DE4130653A1 - Bearbeitungsmaschine fuer zweiseitige bearbeitung von werkstuecken - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Bearbeitungsmaschine für zweiseitige Bearbeitung von Werkstücken gemäß Oberbe­ griff des Anspruchs 1. Die Bearbeitungsmaschine soll in der Lage sein, beide Seiten eines oder mehrerer Werkstücke gleichzeitig zu schleifen und zu Polieren. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Verwendung der Maschine zum Schleifen und/oder Polieren beider Seiten mehrerer Werkstücke zur gleichen Zeit.

Viele Materialien, wie Silizium, Metalle und Glas, erfordern das Schleifen und Polieren mehrerer Oberflächen, bevor das Material als Zwischen- oder Endprodukt verwendet werden kann. Bekannte Schleif- und Poliermaschinen verwenden häufig rotierende Scheiben, um gleichzeitig zwei Seiten eines Werkstückes zu polieren. Da die Polierscheiben rotie­ ren, ergeben sich auf dem Bearbeitungsbereich ungleichmäßige Geschwindigkeitsprofile. Hierdurch kann eine ungleichmäßige Werkstoffabnahme auf dem Werkstück verursacht werden, wo­ durch bearbeitete Werkstücke entstehen, die hinsichtlich Ebenheit und Oberflächenparallelität mangelhaft sind.

Die meisten Schleif- und Poliermaschinen, die eingesetzt werden, um zwei Seiten eines Werkstückes gleich­ zeitig zu bearbeiten, verwenden Schleifmittel, um das Polie­ ren und Bearbeiten verschiedenartiger Werkstücke zu unter­ stützen. Üblicherweise werden diese Schleifmittel auf die Werkstücke aufgebracht über Leitungen in den Polierplatten. Da die Polierplatten rotieren, sind komplizierte Drehverbin­ dungen zwischen der stationären Schleifmittelquelle und den rotierenden Scheiben erforderlich, damit die Polierschleif­ mittel beiden Seiten des Werkstücks zugeführt werden können. Diese Verbindungen neigen zum Ausfall, wodurch die Wirksam­ keit der Poliermaschine beeinträchtigt wird.

Die Polier- und Bearbeitungsgeschwindigkeiten neuerer bzw. modernerer Poliermaschinen können eingestellt werden durch Einstellung der Umdrehungsgeschwindigkeit der Polierplatten. Üblicherweise ergibt eine Erhöhung der Umdre­ hungszahl der Polierplatte pro Minute eine proportionale Erhöhung der Poliergeschwindigkeit oder Schleifgeschwindig­ keit des Werktückes. Die Plattengeschwindigkeit ändert sich jedoch in radialer Richtung des Werkstückes, da der äußere Teil der Polierplatte mit einer höheren Geschwindigkeit umläuft als der innere Teil der Polierplatte. Diese Un­ gleichheit der Plattengeschwindigkeit kann bewirken, daß die Polierplatte ein Werkstück ungleichmäßig poliert oder schleift. Dieses Problem ergibt sich insbesondere aus der Tatsache, daß die Polierplatte um eine feste Achse rotiert.

Gegenwärtige Verfahren zum Schleifen und Polieren von Werkstücken erzeugen gewöhnlich ein zufriedenstellendes Produkt mit einer zufriedenstellenden Produktionsgeschwin­ digkeit. Die Verfahren unterliegen aber Problemen, die direkt der Konstruktion der drehenden Polier- und Schleifma­ schinen zugeordnet sind. Diese Probleme umfassen Schwierig­ keiten bei der Zuführung von Polierschleifmitteln zu den Werkstücken, Schwierigkeiten bei der Aufrechterhaltung einer konstanten Poliergeschwindigkeit über die Oberfläche eines Werkstückes innerhalb einer Charge, und Schwierigkeiten hinsichtlich der gleichzeitigen Bearbeitung beider Seiten eines Werkstückes zur Erzielung einer gleichförmigen Ober­ flächengüte.

Die Erfindung bezweckt die Schaffung einer Ma­ schine zum Schleifen und Polieren zweier Seiten eines oder mehrerer Werkstücke zur gleichen Zeit, wobei die Maschine eine Basis, eine obere Polierplatte, eine untere Polierplat­ te, eine Aufnahme zur Aufnahme eines oder mehrerer Werk­ stücke, einen Motor, eine Spindel mit einer ersten Achse, einen an einem festen Radius angebrachten Spindelnocken und einen bis vier exzentrische Antriebsnocken aufweist.

Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Maschine zum gleichzeitigen Bearbeiten zweier Seiten eines oder mehrerer Werkstücke anzugeben, bei der die auf eine Seite des Werkstückes aufgrund der Bearbeitung ausgeübten Kräfte im wesentlichen die auf die zweite Seite des Werkstückes ausgeübten Kräfte kompensieren.

Ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung be­ steht darin, eine Maschine zum gleichzeitigen Bearbeiten zweier Seiten eines oder mehrerer Werkstücke anzugeben, bei der die Bearbeitungsgeschwindigkeiten über die Gesamtseite eines Werkstückes im wesentlichen gleich sind.

Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Maschine zum gleichzeitigen Bearbeiten zweier Seiten eines oder mehrerer Werkstücke anzugeben, bei der flüssiges Polierschleifmittel der Oberseite und Unter­ seite des Werkstückes zugeführt wird, indem eine einfache Leitungsverbindung verwendet wird.

Die zur Lösung dieser Aufgabe geschaffene erfin­ dungsgemäße Maschine zum gleichzeitigen Bearbeiten zweier Seiten eines oder mehrerer Werkstücke umfaßt eine Basis, eine obere Polierplatte, eine untere Polierplatte, eine Aufnahme zur Aufnahme eines oder mehrerer Werkstücke, einen Motor, eine Spindel mit einer ersten Achse, eine eine zweite Achse aufweisende Spindel, die an der Spindel an einem festen Radius angebracht ist und einen bis vier exzentrische Nocken. Die Aufnahme der Maschine ist an der Basis ange­ bracht und befindet sich zwischen der oberen und unteren Polierplatte. Der Motor ist an der Basis angebracht und dreht die Spindel um die erste Achse. Die Spindel ist mit dem Spindelnocken an einer zweiten Achse befestigt. Die erste Achse und die zweite Achse sind zur Bildung eines kritischen Radius versetzt zueinander angeordnet. Jeder exzentrische Nocken ist an der Basis befestigt und umfaßt ein unteres Antriebsrad und ein oberes Antriebsrad. Jedes untere Antriebsrad ist drehbar verbunden mit einem unteren Polierplattengelenkgetriebe. Das untere Polierplattenge­ lenkgetriebe verbindet die untere Polierplatte mit einem unteren Antriebsrad. Das obere Antriebsrad jedes exzentri­ schen Nockens ist drehbar verbunden mit einem oberen Polier­ plattengelenkgetriebe. Das obere Polierplattengelenkgetriebe verbindet die obere Polierplatte mit einem oberen Antriebs­ rad. Jeder exzentrische Nocken rotiert um eine dritte Achse.

Bei einer anderen Ausführungsform der Erfindung ist eine Maschine zum gleichzeitigen Bearbeiten zweier Seiten eines oder mehrerer Werkstücke vorgesehen mit einer Basis, mit einer eine obere Polierplatte aufweisenden Lei­ tung, einer die untere Polierplatte aufweisenden Leitung, wobei im Boden der unteren Polierplatte eine kreisförmige Vertiefung vorgesehen ist, eine Aufnahme zur Aufnahme eines oder mehrerer Werkstücke, einem Motor, einer Spindel mit einer ersten Achse, einem kreisförmigen Spindelnocken mit einer zweiten Achse, wobei der kreisförmige Spindelnocken fest an der Spindel angebracht ist, zwei exzentrischen Nocken und einem Abwärtsdrucksystem. Die Aufnahme ist fest an der Basis an einer Stelle zwischen der oberen und unteren Polierplatte angebracht. Der Motor ist an der Basis ange­ bracht und dreht die Spindel um die erste Achse. Die Spindel ist fest dem kreisförmigen Spindelnocken zugeordnet, der die kreisförmige Vertiefung im Boden der unteren Polierplatte besetzt. Der Boden der unteren Polierplatte besteht aus einem Material, das in der Lage ist, wie eine Lagerfläche zu wirken. Die Spindel ist dem Spindelnocken so zugeordnet, daß die erste Achse und die zweite Achse versetzt zueinander angeordnet sind zur Bildung eines kritischen Radius. Die zweite Achse des Spindelnockens beschreibt einen Kreis mit einem Radius, der den kritischen Radius bildet. Jeder der zwei exzentrischen Nocken umfaßt ein unteres Nockenlager und ein oberes Nockenlager, die relativ zueinander in etwa 180°-Positionen angeordnet sind. Das obere und untere Nockenlager sind an einem oberen Antriebsrad und einem unteren Antriebsrad angebracht. Das obere und untere An­ triebsrad sind durch eine exzentrische Nockenwelle verbun­ den, die senkrecht zum oberen und unteren Antriebsrad orien­ tiert ist. Jedes Nockenlager ist drehbar mit einem unteren Polierplattengelenkgetriebe verbunden. Ein unteres Polier­ plattengelenkgetriebe verbindet die untere Polierplatte mit einer unteren Nocke. Jedes obere Nockenlager ist drehbar verbunden mit einem oberen Polierplattengelenkgetriebe. Das obere Polierplattengelenkgetriebe verbindet die obere Po­ lierplatte mit einem oberen Nockenlager. Die zwei oberen Polierplattengelenkgetriebe sind senkrecht zueinander ange­ ordnet, und die unteren Polierplattengelenkgetriebe sind ebenfalls senkrecht zueinander angeordnet. Jedes obere und untere Nockenlager rotiert um eine vierte Achse. Die exzen­ trische Nockenwelle jedes exzentrischen Nockens dreht um eine dritte Achse. Die dritte Achse ist von der vierten Achse um den kritischen Radius getrennt.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es auch, ein Verfahren zum gleichzeitigen Bearbeiten zweier Seiten eines oder mehrerer Werkstücke anzugeben, das eine Maschine verwendet, die eine Basis, eine obere Polierplatte, eine untere Polierplatte mit einer unterseitigen kreisförmigen Vertiefung, eine Aufnahme zum Aufnehmen eines oder mehrerer Werkstücke, einen Motor, eine Spindel mit einer ersten Achse, einen eine zweite Achse aufweisenden kreisförmigen Spindelnocken, der in einem festen Radius mit der Spindel verbunden ist, und zwei senkrecht orientierte exzentrische Nocken aufweist. Die Aufnahme ist an der Basis angebracht zwischen der oberen und unteren Polierplatte. Der Motor ist an der Basis angebracht und dreht die Spindel um die erste Achse. Die erste Achse und die zweite Achse sind versetzt zueinander angeordnet und bilden einen kritischen Radius. Der kreisförmige Spindelnocken besetzt die kreisförmige Vertiefung in der Unterseite der unteren Polierplatte. Jeder der zwei exzentrischen Nocken umfaßt ein unteres Antriebsrad mit einem unteren Nockenlager und ein oberes Antriebsrad mit einem oberen Nockenlager, wobei das obere und untere Nocken­ lager einander gegenüber einstellbar angeordnet sind. Das untere Antriebsrad und das obere Antriebsrad sind verbunden über eine exzentrische Nockenwelle, die senkrecht zum oberen und unteren Antriebsrad ausgerichtet ist. Jedes untere Nockenlager ist drehbar mit einem unteren Polierplattenge­ lenkgetriebe verbunden. Ein unteres Polierplattengelenkge­ triebe verbindet die untere Polierplatte mit einem unteren Nockenlager. Jedes obere Nockenlager ist drehbar mit einem oberen Polierplattenelenkgetriebe verbunden. Ein oberes Polierplattengelenkgetriebe verbindet die obere Polierplatte mit einem oberen Nockenlager. Die exzentrische Nockenwelle rotiert um eine dritte Achse. Das obere und untere Nocken­ lager weisen jeweils eine vierte Achse auf, um die das obere und untere Polierplattengelenkgetriebe rotiert. Die dritte Achse ist getrennt von jeder vierten Achse durch den kriti­ schen Radius. Das Verfahren umfaßt folgende Schritte: Anord­ nung eines oder mehrerer Werkstücke, die jeweils obere und untere Abmessungen aufweisen, in der Aufnahme derart, daß die Bodenabmessung jedes Werkstückes die untere Polierplatte berührt. Die obere Polierplatte wird bis zum Kontakt mit der Oberseite des Werkstückes oder der Werkstücke abgesenkt. Das Werkstück oder die Werkstücke werden durch Betätigung des Motors bearbeitet, der bewirkt, daß die Spindel um die erste Achse rotiert. Die Rotation der Spindel um die erste Achse bewirkt, daß der kreisförmige Spindelnocken einen Kreis beschreibt, derart, daß die zweite Achse einen Kreis be­ schreibt, der einen Radius aufweist, der gleich dem kriti­ schen Radius ist. Die Rotation des kreisförmigen Spindel­ nockens um die zweite Achse bewirkt, daß die untere Polier­ platte bzw. Bodenpolierplatte sich kreisförmig, aber nicht drehend bewegt. Die Bewegung der unteren bzw. Bodenpolier­ platte wird übertragen auf jeden exzentrischen Nocken durch jedes untere Polierplattengelenkgetriebe, das bewirkt, daß die exzentrische Nockenwelle jedes exzentrischen Nockens um die dritte Achse rotiert. Die Drehung der exzentrischen Nockenwelle jedes exzentrischen Nockens um die dritte Achse bewirkt, daß das obere Antriebsrad rotiert. Die Rotation des oberen Antriebsrades erlaubt dem oberen Polierplattengelenk­ getriebe um die vierte Achse des Nockenlagers zu verschwen­ ken. Die Bewegung jedes oberen Polierplattengelenkgetriebes wird übertragen auf die obere Polierplatte, wodurch bewirkt wird, daß die obere Polierplatte kreisförmig, aber nicht drehend bewegt wird. Die kreisförmige, nicht drehende Bewe­ gung der oberen und unteren Polierplatte erfolgt in ein­ stellbarer Weise gegenläufig. Wenn der Bearbeitungsschritt beendet ist, wird der Motor angehalten und wird die obere Polierplatte angehoben, so daß sie außer Kontakt mit der Oberseite des Werkstückes oder der Werkstücke gerät. An­ schließend werden die bearbeiteten Werkstücke von der Auf­ nahme entfernt.

Die Erfindung soll nachfolgend anhand eines in der Zeichnung dargestellten bevorzugten Ausführungsbeispiels näher erläutert werden.

Es zeigt:

Fig. 1 eine Oberansicht der verschiedenen Elemente der Bearbeitungsmaschine gemäß vorliegender Erfindung und

Fig. 2 eine Seitenansicht der verschiede­ nen Elemente der Bearbeitungsmaschine nach Fig. 1.

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Bearbei­ tungsmaschine zum gleichzeitigen Bearbeiten zweier Seiten eines oder mehrerer Werkstücke sowie ein Verfahren zur Vewendung der Bearbeitungsmaschine zur gleichzeitigen Bear­ beitung zweier Seiten eines oder mehrerer Werkstücke.

Die Erfindung soll zunächst unter Bezug auf die Figuren erläutert werden, in denen gleiche Elemente die gleiche Bezugszahl aufweisen. Die Fig. 1 zeigt eine Oberan­ sicht verschiedener Elemente der Bearbeitungsmaschine dieser Erfindung. Die Bearbeitungsmaschine weist eine obere Polier­ platte 12 und eine untere Polierplatte 14 auf. Die obere Polierplatte 12 ist parallel zur unteren Polierplatte 14 angeordnet. Eine Aufnahme 20 zur Aufnahme eines oder mehre­ rer Werktücke 22 befindet sich zwischen der oberen Polier­ platte 12 und der unteren Polierplatte 14. Die Aufnahme 20 weist eine oder mehrere Zellen auf, die ein Werkstück 22 aufnehmen können. Jedes Werkstück 22 befindet sich in Kon­ takt mit der oberen Polierplatte 12 und der unteren Polier­ platte 14 während der Bearbeitungsschritte. Die Bearbei­ tungsmaschine umfaßt ferner eine Spindel 28. Ein Motor dreht die Spindel 28 um eine erste Achse 29. Ein kreisförmiger Spindelnocken 30 ist an der Spindel 28 befestigt. Die Spin­ del 28 und der kreisförmige Spindelnocken 30 sind fest miteinander verbunden. Eine zweite Achse 31 ist am Zentrum des kreisförmigen Spindelnockens 30 angeordnet. Vorzugsweise ist keine Relativbewegung zwischen der Spindel 28 und dem kreisförmigen Spindelnocken 30 vorgesehen. Sie sind übli­ cherweise miteinander verbolzt. Dadurch bewirkt die Rotation der Spindel 28 um die erste Achse 29, daß die zweite Achse 31 des kreisförmigen Spindelnockens 30 einen Kreis be­ schreibt, der einen Radius aufweist, der den kritischen Radius bildet. Die obere Polierplatte 12 und die untere Polierplatte 14 sind durch obere Polierplattengelenkgetriebe 34 und untere Polierplattengelenkgetriebe 36 an zwei exzen­ trischen Nocken 40 befestigt, die bezüglich der ersten Achse 29 senkrecht zueinander angeordnet sind. Jedes obere Polier­ plattengelenkgetriebe ist mit einem oberen Antriebsrad 42 jedes exzentrischen Nockens 40 an einem oberen Nockenlager 46 verbunden. Jedes untere Polierplattengelenkgetriebe 36 ist mit einem unteren Antriebsrad 44 jedes exzentrischen Nockens 40 an einem unteren Nockenlager 47 verbunden. Das obere Antriebsrad 42 und das untere Antriebsrad 44 sind an einer exzentrischen Nockenwelle 48 angebracht. Die exzentri­ sche Nockenelle 48 rotiert um eine dritte Achse 50. Das obere Nockenlager 46 und das untere Nockenlager 47 rotieren jeweils um eine vierte Achse 54. Die dritte Achse 50 und die vierte Achse 54 sind durch den kritischen Radius 33 vonein­ ander getrennt.

Die Fig. 2 zeigt eine Seitenansicht der Maschine der vorliegenden Erfindung. Die Fig. 2 zeigt eine Spindel 28, die auf einer Basis 10 montiert ist. Die Spindel rotiert um eine erste Achse 29 und ist an einem kreisförmigen Spin­ delnocken 30 vermittels Befestigungsmittel 32 befestigt. Der kreisförmige Spindelnocken befindet sich innerhalb einer kreisförmigen Vertiefung 16 im Boden der unteren Polierplat­ te 14. Die untere Polierplatte 14 und die obere Polierplatte 12 umfassen jeweils Leitungen 13, um Kühlmittel und/oder Schleifmittel dem Werkstück 22 zuzuführen. Das Werkstück 22 wird in der Aufnahme 20 zwischen der oberen Polierplatte 12 und der unteren Polierplatte 14 gehalten. Die Aufnahme 20 kann fest, starr oder bewegbar zwischen der oberen Polier­ platte 12 und der unteren Polierplatte 14 angeordnet sein. Das Werkstück 22 weist eine obere Abmessung 23 auf, die in Berührung mit der oberen Polierplatte 12 steht und eine untere Abmessung 24, die in Berührung steht mit der unteren Polierplatte 14.

Die untere Polierplatte 14 vollführt eine kreis­ förmige Bewegung, rotiert jedoch nicht um eine Achse, son­ dern beschreibt einen Kreis. Die kreisförmige Bewegung der unteren Polierplatte 14 wird übertragen durch das Polier­ plattengelenkgetriebe 36 auf das Bodennockenlager 47, das mit der Unterseite des unteren Antriebsrades 44 des exzen­ trischen Nockens 40 verbunden ist. Das untere Nockenlager 47 ist drehbar mit dem unteren Polierplattengelenkgetriebe 36 verbunden. Die kreisförmige, nicht drehende Bewegung der unteren Polierplatte 14 wird auf das untere Nockenlager 47 durch das untere Polierplattengelenkgetriebe 36 übertragen, wodurch bewirkt wird, daß sich das untere Antriebsrad 44 zusammen mit der exzentrischen Nockenwelle 43 um die dritte Achse 50 dreht. Zur gleichen Zeit dreht der exzentrische Nocken 40 um die dritte Achse 50 und das untere Nockenlager 47 um die vierte Achse 54.

Der gesamte exzentrische Nocken 40 dreht um die dritte Achse. Daher dreht auch das obere Antriebsrad 42 um die dritte Achse. Das obere Antriebsrad 42 weist ein oberes Nockenlager 46 auf, das sich auf der Oberseite des oberen Antriebsrades 42 befindet. Das obere Nockenlager 46 ist dem oberen Polierplattengelenkgetriebe 34 drehbar zugeordnet, das wiederum mit der oberen Polierplatte 12 verbunden ist. Die Rotation des oberen Antriebsrades 42 wird über das obere Polierplattengelenkgetriebe 34 auf die obere Polierplatte 12 übertragen, wodurch bewirkt wird, daß die obere Polierplatte 12 im wesentlichen die gleiche kreisförmige, nicht drehende Bewegung durchführt wie die untere Polierplatte 14. Das obere Nockenlager 46 und das untere Nockenlager 47 sind in 180°-Gegenstellung relativ zueinander angeordnet. Wenn beispielsweise die obere Polierplatte durch das obere Nockenlager 46 in minimale Entfernung zum exzentrischen Nocken 40 bewegt worden ist, befindet sich die untere Po­ lierplatte, die am unteren Nockenlager 47 des exzentrischen Nockens 40 angebracht ist, in ihrer größten Entfernung zum exzentrischen Nocken 40. Die Bewegung der oberen Polierplat­ te 12 und der unteren Polierplatte 14 braucht nicht in 180°- Gegenstellung zu erfolgen. Die Orientierung des oberen Nocken­ lagers 46 und des unteren Nockenlagers 47 relativ zueinander kann eingestellt werden, so daß die Relativbewegung der oberen Polierplatte 12 und der unteren Polierplatte 14 in 0° bis etwa 180°-Gegenstellung zueinander erfolgen kann.

Die obere Polierplatte 12 umfaßt eine oberes Po­ lierplattengelenkgetriebe 34, das verbunden ist mit dem oberen Nockenlager 46 eines oberen Antriebsrades 42 jedes exzentrischen Nockens 40. Ein einzelnes oberes Polierplat­ tengelenkgetriebe 34 verbindet ein einzelnes oberes An­ triebsrad 42 mit der oberen Polierplatte 12. Auf die gleiche Weise ist die untere Polierplatte 14 durch separate untere Polierplattengelenkgetriebe 36 mit jedem unteren Antriebsrad 44 jedes exzentrischen Nockens 40 verbunden. Das obere Polierplattengelenkgetriebe 34 ist drehbar verbunden mit dem oberen Antriebsrad 42 am oberen Nockenlager 46. Das untere Polierplattengelenkgetriebe ist drehbar verbunden mit dem unteren Antriebsrad 44 am unteren Nockenlager 47. Das obere Antriebsrad 42 und das untere Antriebsrad 44 sind parallel zueinander angeordnet und über die exzentrische Nockenwelle 48 verbunden.

Die exzentrische Nockenwelle 48 dreht um eine dritte Achse 50. Das obere Nockenlager 46 und das untere Nockenlager 47 befinden sich an Punkten auf dem oberen Antriebsrad 42 und unterem Antriebsrad 44, derart, daß die Entfernung von der dritten Achse 50 zu den Zentren des oberen Nockenlagers 46 und unteren Nockenlagers 47, zu der vierten Achse 54 gleich ist dem kritischen Radius 33. Das obere Nockenlager 46 und das untere Nockenlager 47 können um ihre Zentren, die vierte Achse 54, rotieren oder sie können fixiert sein, derart, daß der Kreisumfang, der die Lage definiert, in der das obere oder untere Nockenlager 46 und 47 drehbar verbunden sind mit dem oberen oder unteren Polierplattengelenkgetriebe 34 und 36, als eine Lagerfläche wirkt, die dem oberen und unteren Nockenlager 46 und 47 ermöglicht, um die vierte Achse 54 zu verschwenken. Die Erfindung benutzt vorzugsweise zwei exzentrische Antriebs­ nocken, um gleichzeitig beide Seiten eines oder mehrerer Werkstücke, beispielsweise Silizium, Metall, Glas oder andere Materialien, die sich innerhalb der Aufnahme befin­ den, zu polieren oder zu schleifen, d. h. zu bearbeiten. Eine Poliermittelaufschlämmung oder ein Schleifkühlmittel kann in den Arbeitsbereich sowohl von der oberen als auch unteren Polierplatte zugeführt werden, um den Bearbeitungs- Prozeß zu verbessern, oder es kann Kühlmittel durch Leitun­ gen in den Polierplatten zirkulieren. Die obere und untere Polier- oder Schleifplatte sind mit der exzentrischen Ein­ richtung über einstellbare Gelenkgetriebe verbunden, wodurch die Verschiebung, Geschwindigkeit und Beschleunigung der unteren Polierplatte über den exzentrischen Nocken auf jeden Punkt der oberen Polierplatte übertragen wird. Die Verwen­ dung wenigstens zweier zusammenwirkender Nocken, um eine Polierplatte anzutreiben, ermöglicht der oberen und unteren Polierplatte, einen kreisförmigen Weg zu beschreiben, wäh­ renddessen eine konstante geometrische Orientierung auf­ rechterhalten wird, anstatt einfach um eine feste Achse zu rotieren, wie dies bei herkömmlichen Poliervorrichtungen üblich ist.

Der Hauptvorteil dieser kreisförmigen Bewegungs­ art ohne Plattenrotation zum Polieren besteht darin, daß alle Punkte auf der Polierplatte die gleiche identische Verschiebung, Geschwindigkeit und Beschleunigung aufweisen wie der Verbindungspunkt auf dem Exzenter zu jedem gegebenen Zeitpunkt. Dadurch weist ein in der Aufnahme zwischen der oberen und unteren Polierplatte angeordnetes Werkstück ein gleichförmiges relatives Geschwindigkeits- und Beschleuni­ gungsprofil über die Gesamtfläche des Werkstückes auf, wodurch an allen Punkten des Werkstückes ein gleichmäßiger Materialabtrag erhalten wird. Außerdem sind die obere und untere Platte drehbar mit exzentrischen Nocken an Punkten verbunden, die im Abstand von 0 bis 180° einstellbar sind. Wenn jedoch das obere und untere Nockenlager jedes exzentri­ schen Nockens im Abstand von 180° angeordnet sind, ist ihre Bewegung relativ zueinander um 180° außer Phase, oder mit anderen Worten bewegen sie sich relativ zueinander in entge­ gengesetzte Richtungen. Auf diese Weise wird das Werkstück von entgegengesetzten Richtungen aus bearbeitet, wodurch die resultierenden, auf das Werkstück einwirkenden Gesamtkräfte beträchtlich reduziert oder sogar kompensiert werden. Ein Phasenwinkel von 180° minimiert die Werkstückdrehung inner­ halb der Aufnahme (für rund ausgebildete Werkstücke) und reduziert ferner die vom Werkstück auf die Aufnahme ausgeüb­ ten Kräfte. Es soll darauf hingewiesen werden, daß bei einer Bearbeitungsmaschine, die mehr als einen exzentrischen Nocken aufweist, der Phasenwinkel, der däs obere und untere Nockenlager trennt, für jeden exzentrischen Nocken gleich sein muß.

Die Bearbeitungsmaschine erfordert einen einzigen Motor und eine einzige Spindel, die unterhalb des Bearbei­ tungsbereichs angeordnet ist, um sowohl die untere als auch obere Polierplatte anzutreiben. Die Hauptantriebsspindel ist vertikal senkrecht zum Maschinenrahmen oder zur Basis ange­ ordnet. Ein exakt runder Spindelnocken ist am oberen Teil der Antriebsspindel angeordnet, wobei sich das Zentrum oder die zweite Achse des Spindelnockens in einer oder mehreren möglichen einstellbaren Entfernungen von der ersten Achse des Spindelnockens befindet. Der Abstand zwischen dem Spin­ delnockenzentrum, der zweiten Achse und dem Spindelrotati­ onszentrum der ersten Achse bildet den kritischen Radius für die exzentrische Bewegung und muß für alle eingebauten exzentrischen Vorrichtungen gleich sein. Zusätzlich kann der kritische Radius eingestellt werden, um höhere oder niedri­ gere Winkelgeschwindigkeiten zu erreichen, wobei sämtliche Exzenter entsprechend eingestellt werden müssen.

Die untere und obere Polierplatte ist vorzugswei­ se an einem kunststoffähnlichen Block befestigt, der als Lagerfläche wirkt. Dieser Block weist eine kreisförmige eingearbeitete Vertiefung auf, in die der kreisförmige Spindelnocken eng hineinpaßt. Dieser Lagerblock befindet sich in Sandwich-Anordnung zwischen der unteren Polierplatte und einer zusätzlichen Metallplatte und umfaßt die untere Polierplattenanordnung. Die zusätzliche Metallplatte auf der Unterseite des Plastikblockes ist zum Anbringen der notwen­ digen Antriebsverbindungen vorgesehen. Die obere Polierplat­ te ist auf ähnliche Weise konstruiert, sie weist jedoch keine Vertiefung auf.

Ein unteres Polierplattengelenkgetriebe verbindet jeden exzentrischen Nocken mit der unteren Polierplatte. Vorzugsweise sind zwei untere Polierplattengelenkgetriebe, die jeweils mit einem separaten exzentrischen Nocken verbun­ den sind, mit der unteren Polierplattenanordnung verbunden. Die zwei unteren Polierplattengelenkgetriebe übertragen seitlich die exzentrische Bewegung der unteren Polierplatte auf jede unabhängige exzentrische Nockenvorrichtung. Vor­ zugsweise sind die unteren Polierplattengelenkgetriebe bezüglich der ersten Achse senkrecht zueinander angeordnet, um eine gleichmäßige Bewegungsübertragung auf die exzentri­ schen Nocken und von den exzentrischen Nocken zu erleich­ tern. Die Befestigungspunkte auf den zwei exzentrischen Nockenvorrichtungen müssen angepaßt werden auf den gleichen kritischen Radius vom Rotationszentrum des exzentrischen Nockens, wie dies eingestellt wurde für den Hauptspindel­ nocken. Wenn ein gedachter Pfeil gezeichnet würde vom Zen­ trum jedes exzentrischen Nockens, von der dritten Achse, zum Zentrum des Befestigungspunktes des Gelenkgetriebes zum Zentrum des unteren oder oberen Nockenlagers, zur vierten Achse, würde der Pfeil für jeden Exzenter zu jedem gegebenen Zeitpunkt in die gleiche Richtung zeigen. Der Abstand zwi­ schen der dritten und vierten Achse ist gleich dem kriti­ schen Radius. Wenn die untere Polierplattenanordnung durch den Spindelnocken angetrieben wird, rotieren daher die zwei außenseitigen exzentrischen Nocken im Gleichklang und bewir­ ken diese Nocken, daß die obere und untere Polierplatte einen kreisförmigen Weg ohne Rotation um irgendeine feste Achse beschreiben.

Die Bewegung wird auf die obere Polierplattenan­ ordnung über die gleichen beiden bevorzugten exzentrischen Nocken übertragen. Dies wird erreicht, indem eine gemeinsame exzentrische Nockenwelle verwendet wird, die ein unteres Antriebsrad und ein oberes Antriebsrad senkrecht miteinander verbindet. Wenn die untere Polierplatte in Verbindung mit dem unteren Polierplattengelenkgetriebe bewirkt, daß das untere Antriebsrad eines exzentrischen Nockens rotiert, überträgt die exzentrische Nockenwelle die Rotation auf das obere Antriebsrad, das wiederum mit der oberen Polierplat­ tenanordnung verbunden ist über ein oberes Polierplattenge­ lenkgetriebe, das mit dem oberen Antriebsrad an einem oberen Nockenlager verbunden ist. Die rotierenden Nockenlager des oberen und unteren Antriebsrades der exzentrischen Nocken sind wiederum von der dritten Achse um den kritischen Radius entfernt angeordnet, wobei der kritische Radius für alle Elemente der Bearbeitungsmaschine einstellbar ist.

Das obere und untere Nockenlager befinden sich vorzugsweise im gegenseitigen Abstand von 180°, damit die obere und untere Polierplatte konstant um 180° außer Phase gehalten werden können. Der Phasenwinkel kann eingestellt werden, falls gewünscht, beispielsweise, wenn eine gewisse Werkstückrotation gewünscht wird, indem einfach beide oberen Exzenter im Uhrzeigersinn oder im entgegengesetzten Uhrzei­ gersinn um ihre Welle aus einer Nominalposition heraus rotiert werden, indem Verriegelungssschlitze oder andere Mittel verwendet werden. Der Phasenwinkel kann von 0° bis 180° eingestellt werden.

Das obere Polierplattengelenkgetriebe, das das Antriebsrad eines exzentrischen Nockens mit der oberen Polierplatte verbindet, ist vorzugsweise identisch zum unteren Polierplattengelenkgetriebe ausgebildet, das mit der unteren Polierplatte verbunden ist. Das obere und untere Nockenlager eines exzentrischen Nockens besteht vorzugsweise aus einem Lager, das in einem runden Metallgehäuse einge­ schlossen ist, dessen vierte Achse in einem Abstand angeord­ net ist, der dem kritischen Radius von der dritten Achse entspricht, die die exzentrische Nockenwellenachse dar­ stellt. Das gesamte Nockenlagergehäuse kann bewegt werden, wenn eine Änderung des kritischen Radius gewünscht ist. Jedes obere und untere Polierplattengelenkgetriebe weist eine Öffnung auf, die groß genug ist, um über das Lagerge­ häuse auf dem Exzenter mit minimalem Spielraum übergeschoben zu werden. Wenn eine Bewegung zwischen den unteren und oberen Polierplattengelenkgetrieben über den exzentrischen Nocken übertragen wird, verbleibt das Nockenlagergehäuse in stationärem Kontakt mit dem Gelenkgetriebe, während die innere Laufbahn des Nockenlagers mit dem Exzenter rotiert. Hierdurch wird erreicht, daß nur eine minimale Relativbewe­ gung zwischen den Metallflächen auftritt.

Die Fähigkeit der Maschine, Werkstücke zu bear­ beiten, kann verbessert werden durch Ausübung von Druck auf die Werkstücke über eine oder beide Polierplatten. Vorzugs­ weise wird ein nach unten gerichteter Druck auf die obere Polierplatte ausgeübt. Nach unten gerichteter Druck auf die obere Polierplatte kann erzeugt werden durch einen Luftzy­ linder. Die Druckvorrichtung verwendet eine weitere Exzen­ tervorrichtung, um eine nach unten gerichtete Kraft zu erzeugen, die vorzugsweise zu allen Zeitpunkten über der Bearbeitungsfläche zentriert ist. Der Bearbeitungsbereich wird als Bereich innerhalb der Werkstückaufnahme definiert, der zu allen Zeiten in Kontakt steht mit der oberen und unteren Polierplattenanordnung. Dies ist der Bereich, in dem ein oder mehrere Werkstücke angeordnet werden können, ohne daß sie Plattenstößen ausgesetzt sind. Der Bearbeitungsbe­ reich steht in direkter Beziehung zum kritischen Radius der Vorrichtung. Je kleiner der kritische Radius ist, desto größer ist der verfügbare Bearbeitungsbereich. Der gleiche Druckzylinder kann auch dazu verwendet werden, die obere Plattenanordnung zur unteren Platte hin und von der oberen Platte wegzubewegen zum Beladen mit einem Werkstück und zum Entladen eines Werkstückes.

Änderungen der Werkstückgröße können berücksich­ tigt werden durch entsprechende Änderung der Aufnahme. Das Material der Aufnahme muß steif, aber zugleich flexibel sein und weist gewöhnlich eine Stärke auf, die wenigstens zwei Drittel der Stärke des Werkstückes entspricht. Der kritische Radius kann ebenfalls geändert werden, um verschiedene Winkelgeschwindigkeiten einzustellen zur Anpassung an Ände­ rungen des Werkstückmaterials und der Werkstückgröße. Schließlich können Polierkissen, Polieraufschlämmungen, Schleifmedien und Kühlmittel bei dem Bearbeitungsverfahren eingesetzt werden, um die verschiedenen Schleif- und Bearbei­ tungsvorgänge zu verbessern.

Neben dem Vorteil, daß ein gleichförmiges Ge­ schwindigkeitsprofil an allen Punkten des Werkstückes er­ reicht wird, weist die Erfindung einige andere bedeutende Vorteile auf. Ein Vorteil besteht darin, daß die Platten nicht rotieren, wodurch Polieraufschlämmungen oder Schleif­ kühlmittel zugeführt werden können, indem flexible Leitungen in den Arbeitsbereich geführt werden sowohl von der oberen als auch unteren Platte, ohne daß komplexe Drehkupplungen benötigt werden. Das gleiche gilt für Plattenkühl- oder -plattenheizwasser oder sogar für elektrische Sensoren, wie Thermoelemente oder Dickenmeßeinrichtung, wodurch eine gegenüber dem Stand der Technik wesentlich verbesserte Prozeßsteuerung und -überwachung möglich ist.

Claims (17)

1. Bearbeitungsmaschine zur gleichzeitigen Bearbeitung zweier Seiten eines oder mehrerer Werkstücke, gekennzeich­ net durch eine Basis, eine obere Polierplatte, eine untere Polierplatte, eine Aufnahme zur Aufnahme eines oder mehrerer Werkstücke, einen Motor, eine Spindel mit einer ersten Achse, einen Spindelnocken mit einer zweiten Achse und mit einem bis vier exzentrischen Nocken, wobei die Aufnahme zwischen der oberen und unteren Polierplatte angeordnet ist, der Motor die Spindel um die erste Achse dreht, die Spindel fest mit dem Spindelnocken verbunden ist, der Abstand zwi­ schen der ersten Achse und der zweiten Achse einen kriti­ schen Radius definiert, jeder exzentrische Nocken ein unte­ res Antriebsrad und ein oberes Antriebsrad aufweist, das untere Antriebsrad drehbar mit einem unteren Polierplatten­ gelenkgetriebe verbunden ist, ein unteres Polierplattenge­ lenkgetriebe die untere Polierplatte mit einem unteren Antriebsrad verbindet, jedes obere Antriebsrad drehbar mit einem oberen Polierplattengelenkgetriebe verbunden ist, ein oberes Polierplattengelenkgetriebe die obere Polierplatte mit einem oberen Antriebsrad verbindet und jeder exzentri­ sche Nocken um eine dritte Achse rotiert.

2. Bearbeitungsmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Bearbeitungsmaschine zwei exzentrische Nocken aufweist.

3. Bearbeitungsmaschine nach Anspruch 3, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die zwei exzentrischen Nocken jeweils dreh­ bar verbunden sind mit einem oberen Gelenkgetriebe und einem unteren Gelenkgetriebe, wobei die beiden oberen Gelenkge­ triebe und die zwei unteren Gelenkgetriebe jeweils recht­ winklig zueinander angeordnet sind.

4. Bearbeitungsmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die untere Polierplatte einen Boden mit einer kreisförmigen Vertiefung für einen runden Spindel­ nocken aufweist.

5. Bearbeitungsmaschine nach Anspruch 4, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Boden der unteren Polierplatte aus einem Material besteht, das geeignet ist, als Lagerfläche zu wirken.

6. Bearbeitungsmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das obere Antriebsrad und das untere An­ triebsrad jedes exzentrischen Nockens obere und untere Nockenlager aufweisen, die um eine vierte Achse rotieren, wobei das obere und untere Nockenlager das obere Polierplat­ tengelenkgetriebe und das untere Polierplattengelenkgetriebe drehbar mit dem oberen Antriebsrad und unteren Antriebsrad verbinden.

7. Bearbeitungsmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß ein nach unten gerichteter Druck auf die Werkstücke ausgeübt wird durch ein Drucksystem, das kontinu­ ierlich das Zentrum der oberen Polierplatte beaufschlagt.

8. Bearbeitungsmaschine zum gleichzeitigen Bearbeiten zweier Seiten eines oder mehrerer Werkstücke, gekennzeichnet durch eine Basis, eine obere Polierplatte, eine untere Polierplatte, die einen Boden mit einer kreisförmigen Ver­ tiefung aufweist, eine Aufnahme zur Aufnahme eines oder mehrerer Werkstücke, einen Motor, eine Spindel mit einer ersten Achse, einen kreisförmigen Spindelnocken mit einer zweiten Achse und zwei exzentrische Nocken, wobei die Auf­ nahme fest zwischen der oberen und unteren Polierplatte angeordnet ist, der Motor die Spindel um die erste Achse dreht, die Spindel am kreisförmigen Spindelnocken so befe­ stigt ist, daß der Abstand zwischen der ersten Achse und der zweiten Achse einen kritischen Radius definiert, der kreis­ förmige Spindelnocken der kreisförmigen Vertiefung des Bodens der unteren Polierplatte zugeordnet ist, jeder exzen­ trische Nocken ein unteres Antriebsrad umfaßt, das in 0° bis 180°-Gegenstellung bzw. Gegenphase zu einem oberen Antriebs­ rad angeordnet ist, das untere und obere Antriebsrad durch eine rechtwinklig zum oberen und unteren Antriebsrad ange­ ordnete exzentrische Nockenwelle verbunden sind, jedes untere Antriebsrad drehbar mit einem unteren Polierplatten­ gelenkgetriebe verbunden ist, ein unteres Polierplattenge­ lenkgetriebe die untere Polierplatte mit einem unteren Antriebsrad verbindet, jedes obere Antriebsrad mit einem oberen Polierplattengelenkgetriebe verbunden ist, ein oberes Polierplattengelenkgetriebe die obere Polierplatte mit einem oberen Antriebsrad verbindet, die exzentrische Nockenwelle jedes exzentrischen Nockens um eine dritte Achse rotiert.

9. Bearbeitungsmaschine nach Anspruch 8, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die oberen Polierplattengelenkgetriebe und unteren Polierplattengelenkgetriebe jeder der zwei exzentri­ schen Nocken rechtwinklig zueinander angeordnet sind.

10. Bearbeitungsmaschine nach Anspruch 8, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die obere Polierplatte, die untere Polier­ platte oder sowohl die obere als auch die untere Polierplat­ te mit Leitungen zum Kühlen der Polierplatten und/oder zum Zuführen von Medien zu den Werkstücken versehen sind.

11. Bearbeitungsmaschine nach Anspruch 8, dadurch gekenn­ zeichnet, daß Druck auf die Werkstücke ausgeübt wird durch ein Drucksystem, das in Kontakt steht mit der oberen Polier­ platte und das zentriert über der Aufnahme angeordnet bleibt.

12. Bearbeitungsmaschine nach Anspruch 8, dadurch gekenn­ zeichnet, daß jeder exzentrische Nocken ein oberes An­ triebsrad mit einem oberen Nockenlager und ein unteres Antriebsrad mit einem unteren Nockenlager aufweist, wobei das obere und untere Nockenlager jeweils, um eine vierte Achse rotieren und das obere Polierplattengelenkgetriebe und das untere Polierplattengelenkgetriebe mit dem oberen An­ triebsrad und dem unteren Antriebrad drehbar verbinden.

13. Bearbeitungsmaschine zum gleichzeitigen Bearbeiten zweier Seiten eines oder mehrerer Werkstücke, gekennzeich­ net durch eine Basis, eine eine obere Polierplatte umfas­ sende Leitung, eine eine untere Polierplatte aufweisende Leitung, wobei die Polierplatte einen Boden mit einer kreis­ förmigen Vertiefung aufweist, eine Aufnahme zur Aufnahme eines oder mehrerer Werkstücke, einen Motor, eine Spindel mit einer ersten Achse, einen kreisförmigen Spindelnocken mit einer zweiten Achse, zwei senkrecht angeordnete exzen­ trische Nocken und ein Drucksystem für nach unten gerichte­ ten Druck, wobei die Aufnahme fest mit der Basis verbunden ist und zwischen der oberen und unteren Polierplatte ange­ ordnet ist, der Motor die Spindel um die erste Achse dreht, die Spindel fest mit dem kreisförmigen Spindelnocken verbun­ den ist, derart, daß die erste Achse und die zweite Achse zur Bildung eines kritischen Radius versetzt zueinander angeordnet sind, der Spindelnocken, der in der kreisförmigen Vertiefung des Bodens der unteren Polierplatte angeordnet ist, aus einem Material besteht, das geeignet ist, als eine Lagerfläche zu wirken, jeder der zwei exzentrischen Nocken ein unteres Antriebsrad mit einem unteren Nockenlager und einem parallelen oberen Antriebsrad mit einem oberen Nocken­ lager aufweist, das obere und untere Antriebsrad durch eine exzentrische Nockenwelle verbunden sind, die um eine dritte Achse rotiert und rechtwinklig zum oberen und unteren An­ triebsrad angeordnet ist, das obere und untere Nockenlager jedes exzentrischen Nockens in 180°-Gegenstellung zueinander angeordnet sind, jedes untere Antriebsrad mit einem unteren Polierplattengelenkgetriebe durch das untere Nockenlager drehbar verbunden ist, ein unteres Polierplattengelenkge­ triebe die untere Polierplatte mit einem unteren Antriebsrad verbindet, jedes obere Antriebsrad drehbar mit einem oberen Polierplattengelenkgetriebe durch das obere Nockenlager verbunden ist, ein oberes Polierplattengelenkgetriebe die obere Polierplatte mit einem oberen Antriebsrad verbindet, die zwei oberen Gelenkgetriebe rechtwinklig zueinander angeordnet sind, die beiden unteren Gelenkgetriebe senkrecht zueinander angeordnet sind, das obere Nockenlager und das untere Nockenlager jeweils um eine vierte Achse rotieren, die dritte Achse von der vierten Achse sowohl des oberen Nockenlagers als auch des unteren Nockenlagers einen Abstand aufweist, der gleich ist dem kritischen Radius, das Druck­ system mit der oberen Polierplatte durch eine exzentrische Vorrichtung verbunden ist, die ermöglicht, daß das Druck­ system stets über der Aufnahme zentriert ist.

14. Verfahren zum gleichzeitigen Bearbeiten zweier Seiten eines oder mehrerer Werkstücke mit einer Bearbeitungsmaschi­ ne, die eine Basis umfaßt, sowie eine obere Polierplatte, eine untere Polierplatte mit einem Boden, in dem eine kreis­ förmige Vertiefung ausgebildet ist, eine Aufnahme zur Auf­ nahme eines oder mehrerer Werkstücke, einen Motor, eine Spindel mit einer ersten Achse, einen kreisförmigen Spindel­ nocken mit einer zweiten Achse und zwei senkrechte exzentri­ sche Nocken, wobei die Aufnahme fest zwischen der oberen und unteren Polierplatte angeordnet ist, der Motor die Spindel um die erste Achse dreht, die Spindel fest mit dem kreisför­ migen Spindelnocken verbunden ist, die erste Achse und die zweite Achse einen Abstand voneinander aufweisen, der einen kritischen Radius definiert, der kreisförmige Spindelnocken in der kreisförmigen Vertiefung des Bodens der unteren Polierplatte angeordnet ist, jeder exzentrische Nocken ein unteres Antriebsrad und ein oberes Antriebsrad aufweist, die durch eine exzentrische Nockenwelle verbunden sind, die rechtwinklig zum oberen und unteren Antriebsrad angeordnet ist, jedes untere Antriebsrad drehbar mit einem unteren Polierplattengelenkgetriebe verbunden ist, ein unteres Polierplattengelenkgetriebe die untere Polierplatte mit einem unteren Antriebsrad verbindet, das obere Antriebsrad drehbar mit einem oberen Polierplattengelenkgetriebe verbun­ den ist, ein oberes Polierplattengelenkgetriebe die obere Polierplatte mit einem oberen Antriebsrad verbindet, die exzentrische Nockenwelle jedes exzentrischen Nockens, um eine dritte Achse rotiert, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte:

• a) Einbringen eines oder mehrerer Werkstücke, die jeweils obere und untere Abmessungen aufweisen, in die Aufnah­ me, derart, daß der Boden jedes Werkstückes die untere Polierplatte berührt,
• b) Absenken der oberen Polierplatte bis zur Berührung der Oberseite des Werkstückes,
• c) Bearbeitung des Werkstückes durch Betätigung des Mo­ tors, der die Spindel um die erste Achse dreht, die wiederum bewirkt, daß die zweite Achse des kreisförmi­ gen Spindelnockens eine kreisförmige, nicht drehende Bewegung vollführt, derart, daß der kreisförmige Spin­ delnocken einen Kreis beschreibt mit einem Radius, der gleich ist dem kritischen Radius, wodurch wiederum bewirkt wird, daß die untere Polierplatte eine kreis­ förmige, nicht drehende Bewegung vollführt, die auf das untere Antriebsrad jedes der zwei exzentrischen Nocken übertragen wird durch die unteren Polierplattengelenk­ getriebe, die bewirken, daß die exzentrische Nockenwel­ le des exzentrischen Nockens um die dritte Ache ro­ tiert, wobei die Rotation der exzentrischen Nockenwelle um die dritte Achse wiederum bewirkt, daß das obere Antriebsrad, das drehbar mit dem oberen Polierplatten­ gelenkgetriebe verbunden ist, die obere Polierplatte kreisförmig, aber nicht drehend bewegt,
• d) Stoppen des Motors und dadurch Stoppen der Bewegung der oberen und unteren Polierplatte gemäß Schritt c),
• e) Anheben der oberen Polierplatte außer Kontakt mit den Werkstücken und
• f) Entfernen des bearbeiteten Werkstückes aus der Aufnah­ me.

15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Druck auf das Werkstück beim Bearbeitungsvorgang c) durch das Drucksystem ausgeübt wird, das kontinuierlich das Zentrum der oberen Polierplatte bei diesem Bearbeitungs­ schritt beaufschlagt.

16. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die obere und untere Polierplatte während des Bearbei­ tungsschrittes c) gekühlt werden, indem Kühlmedium durch Leitungen in der oberen und unteren Polierplatte geführt wird.

17. Verfahren zum gleichzeitigen Bearbeiten beider Seiten eines oder mehrerer Werkstücke mit einer Bearbeitungsmaschi­ ne, die eine Basis aufweist, sowie eine Leitung mit einer oberen Polierplatte, eine Leitung mit einer unteren Polier­ platte, die einen Boden mit einer kreisförmigen Vertiefung aufweist, eine Aufnahme zur Aufnahme eines oder mehrerer Werkstücke, einen Motor, eine Spindel mit einer ersten Achse, einen kreisförmigen Spindelnocken mit einer zweiten Achse, zwei senkrecht angeordnete exzentrische Nocken und ein Drucksystem für den nach unten wirkenden Druck, wobei die Aufnahme fest mit der Basis verbunden ist und zwischen der oberen und unteren Polierplatte angeordnet ist, der Motor die Spindel um die erste Achse dreht, die Spindel fest mit dem kreisförmigen Spindelnocken verbunden ist, derart, daß die erste Achse und die zweite Achse einen Abstand zueinander aufweisen, der einen kritischen Radius definiert, der Spindelnocken in der kreisförmigen Vertiefung des Bogens der unteren Polierplatte angeordnet ist, der Boden der unteren Polierplatte aus einem Material besteht, das in der Lage ist, als Lagerfläche zu wirken, jeder der zwei exzen­ trischen Nocken ein unteres Antriebsrad mit einem unteren Nockenlager und ein paralleles oberes Antriebsrad mit einem oberen Nockenlager aufweist, das obere und untere Antriebs­ rad durch eine exzentrische Nockenwelle miteinander verbun­ den sind, die um eine dritte Achse rotiert und senkrecht zum oberen und unteren Antriebsrad angeordnet ist, das obere und untere Nockenlager jedes exzentrischen Nockens in 180°-Ge­ genstellung zueinander angeordnet sind, jedes untere An­ triebsrad drehbar mit einem unteren Polierplattengelenkge­ triebe verbunden ist durch das untere Nockenlager, ein unteres Polierplattengelenkgetriebe die untere Polierplatte mit einem unteren Antriebsrad verbindet, jedes obere An­ triebsrad drehbar mit einem oberen Polierplattengelenkge­ triebe durch das obere Nockenlager verbunden ist, ein oberes Polierplattengelenkgetriebe die obere Polierplatte mit einem oberen Antriebsrad verbindet, die zwei oberen Gelenkgetriebe rechtwinklig zueinander angeordnet sind, die zwei unteren Gelenkgetriebe senkrecht zueinander angeordnet sind, das obere Nockenlager und das untere Nockenlager jeweils um eine vierte Achse rotieren, die dritte Achse in einem Abstand zur vierten Achse sowohl des oberen Nockenlagers als auch des unteren Nockenlagers angeordnet ist, der gleich ist dem kritischen Radius, das Drucksystem einer exzentrischen Vorrichtung zugeordnet ist, derart, daß das Drucksystem stets über der Aufnahme zentriert ist, wenn das nach unten gerichtete Drucksystem die obere Polierplatte berührt, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte:

• a) Einbringen eines oder mehrerer Werkstücke mit oberen und unteren Abmessungen in die Aufnahme derart, daß der Boden jedes Werkstückes die untere Polierplatte be­ rührt,
• b) Absenken der oberen Polierplatte bis in Anlage an die Oberseite des Werkstückes vermittels des Drucksystems,
• c) Bearbeitung des Werkstückes durch Betätigung des Mo­ tors, der die Spindel um die erste Achse rotiert, welche wiederum den kreisförmigen Spindelnocken kreis­ förmig, aber nicht rotierend bewegt, derart, daß die zweite Achse des kreisförmigen Spindelnockens einen Kreis beschreibt mit einem Radius, der gleich ist dem kritischen Radius, wobei der kreisförmige Spindelnocken wiederum die untere Polierplatte kreisförmig, aber nicht rotierend bewegt, die Bewegung der unteren Po­ lierplatte durch die unteren Polierplattengelenkgetrie­ be, die drehbar mit den unteren Nockenlagern der unte­ ren Antriebsräder verbunden sind, auf die exzentrischen Nocken überträgt, wodurch die exzentrische Nockenwelle des exzentrischen Nockens um die dritte Achse rotiert, die Drehung der exzentrischen Nockenwelle um die dritte Achse wiederum bewirkt, daß das obere Antriebsrad, das drehbar mit dem oberen Polierplattengelenkgetriebe über die oberen Nockenlager verbunden ist, die obere Polier­ platte kreisförmig, nicht drehend bewegt,
• d) Stoppen des Motors und dadurch Stoppen der Bewegung der oberen und unteren Polierplatte gemäß Schritt c),
• e) Anheben der oberen Polierplatte vermittels des Druck­ systems außer Kontakt mit den Werkstücken und
• f) Entfernen des beärbeiteten Werkstückes aus der Aufnah­ me.