JPH06312365A - 内周刃用ドレッシング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 内周刃のドレッシング装置に対して、砥
石を刃先に向けて様々な角度、軌道にて接触させる手段
と、砥石によるドレッシング量を定量化する機能を具備
せしめることである。 【構成】 内周刃ａに対して接触させるローラ砥石
まを、駆動モータ２１，３１によりＸ軸及びＺ軸方向へ
移動自在に支持するＸ軸Ｚ軸両駆動機構２，３と、ロー
ラ砥石１の回転負荷を検出する負荷量検出器７と、内周
刃ａの変位量を検出するブレード変位センサ８と、制御
部４とから構成し、前記制御部４はＸ軸Ｚ軸両駆動機構
２，３の駆動制御を行ないながらローラ砥石１を内周刃
ａ対して所定の軌道にて接触させ、負荷量検出器７及び
ブレード変位センサ８から検出される回転負荷と内周刃
の変位量に基づいてドレッシング量を演算するものであ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、シリコン半導体の結
晶インゴットや半導体ウエハを分割切断する内周式スラ
イサーの内周刃をドレッシングするドレッシング装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】シリコン半導体の結晶インゴットを薄片
状にスライスしたり、１枚の半導体ウエハをその厚さ中
心から２分割する切断加工の際には内周式スライサーの
内周刃を使用する。内周刃は、ドーナツ形の円盤の内周
部分ダイヤモンド粉を添着してなる刃先部を形成して成
るが、長い間切断加工を続けて行くと上記刃先部分に目
詰まりや目潰れが生じたり、刃先の形状が異常変形した
りする。そして、上記したように刃先部に異常が発生す
ると、例えば切断加工中においてブレードの変位推移が
乱れ、インゴットやウエハの切断状態が悪化する不具合
が生じる

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記したように刃先の
乱れた内周刃による切断状態を回復する為には、回転す
る内周刃の刃先に砥石を接触させて切断することによ
り、刃先の形状を整えたり、目詰まりや目潰れ状態を解
消する必要がある。この作業をドレッシングと呼んでい
る。ちなみに、ドレッシングには回転する内周刃の刃先
に対してスティック状の砥石を手作業により接触させる
ハンドドレッシングと、機械的に保持したステック状砥
石を内周刃の刃先に対して押し当てて切断することによ
り行なうテーブルドレッシングとがある。

【０００４】しかし、手作業で行なうハンドドレッシン
グは、作業者が回転する内周刃の刃先に対してスティッ
ク状の砥石を手で持って接触させながら行なうために非
常に危険であると共に、作業者の個人差によりドレッシ
ング効果に大きなバラツキがあった。また、テーブルド
レッシングを行なう従来のドレッシング装置には、保持
部により保持したスティック状砥石を、回転する内周刃
の刃先に対して内周刃の回転中心側から水平移動するこ
とにより刃先部先端面に接触させるものがある。また、
機械的ハンドドレッシング装置としては、回転する刃先
に対して斜め上方若しくは斜め下方から直線的に移動さ
せることにより砥石を刃先部の上面、下面に対して接触
させるものがあった。しかし、上記した従来のドレッシ
ング装置は、保持した砥石をエアシリンダ等を利用して
内周刃の刃先部に対し一方向から設定位置へ向けて直線
的に決められたストロークだけ移動させるものであっ
た。ところが、実際において砥石はドレッシングを行な
う度に摩耗し、さらに内周刃の刃先も加工する度に摩耗
するものである。従って、砥石と内周刃の刃先の位置関
係に着目すると相互の位置はドレッシングを行なう度に
変化していることになり、上記したように決められた位
置まで砥石を移動させるだけでは一定のドレッシング量
を得ることは不可能であった。また、内周刃は外周部分
をクランプし張力を加えた状態で保持しているが、この
張力は加工を重ねると徐々に低下していく。従って、内
周刃のライフ初期では張力が高いために砥石を接触させ
た時の垂直方向の位置変化量が小さいが、ライフ末期で
は張力が小さいためにその位置変化量が大きくなる。こ
の為、上記したように砥石を設定位置まで移動するだけ
では、内周刃のライブ初期ではドレッシング量は大きく
なり、ライフ末期ではドレッシング量は小さくなってし
まうことになる。

【０００５】本発明の目的は、内周刃のドレッシング装
置に対して、砥石を刃先に向けて様々な角度、軌道にて
接触させる手段と、刃先に砥石を接触させた状態におけ
るドレッシング量を定量化する機能を具備せしめること
により、最適なドレッシング量を安定して得ることにあ
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
為に本発明は、水平状態で回転する内周刃の刃先部に対
して同内周刃回転中心側から接触させるローラ砥石を、
駆動モータの駆動によりＸ軸及びＺ軸方向へ移動自在に
支持するＸ軸Ｚ軸両駆動機構と、上記ローラ砥石のドレ
ッシング時における回転負荷を検出する負荷量検出器
と、内周刃刃先部分の垂直方向の変位量を検出するブレ
ード変位センサと、上記Ｘ軸Ｚ軸両駆動機構及び負荷量
検出器、ブレード変位センサと各々電気的に連絡する制
御部とから構成し、前記制御部はＸ軸Ｚ軸両駆動機構の
駆動制御を行ないながらローラ砥石を内周刃の刃部に対
して所定の軌道にて接触させ、且つその接触時において
負荷量検出器及びブレード変位センサから検出されるロ
ーラ砥石の回転負荷と内周刃刃先部の変位量に基づいて
ドレッシング量を演算するものである。また、上記ドレ
ッシング装置は、ローラ砥石の外径を測定する外径測定
センサを備え、この外径測定センサによる測定値に基づ
いてローラ砥石の外径を算出する外径検出機構と、ロー
ラ砥石の回転数と回転方向を可変させる回転駆動制御機
構とを具備し、これらと電気的に連絡する制御部は、上
記外径検出機構により得たローラ砥石の外径値に基づい
て、回転駆動制御機構を介しローラ砥石の回転数を制御
することで内周刃刃先部に対するローラ砥石の外径周速
度を所定値に制御するとより効果的である。

【０００７】

【作用】以上の手段によれば、ローラ砥石はＸ軸Ｚ軸両
駆動機構により支持されて内周刃の中心側に位置し、上
記Ｘ軸Ｚ軸両駆動機構の駆動により、水平状態で回転す
る内周刃の刃先に向けて水平方向（Ｘ軸方向）及び垂直
方向（Ｚ軸方向）へ移動する。また、本発明のドレッシ
ング装置は、ドレッシング時におけるローラ砥石の回転
負荷を検出する負荷量検出器と、内周刃刃先部の垂直方
向の変位量を検出するブレード変位センサとを具備して
いる。上記負荷量検出器、ブレード変位センサ、及びＸ
軸Ｚ軸両駆動機構は各々制御部と電気的に連絡しいる。
制御部はドレッシング時において、Ｘ軸Ｚ軸両駆動機構
の駆動制御を行なうことによりローラ砥石を内周刃の刃
先部分に対して所定の軌道を描きながら所定の角度にて
接触させながらドレッシングを行なう。ローラ砥石が内
周刃の刃先部に接触した際、制御部は負荷量検出器及び
ブレート変位センサにより検出されるローラ砥石の負荷
量とブレードの変位量に基づいて、その時ローラ砥石の
接触により進行しているドレッシングの量を演算する。
そして、ドレッシング量に基づいてローラ砥石の移動方
向と移動速度を制御し、所定のドレッシング総量が得ら
れる時点までローラ砥石の接触を続ける。

【０００８】また、ローラ砥石の外径検出機構と回転制
御機構を具備するドレッシング装置においては、回転す
るローラ砥石の外径位置を外径測定センサにより測定
し、その測定値に基づいてローラ砥石の実際の外径を算
出する。これと同時に、制御部は算出したローラ砥石の
外径値に基づいてローラ砥石の回転数及び回転方向を制
御し、刃先部に対するローラ砥石の外径周速度を所定の
値に維持する。

【０００９】

【発明の効果】本発明は以上説明したように、ローラ砥
石をＸ軸Ｚ軸両駆動機構によりＸ軸Ｚ軸両方向に移動自
在に支持し、制御部によりその移動方向と移動速度とを
制御するように構成したものであるから、内周刃の刃先
に対して様々な角度、軌道で正確に砥石を接触させるこ
とができ、これにより高精度なドレッシングを行なうこ
とができる。また、内周刃の変位量とローラ砥石の回転
負荷量を検出することによってドレッシング量を演算し
ているので、変化するドレッシング量を的確に定量化し
てコントロールすることが可能となり、これにより最適
な範囲のドレッシング量を得ることができ、ハンドドレ
ッシングと比較するとドレッシング効果のばらつきを大
幅に低減することができる。さらに、請求項２のものに
おいては、摩耗するローラ砥石の外径を測定し、その外
径に基づいて所定の接触速度が得られるように砥石の回
転制御を行なうものであるから、ローラ砥石が摩耗して
も内周刃の刃先部に対する砥石の外径周速度を可変して
最適な外径周速度を維持することができる。また、ロー
ラ砥石の軌道と接触角度、移動速度のパラメータと共
に、内周刃の刃先部に対するローラ砥石の回転方向と外
径周速度を変化させることにより多様なドレッシング強
度を得ることができるようになる。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の一実施を図面に基づいて説明
する。図１及び図２は、内周式スライサーの内周刃ａを
ドレッシングするドレッシング装置を示し、水平状態で
設置される内周刃ａの中心部開口内にローラ砥石１を位
置させ、Ｘ軸Ｚ軸両駆動機構２，３により支持ししてい
る。そして、上記両駆動機構２，３の駆動により上記ロ
ーラ砥石１を回転する内周刃ａの刃先部ａ’に対して垂
直方向（Ｚ軸方向）及び水平方向（Ｘ軸方向）へ向けて
移動させながら接触せしめるように構成してある。Ｘ軸
駆動機構２は、ローラ砥石１を内周刃ａの刃先部ａ’に
向けて水平に移動させる為のものであり、内周刃ａの上
方部に水平状態で設置する水平摺動ベッド２２を備えて
いる。水平摺動ベッド２２は内周刃ａの上方部において
同内周刃ａの中心部を横断するように取り付け支持さ
れ、その内部に沿って送りねじ２４を回転自在に軸受
し、この送りねじ２４を駆動モータ２１より回転させる
ように構成してある。上記水平摺動ベッド２２の上には
スライドフレーム２３が摺動自在に載置してあり、該ス
ライドフレーム２３の下面５突設した螺合体２３ａを上
記水平摺動ベッド２２内に入り込ませ、送りねじ２４に
螺嵌してある。よって、駆動モータ２１の回転駆動によ
り送りねじ２４を正回転若しくは逆回転させることによ
り、螺合体２３ａが送りねじ２４に沿って移動し、これ
と同時に螺合体２３ａと一体化するスライド台２３が水
平摺動ベッド２２上に沿って往復摺動するように構成し
てある。

【００１１】上記スライドフレーム２３の一側にはＺ軸
駆動機構３の垂直摺動ベッド３２が垂直状態で取り付け
支持してある。Ｚ軸駆動機構３は、ローラ砥石１を垂直
方向（Ｚ軸方向）に向けて垂直移動させる為のものであ
り、前記したＸ軸駆動機構２の水平摺動ベッド２２と同
様に構成した垂直摺動ベッド３２を上記スライドフレー
ム２３における内周刃ａ中心側の一側に垂直状態で取り
付け固定してある。垂直摺動ベッド３２の内部には駆動
モータ３１により回転駆動される送りねじ３４が軸受さ
れ、この送りねじ３４にスライドアーム３３の上端部に
設けた螺合体３３ａを螺嵌してある。よって、駆動モー
タ３１の回転駆動により送りねじ３４を回転させること
で、螺合体３３ａが送りねじ３４に沿って上下に移動
し、これと同時に螺合体３３ａと一体化するスライドア
ーム３３が垂直摺動ベッド３２に沿って往復摺動するよ
うに構成してある。スライドアーム３３の下端には円周
刃ａの刃先ａ’に向けて水平に延出する支持体３４を設
け、この支持体３４の先端部にローラ砥石１を回転自在
に軸支してある。ローラ砥石１は内周刃ａと同レベルに
おいてＸ軸と直行するように支持される回転軸１ａによ
って軸支され、上記支持体３４に取り付け支持される砥
石駆動モータ６に対して歯車伝達機構６１を介して連絡
してある。よって、上記状態にて支持されるローラ砥石
１は砥石駆動モータ６の駆動により正回転、若しくは逆
回転する。同時にローラ砥石１は、上記Ｘ軸Ｚ軸両駆動
機構２，３相互のスライド駆動によりＸ軸方向、Ｚ軸方
向へ向けて交互若しくは同時に移動し、これにより内周
刃ａの刃先ａ’に向けて所定の軌道を描きながら移動
し、刃先部ａ’に接触するように構成してある。

【００１２】上記スライドアーム３３の下端には砥石外
径測定センサ５が設けてある。砥石外径測定センサ５
は、静電容量式の距離センサであり、センサ５が設けら
れる基準位置からローラ砥石１の外周面までの距離を測
定し、その測定値からローラ砥石１の外径が算出され
る。また、内周刃ａ刃先部ａ’の上部にはブレード変位
センサ８が設けてある。ブレード変位センサ８は、内周
刃ａの表面に生じる渦電流の強さを計測することによ
り、同センサ８と内周刃ａ表面との間の距離を測定する
ものであり、その距離から内周刃ａの刃先部ａ’全周に
おける垂直方向の変位量ｅを得る。

【００１３】前記したＸ軸Ｚ軸両駆動機構２，３の駆動
モータ２１，３１、砥石駆動モータ６、砥石外径測定セ
ンサ５、ブレードセンサ８は、各々制御部４と電気的に
連絡している。図３は各駆動モータ２１，３１，６及び
センサ５，８と制御部４との間の制御系統を示してい
る。Ｘ軸駆動モータ２１及びＺ軸駆動モータ３１は、各
々電源となる駆動回路２１ａ，３１ａから電力供給を受
けて正転及び逆転する。また、両駆動回路２１ａ，３１
ａは駆動制御回路２０と電気的に連絡している。駆動制
御回路２０は駆動回路２１ａ，３１ａを介してＸ軸Ｚ軸
両駆動モータ２１，３１の駆動を制御するものであり、
両駆動モータ２１，３１の回転方向と回転量を、スライ
ド台２３、スライドアーム３３の移動方向と移動量、即
ちローラ砥石１のＸ軸及びＺ軸上における移動方向と移
動量に対応させて制御する機能を具備しいてる。そして
駆動制御回路２０は、後述する制御部４のドレツシング
制御部４と電気的に連絡し、制御部４からの命令信号に
基づいて上記駆動モータ２１，３１の回転方向と回転量
を制御する。

【００１４】砥石外径測定センサ５は静電容量式距離セ
ンサであり、同砥石外径測定センサ５先端の基準位置と
ローラ砥石１外周面との間の距離を測定し、その測定情
報を信号化して外径演算回路５０に送る。外径演算回路
５０は、砥石外径測定センサ５から出力される測定情報
に基づいてローラ砥石１の外径を算出するものであり、
算出した外径を信号化して後述する砥石駆動モータ６の
駆動制御回路６０に出力する。

【００１５】ローラ砥石１の駆動モータ６は駆動制御回
路６０により回転方向と回転数を制御される。駆動制御
回路６０はローラ砥石１の駆動モータ６の回転方向と回
転数を制御する機能を備える。また、駆動制御回路６０
は前記したように外径演算回路５０と電気的に連絡して
おり、外径演算回路５０から送られるローラ砥石１の外
径値に基づいてローラ砥石１の回転数を制御し、目的と
する外径周速度を得る。よって、上記砥石外径センサ５
と駆動制御回路６０の連係によれば、ローラ砥石１の外
径が摩耗により変化しても、内周刃ａの刃先部ａ’に対
する外径周速度を一定に保つことができる。上記駆動制
御回路６０は前記駆動制御回路２０と同様に制御部４の
ドレッシング制御部４ａと連絡している。

【００１６】上記砥石駆動モータ６に対して電力供給を
行なう回路中には負荷検出器７が設けてある。負荷検出
器７はドレッシング中におけるモータ６の回転負荷を測
定するものであり、回転負荷の測定情報を負荷量演算回
路７０へ出力する。負荷量演算回路７０は負荷検出器７
から出力される駆動モータ６の回転負荷の測定情報を演
算することによりローラ砥石１の接触による回転負荷を
算出し、これを信号化して制御部４のドレッシング量演
算部４ｂ及び後述するブレード変位センサ８の変位量演
算回路８０へ向けて出力する。

【００１７】ブレード変位センサ８は、内周刃ａの刃先
部ａ’の表面に生じる渦電流をの大きさを測定するもの
である。上記した渦電流の減少は刃先部ａ’表面からの
距離即ち刃先部ａ’の変位量に対応しており、ブレード
変位センサ８は回転する内周刃ａの全周にわたって渦電
流の値を測定し、その測定値を変位量演算回路８０へ出
力する。変位量演算回路８０はブレード変位センサ８か
ら出力される測定値に基づいて刃先部ａの変位量ｅを演
算し、その算出結果を信号化し、前記負荷量演算回路７
０と同様に制御部４のドレッシング量演算部４ｂへ出力
する。

【００１８】制御部４はコンピュータにより構成され、
連係処理を行なうようドレッシング制御部４ａとドレッ
シング量演算部４ｂとを備えている。そして、上記ドレ
ッシング制御部４ａとドレッシング量演算部４ｂとは、
前記したようにＸ軸Ｚ軸両駆動モータ２１，３１の駆動
制御回路２０と砥石駆動モータ６の駆動制御回路６０、
及び負荷量演算回路７０、変位量演算回路８０と各々電
気的に連絡している。

【００１９】上記ドレッシング量演算部４ｂは、負荷検
出器７により測定したローラ砥石６の回転負荷量、及び
ブレード変位センサ８により測定した内周刃ａの刃先部
ａ’の変位量ｅの測定情報に基づいて、その時に行なわ
れているドレッシング量を演算し数値化するものであ
り、この演算結果をドレッシング制御部４ａに送る。ド
レッシング制御部４ａは、ドレッシング量演算部４ｂか
ら送られるドレッシング量の演算結果を受け、この量を
予め設定される所定のドレッシング量と比較演算し、演
算結果に基づいてＸ軸Ｚ軸両駆動モータ２１，３１の回
転方向と回転量、即ちローラ砥石１の移動方向と移動量
を制御する処理を繰り返し行なうように構成されてい
る。また、制御部４は記憶部４ｃを備えいてる。記憶部
４ｃは過去のドレッシングに関する情報を基にプログラ
ムした最適なドレッシングパラメータ、即ち、ローラ砥
石１の回転方向や回転速度、さらに刃先部ａ’へ向けて
移動するローラ砥石１の軌道や接触角度の組み合せを多
数記憶するものであり、作業者の選択に操作により所要
のデータが呼び出され、ドレッシング制御回路４ａによ
り実行される。

【００２０】以下、ドレッシングの際に上記制御部４に
より行なう制御を各部の作動を追いながら説明する。ド
レッシングを行なう前に、先ず回転するローラ砥石１の
外径を砥石外径測定センサ５によって測定する同時に、
回転する内周刃ａの刃先ａ’の変位量ｅをブレード変位
センサ８により測定する。砥石外径測定センサ５による
測定値を外径演算回路５０を介して受けた駆動制御回路
６０は、その砥石の外径値に基に、制御部４により設定
された砥石回転数を得るための演算を行ない、演算結果
に基づいて砥石駆動モータ６を所定の回転数にて回転さ
せる。一方、ブレード変位センサ８から内周刃ａの刃先
部ａ’の変位量ｅの測定値を変位量演算回路８０を介し
て入力した制御部４ドレッシング量演算部４ｂは、その
変位量ｅの最大値を基準位置としてドレッシング制御部
４ａに送る。これを受けたドレッシング制御部４ａは、
駆動制御回路２０を介してＸ軸Ｚ軸両駆動モータ２１，
３１を所定方向へ所定量回転させる。これにより、回転
するローラ砥石１が内周刃ａの刃先ａ’へ向けて所定の
軌道を描きながら移動して所定の角度にて接触する。
尚、ローラ砥石１が刃先部ａ’へ向けて移動する際に描
く軌道や、刃先部ａに対する接触角度は、図４にて示す
ように様々なパターンがある。このパターンは全て制御
部４の記憶部４ｃに記憶されている。

【００２１】例えば、刃先部ａ’の先端面をドレッシン
グする場合は、ローラ砥石１を刃先部Ａ’へ向けて水平
方向（Ｘ軸方向）へ所定距離移動して刃先部ａ’の先端
面に真横から接触させる。そして、ローラ砥石１が刃先
部ａ’に接触している状態において、負荷検出器７によ
り測定した回転負荷量が負荷量演算回路７０を介して制
御部４のドレツシング量演算部４ｂに送られる。ドレッ
シング量演算部４ｂはローラ砥石１の回転負荷量と、刃
先部ａ’の垂直方向の変位量ｅとから、現在進行してい
るドレッシングの量を演算し、算出した値をドレッシン
グ制御部４ａに送る。ちなみに、上記した接触状態では
回転負荷量の値がドレッシング量を左右し、この値が大
きなるにつれてドレッシング量も多くなる。ドレッシン
グ制御部４ａは現在のドレッシング量を継続しながら最
適範囲にあるドレッシング総量、即ちドレッシング結果
を得る為に必要なローラ砥石１の移動方向及び移動速度
を算出し、これに基づいてＸ軸Ｚ軸両駆動モータ２１，
３１を制御し、砥石を上記演算により得た時点まで所定
の速度で移動する。そして、演算上最適なドレッシング
総量が得られる時点でローラ砥石１を刃先部ａ’から後
退させる。上記作業により、刃先部ａ’の端面における
形状を整え、目詰まりや目潰れを解消することができ、
高精度なテーブルドレッシングと同様なドレッシング効
果を得ることができる。

【００２２】次ぎに、内周刃ａ刃先部ａ’の上面をドレ
ッシングする際は、ローラ砥石１を垂直上昇させた後、
所定量水平移動させ、さらに垂直降下させて刃先部ａ’
の上面に接触させる。この際、ドレッシング制御部４ａ
は、前記したようにブレード変位センサ８で測定した刃
先部ａ’変位量ｅの上面側における最大値を、刃先部
ａ’に対するローラ砥石１の接触開始位置とし、この位
置からローラ砥石１により刃先部ａ’を上方から押し下
げるようにドレッシングを続ける。そして、ローラ砥石
１の降下移動に伴って刃先部ａ’の変位量ｅは変化して
いく。この際、ドレッシング制御部４ａはドレッシング
量演算部４ｂにより算出されるドレッシングの量に注目
し、そのドレッシング量に基づいてローラ砥石１の降下
移動速度を制御する。そして、上記ドレッシング量を維
持しながらローラ砥石１の移動続け、演算により算出し
た最適なドレッシング結果が得られる時点で、ローラ砥
石１を上昇させ刃先部ａ’から後退させる。これにより
刃先部ａ’の変位量ｅが減少され、刃先部ａ’の形状も
整えられる。上記ドレッシングによれば、刃先部ａ’の
上面が摩耗している場合やブレードライフの違いからブ
レードの張力が異なる場合でも、良好なドレッシング結
果を安定して得ることができる。尚、刃先部ａ’の下面
をドレッシングする場合は、刃先部ａ’に対してローラ
砥石１を下側から接触させるように全く逆の軌道を描き
ながら刃先部ａ’下面に接触させるが、基本的には同様
な工程でドレッシングが進行する。

【００２３】ローラ砥石１により刃先部ａ’のエッジ部
分をドレッシングする場合には、ローラ砥石１を垂直上
昇させた後、Ｘ軸Ｚ軸量駆動モータ２１，３１を同時に
駆動させてローラ砥石１を刃先部ａ’へ向けて斜めに降
下させ、刃先部ａ’のエッジ部分に斜め上方から接触さ
せる。そして、前記したと同様にローラ砥石１の回転負
荷量と刃先部ａ’の変位量ｅを測定することにより現在
のドレッシング量を演算し、そのドレッシング量に基づ
いてローラ砥石１を所定の速度にて最適なドレッシング
結果が得られる時点まで移動させる。

【００２４】以上説明したドレッシングは基本的なもの
であり、刃先部ａ’に対するローラ砥石１の軌道と接触
角度のパターンはその他にも様々なものがある。さら
に、上記したローラ砥石１の軌道と接触角度のパラメー
タと共に、駆動制御回路６０により刃先部ａ’に対する
ローラ砥石１の回転方向と外径周速度、移動速度を変化
させることにより多様なドレッシング強度を得ることが
できる。また、過去のドレッシングに関する多くの制御
パラメータのデータを制御部４の記憶部４ｃ内に記憶す
ることにより、条件別に最適なドレッシングパラメータ
を蓄積し、統計的に学習することも可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明を実施したドレッシング装置の正面
図。

【図２】 同装置の底面図。

【図３】 同装置の制御系統を示すブロック図。

【図４】 同装置のローラ砥石部分を示す拡大正面
図。

【符号の説明】

ａ・・・内周刃 ａ’・・・刃先部 １・・・ローラ砥石 ２・・・Ｘ軸駆動機構 ３・・・Ｚ軸駆動機構 ４・・・制御部 ５・・・砥石外径測定センサ ６・・・砥石駆動モータ ７・・・負荷検出器 ８・・・ブレード変位センサ ２０・・・駆動制御回路 ５０・・・外径演算回路 ６０・・・駆動制御回路 ７０・・・負荷量演算回路 ８０・・・変位量演算回路

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 水平状態で回転する内周刃の刃先部に
   対して同内周刃回転中心側から接触させるローラ砥石
   を、駆動モータの駆動によりＸ軸及びＺ軸方向へ移動自
   在に支持するＸ軸Ｚ軸両駆動機構と、上記ローラ砥石の
   ドレッシング時における回転負荷を検出する負荷量検出
   器と、内周刃刃先部分の垂直方向の変位量を検出するブ
   レード変位センサと、上記Ｘ軸Ｚ軸両駆動機構及び負荷
   量検出器、ブレード変位センサと各々電気的に連絡する
   制御部とから構成し、前記制御部はＸ軸Ｚ軸両駆動機構
   の駆動制御を行ないながらローラ砥石を内周刃の刃部に
   対して所定の軌道にて接触させ、且つその接触時におい
   て負荷量検出器及びブレード変位センサから検出される
   ローラ砥石の回転負荷と内周刃刃先部の変位量に基づい
   てドレッシング量を演算することを特徴とする内周刃用
   ドレッシング装置。
2. 【請求項２】 ローラ砥石の外径を測定する外径測定
   センサを備え、この外径測定センサによる測定値に基づ
   いてローラ砥石の外径を算出する外径検出機構と、ロー
   ラ砥石の回転数と回転方向を可変させる回転駆動制御機
   構とを具備し、これらと電気的に連絡する制御部は、上
   記外径検出機構により得たローラ砥石の外径値に基づい
   て、回転駆動制御機構を介しローラ砥石の回転数を制御
   することで内周刃刃先部に対するローラ砥石の外径周速
   度を所定値に制御することを特徴とする請求項１記載の
   内周刃用ドレッシング装置。