한 적당한 드레싱을 행하고 있다.
여기서 내주칼의 칼날은 다이아몬드 분말을 도너츠형 금속판으로된 내주칼의 내주연에 고착형성한 것으로 이것에 밀도가 고운 지석(砥石)을 붙여서 드레싱 하던가, 인고트 절단시의 내주칼 만곡방향, 절단저항등으로 드레싱부위를 판단하고, 지석을 붙힌쪽을 조정하고 있다.
다시 말하면, 어떠한 드레싱을 할 것인지는 작업자 스스로가 판단하여 선택하므로 이러한 것은 결코 합리적인 것이 되지 못하였다. 또한, 고속회전하는 내주칼에 드레싱 스틱을 손으로 누르는 작업은 위험을 수반하는 결점이 있었다.
본 발명은, 이와같은 사정을 감안하여서 된 것으로 작업자의 감각등에 의하지 않고, 자동적으로 드레싱 작업을 행할 수 있는 슬라이싱기계의 내주칼 드레싱 방법 및 장치를 제공하는데 목적이 있다.
이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 제어부에 내주칼의 경력을 사전에 기억시킨 다음, 인고트 절단중의 절단저항치와, 인고트 절단중의 내주칼의 변위량 및 인고트 절단후의 인고트 단면형상을 제어부에 입력한다. 그러면 제어부는 이들 데이터와 미리 기억하고 있는 기준 절단저항치, 내주칼의 변위량 및 인고트 단면형상을 비교하여 필요한 드레싱처치를 결정한다. 이러한 결정에 따라 드레싱장치의 드레싱 스틱이 구동되어 내주칼이 드레싱된다.
본 발명에 따른 슬라이싱기계의 내주칼을 드레싱하기 위한 방법 및 장치의 바람직한 실시예를 이하 첨부한 도면에 의거하여 상세히 설명한다. 첨부도면중 유사한 참조부호는 동일 또는 유사한 부품을 표시한다.
제1도에 도시한 바와같이, 도우닛형 내주칼(10)이 슬라이싱기계에 회전 가능하게 배치되는바, 이 내주칼(10)은 제2도에 도시한 바와같이 모터(30)에 의해 고속회전될 수 있다. 내주칼(10)의 내주연에는 다이아몬드 분말을 고착시켜 형성된 칼날(11)이 형성된다. 칼날(11)은 드레싱장치(50)의 선단부에 배치된 드레싱스틱(12)에 의해 드레싱된다. 드레싱장치(50)은 작동은 제어부(60)에 의해 제어될 수 있다.
드레싱장치(50)의 상세한 구조는 제3도에 상세히 도시하였는바, 제3도에 도시한 바와같이 드레싱장치(50)는 아암(51)을 갖는다. 아암(51)에는 횡방향으로 연장된 나사봉(52)이 제공되며, 나사봉(52)에는 역 L자형의 수평방향이동대(53)가 나사식으로 결합되어 있다. 나사봉(52)은 모터(54)에 의해 회전구동되어 이동대(53)를 수평방향으로 이동시킨다. 수평방향이동대(53)에는 상ㆍ하방향으로 연장된 나사봉(55)이 설치되는 바, 이 나사봉(55)에는 상하방향이동대(56)가 나사식으로 결합된다. 나사봉(55)은 모터(57)에 의해 회전구동되어 이동대(56)를 상ㆍ하방향으로 이동시킨다. 이동대(56)에는 모터(58)가 장착되는바, 모터(58)는 기어전달기구(59)를 매개로 드레싱스틱(12)을 회전 구동시킨다.
제1도에 도시한 바와같은 실리콘 인고트(1)는 지주(70)에 의해 상하 이동가능하게 지지되는바, 지주(70)는 테이블(80)에 설치되어 있다. 이 테이블(80)은 슬라이싱기계의 본체상에서 제1도에 도시한 화살표(A 및 B)방향으로 왕복운동할 수 있도록 설치되어 있다. 이러한 구조로 인하여, 인고트(1)는 고속회전하는 내주칼(10)의 칼날(11)에 압축되어 박편형 웨이퍼로 제작될 수 있다.
제2도에 도시한 제어부(60)에는 내주칼(10)의 경력이 입력된다. 예컨대 내주칼(10)의 경력은 내주칼(10)의 사용개시 이래 절단된 웨이퍼의 수, 그간에 수행되어진 드레싱의 수 및 종류, 드레싱으로부터 절단된 웨이퍼의 수, 내주칼(10)의 교체수, 칼날의 장력시험수, 내주칼의 절단경향 및 내주칼(10)의 기타 경력을 포함한다. 즉, 이들 데이타는 제어부(60)에 잇달아 기억된다.
본 드레싱장치에 있어서, 검출기로부터의 신호가 제어부(60)에 입력되고, 제어부(60)는 검출신호와 내주칼(10)의 경력을 판단하여 드레싱의 방식을 결정한다. 따라서, 이하 본 발명에 사용된 검출기의 일예에 대해 설명한다.
우선, 절단저항검출기(62)에 대해 설명한다. 내주칼(10)을 고속으로 회전시켜 인고트(1)을 회전하는 내주칼(10)에 밀어넣으므로써 절단되는 경우 발생되는 절단저항을 검출하는 검출기로서 전력계(62)가 이용되었다. 이 전력계(62)는 1매의 웨이퍼의 절단완료에 필요한 소비전력과, 절단공정중의 소비전력의 변동신호를 제어부(60)에 전송하여 절단저항을 검출한다. 그러나, 이러한 목적을 위해 다른 형태의 검출수단의 이용될 수 있다. 예컨대, 스핀들의 회전수의 변화를 회전수검출기(63)로 검출하고, 제어부(60)에 전송하여 절단저항을 검출하는 방법등이 있다.
또다른 검출기인 내주칼 변위검출기(64)에 대해 설명한다. 제2도에 도시한 바와같이, 내주칼(10)의 면으로부터 약간 이격된 곳에 변위검출기(64)를 고정하여, 내주칼(10)과 변위검출기(64)간의 간격변화를 검출한다. 즉, 내주칼(10)의 일방향에서의 변위와, 진동을 검출한 다음 제어부(60)에 전송한다. 이러한 변위검출기(64)에는 공지의 비접촉식 광센서와 같은 것이 이용될 수 있다.
다른 형태의 검출기인 인고트 단면형상검출기(66)에 대해 설명한다. 이 검출기(66)는 1매의 웨이퍼를 완전히 절단한후 인고트(1)의 단면형상의 개략을 검지하는데 이용된다. 제4도에 도시한 바와같이, 인고트(1)의 절단직후의 인고트 단면상에 대해 T자형 부재(3)를 아래로부터 상향으로 압축한다. 부재(3)에는 부재(3)의 직경방향의 위치에 각각 설치된 돌기(4,5)가 형성된다. 또한, 인고트 단면형상 검출기(66)는 인고트 단면의 상ㆍ하 변위를 검출하는 접촉자(7)를 포함한다. 변위검출기(66)의 접촉자(7)는 T형 부재(3)의 돌기(4,5)를 연결하는 선의 중심에 배치된다. 그리고, 돌기(4,5)를 연결하는 선에 대해 직각으로 배치되어 돌기(4,5)와 동일한 원주상으로 배치된 돌기(6)가 설치되어 있다. 이러한 인고트 단면(2)에 돌기(4,5,6)를 압축시키므로써 이들 돌기에 의해 형성된 면이 변위검출기의 접촉자(7)에 의해 검출된다. 1회의 측정이 수행된 후, T형 부재(3)를 90°회전시켜 상기의 면을 교차하는 방향에서 다른 측정을 수행한다. 기준면의 측정값과, 이들 2개의 측정에 의해 얻어진 값을 비교함으로써, 인고트(1)의 단면(2) 형성을 추정할 수 있다. 기준면으로부터의 단면의 굴곡방향과 이러한 굴곡 크기는 이들 2회의 측정시 접촉자(7)의 변위량에 의해 결정될 수 있다. 인고트 단면형상은 칼날(11)의 상ㆍ하측면의 절단도의 차이에 의해 주로 굴곡된다. 즉, 단면은 칼날(11)의 일측면이 무뎌지기 때문에 굴곡된다.
이상의 검출기(62,64,66)중 어느 하나를 사용함으로써, 인고트(1)의 절단중 또는 절단후에 얻어지는 검출기 데이터로부터 내주칼(10)의 칼날의 무뎌짐 홈 또는 중심편위와 같은 여러가지 상태를 파악할 수 있다.
제5도에는 내주칼(10)의 칼날(11)을 확대 도시하였다. 전술하 바와같이, 내주칼(10)은 금속박판으로 형성된 도우닛형 칼이며 그의 내주연에는 다이아몬드 분말을 고착형성한 칼날(11)이 제공되어 있다. 동작시에 인고트(1)는 내주칼(10)이 회전하는 동안 내주칼(10)의 칼날(11)에 대해 압축되어 웨이퍼로 절단된다. 칼날(11)의 형태가 변경될 경우에는 다음의 방법에 의해 다시 형성될 수 있다. 즉, 칼날(11)이 절단작업에의해 마모변형될 경우, 칼날(11)의 변형을 정규의 형상으로 수정한다. 이것을 트루잉공정(truing)(I)이라 하며, 이 트루잉 공정은 제6도이 a,b로 도시한 칼날(11)의 부분을 수정하는데 이용된다.
칼날(11)을 설정하기 위한 다른 수단은 드레싱공정(II)이라 한다. 이 드레싱공정은 칼날전체(제6도의 범위 a,b,c,d)의 절단정도를 회복하기 위한 전체의 드레싱공정과, 칼날(11)의 상반부(a)를 드레싱하기 위한 상반부 드레싱공정과, 칼날(11)의 하반부(b)를 드레싱하기 위한 하반부 드레싱공정 및 칼날(11)의 중앙부(제6도의 c,d)를 드레싱하기 위한 중앙부 드레싱공정을 포함한다.
트루잉공정(I)을 위해 경질의 다이어몬드 지석 또는 세라믹 지석 등에는 홈을 형성시키고, 그의 홈에 칼날(11)이 삽입되어 홈안에서 회전한다. 또한 드레싱공정(II)을 위해, 조밀한 지석이 사용되는바, 지석이 칼날(11)의 필요한 부분에 압축되어 지석을 깎아내는 동안 소정의 필요한 부분이 드레싱된다.
본 명세서에서 "드레싱"이라는 용어는 상기의 두개의 작업(I)(II)을 칭하며, 이러한 드레싱공정을 하기위한 장치를 드레싱장치라 일컫는다.
본 발명에 있어서, 제7도(a)(b)(c)에 도시한 바와같이, 드레싱스틱(12)을 사용하여 상기의 공정(I)(II)을 수행한다. 여기에서, 드레싱스틱(12)은 축(13)에 고정되고, 축(13)은 내주칼(10)의 면에 대해 경사지게 지지되어 있다. 드레싱스틱(12) 또는 축(13)은 저속회전하여 축(13)의 종방향으로 직선운동함과 동시에 칼날(11)에 대해 드레싱스틱을 압축하기 위하여 수평이동을 할 수 있도록 배치된다. 드레싱스틱(12)의 상부에는 트루잉공정(1)용 경질재로 지석(14)이 설치되고, 지석(14)에는 홈(15)이 형성된다.
또한, 제8도에 도시한 바와같이 원통형 지석이 지석(14) 대신 이용될 수도 있다. 이 경우, 내주칼(10)은 제8도에 도시한 좌측으로부터 우측으로 회전하여 원통형 지석을 절단한다. 또한, 내주칼(10)용 홈을 형성한 원통형 지석 이용될 수도 있다.
또한, 제6도에 도시한 각각의 부분(a,b,c,d)의 드레싱공정은 드레싱스틱(12)의 상승ㆍ하강 및 회전운동의 조합에 의해 하기의 표-1와 같이 선택적으로 수행될 수 있다.
[표 1]
Figure kpo00001
표-1의 내용을 설명한다.
제7도에 도시한 바와같이 드레싱스틱(12)이 시계방향(CW)으로 회전하는 동안 상승할 경우, 내주칼(10)면에는 제9도에 도시한 바와같은 부위가 제공된다. 이 상태에서, 드레싱스틱(12)에 의해 실제로 연삭되는 것은 제9도에 도시한 바와같이, 내주칼(10)의 칼날(11)의 선단부이고, 특히 회전축이 경사져 있기 때문에 실제로 연삭되는 것은 드레싱스틱(12)의 중심으로부터 볼때 좌측으로 표시되는 선단부의 부분이다. 특히, 스틱(12)이 상승하는 동안의 연삭작업을 수행하기 때문에 스틱(12)은 선단부의 좌측부의 하부에만 인접될 수 있다. 또한, 스틱(12)의 이동방향을 고려할 경우, 제10도 도시한 바와같이 드레싱스틱(12)은 내주칼의 선단부로부터 그의 기저부를 향해 이동함을 알 수 있다.
상기의 상태에 비추어, 연삭되어지는 부분이 칼날(11)의 선단부로 간주될 경우 제11도에 도시한 바와같은 드레싱 상태를 얻게된다. 즉, 드레싱스틱(12)이 시계방향(CW)으로 회전하는 동안 상승할 경우, 칼날(11)의 선단부(즉, 제6도의 b부분)가 제11도에서 알 수 있는 바와같이 드레싱된다.
그 다음, 스틱(12)이 반대방향 즉 반시계방향으로 회전하는 경우, 스틱(12)의 이동방향은 바뀌어서 칼날(11)의 중앙부(즉 제6도의 d부분)가 제12도에 도시한 바와같이 드레싱될 수 있다.
또한, 드레싱스틱(12)이 하강할 경우 즉, 드레싱스틱의 회전방향이 변경될 경우, 제6도에 도시한 부분(a,c)은 표-1에 도시한 바와같이 드레싱될 수 있다.
제13도는 트루잉공정이 어떻게 수행되는가를 도시한 것이다. 즉, 내주칼(10)의 칼날(11)이 드레싱스틱(12)의 선단부에 고정된 경질 지석(14)의 홈(15)에 삽입되어 드레싱되는 것을 도시한 것이다.
여기에서 드레싱스틱(12)의 운동 즉, 회전, 상하운동을 제어부(60)로부터의 지령신호에 따라 선택될 수 있다.
상기의 작동에 있어서, 각각의 검출기(62,64,66)로부터의 신호는 제어부(60)에 입력되어 내주칼의 상태가 제어부(60)의 의해 드레싱을 용하는 상태일 경우, 내주칼은 전술한 내주칼의 경력에 따라 즉시 드레싱된다.
예컨대, 검출기(62)에 의해 소비전력량이 갑작스럽게 증가할 경우 제어부(60)는 이러한 소비전력량과 그 곳에 기억된 표준 사용 전력량을 비교하고 이상을 검지하여 제어부(60)에 출력한다. 또한, 스핀들의 회전수를 계수하기 위한 계기가 사용될 경우, 제어부(60)는 회전수가 비정상임을 검지하여 이를 표시하는 신호를 출력한다. 특히, 이러한 출력신호는 내주칼의 칼날에 흠이 생겼음을 나타내므로 칼날은 교정되어야만 한다. 이러한 트루잉공정을 수행하기 위해 제어부(60)는 소정의 신호를 드레싱장치(50)에 출력하여 드레싱장치가 작동되도록 한다.
또한, 제어부(60)가 변위검출부(64)로부터의 신호치가 기준치보다 큰 편차가 있음을 검지하였을 경우, 제어부(60)는 이러한 편차가 진동의 발생을 감지하였기 때문에 칼날의 선단의 중심부가 무뎌졌음을 판단하므로 제어부(60)는 선단의 중심부가 드레싱되어야만 하도록한 소정의 지령신호를 드레싱장치에 출력한다.
또한, 제어부(60)는 인고트 단면형상 검출기(66)(제4도 참조)로부터 전송된 측정신호에 따라 인고트 단면의 형상을 측정한다. 이와 동시에 내주칼의 실제 출력치와 기준 또는 정상치간의 차이로부터 제어부(60)가, 칼날의 절단정도가 악화되었음을 판단할 경우, 제어부(60)는 칼날의 주어진 부분이 드레싱되어야함을 나타내는 지령 신호를 드레싱장치로 출력한다.
또한, 내주칼의 비정상 변위가 내주칼 변위검출기(64)의 출력으로부터 검지되었을 경우, 제어부(60)는 내주칼(10)의 경력을 참조하고, 이전의 트루잉 이래로 내주칼(10)의 사용회수가 적을 경우, 제어부(60)는 내주칼(10)이 새것으로 교체되어야 하도록 표시하여 또다른 웨이퍼 절단을 정지하도록 한다.
전술한 방법이외에도 다음과 같은 드레싱 방법이 이용될 수 있다.
1) 절단 저항치가 기준치보다 클 경우, 내주칼의 변위, 내주칼의 경력 및 인고트단면의 형상을 고려하여 드레싱이 수행된다. 또한, 작업자에게 내주칼을 새로운 칼로 교체하거나 내주칼의 장력을 증가시키도록한 지시를 할 수 있다.
2) 절단중 내주칼의 변위가 기준치보다 클경우 내주칼의 경력을 참조하여 제6도에 도시한 a 및/또는 b부분을 드레싱함으로써 내주칼의 변위를 수정한다. 이러한 드레싱에도 불구하고 내주칼의 변위가 수정되지 않을 경우, 내주칼의 경력을 참조하여 내주칼을 트루잉한다.
3) 약간의 진동이 내주칼의 변위를 표시하는 신호를 나타낼 경우, 제6도에 도시한 c와 d부분이 드레싱된다. 또한 절단되 웨이퍼의 표면상태(예컨대 표면조, 광택)가 나쁠경우에도 작업자의 지시에 의해 c 또는 d 부분이 드레싱될 수 있다.
4) 인고트 단면형상의 검출기의 데이터가 기준치보다 클경우, 측정된 인고트 단면형상은 내주칼의 변위의 예정된 패턴과 비교되고, 양자가 일치할 경우 내주칼의 경력을 참조하여 제6도의 a 및/또는 b부분이 드레싱된다. 양자가 일치하지 않을 경우 신규의 웨이퍼 절단을 정지하고, 작업자에게 내주칼을 새것으로 교체하거나 현재 사용된 칼의 장력을 증가시키도록 지시한다.
종래에는 내주칼의 상태를 작업자가 경험측상으로 감지하여 적당한 조치를 취하였다. 그러나, 이러한 기간동안 슬라이싱기계는 동작을 중지하여야만 하기 때문에 역율향상의 관점으로부터 적당한 대응조치를 작업자가 수행하기 위한 시간이 없었으며 작업자가 처치선택의 오류를 범할 수 있는 가능성이 있었다. 이와는 달리, 본 발명에 따르면, 다수의 검출치와 사용된 내주칼의 경력으로부터 사전에 프로그램을 수행할 수 있기 때문에 처치의 오류를 최소한으로 경감시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 내주칼이 유효하게 드레싱될 수 있으며, 슬라이싱기계의 가동의 휴지시간도 종래 기술에 비해 단축되며, 내주칼 역시 유효하게 오랫동안 사용할 수 있다. 또한, 이러한 드레싱에 필요한 모든 작업은 작업자에게 위험을 주지않고서 자동적으로 수행될 수 있다. 즉, 모든 작업은 합리적으로 수행될 수 있다.
제14∼17도에는 드레싱스틱의 구동기구의 다른 실시예를 도시하였다.
제14도에 도시한 바와같이, 본 발명에 따른 드레싱장치는 선단에 2개의 스틱(73)(83)를 갖는다. 스틱(73,83)은 위치를 조정할 수 있는 취부기구에 설정되는바, 스틱(83)은 칼날(11)의 상부(제15도 참조), 스틱(73)은 칼날(11)의 하부(제16도 참조)와 접촉할 수 있다. 두개의 스틱(73,83)은 칼날(11)의 상ㆍ하면을 선택적으로 드레싱할 수 있도록한 하기의 기구를 갖는다. 즉, 스틱(73)은 축(74)에 의해 축의 좌단부에 척(75)을 고정한다. 축(74)의 우단부에는 나사부(76)가 형성되는바, 이 나사부(76)는 실린더(77)내에 활주가능하게 삽입되며 실린더(77)내에는 축(74)이 활주가능하게 삽입되어 있다. 그리고, 실린더(77)의 내측에는 축방향으로 키이(78)가 장차되어 있으며, 축(74)에는 키이(78)가 삽입될 수 있도록 축(74)의 축방향으로 연장된 키이홈이 형성되어 있다. 또한 실린더(77)는 베어링(도시하지 않았음)에 의해 지지된다. 나사부(76)는 개폐가능한 2개의 분할된 너트(87,87')와 치합된다. 2개의 너트(87,87')를 개폐하는 기구는 이후 기술한 것이다. 실린더(77)에는 공지의 1방향 클러치(79)를 매개로 기어(80)를 취부하여 모터(81)의 회전운동을 기어(82)를 통해 실린더(77)에 전달한다.
제14도의 상부에 도시한 스틱(83)은 제15도에 도시한 것과 동일한 방식으로 작동되며 하측스틱(73)에 평행한 축(84)에 의해 지지된다. 스틱(83)의 지지기구는 하측스틱(73)과 유사하다. 그러나, 실린더(84A)와 기어(89)사이에 배치된 1방향 클러치(85)는 상기의 1방향 클러치(79)에 반대방향으로 그의 기능을 수행한다. 그리고, 축(84)의 나사부(86)는 하측나사부(76)의 경우와 동일하게 개폐가능한 두개의 분할너트(88,88')와 치합된다.
제17도에는 축(74,84)의 나사부(76,86)와 2부분으로 각각 분할되는 너트(87,87')와 (88,88')를 개폐하기위한 기구를 도시하였다. 여기에서 너트(88,87')는 일체로 형성되고 ,너트(88',87) 역시 일체식으로 형성된다. 그리고, 이들은 지점(90)에 의해 회전가능하게 지지되어 네개의 스프링(92)에 의해 축(74,84)의 나사부(76,86)를 향해 눌려진다. 이러한 작동시 제17도의 상부에 도시한 2개의 노브(91,91)가 파지될 경우, 두개의 너트는 상호 분리되어 나사부(76,86)를 자유롭게 한다. 또한, 노브(91,91)가 해방될 경우, 나사부(76,86)와 너트는 스프링(92)력에 의해 상호 계합된다
제14도에 도시한 바와같은 방식으로 두개의 기어(80,89)간에는 전달용 기어를 배치한다.
그리고, 모터(81)는 가역회전 가능하게 배치된다. 모터(81)의 회전방향이 1방향 클러치(79)의 방향과 일치할 경우, 스틱(73)은 회전하는 동안 제14도의 우측 및 종방향으로 이동한다. 스틱(73)의 출입위치는 노브(91)를 열어 스틱(73)을 자유상태로 설정함으로써 수동적으로 조정될 수 있다. 하측스틱(73)이 작동하는 동안에 상측스틱(83)은 1방향 클러치(85)가 아이들 방향으로 회전기 때문에 회전하지 않는다. 한편, 모터(81)가역방향으로 회전하면, 상기와 반대의 동작이 발생할 것이다. 즉 하측스틱(73)은 정지하고 상측스틱(83)은 회전되어 종방향으로 전진할 것이다.
전술한 바와같이, 본 발명은 두개의 스틱(73,83)을 칼날(11)에 간단히 밀어넣을 수 있을 뿐만아니라 스틱(73,83) 대신에 환봉형스틱을 사용할 수도 있으며 이들 스틱들을 회전과 동시에 이동할때에 칼날(11)에 밀어넣을 수 있다. 이러한 결과, 드레싱의 효과가 향상될 수 있을 뿐만아니라 칼날(11)의 상ㆍ하의 특정범위를 한전하여 선택적으로 드레싱할 수 있다. 또한, 드레싱방향, 스틱의 접촉각도, 압출력등을 경우에 따라 설정할 수 있다.
뿐만 아니라, 본 발명은 두개의 스틱(73,83)을 병렬로 배치시키므로써, 칼날(11)의 상ㆍ하 위치를 연속적이면서도 능률적으로 드레싱할 수 있는 특징을 지닌 것이다.
비록 본 발명이 특정의 실시예에 대해 기술하였을지라도 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니라 하기의 특허청구범위를 벗어나지 않는 한도내에서 많은 변경 및 수정이 있을 수도 있다.

Claims (12)

  1. 인고트 절단중의 절단저항, 절단후의 인고트 단면형상, 인고트 절단주의 내주칼의 변위로부터 내주칼의 필요한 처치를 판단하고, 상기의 내주칼의 경력을 고려하여 드레싱스틱에 의해 내주칼의 처치를 선택하는 슬라이싱기계의 내주칼 드레싱방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기의 드레싱 방법은 내주칼의 트루잉과 내주칼의 드레싱공정을 포함함을 특징으로 하는 슬라이싱기계의 내주칼 드레싱방법.
  3. 제2항에 있어서, 인고트 절단중의 절단저항이 기준치보다 클경우 내주칼의 변위와, 내주칼의 경력 및 인고트 단면형상을 고려하여 드레싱스틱으로 내주칼의 드레싱을 수행함을 특징으로 하는 슬라이싱기계의 내주칼 드레싱방법.
  4. 제2항에 있어서, 인고트 절단중의 내주칼의 변위가 기준치보다 클경우 내주칼의 경력을 고려하여 드레싱스틱으로 내주칼의 드레싱을 수행함을 특징으로 하는 슬라이싱기계의 내주칼 드레싱방법.
  5. 제2항에 있어서, 절단후의 인고트 단면형상이 기준치보다 클경우 내주칼의 경력을 고려하여 드레싱스틱으로 내주칼의 드레싱을 수행함을 특징으로 하는 슬라이싱기계의 내주칼 드레싱방법.
  6. 내주칼로 인고트를 절단하여 웨이퍼를 제조하는 슬라이싱기계에 있어서, 내주칼을 드레싱하기 위한 원통형 드레싱스틱과, 드레싱스틱을 회전구동시키고 내주칼에 대해 압축되는 방향으로 드레싱스틱을 이동시키고, 상기의 압축방향과 교착하는 방향으로 드레싱스틱을 이동시키기 위한 구동기구와, 절단시의 내주칼의 상태를 검출하기 위한 다수의 검출기 및, 상기 검출기로부터 입력된 검출신호에 응답하여 내주칼의 필요한 처치를 판별함과 동시에 이미 기억된 내주칼의 경력을 고려하여 드레시을 선택하며 상기의 선택에 따라 드레싱스틱 구동기구를 구동시키기 위한 제어부로 구성시켜서 됨을 특징으로 하는 슬라이싱기계의 내주칼 드레싱장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기의 검출기는 인고트 절단중의 내주칼에 수여된 절단저항을 검출하기 위한 검출기와, 인고트 절단중의 내주칼의 변위를 검출하기 위한 검출기 및, 인고트 절단후의 인고트 단면의 형상을 검출하기 위한 검출기를 포함함을 특징으로 하는 슬라이싱기계의 내주칼 드레싱장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기의 드레싱스틱은 트루잉용 지석과 드레싱용 지석으로 구성됨을 특징으로 하는 슬라이싱기계의 내주칼 드레싱장치.
  9. 인고트를 절단하기 위한 내주칼을 드레싱하기 위한 장치에 있어서, 내주칼의 면에 대해 경사지게 배치되어 내주칼의 한측 칼날을 드레싱하기 위한 제1드레싱스틱과, 제1드레싱스틱과 평행하게 배치되어 내주칼의 타측 칼날을 드레싱하기위한 제2드레싱스틱 및, 제1 및 제2드레싱스틱을 회전 구동함과 동시에 축방향으로 이동시키기 위한 구동기구로 구성시켜서 됨을 특징으로 하는 슬라이싱기계의 내주칼 드레싱장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기의 구동기구는 제1 및 제2드레싱스틱의 후단에 각각 취부되어 평행하게 배치된 제1 및 제2스틱 축과, 본체에 지지되어 제1 및 제2 스틱 축에 형성된 나사부와 나삽되는 너트부재와, 본체에 회동가능하게 지지되며 제1 및 제2스틱 축과 계합되어 키이결합에 의해 축방향으로 이동가능하게 지지된 제1 및 제2동체 및, 기어 전달기구에 의해 제1 및 제2동체를 회전시키기 위한 모터로 구성됨을 특징으로 하는 슬라이싱기계의 내주칼 드레싱장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기의 기어전달기구와 제1 및 제2동체는 제1 및 제2의 1방향 클러치에 의해 연결되고, 상기의 제1 및 제2의 1방향 클러치는 서로다른 상이한 회전방향으로 모터로부터의 회전력을 제1 및 제2 동체에 전달함을 특징으로 하는 슬라이싱기계의 내주칼 드레싱장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기의 너트부재는 제1 및 제2스틱 축을 축방향으로 위치 조절 가능하도록 하기 위해 2부분으로 분할되어 개방됨을 특징으로 하는 슬라이싱기계의 내주칼 드레싱장치.
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