KR920004303A - 자체-보강된 실리콘 니트라이드 세라믹체 및 이의 제조방법 - Google Patents

자체-보강된 실리콘 니트라이드 세라믹체 및 이의 제조방법 Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

자체-보강된 실리콘 니트라이드 세라믹체 및 이의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (10)

  1. (a)세라믹체를 제공하기에 충분한 양으로 존재하는 실리콘 니트라이드, (b)분말의 조밀화를 촉진시키기에 충분한 양, 즉 분말상 혼합물의 총중량을 기준으로 하여 1 내지 28중량%의 양으로 존재하는 이산화규소, (c)이트륨, 스칸듐, 악티늄, 란타눔, 리튬, 나트륨, 칼륨, 루비듐, 세슘 또는 프란슘의 공급원인, 필수적으로 출발 실리콘 니트라이드를 β-실리콘 니트라이드로 완전히 전환시키기에 충분한 양, 즉 분말상 혼합물의 총중량을 기준으로 하여 0.2 내지 29.5중량%의 양으로 존재하는 전환 보조제, 및 (d) 칼슘, 나트륨, 칼륨, 스칸듐, 티탄, 바나듐, 크롬, 망간, 철, 코발트, 니켈, 구리, 아연, 스트론튬, 지르콘, 니오븀, 바륨, 란타눔 또는 이들의 혼합물의 공급원, 또는 갈륨, 인듐, 하프늄, 탄탈늄, 탄탈롬 또는 봉소의 산화물인, β-실리콘 니트라이드위스커(whisker)의 형성을 촉진시키기에 충분한 양, 즉 분말상 혼합물의 총중량을 기준으로 하여 0.01 내지 5중량%의 양으로 존재하는 하나 이상의 위스커 형성 촉진 화합물(단, 여기서 위스커 형성 촉진 화합물로서 사용되는 원소는 전환보조제로서 사용되는 원소와는 상이하다)을 포함하는 분말상 혼합물을, 이를 조밀화시키고, 동일반응계내에서 평균 종횡비가 약 2.5 이상인β-실리콘 니트라이드 위스커를 형성(이때, 주사 전자 현미경으로 실리콘 니트라이드 세라믹체의 한 면을 관찰함으로써 측정한 바, β-실리콘 니트라이드 위스커의 양은 20용적%이상이다)하고 파괴 인성이 약 6MPa(m)이상인 실리콘 니트라이드 세라믹체를 제조하기에 충분한 1.750℃이상의 온도 및20.7MPa이상의 압력 조건하에 노출시킴을 포함하여, 파괴 인성이 6MPa(m)보다 크고, 주로 β-실리콘 니트라이드 위스커를 포함하는 실리콘 니트라이드 세라믹체를 제조하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 전환 보조제가 이트륨, 스칸듐, 란타눔, 악티늄 또는 나트륨의 산화물이고, 위스커 형성 촉진 화합물이 칼슘, 탄탈륨, 히프늄, 니오븀 또는 이들의 혼합물의 산화물인 방법.
  3. 제1항에 있어서, 이산화규소 및 전환 보조제가, 이산화규소에 대한 전환 보조제의 비 0.25 내지 8이 제공되도록 하는 양으로 존재하는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 실리콘 니트라이드의 양이 분말상 혼합물의 총중량을 기준으로 하여 80 내지 약97중량%인 방법.
  5. 제1항에 있어서, 분말상 혼합물이 이의 총중량을 기준으로 하여 0.01 내지 5중량%의 양으로 존재하는 알루미늄 니트라이드 또는 보론 니트라이드를 추가로 포함하는 방법.
  6. 제1항에 있어서, 온도가 1,750 내지 1,870℃이고, 압력이 3000 내지 6000psig(20.7 내지 41.4MPa)인 방법.
  7. (a) 주사 전자 현미경으로 실리콘 니트라이드 세라믹체의 한 면을 관찰함으로써 측정한 바, 20용적%이상이, 평균 종횡비가 2.5이상인 위스커의 형태로 존재하는 β-실리콘 니트라이드의 결정상, 및 (b) (1)이산화규소, (2)이트륨, 스칸듐, 악티늄, 란타눔, 리튬, 나트륨, 칼륨, 루비듐, 세슘 또는 프란슘의 공급원인 전환 보조제, 및 (3)칼슘, 나트륨, 칼륨, 스칸듐, 티탄, 바나듐, 크롬, 망간, 철, 코발트, 니켈, 구리, 아연, 스트론튬, 지르콘, 니오븀, 바륨 또는 란타눔의 공급원 또는 갈륨,인듐, 하프늄, 탄탈롬 및 붕소의 산화물인, β-실리콘 니트라이드 위스커 형성 촉진 화합물(단, 여기서 위스커 형성촉진 화합물로서 사용되는 원소는 전환 보조제로서 사용되는 원소와는 상이하다)을 포함하는, 실리콘 니트라이들 세라믹체의 총중량을 기준으로 하여 35중량%이하의 양으로 존재하는 β-실리콘 니트라이드의 유리상을 포함하는 23℃에서 쉐브론 노치 기술(Chevron nothch technique)에 의해 측정된 파괴인성이 6MPa(m)보다 큰 실리콘 니트라이드 세라믹체.
  8. 제7항에 있어서, 유리상이 이산화규소 8 내지 80중량%, 전환 보조제 20 내지 90중량% 및 β-실리콘 니트라이드 위스커 형성 촉진 화합물 0.1 내지 25중량%를 포함하며, 여기서 이산화규소에 대한 전환 보조제의 비는 0.25 내지 8 이고, 그 밖의 다른 상은 실리콘 니트라이드 세라믹체의 총중량의 10중량 %이하의 양으로 존재하는 방법.
  9. 제7항에 있어서, 유리상이, 이의 총중량을 기준으로 하여 0.01 내지 15중량%의 양으로 존재하는 알루미늄 니트라이드 또는 보론 니트라이드를 추가로 포함하는 방법.
  10. 제7항의 실리콘 니트라이드 세라믹체로부터 제조된 절단기.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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