KR920008414B1 - 자기 기록 매체 - Google Patents

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히데아끼 마쯔야마
겐지 야자와
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Abstract

내용 없음.

Description

자기 기록 매체
제1도는 본 발명에 적용되는 증착장치.
제2도는 본 발명으로 얻어진 자성층을 구성하는 주상결정의 단면구조를 모델화한 도면.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
4 : 비자성지지체 10 : 주상결정
11 : Co-Ni입자 12 : Co-Ni 산화물입자
본 발명은 자기기록매체에 관한 것으로서, 특히, 노이즈를 저감시키기 위한 박막형 자기기록매체에 관한 것이다.
최근, 자기기록의 고밀도화 목적으로 자성박막형의 자기기록매체 즉, 비자성지지체상에 전기도금, 무전해도금, 이온플레이팅, 스퍼터링, 진공증착등의 방법으로 수백 Å 내지 1μ 두께의 강자성 박막을 형성시킨 자기기록매체에 대한 연구가 활발하다. 특히, 일본특허 공개 제 41-19389호에 기재된 경사증착법은 높은 항자력을 가진 자기기록매체를 얻을 수 있는 점에서 매우 흥미롭고, 각족의 개량 및 개선이 이루어지고 있다. 그러나, 이 강자성 박막을 자기기록층으로 하는 자기기록매체에서는 단파장 대역에서의 비디오 신호출력이 필수적으로 기대되는 정도로 높지않고 노이즈레벨이 높기 때문에 S/N 비를 충분히 만족시키는 것을 얻을 수가 없다.
본 발명은 상술한 점을 감안하여 노이즈레벨을 저감시키고 S/N 비를 향상시킨 박막형 자기기록매체를 제공하는 것이다.
본 발명은, 비자성지지체상에 산소를 포함한 진공분위기중에서 경사증착법에 의해 강자성 금속 자성재료로 된 박막형 자기기록층을 형성시킨 자기기록매체에 있어서, 박막형 자기기록층을 형성하는 주사(柱狀)결정구조중에 강자성 금속 자성재료의 산화물입자를 임의로 배치하여 이루어진 자기기록매체이다.
다시 말하면, 이 박막형 자기기록층은 주상결정구조의 집합체로 이루어지며, 각 주상결정구조에서는 강자성 금속입자와 강자성 금속산화물입자가 임의로 배치된 구성으로 되어 있다.
본 발명의 자기기록매체에 의하면, 노이즈레벨이 저감되고, S/N 비가 향상된다. 결정구조중에 증착물질인 강자성 금속재료의 산화물입자를 임의로 배치하는데 의해 노이즈레벨이 저감되는 것은 주상결정을 구성하는 자성 증발입자의 크기가 작게 되는 것에 기인하고 있다.
이하, 본 발명의 실시예를 설명한다.
제1도는 본 발명에 적용되는 증착장치의 개략도이다. 이 증착장치(1)는, 소정량의 산소를 함유한 진공분위기로 유지되는 진공실(2)내에 금속 캔(3)이 설치되어 이를 거쳐 비자성지지체(4)가 공급릴(5)로부터 권취릴(6)로 이송되며 금속 캔(3)에 대향하는 하방에 적당한 거리를 두고 금속 자성재료, 예를들면, Co,Fe,Ni 또는 이들의 합금등의 증착원(7)이 배치되며, 이 증착원(7)으로부터 증발된 금속 자성입자가 셔터(8)에 의해 비자성지지체(4)상에 소정의 입자각도로 경사 증착되도록 구성되어 있다.
상기 증착장치(1)를 사용하여, 산소가스(O2)의 유량을 100cc/분으로 하고 1×10-4토르의 압력하에서 10μ두께의 폴리에치렌텔푸타레이트(PET)로 이루어진 비자성지지체(4)상에 Co-Ni 합금(Co가 80%, Ni가 20%)을 순차적으로 경사 증착시켰다. 증착시의 입사각은 40°내지 90°이고, 증착원(7)의 가열수단은 전자비임이다. 이렇게 하여 제작된 증착테이프를 실시예 1로 하였다. 이 테이프의 특성은 다음과 같다.
Co-Ni 증착막 두께 : 1000Å
자기특성
항자력(He) : 820Oe
포화자속밀도(Bm) : 6800G
잔류자속밀도(Br) : 4900G
각형비(Br/Bm) 0.72
제2도는 실시예 1의 증착테이프의 자성층을 구성하는 주상결정의 단면구조를 모델화 하여 도시한 것이다. 측wjd은 투과전자형미경(TEM)을 사용하여 해석한 것이며, 도면중(10)은 주상결정으로서 그 폭 d는 50 내지 100Å이고, (11)은 Co-Ni 입자로서 입자직경 50내지 100Å이며, (12)는 Co-Ni 산화물입자로서 입자직경은 30 내지 70Å이였다.
[비교예 1]
산소가스를 흐르게 하는데 1×10-5토르의 압력으로 하고 입사각을 70°내지 90°로 하여 다른 것은 실시예 1과 같은 조건으로 제작한 증착테이프를 비교예 1로 하였다. 이 테이프의 특성은 다음과 같다.
Co-Ni 증착막 두께 : 1000Å
자기특성
항자력(Hm) : 800Oe
포화자속밀도(Bm) : 6900G
전류자속밀도(Br) : 6280G
각형비(Br/Bm) : 0.91
[실시예 2]
자성재료를 Co(100%)로 한 이외는 실시예 1과 똑같은 조건에서 제작한 증착테이프를 실시예 2로 하였다. 이 테이프의 특성은 다음과 같다.
Co 증착막 두께 : 1000Å
자기특성
항자력(Hc) : 910Oe
포화자속밀도(Bm) : 7300G
잔류자속밀도(Br) : 5300G
각형비(Br/Bm) : 0.73
이 실시예 2의 자성층을 구성하는 주상결정의 단면구조도 도시되지 않아도 제2도와 똑같고, Co 입자와 CoO 입자가 임의로 분포한 구조이었다. 또 각 입자직경도 똑같고, Co 입자의 입자직경은 50 내지 100Å, CoO 입자의 입자직경은 30 내지 70Å, 주상결정의 폭은 50 내지 100Å이었다.
[비교예 2]
산소가스를 흐르게 하지 않고 1×10-5토르의 압력으로 하고, 또 입사각을 70°내지 90°로 한 이외는 실시예 2와 똑같은 조건에서 제작한 증착테이프를 비교예 2로 하였다. 이 테이프의 특성은 다음과 같다.
Co 증착막 두께 : 1000Å
자기특성
항자력(Hc) : 900Oe
포화자속밀도(Bm) : 7500G
잔류자속밀도(Br) : 6800G
각형비(Br/Bm) : 0.91
상기 각 예의 테이프의 전자변환특성을 비교한 결과를 하기표에 나타낸다. 이 측정은 캡 길이 0.2㎛의 페라이트 헤드를 사용하고, 테이프 상대속도를 3.8m/sec로 하여 출력 및 노이즈를 스팩트럼 분석기에서 측정하였다. 이것은 5MHz의 신호에서 비교한 것이고, 비교예 1의 테이프의 상대출력 및 S/N을 0db로 하였다.
Figure kpo00001
먼저 함께 Co-Ni 자성층인 실시예 1과 비교예 1과의 비교에 관하여 기술한다. 항자력(Hm)은 서로 거의 동등하고, 잔류자속밀도(Br) 및 각형비(Br/Bm)는 함께 비교예 1이 우수하다. 또 상기표로부터, 실시예 1의 테이프는 출력에서는 비교예 1 보다 낮고, S/N에서는 비교예 1 보다 우수하고, 노이즈가 저감하고 있음이 판명된다.
그리고, 전자현미경 관찰에 의하면 실시예 1에서는 제2도에 도시한 바와 같이 주상결정중에 Co-Ni 및 Co-Ni 산화물의 미결정이 임의로 분포하고 있는 것이 판명되었다. 한편, 비교예 1에서는 주상결정이 Co-Ni의 미결정으로 형성되어 있다. 실시예 1에서는 주상결정을 형성하고 있는 Co-Ni 미결정이, 생성될 Co-Ni 산화물에 의해 세분화되고, 미립자화된다. 이에 대하여 비교예 1에서는 Co-Ni 주결정이 Co-Ni 산화물에 의해 세분화되는 것이 없다. 따라서, 실시예 1에서는 Co-Ni자성 미결정의 입자크기가 비교예 1의 그것보다 작게 되게 때문에 전자변환특성에 있어서 노이즈가 저감된다.
다음, 함께 Co 자성층인 실시예 2와 비교예 2의 비교에 있어서도 똑같다. 즉 항자력(Hm)은 서로 거의 동등하고, 잔류자속밀도(Br) 및 각형비(Br/Bm)은 함께 비교예 2가 우수하다. 그리고, 상기표로부터 명백한 바와 같이 실시예 2는 출력에서는 비교예 2 보다 낮고, S/N에서는 비교예 2 보다 우수하고, 노이즈가 낮게 되어 있다.
한편, 현미경 관찰에 의하면, 실시예 2에서는 주상결정중에 Co 및 Co 산환물의 미결정이 임의로 분포하고 있다. 이에 대해 비교예 2에서는 주상결정이 Co의 미결정으로 형성되어 있다. 그리고 실시예 2에서는 주상결졍을 형성하는 Co 미결정 생성된 Co 산화물에 의해 세분화되어 미립자됨에 대해, 비교예 2에서는 Co 미결정은 Co 산화물에 의해 세분화되어 미립자화됨에 대해, 비교예 2에서는 Co 미결정은 Co 산화물에 의해 세분화되는 것이 없다. 따라서, 이 실시예 2의 경우도 Co 자성 미결정의 입자크기가 비교예 2의 그것보다 작게 되고, 전자변환특성에 있어서 노이즈가 저감된다.
또, 강자성 금속 자성재료로서는 Co,Ni,Fe 혹은 이들의 합금을 이용할 수도 있다.
본 발명에 의하면, 박막형 자기기록층을 구성하는 주상결정구조중에 그 강자성 금속 자성재료의 산화물입자를 임의로 배치함으로써, 주상결정을 구성하는 강자성 금속 미결정이 세분화된다. 따라서 전자변환특성에 있어서 노이즈레벨이 낮고, S/N 비가 높은 박막형 자기기록매체가 얻어진다.

Claims (1)

  1. 비자성 지지체상에 산소를 함유한 진공분위기중에서의 경사 증착법에 의해, 강자성 금속 자성재료료 된 박막형 자기기록층을 형성허여 이루어진 자기기록매체에 있어서, 상기 박막형 자기기록층을 구성하는 주상 결정구조중에 상기 강자성 금속 자성재료의 산화물 입나를 임의로 배치한 것을 특징으로 하는 자기기록매채.
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1235808A (en) * 1984-03-22 1988-04-26 Tetsuo Oka Vertical magnetic recording medium and process for preparation thereof
JPS63237210A (ja) * 1987-03-25 1988-10-03 Sony Corp 磁気記録媒体
JP2639065B2 (ja) * 1989-03-10 1997-08-06 松下電器産業株式会社 磁気記録媒体の製造法
FR2713360B1 (fr) * 1993-12-01 1996-03-08 Aerospatiale Système de commande centralisée d'une installation industrielle.
US7241519B2 (en) 2003-07-07 2007-07-10 Sony Corporation Magnetic recording medium with columar magnetic layer

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1599161A (en) * 1976-07-15 1981-09-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd Magnetic recording medium and method of making the same
JPS5629A (en) * 1979-06-15 1981-01-06 Ulvac Corp Vacuum-evaporated film type magnetic recording substance and its manufacture
JPS6033289B2 (ja) * 1979-07-18 1985-08-02 松下電器産業株式会社 金属薄膜型磁気記録媒体
JPS573223A (en) * 1980-06-03 1982-01-08 Tdk Corp Magnetic recording medium
JPS5798133A (en) * 1980-12-05 1982-06-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd Magnetic recording medium
JPS57152516A (en) * 1981-03-16 1982-09-20 Hitachi Maxell Ltd Magnetic recording medium
JPS57152520A (en) * 1981-03-17 1982-09-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd Magnetic recording medium
JPS5814324A (ja) * 1981-07-17 1983-01-27 Fuji Photo Film Co Ltd 磁気記録媒体
JPS5841443A (ja) * 1981-09-04 1983-03-10 Fuji Photo Film Co Ltd 磁気記録媒体の製法
JPS5883328A (ja) * 1981-11-12 1983-05-19 Fuji Photo Film Co Ltd 磁気記録媒体
JPS5883327A (ja) * 1981-11-12 1983-05-19 Fuji Photo Film Co Ltd 磁気記録媒体
JPS5968815A (ja) * 1982-10-12 1984-04-18 Sony Corp 磁気記録媒体
US4537832A (en) * 1982-12-25 1985-08-27 Tdk Corporation Magnetic recording medium

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Publication number Publication date
FR2558631A1 (fr) 1985-07-26
NL192409C (nl) 1997-07-04
GB2153851A (en) 1985-08-29
NL8500085A (nl) 1985-08-16
JPH0475577B2 (ko) 1992-12-01
GB2153851B (en) 1987-06-03
JPS60154323A (ja) 1985-08-14
FR2558631B1 (fr) 1992-09-18
NL192409B (nl) 1997-03-03
GB8501273D0 (en) 1985-02-20
DE3501561C2 (de) 1995-08-31
DE3501561A1 (de) 1985-08-14
KR850005665A (ko) 1985-08-28

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