KR0168672B1 - 양면연마장치 및 그 사용방법 - Google Patents

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KR0168672B1
KR0168672B1 KR1019910018656A KR910018656A KR0168672B1 KR 0168672 B1 KR0168672 B1 KR 0168672B1 KR 1019910018656 A KR1019910018656 A KR 1019910018656A KR 910018656 A KR910018656 A KR 910018656A KR 0168672 B1 KR0168672 B1 KR 0168672B1
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이. 칼스루드 크리스
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제임스 엔. 팔레이
스피드팜 코포레이션
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  • Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract

본 발명은 공작물의 양면을 동시에 마무리 가공하는 기계 및 그 방법에 관한 것으로써, 그 기계는 베이스, 상부 연마 플레이트, 하부 연마 플레이트, 상부 연마 플레이트와 하부 연마 플레이트 사이에 하나 이상의 공작물을 보지시키기 위한 캐리어, 제1축을 갖는 스핀들이 부착된 모터를 포함하는바, 상기 스핀들은 제2축을 갖는 스핀들 캠에 고정부착됨으로써 스핀들이 제1축에 대해 회전하면 스핀들 캠의 제2축이 비회전 순환 방식으로 이동하여 임계반경을 형성하는 반경을 갖는 원을 그린다. 원형 스핀들 캠이 이동하면 하부 연마 플레이트를 비회전 순환 방식으로 이동시킨다. 하부 연마 플레이트는 하나 이상의 하부 연마 플레이트 링키지에 의해 하나 이상의 편심캠에 연결된다. 하부 연마 플레이트의 비회전 순환 이동은, 하나 이상의 상부 연마 플레이트 링키지, 및 하부 연마 플레이트 링키지를 경유해 하나 이상의 편심캠에 의해 상부 연마 플레이트에 전달된다.

Description

양면연마장치 및 그 사용방법
제1도는 본 발명의 장치의 여러 구성요소들을 보여주는 평면도.
제2도는 본 발명의 장치의 여러 구성요소들을 보여주는 측면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 베이스 12 : 상부연마 플레이트
14 : 하부연마 플레이트 20 : 캐리어
28 : 스핀들 30 : 원형스핀들 캠
40 : 편심캠 46 : 상부 캠 베어링
47 : 하부 캠 베어링 48 : 편심 캠 샤프트
[발명의 배경]
본 발명은 한가지 이상의 공작물의 양면을 동시에 연삭(grinding)하고 연마(polishing)하기위한 균일속도 양면연마장치 및 그 사용방법에 관한 것이다.
실리콘, 금속 및 유리와 같은 많은 재료들은, 그 재료들이 중간 및 최종제품으로서 이용될 수 있기 전에 그 재료의 여러 표면이 연삭 및 연마되야 한다. 종래의 연삭기 및 연마기는 회전 디스크를 이용하여 공작물의 양면을 동시에 연마한다. 연마 플레이트가 회전하기 때문에, 가공영역 전반에 불균일 속도 프로필(profile)이 나타난다. 이같은 현상은, 완성품의 평탄도 및 표면평행도를 저하시켜, 불량품을 발생시키는 결과를 초래한다.
공작물의 양면을 동시에 연삭하는데 이용되는 대부분의 연삭기 및 연마기는 연마제를 사용하여 다양한 형태의 공작물을 연삭 및 연마하는데 도움을 준다. 전형적으로 이같은 연마제들은 연마 플레이트의 도관을 통해 공작물에 공급된다. 연마 플레이트가 회전하기 때문에, 연마제가 공작물의 양면에 공급될 수 있게 하기 위해서는, 고정된 연마제 공급원과 회전 디스크 사이에 복잡한 구조의 회전 접속부들이 필요하게 된다. 이같은 접속부들은 궁극적으로 연마기의 효율을 감소시키는 고장을 초래하게 된다. 최신의 연마기의 연마 및 마무리가공(finishing) 속도는 연마 플레이트의 회전속도(RPM)를 조절함으로써 조절될 수 있다. 전형적으로, 연마 플레이트의 분당 회전속도(RPM)가 증가하게 되면 공작물의 연마속도 또는 연삭속도는 비례적으로 증가하게 될 것이다. 그러나, 회전하는 연마 플레이트의 속도는 내측부분보다 외측부분에서 더 빠르기 때문에, 연마 플레이트의 공작물의 반경전체를 통해 상위할 것이다. 이같은 플레이트 속도의 불일치는 연마 플레이트의 가공능력의 불일치를 초래하여, 공작물을 불균일하게 연마하거나 연삭하게 된다. 이같은 문제는 본질적으로, 연마 플레이트가 고정축에 대해 회전하기 때문이다.
일반적으로 공작물을 연삭 및 연마하는 현재의 방법은 만족할만한 제품을 만족할만한 속도로 생산할 수 있다. 그러나, 현재의 방법에서는 회전하는 연마 및 연삭기의 구조에 직접 관련된 문제에 기인하는 결점이 있다. 그 같은 문제에는 공작물에 연마제를 공급하는데 대한 곤란함, 배치(batch)내에서 공작물의 표면전체에 걸처 일정한 연마 속도를 유지하는데 대한 곤란함 및 공작물의 양면을 동시에 균일하게 마무리 가공한 최종제품을 이루는데 대한 곤란함이 포함된다.
[발명의 요약]
본 발명은 목적은 하나 이상의 공작물의 양면을 동시에 연삭 및 연마하는 장치를 제공하는데 있는 바, 그 장치는 베이스, 상부 연마 플레이트, 하부 연마 플레이트, 하나 이상의 공작물을 보지하기 위한 캐리어, 모터, 제1축을 갖는 스핀들, 상기 스핀들에 일정한 편심 반경으로 장착된 스핀들 캠 및 하나 내지 4개의 편심구동 캠을 지니는 것으로 구성된다.
본 발명의 또 다른 목적은 하나 이상의 공작물의 양면을 동시에 마무리 가공하는 장치를 제공하는데 있는 바, 공작물의 제1면상에 가해진 힘은 마무리 가공에 의해 공작물의 제2 또는 반대쪽면에 적용되는 힘을 상쇄시킬 수 있다.
본 발명의 부가적인 목적은 하나 이상의 공작물의 양면을 동시에 마무리 가공하기 위한 장치를 제공하는데 있는 바, 마무리 가공작동에 의해 전달된 속도는 필수적으로 공작물의 전체 측면에 걸쳐 동일하다.
본 발명의 또다른 목적은 하나 이상의 공작물의 양면을 동시에 마무리 가공하기위한 장치를 제공하는데 있는 바, 액체 연마제는 간단한 도관 접속에 의해 공작물 전체의 상부 및 하부에 공급된다.
따라서, 본 발명의 광범위한 실시에는 하나 이상의 공작물의 양면을 동시에 마무리 가공하기 위한 장치로되는 바, 그 장치는 베이스, 상부연마 플레이트, 하부연마 플레이트, 하나 이상의 공작물을 보지하기위한 캐리어, 모터, 제1축을 갖는 스핀들, 제2축을 가지며 고정반경으로 스핀들에 부착된 스핀들 캠 및 하나 내지 4개의 편심 캠을 포함한다. 장치의 캐리어는 베이스에 부착되며 상부 연마 플레이트와 하부 연마 플레이트 사이에 배치된다. 모터는 베이스에 부착되어 제1축에 대해 스핀들을 회전시킨다. 스핀들은 제2축에서 스핀들 캠에 부착된다. 제1축과 제2축은 오프셋(offset) 되며, 양축 사이의 거리가 임계반경이다. 각각의 편샘 캠이 베이스에 부착되며, 하부구동 휠 및 상부구동 휠을 포함한다. 각각의 하부구동 휠은 하부 연마 플레이트 연결부(linkage)에 회전가능하게 연결된다. 하부 연마 플레이트 연결부는 하부구동 휠에 하부연마 플레이트를 연결시킨다. 각각의 편심캠의 상부구동 휠은 상부 연마 플레이트 연결부에 회전가능하게 연결된다. 상부 연마 플레이트 연결부는 상부 연마 플레이트를 상부 구동 휠에 연결시킨다. 각각의 편심 캠은 제3축에 대해 회전한다.
또다른 실시예에 있어서, 본 발명은 하나 이상의 공작물의 양면을 동시에 마무리 가공하기위한 장치로 되는 바, 그 장치는 베이스, 상부 연마 플레이트를 포함하는 도관, 저면에 원형 요부를 갖는 하부 연마 플레이트를 포함하는 도관, 하나 이상의 공작물을 보지하기 위한 캐리어, 모터, 제1축을 갖는 스핀들, 제2축을 가지며 스핀들에 장착된 원형 스핀들 캠, 2개의 편심캠 및 하부 압력 시스템을 포함한다. 캐리어는 상부 연마 플레이트와 하부 연마 플레이트 사이의 베이스에 장착된다. 모터는 베이스에 장착되어, 제1축에 대해 스핀들을 회전시킨다. 스핀들은, 하부 연마 플레이트의 저면영역내의 원형 요부를 점유하는 원형 스핀들 캠에 고정 배치된다. 하부 연마 플레이트의 저면영역은 베어링 표면역할을 할 수 있는 재료로 형성된다. 스핀들이 스핀들 캠에 연결됨으로써, 제1축과 제2축이 오프셋되며, 양축사이의 거리가 임계반경이다. 스핀들 캠의 제2축은 임계반경을 갖는 원에 따라 회동한다. 각각의 편심캠은, 상부캠 베어링에 대해 약 180°반대측에 위치하는 하부 캠 베어링을 포함한다. 상부 및 하부 캠 베어링은 상부 구동 휠 및 하부 구동 휠에 제각기 부착된다. 상부 및 하부 구동 휠은 상부 및 하부 구동 휠에 수직하게 배향된 편심 캠 샤프트에 의해 연결된다. 각각의 하부 캠 베어링은 하부 연마 플레이트 연결부에 회전가능하게 결합된다. 하부 연마 플레이트 연결부는 하부 연마 플레이트를 하부 캠에 연결시킨다. 각각의 상부 캠 베어링은 상부 연마 플레이트 연결부에 회전가능하게 결합된다. 상부 연마 플레이트 연결부는 상부 연마 플레이트를 상부 캠 베어링에 결합시킨다. 2개의 상부 연마 플레이트 연결부는 상호간에 대해 수직하게 연결되며, 2개의 하부 연마 플레이트 연결부 또한 상호간에 대해 수직하게 연결된다. 각각의 상부 및 하부 캠 베어링은 제4축에 대해 회전한다. 각각의 편심캠의 편심캠 샤프트는 제3축에 대해 회전한다. 제3축은 임계반경만큼 제4축으로부터 이격되어 있다.
본 발명의 다른 목적은 다음 구성요소들을 포함하는 장치를 이용하여 하나 이상의 공작물의 양면을 동시에 마무리 가공하는 방법을 제공하는데 있는 바, 상기 장치는 베이스, 상부 연마 플레이트, 저부에 원형요부를 구비한 하부 연마 플레이트, 하나 이상의 공작물을 보지하기 위한 캐리어, 모터, 제1축을 갖는 스핀들, 일정의 편심반경으로 스핀들에 장착된 제2축을 갖는 원형 스핀들 캠 및 수직배향된 2개의 편심캠을 포함한다. 캐리어는 상부 연마 플레이트와 하부 연마 플레이트 사이에 위치하도록 베이스에 장착된다. 베이스에 부착된 모터는 스핀들을 제1축에 대해 회전시킨다. 제1축과 제2축은 오프셋되며, 양축사이의 거리가 임계반경이다. 원형스핀들 캠은, 하부 연마 플레이트 저면의 원형 요부를 점유한다. 2개의 편심캠은 각각 하부 캠 베어링을 갖는 하부 구동 휠 및 상부 캠 베어링을 갖는 상부 구동 휠을 포함하는 바, 상부 및 하부 캠 베어링은 상호간 반대위치로 그들의 위치 조종이 가능하다. 하부 구동 휠 및 상부구동 휠은, 상부 및 하부 구동휠에 수직하게 배향된 편심캠 샤프트에 의해 연결된다. 각각의 하부 캠 베어링은 하부 연마 플레이트 연결부에 회전가능하게 연결된다. 하부 연마 플레이트 연결부는 하부 연마 플레이트를 하부 캠 베어링에 연결시킨다. 각각의 상부 캠 베어링은 상부 연마 플레이트 연결부에 회전가능하게 연결된다. 상부 연마 플레이트 연결부는 상부 연마 플레이트를 상부 캠 베어링에 연결시킨다. 편심 캠 샤프트는 제3축에 대해 회전한다. 상부 및 하부 캠 베어링은 각각 제4축을 지니는바, 상부 및 하부 연마 플레이트 연결부가 그축에 대해 회전한다. 제3축은 임계반경만큼 각각의 제4축으로부터 이격된다.
본 발명에 따른 장치의 사용방법은 하나 이상의 공작물을 그 저면이 하부 연마 플레이트와 접촉하도록 캐리어에 배치시키게하는 단계를 포함한다. 상부 연마 플레이트는 공작물(들)의 상부와 접촉하도록 하강된다. 공작물(들)은, 제1축에 대해 스핀들을 회전시키는 모터를 작동시킴으로써 마무리 가공된다. 스핀들이 제1축에 대해 회전하면 원형 스핀들 캠이 원을 그림으로써, 제2축은 임계반경과 동일한 반경을 갖는 원을 형성한다. 원형 스핀들 캠이 제2축에 대해 회전하면 하부 연마 플레이트에 비회전 원운동이 발생한다. 하부 연마 플레이트의 작동은, 하부 연마 플레이트의 연결부에 의해 각각의 편심캠에 전달되어, 각각의 편심캠의 편심캠 샤프트를 제3축에 대해 회전시킨다. 각각의 편심캠의 각각의 편심캠 샤프트가 제3축에 대해 회전하면 상부 구동 휠이 회전한다. 상부 구동휠의 회전은, 상부 연마 플레이트 연결부로 하여금 캠베어링의 제4축에 대해 피보트되게 한다. 각각의 상부 연마 플레이트 연결부의 작동은, 상부 연마 플레이트에 전달되어, 상부 연마 플레이트의 비회전 원운동을 발생시킨다. 상부 및 하부 플레이트의 비회전 원운동은 대개 상호 반대로 조절할 수 있다. 마무리 가공 공정이 종료되면, 모터가 정지하고, 상부 연마 플레이트가 상승됨으로써 공작물(들)의 상부에의 접촉이 해제되며, 최종적으로, 마무리 가공된 공작물이 캐리어에서 제거된다.
도면에는 본 발명의 바람직한 실시예가 도시되어 있다.
[바람직한 실시예의 설명]
본 발명은 하나 이상의 공작물의 양면을 동시에 마무리 가공하기 위한 장치 및 그 장치를 사용하는 방법에 관한 것이다.
도면에 도시된 본 발명의 바람직한 실시예의 동일 요소에는 동일 참조번호가 표시되어 있다. 제1도에는 본 발명의 마무리 가공 장치의 다양한 요소들의 평면도가 도시되어 있다. 마무리 가공장치는 상부 연마 플레이트(12) 및 하부연마 플레이트(14)를 지닌다. 상부연마 플레이트는(12)는 하부연마 플레이트(14)와 평행하다. 하나 이상의 공작물(22)을 포함하는 캐리어(20)가 상부연마 플레이트(12)와 하부 연마 플레이트(14) 사이에 배치된다. 캐리어(20)는 공작물(22)이 배치될 수 있는 하나 이상의 셀을 지닌다. 각각의 공작물(22)은 공작물을 가공하는 동안에 상부연마 플레이트(12) 및 하부연마 플레이트(14)와 접촉한다. 장치는 또한 스핀들(28)을 포함한다. 모터가 스핀들(28)을 제1축(29)에 대해 회전시킨다. 원형 스핀들 캠(30)이 스핀들(28)에 부착된다. 스핀들(28)과 원형 스핀들 캠(30)은 상호 고정 부착된다. 제2축(31)이 원형 스핀들 캠(30)의 중심에 배치된다. 스핀들(28)과 원형 스핀들 캠(30) 사이에는 상대운동이 발생되지 않는 것이 바람직하다. 그것들은 대개 볼트로 함께 결합되어 있다. 그 결과, 스핀들(28)이 제1축(29)에 대해 회전하면, 원형 스핀들 캠(30)의 제2축(31)에 제1축(29)을 중심으로한 반경이 임계반경(33)으로 되는 원이 그려진다. 상부연마 플레이트(12)와 하부 연마 플레이트(14)는, 상부 연마 플레이트 연결부(34)와 하부 연마 플레이트 연결부(36)에 의해 제각기 제1축(29)에 대해 상호간 수직하게 배치된 2개의 편심 캠(40)에 부착된다. 각각의 상부 연마 플레이트 연결부는, 상부 캠 베어링(46)에서 각각의 편심캠(40)의 상부 구동 휠(42)에 결합된다. 각각의 하부 연마 플레이트 연결부(36)는 하부 캠 베어링(47)에서 각각의 편심캠(40)의 하부 구동휠(44: 도시되지 않았음)에 부착된다. 상부 구동휠(42) 및 하부 구동휠(44)이 편심캠 샤프트(48: 도시되지 않았음)에 부착된다. 편심 캠 샤프트(48)는 제3축(50)에 대해 회전한다. 상부 캠 베어링(46) 및 하부 캠 베어링(47) 각자는 제4축(54)에 대해 회전한다. 제3축(50) 및 제4축(54)은 임계반경(33)만큼 이격된다.
제2도는 본 발명의 장치의 측면도이다. 제2도에는 베이스 (10)에 의해 지지된 스핀들(28)이 도시되어 있다. 스핀들은 제1축(29)에 대해 회전하며, 취부수단(32)에 의해 원형 스핀들 캠(30)에 취부된다. 원형 스핀들 캠은, 하부 연마 플레이트(14) 하부(15)의 원형요부(16)내에 배치된다. 하부 연마 플레이트(14) 및 상부 연마 플레이트(12)각각은 도관(13)을 포함하여 공작물(22)에 냉각제 및/또는 연마제를 제공한다. 상부 연마 플레이트(12)와 하부 연마 플레이트(14) 사이의 캐리어(20)에 공작물(22)이 보지된다. 그 공작물(20)은 상부연마 플레이트(12)와 하부 연마 플레이트(14) 사이에 고정적으로, 강체적으로 또는 이동가능하게 배치될 수 있다. 공작물(22)은 상부 연마 플레이트(12)와 접촉하는 상부(23) 및 하부 연마 플레이트(14)와 접촉하는 하부(24)를 지닌다.
하부 연마플레이트(14)는 원형운동하지만, 축에 대해 회전하지 않으며, 대신 원주를 따라 운동한다. 하부연마 플레이트(14)의 원형운동은, 하부 연마 플레이트 연결부(36)를 통해 편심캠(40)의 하부 구동 휠(44)의 하부면에 부착된 하부캠 베어링(47)에 전달된다. 하부 캠 베어링(47)은 하부 연마 플레이트 연결부(36)에 회전가능하게 연결된다. 하부 연마 플레이트(14)의 비회전 원운동은, 하부 연마 플레이트 연결부(36)에 의해 하부 캠 베어링(47)에 전달되어, 편심 캠 축(48)과 협동하여 하부 구동 휠(44)을 제3축(50)에 대해 회전시킨다. 동시에, 편심캠(40)은 제3축(50)에 대해 회전하며, 하부 캠 베어링(47)은 제4축(54)에 대해 회전한다.
이때 전체 편심 캠(40)은 제3축에 대해 회전한다. 그러므로, 상부 구동 휠(42)또한 제3축에 대해 회전한다. 상부 구동휠(42)은, 그 상부 구동휠(42)의 상부상에 배치된 상부 캠 베어링(46)을 지닌다. 상부 캠 베어링(46)은, 상부 연마 플레이트(12)에 부착된 상부 연마 플레이트 연결부(34)에 회전가능하게 연결된다. 상부 구동휠(42)의 회전은 상부 연마 플레이트 연결부(34)를 경유해, 상부 연마 플레이트(12)에 전달되며, 상부 연마 플레이트(12)에 하부 연마 플레이트(14)와 동일한 비회전 원운동을 발생시킨다. 그러나, 상부 캠 베어링(46)과 하부 캠 베어링(47)은 대개 상호간에 대해 180°반대측에 위치한다. 그 결과, 상부 연마 플레이트(12)에 대한 하부 연마 플레이트(14)의 원운동도 또한 대개 180°반대이다. 예컨대, 상부 연마 플레이트가 특정 편심 캠(40)으로부터 최소한의 거리까지 상부 캠 베어링(46)에 의해 유도됐다면, 편심캠(40)의 하부 캠 베어링(47)에 연결된 하부 연마 플레이트는 동일 편심캠(40)으로부터 가장 먼 거리에 위치된다. 그러나, 상부 연마 플레이트(12)와 하부 연마 플레이트(14)의 운동은 상호 180°로 대향해서 발생할 필요는 없다. 상부 캠 베어링(46)과 하부 캠 베어링(47)의 상호간에 대한 배향은, 상부 연마 플레이트(12)와 하부 연마 플레이트(14)의 상대운동은 상호간에 대해 0° 내지 약 180°의 범위에서 발생하도록 조절될 수 있다.
상부 연마 플레이트 (12)는, 각각의 편심캠(40)의 상부 구동휠(42)의 상부 캠 베어링(46)과 연결되는 상부 연마 플레이트 연결부(34)를 포함한다. 단일의 상부 연마 플레이트 연결부(34)는, 단일의 상부 구동휠(42)을 상부 연마 플레이트(12)에 연결시킨다. 또한, 하부 연마 플레이트(14)는 분리된 하부 연마 플레이트 연결부(36)에 의해 각각의 편심캠(40)의 각각의 하부 구동휠(44)에 연결된다. 상부 연마 플레이트 연결부(34)는 상부 캠 베어링(46)에서 상부 구동 휠(42)에 회전가능하게 결합된다. 하부 연마 플레이트 연결부는, 하부 캠 베어링(47)에서 하부 구동 휠(44)에 회전가능하게 결합된다. 상부 구동 휠(42)과 하부 구동 휠(44)은 상호 평행하며 편심 캠 샤프트(48)에 의해 결합된다.
편심 캠 샤프트(48)는 제3축(50) 둘레에서 회전한다. 상부 캠 베어링(46)과 하부 캠 베어링(47)은 상부 구동 휠(42)과 하부 구동 휠(44) 상의 지점들에 제각기 배치됨으로써, 제3축(50)으로부터 상부 캠 베어링(46) 및 하부 캠 베어링(47)의 중심인 제4축(54)까지의 거리는 임계반경(33)과 동일하다. 상부 캠 베어링(46) 및 하부 캠 베어링(47)은 그들의 중심인 제4축(54)에 대해 회전할 수 있거나, 또는 상부 및 하부 캠 베어링(46,47)이 상부 및 하부 연마 플레이트 연결부(34,36)에 회전가능하게 배치되는 위치를 한정하는 원주가 상부 및 하부 캠 베어링(46,47)을 제4축(54)에 대해 피보트하게하는 베어링 표면으로써 작동하도록 고정될 수 있다. 본 발명은, 캐리어내에 포함된 실리콘, 금속, 유리 또는 다른 재료와 같은 하나 이상의 공작물의 양면을 동시에 연마 또는 연삭, 즉, 마무리 가공하는데 한쌍의 편심 구동 캠을 이용하는 것이 바람직하다. 연마용 슬러리 또는 연삭용 냉각제가 상부 및 하부 연마 플레이트 모두로부터 가공 면적내로 분사될 수 있어 마무리 공정을 향상시킬 수 있거나, 또는 냉각제는 연마 플레이트내의 도관을 통해 순환될 수 있다. 상부 및 하부 연마(또는 연삭)플레이트는 조절가능한 연결부를 통해 편심장치에 부착됨으로써, 하부 연마 플레이트의 변위, 속도 및 가속을 편심 캠을 통해 상부 연마 플레이트상의 모든 지점에 전달한다. 연마 플레이트를 구동시키도록 적어도 2개의 편심캠을 일제히 사용하면 상부 및 하부 연마 플레이트를 순환경로를 따르게 할 수 있는 반면 대부분의 연마용 설비와 협력하는 고정축에 대해 단순하게 회전하기보다는 일정한 기하학적 배향을 유지한다.
연마하기 위해 플레이트를 회전시키지 않고도 이같은 원형운동을 일으키는 것의 주요한 잇점은, 연마 플레이트상의 모든점들이 동일한 변위, 속도 및 가속을 취한다는 것이다. 따라서, 상부 및 하부 연마 플레이트 사이의 캐리어내에 보지된 공작물은, 그 공작물상의 모든 지점에서 균일한 이동을 균일하게 제공하는 공작물의 전체 표면에 걸쳐 균일한 상대속도 및 가속도 궤적을 지닐 것이다. 부가적으로, 상부 및 하부 연마 플레이트는 0°내지 180°떨어져 조절될 수 있는 지점들에서 편심 캠에 회전가능하게 결합된다. 그러나, 각각의 편심캠의 상부 및 하부 캠 베어링이 180° 떨어져 있으면, 그들 상호간에 대한 상대운동은 위상에서 180° 벗어난다. 즉, 상호간에 대해 반대 방향을 취한다. 따라서 공작물은 반대방향으로부터 가공되어, 공작물상에 과도한 합력을 상쇄시키지 못한다면 심하게 감소될 것이다. 180°의 위상각은 굴곡진 형상의 공작물들에 대한 캐리어내의 공작물 회전을 최소화하며 또한 공작물로부터 캐리어상에 굴절된 힘을 감소시킨다. 하나 이상의 편심캠을 갖는 장치에 있어서, 각각의 편심캠용의 상부 캠 베어링과 하부 캠 베어링을 분리시키는 위상각은 동일해야한다.
이 장치는 하부 및 상부 연마 플레이트 모두를 구동하기 위해 처리 영역 하부에 배치된 스핀들 및 단일 모터를 필요로 한다. 주 구동 스핀들은 장치 프레임 또는 베이스에 대해 수직하게 장착된다. 완전히 라운드진 스핀들 캠이 구동 스핀들의 상부에 고정되는 바, 그 캠의 중심, 즉, 제2축은 스핀들 캠의 제1축으로부터 거리를 조절할 수 있는 여러 위치들중 한곳에 위치한다. 스핀들 캠 중심, 즉, 제2축과 스핀들 회전 중심, 즉, 제1축 사이의 거리는 연마 플레이트의 편심 원형운동 반경인 임계반경을 형성하며, 또한 설계품내에 합체된 모든 편심장치상에서 동일하게 되어야 한다. 부가적으로 ,이같은 임계반경은 조절될 수 있어 높고 낮은 각 속도를 달성함으로써 모든 편심이 따라서 조절될 수 있도록 한다.
하부 연마 플레이트는, 베어링 표면으로서 작동하는 플라스틱과 같은 블록에 취부되는 것이 바람직하다. 이같은 블록은, 원형 스핀들 캠으로 하여금 블록내의 요부를 편안하게 점유하게 하는, 그 블록내에 장치가공된 원형 요부를 지닌다. 이같은 베어링 블록은 하부 연마 플레이트와 부가적인 금속 플레이트 사이에서 샌드위치되며 또한 하부 연마 플레이트 조립체를 포함한다. 필요한 구동 연결부를 취부하기 위해 플라스틱 블록의 하부면에 부가적인 금속 플레이트가 사용된다. 상부 연마 플레이트는 동일한 방법으로 구성되지만, 요부를 포함하지는 않는다.
하부 연마 플레이트 연결부는 각각의 편심캠을 하부 연마 플레이트에 결합시킨다. 분리 편심캠에 각각 취부된 2개의 하부 연마 플레이트 연결부는 하부 연마 플레이트 조립체에 취부되는 것이 바람직하다. 2개의 하부 연마 플레이트 연결부는 하부 연마 플레이트의 편심작동을 각각의 독립적인 편심 캠 장치로 측방 이동시킨다. 하부 연마 플레이트 연결부들은 제1축에 대해 상호간 수직하여 편심캠 내,외로의 유연한 전달을 용이하게 한다. 2개의 편심캠 장치상의 취부점은 주 스핀들 캠에 대해 설정될 때 편심캠의 회전중심으로 부터의 동일 임계반경에 접합되어야한다. 또한 가상 화살표가 각각의 편심 캠의 중심, 즉, 제3축으로부터 하부 또는 상부 캠 베어링 중심에 대한 연결부의 취부점의 중심, 즉, 제4축까지 끌어당겨진다면, 그 가상 화살표는 항상 예컨대 어떤 부여된 각 편심방향에 대해 동일한 방향을 향할 것이다. 제3축과 제4축 사이의 거리는 임계반경과 동일하다. 그러므로, 하부 연마 플레이트 조립체가 스핀들 캠에 의해 구동되면, 2개의 외측 편심캠은 일치하게 회전하여 상부 및 하부 연마 플레이트로 하여금 어떤 고정축에 대해 회전함이 없이 원형궤적을 그리게 한다.
하부 연마 플레이트의 원형운동은 동일한 2개의 편심캠을 경유하여 상부 연마 플레이트 조립체로 전달된다. 이같은 운동의 전달은 하부 구동휠과 상부 구동휠을 일체로 결합시키는 수직한 편심 캠 샤프트에 의해 달성된다. 하부 연마 플레이트 연결부에 연관된 하부 연마 플레이트가 편심캠의 하부 구동휠을 회전시키면, 편심캠 샤프트는, 후속하여 상부 캠 베어링에서 상부 구동 휠에 결합된 상부 연마 플레이트 연결부에 의해 상부 연마 플레이트 조립체에 링크연결되는 상부 구동 휠에 회전작동을 전달한다. 편심캠의 상부 및 하부 구동 휠 모두에 대한 회전 캠 베어링은 제3축으로부터 임계반경 지점에 다시 배치되는 바, 그 임계반경은 장치의 모든 구성요소들에 대하여 조절될 수 있다.
상부 및 하부 캠 베어링들은 서로 180°떨어져 상부 및 하부 연마 플레이트로 하여금 위상으로부터 항상 180°를 유지하게하는 것이 바람직하다. 이같은 위상각은 필요에 따라 조절될 수 있다. 예컨대, 공작물을 가공중에 회전시키고 싶을 때, 쇄정 슬로트 또는 다른 수단을 사용하여 각각의 편심캠에 있어서 상부 캠 베어링의 편심량을, 그들 구동 플레이트를 샤프트 둘레에 시계방향 또는 반시계방향으로 간단히 회전하여 원하는 위치에 배치시킴으로써 조절할 수 있다. 이같은 위상각은 0°내지 180°사이에서 조절될 수 있다.
상부 연마 플레이트에 편심캠의 구동 휠을 연결시키는 상부 연마 플레이트 연결부는, 하부 연마 플레이트에 결합된 하부 연마 플레이트 연결부와 동일한 것이 바람직하다. 편심캠의 상부 및 하부 캠 베어링은 라운드진 금속성 하우징에 포위된 베어링으로 구성되는 것이 바람직한 바, 그 하우징의 제4축은, 편심캠 샤프트 축인 제3축으로부터의 임계반경과 동일한 간격으로 배치된다. 이러한 캠 베어링 하우징은, 임계반경의 변경을 원할 경우 이동될 수 있다. 각각의 상부 및 하부 연마 플레이트 연결부는 최소한의 간극을 지닌 편심된 베어링 하우징상으로 활주하기에 충분히 큰 구멍을 지니는 것이 바람직하다. 편심캠을 경유해 하부와 상부 연마 플레이트 연결부 사이에서 운동이 전달되기 때문에, 그 캠 베어링 하우징은 연결부와 고정 접촉을 유지하는 반면 캠 베어링의 내측 레이스(race)는 편심 회전한다. 이같은 현상은 금속 표면들 사이에 상대운동을 최소로 한다.
공작물을 마무리 가공하는 장치의 능력은 연마 플레이트들 중 하나 또는 모두를 경유해 그 공작물에 압력을 가함으로써 향상될 수 있다. 가능하면, 상부 연마 플레이트에 하향 압력이 가해지는 것이 바람직하다. 상부 연마 플레이트상의 하향 압력은 공기 실린더 시스템이 사용되어 가해질 수 있다. 하향 압력 유닛은 하나 이상의 편심 장치를 사용하여 항상 가공 영역상에 중심이 잡히는 것이 바람직한 하향력을 제공한다. 가공 영역은 , 상부 및 하부 연마 플레이트 조립체 모두와 항상 접촉하는 공작물 캐리어내에 일 영역으로서 형성된다. 이 영역은, 하나 이상의 공작물이 플레이트 일탈(throw)로 인하여 노출되지 않도록 배치될 수 있는 영역이다. 그 가공 영역은 그 유닛의 임계반경에 직접 관련된다. 임계반경이 작을수록, 유용한 처리 영역은 더 넓어진다. 동일한 하향 압력 실린더가 공작물의 장전 및 취출을 위해 하부 플레이트에 대해 상부 플레이트 조립체를 승강시키는데 사용될 수 있다.
공작물 크기의 변화는 캐리어 변화에 의해 조절될 수 있다. 캐리어 재료는 견고하지만 가요성으로 될 필요가 있으며 또한 공작물 두께에 적어도 2/3이상으로 되어야 한다. 임계반경은 다양한 각 속도를 달성하도록 변경될 수 있어 공작물 재료 및 크기의 변화를 조절할 수 있다. 결국, 연마용 패드, 연마용 슬러리, 연삭용 매체 및 냉각제들이 마무리 가공 방법에 사용될 수 있어 필요로하는 다양한 연삭 및 연마 가공을 용이하게 할 수 있다.
공작물의 모든 지점들상에서 균일한 가공속도를 얻는다는 본 발명의 특유의 잇점 이외에도, 본 발명자체가 다른 중요한 장점들을 제공한다. 그들중 하나의 장점은, 플레이트들이 회전하지 않기 때문에 복잡한 회전 커플링을 사용하지 않고 상부 및 하부 플레이트 모두로부터 압력 영역내로 가요성 관을 이용하여 연마용 슬러리 또는 연삭용 냉각제를 주입할 수 있다는 것이다. 이같은 방법은 연마 플레이트 냉각수 또는 가온수, 열전쌍 또는 두꺼운 특정 탐침과 같은 전자 센서에도 사용할 수 있다. 이는 또한 더 완전한 프로세스 제어를 제공하며 모니터링 또한 가능하다.
공작물을 마무리 가공하기 위한 본 발명의 장치의 구조, 형태 및 장치 사용방법의 변형예는 본 기술분야의 숙련자에게 명백해질 것이다. 본 발명의 사상 및 범위내의 변형예들이 첨부된 청구범위에 포함되어 본 발명으로 등록된 미합중국 특허에 의해 보호된다.

Claims (17)

  1. 베이스, 상부 연마 플레이트(upper polishing plate), 하부 연마 플레이트, 하나 이상의 공작물을 보지(保持)하는 캐리어(carrier), 모터, 제1축을 갖는 스핀들(spindle), 제2축을 갖는 스핀들 캠 및 하나 내지 4개의 편심캠을 포함하여 구성되며, 상기 캐리어는 상부 연마 플레이트와 하부 연마 플레이트 사이에 배치되며, 상기 모터는 제1축에 대해 스핀들을 회전시키며, 상기 스핀들은 스핀들 캠에 고정적으로 부착되며, 제1축으로부터 제2축까지의 거리는 임계반경을 형성하며, 각각의 편심캠은 하부 구동휠 및 구동휠을 포함하며, 각각의 하부 구동휠은 하부 연마 플레이트 연결부에 회전가능하게 결합되며, 상기 하부 연마 플레이트 연결부는 하부 연마 플레이트를 하부 구동휠에 결합시키며, 각각의 상부 구동휠은 상부 연마 플레이트 연결부에 회전가능하게 결합되며, 상부 연마 플레이트 연결부는 상부 연마 플레이트를 상부 구동휠에 결합시키며, 각각의 편심캠은 제3축에 대해 회전하는 것을 특징으로 하는, 하나 이상의 공작물의 양면을 동시에 연마하기 위한 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 장치는 2개의 편심캠을 지니는 것을 특징으로하는 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 2개의 편심캠은 각각 상부 연결부와 하부 연결부에 회전가능하게 결합되며, 상기 2개의 상부 연결부는 상호 수직하게 연결되며, 상기 2개의 하부 연결부는 상호 수직하게 연결되는 것을 특징으로하는 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 하부 연마 플레이트는 원형 스핀들 캠에 의해 점유되는 원형 요부를 갖는 하부를 지니는 것을 특징으로하는 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 하부 연마 플레이트의 하부는 베어링 표면 역할을 할 수 있는 재료로 형성되는 것을 특징으로하는 장치.
  6. 제1항에 있어서, 각각의 편심캠의 상부 구동휠 및 하부 구동휠은 각각 제4축에 대해 회전하는 상부 및 하부 캠 베어링을 지니며, 상기 상부 캠 베어링과 하부 캠 베어링은 상부 연마 플레이트 연결부와 하부 연마 플레이트 연결부를 상부 구동휠과 하부 구동휠에 제각기 결합시키는 것을 특징으로하는 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상부 연마 플레이트의 중심과 연속적으로 접촉하는 하향 압력 시스템에 의해 공작물에 하향 압력이 가해지는 것을 특징으로하는 장치.
  8. 베이스, 상부 연마 플레이트, 원형 요부를 갖는 하부를 지니는 하부 연마 플레이트, 하나 이상의 공작물을 보지하는 캐리어, 모터, 제1축을 갖는 스핀들, 제2축을 갖는 원형 스핀들 캠 및 2개의 편심캠을 포함하여 구성되며, 상기 캐리어는 상부 연마 플레이트와 하부 연마 플레이트 사이에 고정적으로 배치되며, 모터는 스핀들을 제1축에 대해 회전시키며, 스핀들이 원형 스핀들 캠에 고정적으로 취부되어 제1축과 제2축 사이의 거리가 임계반경을 형성하며, 원형 스핀들 캠은 하부 연마 플레이트의 하부내의 원형 요부를 점유하며, 각각의 편심캠은 0° 내지 180°의 각도차로 상대하는 상부 구동휠과 하부 구동휠을 구비하며, 상기 하부 구동휠과 상부 구동휠들은 그 구동휠들에 수직한 편심캠 샤프트에 의해 결합되며, 각각의 하부 구동휠은 하부 연마 플레이트에 회전가능하게 결합되며, 상기 하부 연마 플레이트 연결부는 하부 연마 플레이트를 하부 구동휠에 결합시키며, 각각의 상부 구동휠은 상부 연마 플레이트 연결부에 회전가능하게 결합되며, 상부 연마 플레이트 연결부는 상부 연마 플레이트를 상부 구동휠에 결합시키며, 각각의 편심캠의 편심캠 샤프트는 제3축에 대해 회전하는 것을 특징으로 하는, 하나 이상의 공작물의 양면을 동시에 연마하는 장치.
  9. 제8항에 있어서, 2개의 편심캠의 각각의 하부 연마 플레이트 연결부 및 상부 연마 플레이트 연결부는 상호간에 대해 수직하게 배치되는 장치.
  10. 제8항에 있어서, 상부 연마 플레이트, 하부 연마 플레이트 또는 상기 플레이트 모두는 연마 플레이트의 냉각, 공작물에 유체 공급 또는 양자 모두를 위한 도관을 지니는 것을 특징으로하는 장치.
  11. 제8항에 있어서, 상부 연마 플레이트와 접촉하며 캐리어 상에 중심이 잡혀 유지되는 하향 압력 시스템에 의해 공작물에 압력이 가해지는 것을 특징으로하는 장치.
  12. 제8항에 있어서, 각각의 편심캠은 상부 캠 베어링을 갖는 상부 구동휠 및 하부 캠 베어링을 갖는 하부 구동휠을 지니며, 상기 상부 및 하부 캠 베어링은 각각 제4축에 대해 회전하고, 상부 연마 플레이트 연결부와 하부 연마 플레이트 연결부를 각각 상부 구동휠과 하부 구동휠에 회전가능하게 결합시키는 것을 특징으로하는 장치.
  13. 베이스, 상부 연마 플레이트를 포함하는 도관, 원형요부를 갖는 하부를 지니는 하부 연마 플레이트를 포함하는 도관, 하나 이상의 공작물을 보지하는 캐리어, 모터, 제1축을 갖는 스핀들, 제2축을 갖는 원형 스핀들 캠, 2개의 수직 편심캠 및 하향 압력 시스템을 포함하여 구성되며, 상기 캐리어는 베이스에 견고하게 취부되어 상부 연마 플레이트와 하부 연마 플레이트 사이에 배치되며, 상기 모터는 스핀들을 제1축에 대해 회전시키며, 스핀들이 원형 스핀들 캠에 견고하게 취부됨으로써 제1축 과 제2축이 오프셋되어 임계반경을 형성하며, 상기 스핀들 캠은 하부 연마 플레이트의 하부내의 원형 요부에 배치되며, 상기 하부는 베어링 표면역할을 할 수 있는 재료로 형성되며, 2개의 편심캠 각각은 하부 캠 베어링을 갖는 하부 구동휠 및 상부 캠 베어링을 갖는 평행한 상부 구동휠을 포함하며, 상부 및 하부 구동휠은 제3축에 대해 회전하며 상부 및 하부 구동휠에 수직한 편심 캠 샤프트에 의해 결합되며, 각각의 편심캠의 상부 및 하부 캠 베어링은 상호간에 대해 180°로 배치되며, 각각의 하부 구동휠은 하부 캠 베어링에 의해 하부 연마 플레이트 연결부에 회전가능하게 결합되며, 하부 연마 플레이트 연결부는 하부 연마 플레이트를 하부 구동휠에 결합시키며, 각각의 상부 구동휠은 상부 캠 베어링에 의해 상부 연마 플레이트 연결부에 회전가능하게 결합되며, 상부 연마 플레이트 연결부는 상부 연마 플레이트를 상부 구동 휠에 결합시키며, 2개의 상부 연결부는 상호간에 대해 수직하게 배치되며, 2개의 하부 연결부는 상호간에 대해 수직하게 배치되며, 상부 캠 베어링 및 하부 캠 베어링은 각각 제4축에 대해 회전하며, 제3축은 임계반경과 동일한 거리만큼 상부 캠 베어링 및 하부 캠 베어링 모두의 제4축으로부터 이격되며, 하향 압력 시스템은 그 시스템을 항상 캐리어상에 중심이 잡히게하는 편심 수단에 의해 상부 연마 플레이트에 결합되는 것을 특징으로하는, 하나 이상의 공작물의 양면을 동시에 연마하는 장치.
  14. 베이스, 상부 연마 플레이트, 원형요부를 갖는 하부를 지니는 하부 연마 플레이트, 하나 이상의 공작물을 보지시키는 캐리어, 모터, 제1축을 갖는 스핀들, 제2축을 갖는 원형 스핀들 캠 및 2개의 수직편심캠을 포함하여 구성되며, 상기 캐리어는 상부 연마 플레이트와 하부 연마 플레이트 사이에 고정적으로 배치되며, 모터는 제1축에 대해 회전하며, 스핀들은 원형 스핀들 캠에 고정적으로 취부되며, 제1축과 제2축은 일정거리로 이격되어 임계반경을 형성하며, 원형 스핀들 캠은 하부 연마 플레이트의 하부내의 원형 요부를 점유하며, 각각의 편심캠은 하부 구동휠 및 상부 구동휠을 구비하며, 상부 및 하부 구동휠은 그에 수직한 편심 캠 샤프트에 의해 결합되며, 각각의 하부 구동휠은 하부 연마 플레이트 연결부에 회전가능하게 결합되며, 하부 연마 플레이트 연결부는 하부 연마 플레이트를 하부 구동휠에 결합시키며, 상부 구동휠은 상부 연마 플레이트 연결부에 회전가능하게 결합되며, 상부 연마 플레이트 연결부는 상부 연마 플레이트를 상부 구동 휠에 결합시키며, 각각의 편심캠의 편심캠 샤프트는 제3축에 대해 회전하는 것을 특징으로하는 장치로 하나이상의 공작물의 양면을 동시에 연마하는 방법에 있어서, a. 각각 상부 및 하부를 갖는 하나 이상의 공작물울 캐리어내에 배치시켜 각각의 공작물의 하부를 하부 연마 플레이트에 접촉시키는 단계; b. 상부 연마 플레이트를 하강시켜 공작물의 상부에 접촉시키는 단계; c. 모터를 작동시켜 스핀들을 제1축에 대해 회전시켜, 제2축에 원형 스핀들 캠이 임계반경과 동일한 반경의 원을 그리도록 비회전 원형 운동을 발생시키는 것에 의해, 하부 연마 플레이트에 비회전 원형 운동을 발생시키며, 그 하부 연마 플레이트의 운동을 복수의 하부 연마 플레이트 연결부에 의해 2개의 편심캠의 각각의 하부 구동휠에 전달되며, 각각의 편심캠에 있어서 편심캠 샤프트에 제3축에 대한 회전을 발생시키며, 상부 연마 플레이트 연결부와 회전가능하게 연결된 상부 구동휠을 통하여 상부 연마 플레이트에 비회전 원형 운동을 발생시키는 것에 의해 공작물을 마무리 가공하는 단계; d. 모터를 정지시킴으로써 단계(c)와 같이 상부 및 하부 연마 플레이트의 작동을 정지시키는 단계; e. 상부 연마 플레이트를 상승시켜 공작물과의 접촉으로부터 해제시키는 단계; 및 f. 마무리 가공된 공작물을 캐리어로부터 취출시키는 단계;를 포함하는, 하나 이상의 공작물의 양면을 동시에 연마하는 방법.
  15. 제14항에 있어서, 마무리 가공 단계(c)중에 상부 연마 플레이트의 중심과 연속적으로 접촉하는 하향 압력 시스템에 의해 공작물에 압력이 가해지는 것을 특징으로하는 방법.
  16. 제14항에 있어서, 냉각 유체를 상부 및 하부 연마 플레이트내의 도관을 통해 통과시킴으로써 마무리 가공 단계(c)중 상부 및 하부 연마 플레이트가 냉각되는 것을 특징으로하는 방법.
  17. 베이스, 상부 연마 플레이트를 포함하는 도관, 원형 요부를 갖는 하부를 지니는 하부연마 플레이트를 포함하는 도관, 하나 이상의 공작물을 보지하기 위한 캐리어, 모터, 제1축을 갖는 스핀들, 제2축을 갖는 원형 스핀들 캠, 2개의 수직 편심캠 및 하향 압력 시스템을 포함하여 구성되며, 캐리어는 베이스에 견고하게 부착되어 상부 연마 플레이트와 하부 연마 플레이트 사이에 배치되며, 모터는 스핀들을 제1축에 대해 회전시키며, 스핀들이 원형 스핀들 캠에 견고하게 취부됨으로써 제1축과 제2축이 오프셋되어 임계반경을 형성하며, 스핀들 캠은 하부 연마 플레이트의 하부내의 원형요부에 배치되며, 하부 연마 플레이트의 하부는 베어링 표면역할을 할 수 있는 재료로 형성되며, 2개의 편심캠 각각은 하부 캠 베어링을 갖는 하부 구동 휠 및 상부 캠 베어링을 갖는 평행한 상부 구동 휠을 포함하며, 상부 및 하부 구동 휠은 제3축에 대해 회전하며 상부 및 하부 구동휠에 수직한 편심 캠 샤프트에 의해 결합되며, 각각의 편심캠의 상부 및 하부 캠 베어링은 상호간 180°로 배치되며, 각각의 하부 구동 휠은 하부 캠 베어링에 의해 하부 연마 플레이트 연결부에 회전가능하게 결합되며, 하부 연마 플레이트 연결부는 하부 연마 플레이트를 하부 구동휠에 결합시키며, 각각의 상부 구동 휠은 상부 캠 베어링에 의해 상부 연마 플레이트 연결부에 회전가능하게 결합되며, 상부 연마 플레이트 연결부는 상부 연마 플레이트를 상부 구동 휠에 결합시키며, 2개의 상부 연결부는 상호간에 대해 수직하게 배치되며, 2개의 하부 연결부는 상호간에 대해 수직하게 배치되며, 상부 캠 베어링과 하부 캠 베어링 각각은 제4축에 대해 회전하며, 제3축은 임계반경과 동일한 거리만큼 상부 캠 베어링과 하부 캠 베어링 모두의 제4축으로부터 이격되며, 하향 압력 시스템이 편심수단에 연관됨으로써 하향 압력 시스템은 항상 캐리어상에 중심이 배치되는 것을 특징으로 하는 장치로 하나 이상의 공작물의 양면을 동시에 연마하는 방법에 있어서, a. 상부 및 하부를 갖는 하나 이상의 공작물을 캐리어에 배치시켜 각각의 공작물의 하부를 하부 연마 플레이트에 접촉시키는 단계; b. 하향 압력 시스템의 수단으로 상부 연마 플레이트를 하강시켜 공작물의 상부와 접촉시키는 단계; c. 모터를 작동시켜 스핀들을 제1축에 대해 회전시켜, 제2축에 원형 스핀들 캠이 임계반경과 동일한 반경의 원을 그리도록 비회전 원형운동을 발생시키는 것에 의해, 하부 연마 플레이트에 비회전 원형 운동을 발생시키며, 그 하부 연마 플레이트의 운동을 복수의 하부 연마 플레이트 연결부에 의해 2개의 편심캠의 각각의 하부 구동휠에 전달되며, 각각의 편심캠에 있어서 편심캠 샤프트에 제3축에 대한 회전을 발생시키며, 상부 연마 플레이트 연결부와 회전가능하게 연결된 상부 구동휠을 통하여 상부 연마 플레이트 비회전 원형 운동을 발생시키는 것에 의해 공작물을 마무리 가공하는 단계; d. 모터를 정지시켜 단계(c)와 같이 상부 및 하부 연마 플레이트의 작동을 정지시키는 단계; e. 하향 압력 시스템으로 상부 연마 플레이트를 상승시켜 공작물을 취출시키는 단계; 및 f. 캐리어에서 마무리 가공된 공작물을 제거하는 단계를 포함하는, 하나 이상의 공작물의 양면을 동시에 연마하는 방법.
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