KR920008944A - 액티브 매트릭스 액정표시소자용 박막 트랜지스터 - Google Patents

액티브 매트릭스 액정표시소자용 박막 트랜지스터 Download PDF

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KR920008944A
KR920008944A KR1019900016831A KR900016831A KR920008944A KR 920008944 A KR920008944 A KR 920008944A KR 1019900016831 A KR1019900016831 A KR 1019900016831A KR 900016831 A KR900016831 A KR 900016831A KR 920008944 A KR920008944 A KR 920008944A
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김정배
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    • H01L27/02Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
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Abstract

내용 없음.

Description

액티브 매트릭스 액정표시소자용 박막 트랜지스터
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 종래의 액티브 매트릭스 액정표시소자용 박막 트랜지스터의 단면도이고,
제2도는 본 발명의 액티브 매트릭스 액정표시소자용 박막 트랜지스터의 단면도이며,
제3도는 본 발명의 박막 트랜지스터의 제조 공정도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 기판 2,2' : 제1, 제2게이트전극
3,3' : 제1, 제2게이트 절연층 4 : 반도체층
5 : 오믹층 6,6',7,7' : 제1, 제2소오스/드레인전극
8 : 보호층 9 : 광차폐층
11 : 콘택홀

Claims (1)

  1. 기판(1)상에 게이트 전극(2,2') 및 게이트 절연층(3,3')이 이층으로 형성되고, 그위에 화소전극(10), 반도체층(4) 및 오믹층(5)이 적층되며, 오믹층(5)상에 제1소오스/드레인 전극(6,7)이 형성되고, 상기 제1소오스/드레인 전극(6,7)은 보호층(8)상에 형성된 콘택홀(11)을 통해 제2소오스/드레인 전극(6',7')과 접촉되고, 상기 보호층(8) 위에는 제2소오스/드레인 전극(6',7')과 광차폐층(9)이 동일 면상에 형성된 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 액정표시 소자용 박막 트랜지스터.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101259727B1 (ko) * 2008-10-24 2013-04-30 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 반도체 장치

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