KR930004631B1 - 웨이퍼 주위에 형성된 노치(notch)를 사용하는 웨이퍼 위치설정기구 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

웨이퍼 주위에 형성된 노치(notch)를 사용하는 웨이퍼 위치설정기구

제1a도와 1b도는 웨이퍼의 오리엔테이션 플래트(orientation flat)를 사용하는 종래의 위치설정 방법들 중의 하나를 나타내는 개략도.

제2도는 그의 원리를 설명하기 위한 본 발명의 실시예의 부분 사시도.

제3도는 웨이퍼가 아암부재의 돌기부에서 미끄러지면서 회전할 때, 실시예의 주요부의 확대된 사시도.

제4도는 노치가 전달롤러를 분리하는 돌기부와 맞물려질 때, 실시예의 주요부의 확대된 사시도.

제5도는 다수의 아암부재들이 충분한 길이를 가지는 하나의 구동롤러에 의하여 구동되고 집적되는 실시예의 사시도.

제6도는 웨이퍼 위에 형성된 노치의 형상도.

제7도는 캐리어 함유 웨이퍼들이 본 발명의 위치설정기구에 배치될 때, 실시예의 단면도.

제8도는 캐리어가 위치설정기구에 배치될 때, 본 발명의 실시예의 절단부분의 꼭대기 부분을 나타내는 도.

제9도는 실시예들 중의 하나의 웨이퍼, 전달롤러, 아암부재 및 구동롤러의 상호 배열을 나타내는 도.

본 발명은 웨이퍼들을 처리하기 위해 사용된 반도체 웨이퍼의 위치설정기구에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 임의의 방사 방향에서 노치 위치를 설정하기 위한, 그의 주의에 노치를 가지는 반도체 웨이퍼의 위치설정기구에 관한 것이다. 반도체 집적회로들의 제조, 특히 웨이퍼 공정에서, 순서대로 처리되고 그 위에 형성된 다수의 집적회로 패턴들을 가지는 반도체 웨이퍼들은 고정된 방향에 위치하도록 요구된다. 본 발명의 위치설정기구는 고정된 방향에서 웨이퍼 캐리어에 놓여진 다수의 웨이퍼들의 위치설정에 특히 효과적이다.

일반적으로, 잘려진 부분이 원형 반도체 웨이퍼에 형성되고 잘려진 부분은 아크와 코어드(chord)에 의하여 형성된 호형을 나타낸다. 일반적으로 오리엔테이션 플래트라 불리는 잘려진 것에 의하여 형성된 웨이퍼의 남아있는 플래트쪽 표면이 반도체 크리스탈의 오리엔테이션에 관하여 특정한 방향에 형성된다. 오리엔테이션 플래트는 일반적으로 웨이퍼들의 위치설정을 목적으로 사용된다. 오리엔테이션 플래트는 원통 모양의 인거트(ingot)가 성장된 후에 그의 축에 평행한 반도체 인거트의 측부를 제거하므로서 초기단에 형성된다. 오리엔테이션 플래트를 갖는 반도체 웨이퍼들은 인거트를 조각으로 자름으로서 얻어진다.

웨이퍼들, 다시말하면 반도체 웨이퍼들의 캐리어는, 일반적으로 각 웨이퍼가 하나씩 처리되는 특별한 웨이퍼가 처리되기 전과 처리된 후 처리되는 동안 용기내에서 처리되거나 용기에 운반된다. 그러므로, 웨이퍼공정이 효과적으로 진행되도록 하기 위하여 캐리어내 다수의 웨이퍼들이 고정된 방향에 미리 배열되거나 위치하도록 하는 것이 중요한 문제이다.

반도체 웨이퍼들의 리소그래픽 또는 시험 공정에서, 각 웨이퍼는 개별적으로 처리되고, 오리엔테이션 플래트는 그것을 위해 사용된 장치의 스테이지(stage)를 움직이므로서 소정의 위치에 정확하게 웨이퍼를 놓는 기준 평면으로서 일반적으로 사용된다. 이 공정에 대한 작업 효율을 개선하기 위하여, 캐리어내 웨이퍼들을 미리 배열하는 절차가 필요하다.

종래에, 캐리어내 웨이퍼 위치설정은 오리엔테이션 플래트를 사용하여 기계적으로 행해졌다. 그의 단순한 방법이 제1a도와 1b도를 사용하여 설명된다. 반도체 웨이퍼 5는 약 30㎜와 50㎜ 사이의 길이를 가지는 직선의 플래트 부분인 오리엔테이션 플래트 9를 가지며, 그의 칫수는 웨이퍼의 크기에 따라 표준화된다. 웨이퍼는 캐리어내에 포함되고 수직으로 회전가능하게 지지된다. 웨이퍼 5의 위치설정을 위해, 이것은 구동롤러 2위에 설치된다. 롤러는 구동기구(도시되지 않았음)에 이하여 회전된다. 웨이퍼의 원주가 롤러 2위에 설치되면, 작은 갭이 웨이퍼 가이드 11과 웨이퍼 원주사이에 형성되고, 웨이퍼 5는 화살표로 표시된 방향으로 쉽게 회전한다. 오리엔테이션 플래트 9가 바닥 위치로 회전하면, 웨이퍼는 웨이퍼 가이드 11위에 놓여지고 회전은 정지한다. 다수의 웨이퍼들을 포함하는 캐리어가 충분한 길이를 가지는 구동롤러 2위에 위치하고 구동롤러 2가 회전하면, 모든 웨이퍼들은 하나의 구동기구에 의하여 한번에 놓여진다.

상술된 방법은 배열의 정확도가 그리 우수하지 못하다는 결점을 가진다. 그러므로, 그에 대한 개선점이 T.Ohno에 의하여 1987년 9월 26일에 공보된 일본 미심사 특허 공보 “소 62-219535”에서 제안되었다.

최근에, 오리엔테이션 플래트 없이 노치를 가지는 웨이퍼 형상을 사용하는 경향이 있다. 이것은 노치된 웨이퍼가 경제적이고 보다 큰 영역이 오리엔테이션 플래트를 갖는 웨이퍼의 경우 보다 집적회로 칩들을 형성하는데 유용하기 때문이다. 더욱이, 오리엔테이션 플래트의 존재는 웨이퍼들의 공정에 있어서의 균일성에 나쁜 영향을 준다. 노치된 영역은 오리엔테이션 플래트의 잘려진 부분과 비교하여 작으므로 제1a도와 1b도에도시된 단순한 위치설정기구가 노치된 웨이퍼용으로 사용될 수 없다.

그러므로, 본 발명의 일반적인 목적은 소정의 위치에 그의 노치 위치를 설정하기 위한 노치된 웨이퍼들의 위치설정기구를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 더욱 특별한 목적은 단순한 기계적인 구조를 가지는 노치된 웨이퍼들의 위치설정기구를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 다른 목적은 웨이퍼의 단일 회전의 짧은 시간내에 위치설정기능을 수반하는 노치된 웨이퍼의 위치설정기구를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 또다른 목적은 웨이어 캐리어에 놓여진 노치된 웨이퍼들의 위치설정기구를 제공하기 위한 것이다.

전술되고 관련된 목적들은 용기에 놓여진 위치설정 웨이퍼들에서 본 발명의 다음의 위치설정기구에 의해 달성되고, 각 웨이퍼는 그의 원주위에 노치를 가진다. 본 발명의 위치설정기구는 구동 소오스에 결합되고 웨이퍼 표면에 수직 중심축을 가지는 구동롤러, 상기 웨이퍼 표면의 방향에 고정되는 그의 첫번째 끝단과 상기 웨이퍼 표면의 방향으로 탄력적으로 움직일 수 있고 웨이퍼의 노치에 맞는 형태로 된 돌기부를 가지는 두번째 끝단의 아암부재, 아암부재의 첫번째와 두번째 끝단들 사이에서 지지되고 그의 중심축이 웨이퍼 표면에 수직이며 구동롤러 위에 설치되는 전달롤러 및 상기 돌기부가 웨이퍼 노치와 맞물려질 때 전달롤러가 구동롤러와 접촉하지 않고 돌기부가 노치 영역 외부의 웨이퍼 원주와 접촉하는 동안 전달롤러가 구동롤러에 의하여 구동되는 웨이퍼의 근처에서 구동롤러와 전달롤러의 축을 홀딩하기 위한 수단으로 구성된다.

본 발명의 위치설정기구는 임의의 선택된 수의 웨이퍼들을 동시에 위치설정하기 위해 적용될 수 있다. 각 웨이퍼가 전달롤러를 가지는 분리된 아암부재에 의하여 개별적으로 놓여지기 때문에 다수의 웨이퍼들은 전달롤러를 가지는 다수의 각 아암부재들과 다수의 전달롤러들을 구동시키기 위해 충분한 축 길이를 가지는 하나의 구동롤러의 조합된 구조를 제공하므로써 동시에 놓여질 수 있다.

제2도 내지 4도는 그의 원리를 쉽게 이해시키기 위한 본 발명의 실시예의 사시도이다. 제2도에서, 반도체 웨이퍼 5는 간략성을 목적으로 하나의 웨이퍼를 지지하는 부분적인 단면도로 도시된 캐리어 10에 로드된다. 웨이퍼는 수직으로 지지되고 노치 6은 웨이퍼 5의 원주위에 형성된다. 노치 6은 제6도에 도시된 바와 같이 원주로부터 약 1㎜의 깊이와 약 90°의 구경각도의 Ⅴ-형을 갖는다. 탄성을 가지는 아암부재 3이 웨이퍼 5아래에 제공되고, 전달롤러 8은 아암부재 3에 의하여 지지되며, 구동롤러 2는 웨이퍼 5와 전달롤러 8아래에 놓여진다. 아암부재 3의 한끝이 로드(rod) 등의 고정수단 4에 의하여 고정되고, 그의 다른 끝은 웨이퍼를 향하여 돌출되어 돌기부 7을 형성한다. 돌기부의 외부형상은 노치가 돌기부위에서 움직일 때, 노치 6으로 경사질 수 있도록 선택된다.

제3도는 돌기부 7이 노치 6의 바깥쪽 웨이퍼의 원주에서 미끄러지는 동안의 위치설정기구의 확대된 사시도를 나타내고, 제4도는 돌기부 7이 노치 6으로 경사질 때 비슷한 도를 나타낸다.

제3도에 도시된 바와 같이, 돌기부 7이 웨이퍼 원주에 의하여 화살표(캐리어와 위치설정기구의 지지수단이 다음에 설명된다)로 표시된 아래방향으로 압력을 받을 때 V-모양으로 형성된 아암부재 3은 더 변형되고 전달롤러 8이 구동롤러 2위에서 압력을 받고 회전하면, 결과적으로 웨이퍼 5가 회전한다. 제4도에 도시된 바와 같이, 돌기부 7이 아암부재 3의 복원력에 의하여 노치 6과 맞물려지면 전달롤러 8과 구동롤러 2의 접촉이 해체되고 갭 a는 전달롤러 8과 웨이퍼 5의 회전이 정지되므로서 형성된다.

그러므로, 웨이퍼의 초기 노치의 위치에 상관없이, 노치위치는 웨이퍼의 한번의 회전내에서 소정의 특정위치로 이동된다.

제2도 내지 4도에 도시된 실시예에서, 위치설정기구 1의 구동롤러 2는 약 36㎜의 직경을 가지며, 실리콘 고무와 우레탄 고무 등으로 코팅된 롤러로 만들어진다. 아암부재 3은 0.2㎜의 두께와 4㎜의 폭을 가지는 스테인레스 강철판으로 제조되고, V-형상으로 미리 형성된다. 돌기부 7은 아암부재 3의 한끝을 구부리므로서 형성되고 단면이 V-형상을 갖는다. 돌기부의 형상은 웨이퍼 5의 원주에 형성된 노치 6내에서 서서히 맞물려진다. 그러므로, 웨이퍼 5의 원주가 돌기부 7위에서 미끄러지면서 회전하면, 돌기부 7은 노치 6과 맞물려진다. 동시에, 전달롤러 8은 구동롤러 2로부터 분리되고, 웨이퍼 5는 회전을 정지한다.

실시예의 전달롤러 8은 아암부재 3의 중간부에서 회전가능하게 되고 개구에 놓여지며, 이것은 20㎜의 직경을 가지고, 예를 들면, 웨이퍼 5에 대한 오염을 피하기 위한 폴리아세탈로 만들어진다. 전달롤러 8은 아암부재 3의 한쪽에 고정된 캔틸레버(cantilever)축에 의하여 지지될 수 있다.

1㎜의 폭과 1㎜의 깊이를 가지는 U-형 글루브(groove)는 웨이퍼가 전달롤러로부터 벗어나지 않도록 웨이퍼 5의 주변끝이 글루브에 꼭맞게 하기 위하여 전달롤러 8의 원통형 표면에 바람직하게 형성된다. 한편, 실시예의 고정수단 4는 아암부재 3이 고정되는 곳에 직경이 3㎜인 스테인레스 강철 로드를 사용한다.

제2도 내지 4도에 도시된 다수의 위치설정기구가 축방향에 일체로 연결될 때, 다수의 웨이퍼들은 웨이퍼들 5가 노치위치에 대하여 불규칙하게 캐리어에 놓일지라도 동시에 위치가 조절된다. 각 웨이퍼는 각 아암부재 3에 형성된 돌기부 7이 웨이퍼의 노치 6과 맞물려지는 시간에 순서대로 회전을 정지한다. 적어도 하나의 웨이퍼 회전시간 내에 노치위치들이 축방향으로 배열되는 것과 같은 방법으로 모든 웨이퍼들이 놓여진다.

제2도는 실시예의 일부만을 도시하고 있다. 캐리어에 놓여진 다수의 반도체 웨이퍼들의 위치를 설정하기 위한 본 발명의 위치설정기구의 사실도가 제7도와 8도에 도시된다. 제7도는 다수의 웨이퍼들 5를 포함하는 캐리어 10이 본 발명의 위치설정기구 1에 배치될 때 제8도의 선 A-A를 따르는 단면도를 나타낸다. 제8도는 그의 평면을 도시하고 있으나, 간략성을 목적으로 2점 쇄선에 의하여 도시된 캐리어 10의 윤곽과 웨이퍼들 5, 아암부재 3 및 전송롤러 8만이 부분적으로 도시된다. 반도체 웨이퍼들이 이웃하는 웨이퍼들 사이에서 약 5 내지 6㎜의 작은 규칙적인 간격을 가지는 캐리어 10에 배열된다는 것을 알 수 있다.

캐리어 10은 폴리프로필렌으로 만들어지고 웨이퍼들 5는 일반적으로 제7도에 도시된 경사진 측벽 15위에 지지된다. 웨이퍼들의 위치를 설정하기 위하여, 캐리어 10이 홀더 베이스 20에 배치되고, 그것에 의하여 캐리어의 길이방향은 홀더 베이스 20에 부착된 캐리어 가이드 22에 의하여 배열된다. 아암부재 3의 돌기부 7과 전달롤러 8의 주위는 웨이퍼를 들어올리기 위해 힘을 발휘한다. 한편, 전달롤러 8은 구동롤러 2에 대하여 압력을 받는다. 그러므로, 직경이 150㎜(6in.)와 200㎜(8in.)이며 두께가 0.7㎜인 이와 같은 칫수를 가지는 웨이퍼가 측벽 15위에서 미끄러지면서 쉽게 회전한다. 제8도는 전달롤러 8이 아암부재 3에 고정된 캔틸레버에 이하여 지지되고, 구동롤러 2의 축이 베어링 26을 거쳐 측벽 24에 의하여 지지되고 모터 28과 결합된 벨트 29에 의하여 구동되는 것을 나타낸다.

또한, 로드와 같은 고정수단 4는 홀더베이스 20과 홀딩수단을 형성하는 측벽들 24에 고정되고, 고정위치는 돌기부 7이 웨이퍼의 원주 아래방향으로 눌려질 때, 아암부재 3이 굽어지며 전달롤러 8이 구동롤러 2위로 밀어지도록 하며 더욱이 돌기부가 노치 6과 맞물려질 때 아암부재가 탄성력에 의하여 들어올려지며 갭이 전달롤러 8과 구동롤러 2사이에 형성되어 웨이퍼의 회전이 정지되도록 조절된다.

제5도는 단일 구동롤러 2, 각 아암부재들이 전달롤러 8를 가지는 다수의 아암부재들 3이 조합된 상세한 구조의 확대된 사시도를 나타낸다. 각 전달롤러 8은 불규칙한 방향으로 캐리어에 놓여진 단일 웨이퍼의 위치설정과 회전의 기능을 갖는다. 제5도에서, 구동롤러 2는 다수의 전달롤러들 8을 회전시키기 위하여 충분한 길이를 가지며, 또한 고정수단 4는 동일한 수의 아암부재들 3을 고정시키기 위한 충분한 길이를 갖는다. 예를 들어, 캐리어가 약 5 내지 6㎜의 규칙적인 간격에서 25개의 웨이퍼를 유지시키는 용량을 가지면, 구동롤러 2와 고정수단 4의 두개의 축 길이는 약 130 내지 160㎜에서 선택된다.

지금부터, 웨이퍼 5, 전달롤러 8, 구동롤러 2 및 아암부재 3의 상호 배열이 제9도의 측면도를 이용하여 설명된다. 이 경우에, 웨이퍼 5, 전달롤러 8 및 구동롤러 2의 직경은 각각 200, 20 및 36㎜로 선택된다. 아암부재 3은 약 40㎜의 길이를 가지는 두 부분 31과 33을 납땜하거나 용접하므로서 형성된다. 첫번째 부분 31은 스프링 특성을 가지는 인 브론즈이고, 그의 두께는 약 0.5㎜이다. 두번째 부분 33은 약 1㎜의 두께를 가지는 강철판으로 된 기계부품이고 사실상 스프링 동작을 취하지 않는다.

전달롤러 8의 중심위치 Q는 O-P(여기서, O와 P는 웨이퍼 5와 구동롤러 2의 중심을 각각 지정한다) 선과 10°의 각도를 이루는 선상에 위치한다. 또한 돌기부 7과 중심 O사이의 연결선은 O-P선과 약 10°의 각도를 형성한다. 아암부재 3은 굽어지고 V-형을 형성한다. 아암부재 3의 고정점 F는 위치 F가 제9도에 도시된 바와 같이 약 5°의 각도를 형성하는 O-P의 연장선 오른쪽에 위치하도록 결정된다.

상기 설계된 구조가 위치설정기구로 이용되면, 전달롤러 8은 돌기부 7이 1㎜의 깊이를 가지는 노치 6과 맞물려지는 시간에 0.5㎜의 갭을 형성하는 고동롤러 2로부터 분리된다.

실시예의 위치설정기구 1이 제7도와 8도에 도시된 바와 같이 캐리어 10아래에 배열되고, 구동롤러 2는 약 50㎜/sec의 웨이퍼의 주변속도로 회전된다. 그 결과 그의 단일 회전내에서 웨이퍼 위치설정을 위해 만족스러운 결과를 얻을 수 있다.

실시예에서 명시된 웨이퍼 5, 노치 6, 아암부재 3, 돌기부 7, 전달롤러 8, 구동롤러 2등의 칫수, 형태 및 물질은 종래의 것이며, 본 발명의 다른 실시예와 수정으로도 가능하다는 것이 명백하다. 더욱이, 동시에 놓여져야하는 웨이퍼들의 수와 움직일 수 있는 부분들의 회전속도도 종래의 것이다.

상술된 바와 같이, 종래의 오리엔테이션 플래트에 대해 대체된 노치를 사용하는 본 발명의 웨이퍼 위치설정기구가 웨이퍼들의 보다 균일한 처리 표면을 얻고 단일 웨이퍼로부터 칩들의 보다 많은 생산량을 얻을 목적으로 증가된 웨이퍼 크기로 처리될 수 있다. 본 발명의 위치설정기구는 단일 웨이퍼 뿐만 아니라 동시에 캐리어의 다수의 웨이퍼들의 위치설정을 위해 이용될 수 있다.

본 발명은 웨이퍼 처리동안 캐리어에 놓여진 웨이퍼들이 미리 배열하는 것을 목적으로 다음 처리 단계 바로전에 짧은 시간에 놓여질 수 있는 특징을 갖으며, 웨이퍼 처리를 개선하는데 유용하다.

본 발명은 그의 근본적인 특징이나 사상으로부터 벗어나지 않으면 다른 특정 형태로 적용될 수 있다. 그러므로 여기에 서술된 실시예들은 첨부된 청구항에 의하여 지시되는 본 발명의 사상을 벗어나지 않으면 서술된 것으로만 제한되지 않고, 청구항과 동일한 것의 영역과 의미는 그 안에 포함된다.

Claims (11)

1. 노치가 웨이퍼의 원주위에 형성되는 용기에 놓여진 웨이퍼의 위치설정기구에 있어서, 상기 위치설정기구가 구동 소오스에 결합되고 그의 중심축이 상기 웨이퍼 표면에 수직인 구동롤러(2), 상기 웨이퍼(5) 표면의 방향에 고정되는 그의 첫번째 끝단과 상기 웨이퍼 표면의 방향으로 탄력적으로 움직일 수 있고 웨이퍼의 노치(6)에 맞는 형태로 된 돌기부(7)를 가지는 두번째 끝단의 아암부재(3), 상기 아암부재의 첫번째와 두번째 끝단들 사이에서 지지되고, 그의 중심축이 상기 웨이퍼 표면에 수직이며 상기 구동롤러 위에 설치되는 전달롤러(8), 상기 돌기부가 웨이퍼 노치와 맞물려질 때 상기 전달롤러(8)가 구동롤러(2)와 접촉하지 않고, 상기 돌기부(7)가 노치영역을 제외한 웨이퍼의 원주와 접촉하는 동안 상기 전달롤러가 상기 구동롤러에 의하여 구동되는 상기 웨이퍼 근처의 상기 구동롤러와 아암부재의 조합을 홀딩하기 위한 수단으로 구성되는 웨이퍼의 위치설정기구.
2. 제1항에 있어서, 상기 위치설정기구가 아암부재(3)와 전달롤러(8)의 다수의 조합을 포함하고, 상기 구동롤러(2)가 상기 다수의 전달롤러들을 구동시키는 것이 가능한 축길이를 가지며, 그것에 의하여 다수의 웨이퍼(5)들이 동시에 놓여지는 웨이퍼의 위치설정기구.
3. 제1항과 제2항의 어느 한 항에 있어서, 상기 아암부재(3)가 V-형을 이루는 스프링판으로 만들어지고 상기 웨이퍼(5)가 아암부재위에 배열될 때 구동롤러(2)쪽으로 더 변형되며, 그의 주변이 상기 전달롤러 및 상기 돌기부(7)와 접촉하는 웨이퍼의 위치설정기구.
4. 제1항과 제2항의 어느 한 항에 있어서, 상기 아암부재가 V-형을 이루며 아암부재(3)의 중간점에서 서로 연결된 두개의 판부분으로 만들어지고, 첫번째 부분이 스프링물질로 되어 있고 그의 한쪽 끝이 아암부재의 첫번째 끝을 형성하며, 상기 웨이퍼가 아암부재위에 배열될 때 아암부재가 구동롤러 쪽으로 변형되며, 그의 주변이 상기 전달롤러(8) 및 상기 돌기부(7)와 접촉하는 웨이퍼의 위치설정기구.
5. 제3항에 있어서, 홀이 상기 아암부재(3)에 형성되고, 상기 전달롤러(8)가 홀의 둘러싸여진 부분에서 지지된 홀에 세트되는 웨이퍼의 위치설정기구.
6. 제4항에 있어서, 상기 전달롤러(8)가 아암부재(3)의 중간점에서 지지되는 웨이퍼의 위치설정기구.
7. 제1항과 제2항의 어느 한 항에 있어서, 상기 용기가 그안에 포함된 웨이퍼 원주의 실질적인 바닥부분을 제외한 그의 바닥부분에서 개구를 가지며 규칙적인 간격들에서 웨이퍼들을 홀딩하기 위한 반도체 웨이퍼들의 캐리어(10)이고, 상기 홀딩수단이 특정위치에 구동롤러와 아암부재의 상기 조합을 배열하는 칫수를 가지는 홀더 베이스와 캐리어 가이드로 구성되는 웨이퍼의 위치설정기구.
8. 제1항과 제2항의 어느 한 항에 있어서, 상기 전달롤러(8)가 그의 원통형 표면위에 형성된 글루브를 가지며, 글루브의 폭이 웨이퍼의 두께보다 더 큰 웨이퍼의 위치설정기구.
9. 제1항과 제2항의 어느 한 항에 있어서, 상기 아암부재(3)가 고정수단에 의하여 상기 홀딩수단의 구성부분인 축벽에 고정되는 웨이퍼의 위치설정기구.
10. 제9항에 있어서, 아암부재(3)의 상기 고정수단이 로드를 포함하는 웨이퍼의 위치설정기구.
11. 제9항에 있어서, 상기 고정수단의 위치가 구동롤러(2)를 향하는 전달롤러(8)와 웨이퍼(5)의 중심을 연결하는 선으로부터 벗어나서 놓여지는 웨이퍼의 위치설정기구.

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