KR920007749A - 등속도로 회전하는 2중면을 구비한 마무리 가공기계 - Google Patents

등속도로 회전하는 2중면을 구비한 마무리 가공기계 Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

등속도로 회전하는 2중면을 구비한 마무리 가공기계
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 기계의 여러 구성요소를 보여주는 평면도,
제2도는 본 발명의 기계의 여러 구성요소들을 보여주는 측면도.

Claims (17)

  1. 하나 이상의 공작물의 동시에 마무리 가공(finishing)하는 기계에 있어서, 베이스, 상부 연마 플레이트(upper polishing), 하부 연마 플레이트, 하나 이상의 공작물을 보지(保持)하는 캐리어(carrier), 모터, 제1축을 갖는 스핀들(spindle), 제2축을 갖는 스핀들 캠 및 하나 내지 4개의 편심캠을 포함하며, 상기 캐리어는 상부 연마 플레이트와 하부 연마 플레이트 사이에 배치되며, 상기 모터는 제1축에 대해 스핀들을 회전시키며, 상기 스핀들은 스핀들 캠에 고정 부착되며, 제1축으로부터 제2축까지의 거리는 임계반경을 형성하며, 각각의 편심캠은 기부 구동휠 및 구동휠을 포함하며, 각각의 기부 구동휠은 하부 연마 플래이트 링키지에 회전가능하게 결합되며, 상기 하부 연마 플레이트 링키지는 하부 연마 플레이트를 기부 구동휠에 결합시키며, 각각의 상부 구동휠은 상부 연마 플레이트 링키지에 회전가능하게 결합되며, 상부 연마 플레이트 링키지는 상부 연마 플레이트를 상부 구동휠에 결합시키며, 각각의 편심캠은 제3축에 대해 회전하는 것을 특징으로 하는, 하나 이상의 공작물의 양면을 동시에 마무리 가공하는 기계.
  2. 제1항에 있어서, 상기 기계는 2개의 편심캠을 지니는 것을 또한 특징으로 하는 기계.
  3. 제2항에 있어서, 상기 2개의 편심캠은 각각 상부 링키지와 하부 링키지에 회전가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 기계.
  4. 제1항에 있어서, 상기 하부 연마 플레이트는 원형 스핀들 캠에 의해 점유되는 원형 요부를 갖는 기부를 지니는 것을 특징으로 하는 기계.
  5. 제4항에 있어서, 상기 하부 연마 플레이트의 기부는 베어링 표면 역할을 할수 있는 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 기계.
  6. 제1항에 있어서, 각각의 편심캠의 상부 구동휠 및 기부 구동휠은 각각 제4축에 대해 회전하는 상부 및 기부캠 베어링을 지니며, 상기 상부 캠 베어링과 기부 캠 베어링은 상부 연마 플레이트 링키지와 하부 연마 플레이트 링키지를 상부 구동휠과 기부 구동휠에 제각기 결합시키는 것을 특징으로 하는 기계.
  7. 제1항에 있어서, 상부 연마 플레이트의 중심과 연속적으로 접촉하는 하강 압력시스템에 의해 공작물에 하강 압력이 가해지는 것을 특징으로 하는 기계.
  8. 하나 이상의 공작물의 양면을 동시에 마무리 가공하는 기계에 있어서, 베이스, 상부 연마 플레이트, 원형 요부를 갖는 하부 연마 플레이트, 하나 이상의 공작물을 보지하는 캐리어, 모터, 제1축을 갖는 스핀들, 제2축을 갖는 스핀들 캠 및 2개의 편심캠을 포함하며, 상기 캐리어는 상부 연마 플레이트와 하부 연마 플레이트 사이에 고정배치되며, 모터는 스핀들을 제1축에 대해 회전시키며, 스핀들이 원형 스핀들 캠에 고정 부착되어, 제1축과 제2축사이의 거리가 임계반경을 형성하며, 원형 스핀들 캠은 하부 연마 플레이트의 기부내의 원형 요부를 점유하며, 각각의 편심캠은 상부 구동휠에 대해 0°내지180°위치에서 기부 구동휠을 포함하며, 기부 구동휠과 상부 구동휠들은 그 구동휠들에 수직한 편심캠 샤프트에 의해 결합되며, 각각의 기부 구동휠은 하부 연마 플레이트에 회전 가능하게 결합되며, 상기 하부 연마 플레이트 링키지는 하부 연마 플레이트를 기부 구동휠에 결합시키며, 각각의 상부 구동휠은 상부 연마 플레이트 링키지에 회전가능하게 결합되며, 상부 연마 플레이트 링키지는 상부 연마 플레이트를 상부 구동휠에 결합시키며, 각각의 편심캠의 편심캠 샤프트는 제3축에 대해 회전하는 것을 특징으로 하는, 하나 이상의 공작물의 양면을 동시에 마무리 가공하는 기계.
  9. 제8항에 있어서, 2개의 편심캠의 각각의 하부 연마 플레이트 링키지 및 상부 연마 플레이트 링키지는 상호간에 대해 수직하게 배치되는 기계.
  10. 제8항에 있어서, 상부 연마 플레이트, 하부 연마 플레이트 또는 상기 플레이트 모두는 연마 플레이트의 냉각, 공작물에 유체 공급 또는 양자 모두를 위한 도관을 지니는 것을 특징으로 하는 기계.
  11. 제8항에 상부 연마 플레이트와 접촉하며 캐리어상에 중심이 잡혀 유지되는 하강 압력시스템에 의해 공작물에 압력이 가해지는 것을 특징으로 하는 기계.
  12. 제8항에 있어서, 각각의 편심캠은 상부 캠 베어링을 갖는 상부 구동휠 및 기부 캠 베어링을 갖는 기부 구동휠을 지니며, 상기 상부 및 기부 베어링은 각각 제4축에 대해 회전하고 상부 연마 플레이트 링키지와 하부 연마 플레이트 링키지를 각각 상부 구동휠과 기부 구동휠에 회전가능하게 결합시키는 것을 특징으로 하는 기계.
  13. 하나 이상의 공작물의 양면을 동시에 마무리 가공하는 기계에 있어서, 베이스, 상부 연마 플레이트를 포함하는 도관, 원형요부를 갖는 기부를 가지는 하부 연마 플레이트를 포함하는 도관, 하나 이상의 공작물을 보지하는 캐리어, 모터, 제1축을 갖는 스핀들, 제2축을 갖는 원형 스핀들 캠, 2개의 수직 편심캠 및 하강 압력 시스템을 포함하며, 상기 캐리어는 베이스에 견고하게 부착되어 상부 연마 플레이트와 하부 연마 플레이트사이에 배치되며, 상기 모터는 스핀들을 제1축에 대해 회전시키며, 스핀들이 원형 스핀들 캠에 견고하게 부착됨으로써 제1축과 제2축이 오프셋되어 임계반경을 형성하며, 상기 스핀들 캠은 하부 연마 플레이트의 기부내의 원형 요부에 배치되며, 상기 기부는 베어링 표면역할을 할수 있는 재료로 형성되며, 2개의 편심캠 각각은 기부 캠 베어링을 갖는 기부 구동휠 및 상부 캠 베어링을 갖는 평행한 상부 구동휠을 포함하며, 상부 및 기부 구동휠을 제3축에 대해 회전하며 상부 및 기부 구동휠에 수직한 편심 캠 샤프트에 의해 결합되며, 각각의 편심캠의 상부 및 기부 캠 베어링은 상호간에 대해 180℃로 배치되며, 각각의 기부 구동휠은 기부 캠 베어링에 의해 하부 연마 플레이트 링키지에 회전가능하게 결합되며, 하부 연마 플레이트 링키지는 하부 연마 플레이트를 기부 구동휠에 결합시키며, 각각의 상부 구동휠은 상부 캠 베어링에 의해 상부 연마 플레이트 링키지에 회전가능하게 결합되며, 상부 연마 플레이트 링키지는 상부 연마 플레이트를 상부 구동휠에 결합시키며, 2개의 상부 링키지는 상호간에 대해 수직하게 배치되며, 2개의 하부 링키지는 상호간에 대해 수직하게 배치되며, 상부 캠 베어링 및 기부 캠 베어링은 각각 제4축에 대해 회전하며, 제3축은 임계반경과 동일한 거리만큼 상부 캠 베어링 및 기부 캠 베어링 모두의 제4축으로부터 이격되며, 하강 압력 시스템은 그 시스템을 항상 캐리어상에 중심이 잡히게하는 편심수단에 의해 상부 연마 플레이트에 결합 되는 것을 특징으로 하는, 하나 이상의 공작물의 양면을 동시에 마무리 가공하는 기계.
  14. 베이스, 상부 연마 플레이트, 원형요부를 갖는 기부를 지니는 하부 연마 플레이트, 하나 이상의 공작물을 보지시키는 캐리어, 모터, 제1축을 갖는 스핀들, 제2축을 갖는 원형 스핀들, 캠, 및 2개의 수직편심캠을 포함하며, 캐리어는 상부 연마 플레이트와 하부 연마 플레이트 사이에 고정배치되며, 모터는 제1축에 대해 회전하며, 스핀들은 원형 스핀들 캠에 고정 부착되며, 제1축과 제2측은 일정거리로 분리되어 임계반경을 형성하며, 원형 스핀들 캠은 하부 연마 플레이트의 개부내의 원형 요부를 점유하며, 각각의 편심캠은 기부 구동휠 및 상부 구동휠을 포함하며, 상부 및 기부 구동휠은 그에 수직한 편심 캠 샤프트에 의해 결합되며, 각각의 기부 구동휠은 하부 연마 플레이트 링키지에 회전가능하게 결합되며, 하부 연마 플레이트 링키지는 하부 연마 플레이트를 기부 구동휠에 결합시키며, 상부 구동휠은 상부 연마 플레이트 링키지에 회전가능하게 결합되며, 상부 연마 플레이트 링키지는 상부 연마 플레이트를 상부 구동휠에 결합시키며, 각각의 편심캠의 편심캠 샤프트는 제3축에 대해 회전하는 것을 특징으로 하는 기계로 하나 이상의 공작물의 양면을 동시에 마무리 가공하는 방법에 있어서, a. 각각 상부 및 기부를 갖는 하나 이상의 공작물을 캐리어내에 배치시켜 각각의 공작물의 기부를 하부 연마 플레이트에 접촉시키는 단계; b. 상부 연마 플레이트를 하강시켜 공작물의 상부에 접촉시키는 단계; c. 제1축에 대해 스핀들을 회전시켜 원형 스핀들 캠의 제2축을 비회전순환방식으로 회전시키도록 모터를 작동시킴으로써, 원형 스핀들캠이 임계반경과 같은 반경을 갖는 원을 그려 기부 연마 플레이트를 비회전순환방식으로 이동시키며, 하부 연마 플레이트의 작동은 편심캠의 편심캠 샤프트로 하여금 제3축에 해대 회전시키게 하는 하부 연마 플레이트 링키지에 의해 2개의 각각의 편심캠의 기부 구동휠로 전달되며, 제3축에 대한 편심캠 샤프트의 회전은 상부 연마 플레이트 링키지에 회전가능하게 결합된 상부 구동휠로 하여금 상부 연마 플레이트를 비회전순환방식으로 이동 시키게하여 공작물을 마무리 가공하는 단계; d. 모터를 정지시킴으로써 단계 (c)와 같이 상부 및 하부 연마 플레이트의 작동을 정지시키는 단계; e. 상부 연마 플레이트를 상승시켜 공작물과의 접촉으로부터 해제시키는 단계; 및 f. 마무리 가공된 공작물을 캐리어부터 제거시키는 단계를 포함하는, 하나 이상의 공작물의 양면을 동시에 마무리 가공하는 방법.
  15. 제14항에 있어서, 마무리 가공단계(c)중에 상부 연마 플레이트의 중심과 연속적으로 접촉하는 하강 압력 시스템에 의해 공작물에 압력이 가해지는 것을 특징으로 하는 방법.
  16. 제14항에 있어서, 상부 및 하부 연마 플레이트는 냉각 유체를 상부 및 기부연마 플레이트내의 도관을 통해 통과시킴으로써 마무리 가공단계(c)중 냉각되는 것을 특징으로 하는 방법.
  17. 베이스, 상부 연마 플레이트를 포함하는 도관, 원형요부를 갖는 기부를 지니는 하부 연마 플레이트를 포함하는 도관, 하나 이상의 공작물을 보지하기 위한 캐리어, 모터, 제1축을 갖는 스핀들, 제2축을 갖는 원형 스핀들캠, 2개의 수직 편심캠 및 하강 압력 시스템을 포함하며, 캐리어는 베이스에 견고하게 부착되어 상부 연마 플레이트와 하부 연마 플레이트 사이에 배치되며, 모터는 스핀들을 제1축에 대해 회전시키며, 스핀들이 원형 스핀들캠에 견고하게 부착됨으로써 제1측과 제2축이 오프셋되어 임계반경을 형성하며, 스핀들 캠은 하부 연마 플레이트의 기부내의 원형 요부에 배치되며, 하부 연마 플레이트의 기부는 베어링 표면 역할을 할수 있는 재료로 형성되며, 2개의 편심캠 각각은 기부 캠 베어링을 갖는 기부 구동휠 및 상부 캠 베어링을 갖는 평행한 상부 구동휠을 포함하며, 상부 및 기부 구동횔은, 제3축에 대해 회전하여 상부 및 기부 구동휠에 수직한 편심 캠 샤프트에 의해 결합되며, 각각의 편심캠의 상부 및 기부 캠 베어링은 상호간 180°로 배치되며, 각각의 기부 구동휠은 기부 캠 베어링에 의해 하부 연마 플레이트 링키지에 회전가능하게 결합되며, 하부 연마 플레이트 링키지는 하부 연마 플레이트를 기부 구동휠에 결합시키며, 각각의 상부 구동휠은 상부 캠 베어링에 의해 상부 연마 플레이트 링키지에 회전가능하게 결합되며, 상부 연마 플레이트 링키지는 상부 연마 플레이트를 상부 구동 휠에 결합시키며, 2개의 상부 링키지는 상호간에 대해 수직하게 배치되며, 2개의 하부 링키지는 상호간에 대해 수직하게 배치되며, 상부 캠 베어링과 하부 캠 베어링 각각은 제4축에 대해 회전하며, 제3축은 임계반경과 동일한 거리만큼 상부 캠 베어링과 기부 캠 베어링 모두의 제4축으로부터 이격되며, 하강 압력 시스템이 편심수단에 연관됨으로써 하강 압력시스템은 항상 캐리어상에 중심이 배치되는 것을 특징으로 하는 기계로 하나 이상의 공작물의 양면을 동시에 마무리 가공하는 방법에 있어서, a. 상부 및 기부를 갖는 하나 이상의 공작물을 캐리어에 배치시켜 각각의 공작물의 기부를 하부 연마 플레이트에 접촉시키는 단계; b. 하강 압력 시스템의 수단으로 상부 연마 플레이트를 하강시켜 공작물의 상부와 접촉시키는 단계; c.제1축에 대해 스핀들을 회전시켜 원형 스핀들 캠을 비회전순환방식으로 회전시키도록 모터를 작동시킴으로써, 원형 스핀들 캠의 제2측의 임계반경과 같은 반경을 갖는 원을 그리게 하여, 원형 스핀들 캠이 기부 연마 플레이트를 비회전 순환방식으로 이동시키게하며, 기부 연마 플레이트의 작동을 기부 구동휠의 기부 캠 베어링에 회전가능하게 결합되는 하부 연마 플레이트 링키지에 의해 편심캠에 전달시켜 편심캠의 샤프트를 제3축에 대해 회전시키며, 편심캠 샤프트가 제3축에 대해 회전하여 상부 캠 베어링에 의해 상부 연마 플레이트 링키지에 회전가능하게 결합된 상부 구동휠에 하여금 상부 연마 플레이트를 비회전 순환방식으로 이동시켜 공작물을 마무리 가공하는 단계; d. 모터를 정지시켜 단계(c)와 같이 상부 및 하부 연마 플레이트의 작동을 정지 시키는 단계; e. 하강 압력 시스템으로 상부 연마 플레이트를 상승시켜 공작물을 방출시키는 단계; 및 f. 캐리어에서 마무리 가공된 공작물을 제거하는 단계를 포함하는, 하나 이상의 공작물의 양면을 동시에 마무리 가공하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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DE (1) DE4130653C2 (ko)
GB (1) GB2249044B (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170032325A (ko) * 2014-07-17 2017-03-22 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 화학적 기계적 연마를 위한 방법, 시스템, 및 연마 패드

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5274960A (en) * 1990-10-23 1994-01-04 Speedfam Corporation Uniform velocity double sided finishing machine
GB9402140D0 (en) * 1994-02-04 1994-03-30 Actis Uk Limited Grainger Alla Lapping machine
US5422316A (en) * 1994-03-18 1995-06-06 Memc Electronic Materials, Inc. Semiconductor wafer polisher and method
US5733175A (en) 1994-04-25 1998-03-31 Leach; Michael A. Polishing a workpiece using equal velocity at all points overlapping a polisher
US5607341A (en) 1994-08-08 1997-03-04 Leach; Michael A. Method and structure for polishing a wafer during manufacture of integrated circuits
DE19513383C2 (de) * 1995-04-08 1997-11-20 Supfina Grieshaber Gmbh & Co Vorrichtung zum beidseitigen Feinstbearbeiten oder Superfinishen von scheibenförmigen Werkstücken
US5697832A (en) * 1995-10-18 1997-12-16 Cerion Technologies, Inc. Variable speed bi-directional planetary grinding or polishing apparatus
US5762543A (en) * 1995-11-30 1998-06-09 Speedfam Corporation Polishing apparatus with improved product unloading
US5882245A (en) * 1997-02-28 1999-03-16 Advanced Ceramics Research, Inc. Polymer carrier gears for polishing of flat objects
JPH11207610A (ja) * 1998-01-26 1999-08-03 Speedfam Co Ltd 研磨量制御システム及びその方法
US5997390A (en) * 1998-02-02 1999-12-07 Speedfam Corporation Polishing apparatus with improved alignment of polishing plates
JP3791302B2 (ja) * 2000-05-31 2006-06-28 株式会社Ｓｕｍｃｏ 両面研磨装置を用いた半導体ウェーハの研磨方法
GB2426945A (en) * 2004-12-17 2006-12-13 Zeiss Carl Smt Ag Working opposed members of a workpiece
KR100926025B1 (ko) * 2005-09-14 2009-11-11 가부시키가이샤 오카모도 코사쿠 기카이 세이사쿠쇼 직사각형 기판의 양면 연마 장치 및 양면 연마 방법
US7803034B2 (en) * 2006-03-31 2010-09-28 Positioning Systems, Inc. System for moving and positioning an object such as a tool
US8602842B2 (en) * 2010-03-12 2013-12-10 Wayne O. Duescher Three-point fixed-spindle floating-platen abrasive system
US8740668B2 (en) * 2010-03-12 2014-06-03 Wayne O. Duescher Three-point spindle-supported floating abrasive platen
US8500515B2 (en) * 2010-03-12 2013-08-06 Wayne O. Duescher Fixed-spindle and floating-platen abrasive system using spherical mounts
US8647171B2 (en) * 2010-03-12 2014-02-11 Wayne O. Duescher Fixed-spindle floating-platen workpiece loader apparatus
CN108838777B (zh) * 2018-06-12 2024-07-23 南京喵渔安信息技术有限公司 一种家用装饰品生产加工装置
CN111230728B (zh) * 2019-12-18 2021-05-14 昆山益延精密五金有限公司 一种双面研磨装置
CN114871930A (zh) * 2022-06-02 2022-08-09 广东先达数控机械有限公司 封边机抛光机构
CN114800109A (zh) * 2022-06-27 2022-07-29 苏州博宏源机械制造有限公司 双面抛光机及其抛光方法
CN117773736B (zh) * 2024-02-23 2024-06-04 卓特精机(南京)有限公司 一种一体式数控复合磨床

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US225619A (en) * 1880-03-16 welleb
US2410752A (en) * 1945-10-26 1946-11-05 G G Campbell Lapping machine
US2423118A (en) * 1946-02-05 1947-07-01 Eric G Ramsay Lapping machine
US2696067A (en) * 1952-12-03 1954-12-07 Leach Banner Grinding machine
US3050913A (en) * 1959-08-11 1962-08-28 Pittsburgh Plate Glass Co Glass manufacture
US3263376A (en) * 1959-12-16 1966-08-02 Libbey Owens Ford Glass Co Method for surfacing glass
FR1260602A (fr) * 1960-02-19 1961-05-12 Saint Gobain Perfectionnement aux dispositifs de doucissage ou de polissage des feuilles de verre
US3176441A (en) * 1960-11-30 1965-04-06 Libbey Owens Ford Glass Co Method for surfacing glass
US4073094A (en) * 1977-05-31 1978-02-14 Walz Robert A Method and apparatus for repairing a crack in a pane of plate glass
US5274960A (en) * 1990-10-23 1994-01-04 Speedfam Corporation Uniform velocity double sided finishing machine

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170032325A (ko) * 2014-07-17 2017-03-22 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 화학적 기계적 연마를 위한 방법, 시스템, 및 연마 패드

Also Published As

Publication number Publication date
US5274960A (en) 1994-01-04
GB2249044B (en) 1994-08-10
GB9122299D0 (en) 1991-12-04
JPH05131359A (ja) 1993-05-28
DE4130653C2 (de) 1996-04-25
GB2249044A (en) 1992-04-29
JP2564214B2 (ja) 1996-12-18
DE4130653A1 (de) 1992-04-30
KR0168672B1 (ko) 1999-02-01

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