KR920010486A - 구동제어부를 구비한 플라즈마 처리장치 - Google Patents

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KR920010486A
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다카시 요코타
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이노우에 아키라
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Abstract

내용 없음.

Description

구동제어부를 구비한 플라즈마 처리장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는, 본 발명에 관한 제어부를 가지는 플라즈마 처리장치의 한 상태를 나타내는 회로도,
제2도는, 제1도에 나타낸 시리얼 신호전송과는 다른 상태의 시리얼 신호전송을 나타내는 도면,
제3도는, 제1,2도의 시리얼 신호전송을 할때의 신호를 나타내는 표면.

Claims (15)

  1. 구동계(210)를 가지며, 플라즈마처리를 하는 플라즈마 처리부(200)와; 상기 플라즈마처리부의 구동계통(220)의 동작을 제어하기 위한 제어부(100)와; 이 제어부(110)는 상기 플라즈마 처리부로부터 이격하여 설치되고, 상기 플라즈마처리부의 구동계(210)에 디지털 제어신호를 출력하기 위한 제어수단(100); 상기 제어수단(100)측에 설치된 상기 제어수단으로부터의 병렬신호를 시리얼 신호로 변환하기 위한 제1변환수단(20); 상기 처리부측에 설치되어 상기 제1변환수단(20)으로부터의 시리얼신호를 병렬 신호로 변환하여 상기 처리부측에출력하기 위한 제2의 변환수단(30); 제1변환수단(20)과 제2의 변환수단(30)과의 사이에 시리얼 신호를 전송하기 위한 전송수단; 제1변환수단(20) 및 제2의 변환수단(30)의 송수신호의 타이밍을 제어하기 위한 타이밍 제어회로(60)가 구동제어부(100)를 구비한 플라즈마 처리장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 타이밍 제어회로(60)는 기준클럭과 변환동기신호를 상기 제1 및 제2의 변환수단에 출력하는 구동제어부(100)를 구비한 플리즈마 처리장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1변환수단(20)은 병렬신호를 랫치하는 랫치회로(21)와, 랫치된 신호를 시리얼 신호로 변환하는 쉬프트레지스터(22),(52)와 시리얼 신호를 출력하는 출력회로(23)가 있는 구동제어부(100)를 구비한 플라즈마 처리장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 출력회로(23)와 차동출력회로(24)를 가지며, 이 회로는 제1신호와, 제1반전신호인 제2의 신호를 출력하는 구동제어부(100)를 구비한 플라즈마 처리장치.
  5. 제3항에 있어서, 상기 제2의 변환수단(30)은 시리얼 신호를 입력하는 입력회로(51)와 시리얼 신호를 병렬신호로 변환하는 쉬프트 레지스터(5)와 병렬 신호를 처리부측에 출력하기 위한 드라이버(33)를 구비한 플라즈마 처리장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 전송수단에 동축케이블이 있는 구동제어부(100)를 구비한 플라즈마 처리장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 전송수단에는 광화이버(74)가 있는 구동제어부(100)를 구비한 플라즈마 처리장치.
  8. 제1항에 있어서, 처리부로부터의 피드백 신호를 시리얼 신호로 변환하는 제3변환수단(40)과, 상기 제3변환수단(40)으로부터의 시리얼 신호를 병렬 신호로 변환하여 상기 제어수단(100)측에 출력하기 위한 제4변환수단(50)과, 제3변환수단(40)과 제4변환수단(50)과의 사이의 시리얼 신호를 전송하기 위한 전송수단과, 제3변환수단(40)및 제4변환수단(50)의 송수신호의 타이밍을 제어하기 위한 타이밍 제어회로를 더 추가하여 구동제어부(100)를 구비한 플라즈마 처리장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 제3변환수단(40)은, 처리부로부터의 피드백 신호를 받기 위한 버퍼(41)와, 버퍼(41)로부터의 신호를 시리얼 신호로 변환하기 위한 시프트레지스터(42)와 시리얼 신호를 출력하는 출력회로(43)가 있는 구동제어부(100)를 구비한 플라즈마 처리장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 출력회로(43)는 차동출력회로(34)를 가지며, 이 회로는 제1신호와 제1반전신호인 제2의 신호를 출력하는 구동제어부(100)를 구비한 플라즈마 처리장치.
  11. 제8항에 있어서, 상기 제4변환수단(50)은, 시리얼 신호를 입력하는 입력회로(51)와, 시리얼 신호를 병렬 신호로 변환하는 쉬프트 레지스터(5)와 병렬 신호를 받기위한 버퍼(53)가 있는 구동제어부(100)를 구비한 플라즈마 처리장치.
  12. 제8항에 있어서, 상기 제3변환수단(40)과 제4변환수단(50)사이이의 시리얼 신호를 전송하기 위한 전송수단에 케이블이 있는 구동제어부(100)를 구비한 플라즈마 처리장치.
  13. 제8항에 있어서, 상기 제3변환수단(40)과 제4변환수단(50)사이에 시리얼 신호를 전송하기 위한 전송수단과 광화이버(7)가 있는 구동제어부(100)를 구비한 플라즈마 처리장치.
  14. 제1항에 있어서, 상기 처리부(200)는 제어되는 구동부가 있는 구동계(210)와, 처리상태를 검출하기 위한 센서가 있는 센서계(240)를 둔 구동제어부(10)를 구비한 플라즈마처리장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 처리부(200)는 플라즈마에칭 처리를 행하는 플라즈마처리장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019910021331A 1990-11-30 1991-11-26 구동제어부를 구비한 플라즈마 처리장치 KR100238624B1 (ko)

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