KR920008483A - 초고감도 분석기로 가스를 공급하는 방법 및 장치 - Google Patents

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Abstract

내용 없음

Description

초고감도 분석기로 가스를 공급하는 방법 및 장치.
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의해 가스를 공급하는 방법을 수행하는 장치의 계통도이다.
제2도는 본 발명에 의한 장치의 다른 구체적인 예의 계통도이다.

Claims (11)

  1. a)제1라인을 통해, 분석될 가스의 기지흐름; b)제2라인을 통해, 분석될 가스를 정제함으로써 생성된 순수한 가스의 기지 흐름; 및 c)적어도 하나의 제3라인을 통해, 정제 가스로 희석되고, 분석 가스보다 더 많은 잔류 가스를 초기에 함유하고 있는 적어도 1개의 보정가스의 기지 흐름을 초고감도 분석기의 유입 라인부에 순차적으로 공급하는 단계를 포함하며, 상기 3개의 라인의 하류부는 유압라인부에서 모두 연결되고, 상기 가스는 라인 각각의 상류부를 통해 기지 흐름에서 영구히 흐르고, 각 라인의 중간 부분에는 조절 가능 흐름 조절기가 구비된 배출 바이패스가 구비되어 있고, 제1라인과 제2라인내의 일정한 흐름은 분석기에 대한 기지 흐름보다 더 많고, 흐름 조절기가 상술한 단계 a)와 b)각각에 있어서, 라인속의 상기 단계에 해당하는 과량의 가스 흐름의 첫번째 부분이 관련된 배출 바이패스를 통해 제거되고 상기 가스의 과량의 흐름의 두번째와 세번째 부분이 다른 두개의 라인들의 하류부에서 재순환되고 또한, 과량의 전흐름자체 및 재순환 흐름의 두번째와 세번째 부분이 해당 배출바이패스를 통해 제거되도록 조절되는 초고감도 미량 물질 분석기로의 가스 공급방법.
  2. 제1항에 있어서, 각 라인내의 상기 일정한 흐름이 음속에서 작동되는 보정제류부에 의해 확실하게 되고, 압력이 관련된 배출 바이패스의 흐름조절기가 적어도 작동되도록 보정 제류부의 상류에서 측정되는 방법.
  3. 제2항에 있어서, 압력이 소량의 누출흐름이 영구히 흐르고 있는 압력 측정 바이패스에서 측정되는 방법.
  4. 분석된 가스원; 보정 가스원; 제1흐름 조절기를 포함하고, 분석 가스원을 분석기의 유입 라인부에 직접 연결시켜 주는 제1라인; 분석가스원의 상류부에 연결되어 있고 연속하여 가스 정제기와 제2흐름 조절기를 포함하는 제2라인; 및 제3흐름 조절기를 포함하고, 분석 가스보다 더 많은 양의 미량 물질을 초기에 함유하고 있는 보정 가스원을 제2라인의 하류부와 연결시켜주는 적어도 하나의 제3라인을 포함하며, 상기 라인 각각이 상류부에, 음속에서 작동되는 보정 제류부 및 중간부분에, 배출 흐름 조절기가 구비된 배출 바이패스를 포함하는 것을 특징으로 하는 제1항에 의한 방법을 수행하기 위해 사용되는 초고감도 미량 물질 분석기로 가스를 공급하는 장치.
  5. 제4항에 있어서, 각 배출 흐름 조절기가 해당 라인의 제류부에 의해 생성된 표시 흐름의 일부분을 제거하는 적어도 하나의 상태와 다른 라인에서 발생하는 재순환 흐름에 의해 증가된 표시 흐름의 전체를 제거하는 두번째 상태에서 작동될 수 있는 장치.
  6. 제4항에 있어서, 각 라인의 제류부의 바로 윗부분에 압력 픽업을 포함하는 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 압력 픽업이 보정 오리피스를 통해 대기내로 개구되어 있는 압력 측정바이패스 위에 설치되어 있는 장치.
  8. 제4항에 있어서, 상기 유입 라인부가 배출 흐름 조절기가 구비된 배출관과 하류에서 연결되는 장치.
  9. 제4항에 있어서, 적어도 2개의 제3라인을 포함하는 장치.
  10. 제9항에 있어서, 적어도 하나의 제3라인은 정제기와 제2라인의 보정 제류부사이에서 제2라인의 상류 및 유입 라인부의 하류와 연결되어 있고 배출관의 상류에 일정한 흐름하에 플러시되는 미량 물질의 발생기를 포함하는 장치.
  11. 제10항에 있어서, 미량 물질 발생기가 미량 물질을 액체원으로부터 제3라인내로 도입하는 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019910017339A 1990-10-02 1991-09-30 초고감도 분석기로 가스를 공급하는 방법 및 장치 KR100195892B1 (ko)

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