KR920003950B1 - 개량된 저항소자를 가진 열선식 공기유량계 및 그 제조방법 - Google Patents

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Description

개량된 저항소자를 가진 열선식 공기유량계 및 그 제조방법

제 1a 도는 개량된 저항소자를 구비한 본원 발명의 열선식 공기유량계의 구성을 예시하는 부분단면도.

제 1b 도는 제 1a 도의 X-X선에 의한 공기유량계의 단면도.

제 2 도는 열선식 공기유량계의 검출회로의 예를 나타내는 약선도.

제 3 도는 본원 발명의 실시예에 의한 열선식 공기유량계의 저항소자의 구성을 나타내는 단면도.

제 4 도는 제 3 도의 저항소자를 제조하는 공정을 나타내는 설명도.

제 5 도는 저항소자의 제조공정의 일부분으로서 저항소자의 구성의 다른 예를 도시한 도면.

본원 발명은 개량된 발열저항소자를 구비한 소위 열선식 공기유량계 및 개량된 저항소자의 제조방법에 관한 것이다.

발열저항기로서 작용하도록 만들어진 저항소자를 사용하는 공기유량계가 이미 공지되어 있으며, 이 유량계에는 저항소자에 흐르는 전류를 조정하여 소자의 온도가 소정치에서 유지되도록 하며, 저항소자와 접촉하여 흐르는 공기에 의하여 발생되는 저항소자의 온도저하는 저항소자를 흐르는 전류의 변화로서 검출되며, 이리하여 공기유량을 측정할 수 있게 된다. 이와 같은 공기유량계는 열선식 공기유량계로서 알려져 있으며, 내연기관의 흡입공기의 유량을 측정할 목적으로 널리 사용되고 있다.

또, 열선식 공기유량계에 사용되는 여러 종류의 저항소자가 이미 공지되어 있다. 그중의 하나로서, 충분히 소결된 세라믹체의 보빈에 백금, 니켈, 백금·코발트 합금등과 같은 저항선을 감아 발열저항기로서 작용하는 열선코일이 형성된 저항소자가 있다(일본국 특개소 54(1979)-145, 166). 이와 같은 열선은 매우 가늘기 때문에 세라믹 보빈은 열선코일에 따라서 저항소자에 전체적으로 충분한 기계적 강도를 부여한다.

그러나, 세라믹 보빈이 있는 상기 저항소자가 충분한 기계적 강도를 가지고 있다고 하지만 다음과 같은 결점을 수반한다. 즉, 열선코일에 의해 발생된 열의 일부가 세라믹 보빈의 가열에 소비되고, 보빈에 전달된 열은 보빈에 접속된 지지부재를 통해 외측으로 도피된다. 이것은 결과적으로 측정의 정확도를 감소시키게 된다. 또한, 보빈의 열용량 때문에 측정될 공기유량의 변화에 대한 공기유량계의 응답시간을 악화시킨다.

이러한 결점을 개량하기 위하여, 본원 발명의 발명자중 한 사람은 보빈이 없는 개량된 저항소자를 구비한 열선식 공기유량계를 제안한 바 있다(1987년 4월 17일 일본국 특개소 62(1987)-83, 622). 상기한 종래 기술에 의하면, 발열저항선은 코일형으로 코어선에 감겨지며, 코일된 저항선이 유리물질에 의해 코팅되어 응고된 후 코어선은 산에 의해 제거되며, 따라서 보빈이 없는 저항소자를 얻게 되며, 세라믹 보빈의 열용량의 영향을 받지 않는 공기유량계가 실현된다.

그러나, 종래의 기술은 특히 몰리브덴을 저항선 감기용 코어선으로 이용할때는 다음과 같은 문제가 있다. 즉 유리 코팅층을 소결하면, 유리는 몰리브덴 코어선의 영향으로 결정(結晶)되며, 그 결과 마무리된 저항소자의 외부면이 평활하게 되지 않는다. 저항소자 외부면이 거칠은 것은 측정될 공기유량을 흐트러지게하며, 공기에 먼지를 포함하게 한다. 이러한 사실들은 열선식 공기유량계의 측정 정확도에 큰 영향을 미친다.

본원 발명의 목적은 고도의 정확도로 측정할 수 있도록 개량된 구성의 저항소자를 가진 열선식공기유량계 및 이와 같은 저항소자에 특히 적용되는 제조방법을 제공하는 데 있다.

본원 발명은 그 유량이 측정될 공기 흐름을 유도하는 흡기관수단과, 흡기관수단내에 배설되어 발열저항으로서 작용하는 저항소자수단과, 저항소자수단에 전류를 공급하고, 공기유량의 변화에 따르는 저항소자수단의 저항치 변화를 검출함으로써 공기유량에 비례하여 출력신호를 발생하는 검출회로수단을 구비한 열선식 공기유량계에 있어서, 상기 저항소자는, 발열저항으로서 작용하는 열선에 의해 형성된 열선코일과, 상기 열선코일의 양단에 부착되어 이 열선코일을 상기 검출회로수단에 전기적으로 접속시키는 리드선과, 상기 열선코일과, 이 열선코일 및 상기 리드선의 접속부를 피복하여 상기 열선코일의 내부에 동축으로 그 내면에 따라 이 열선코일이 배설되는 원통형부재를 형성하는 제 1 층의 세라믹층과, 상기 원통형부재의 외부면을 피복하는 제 2 층의 유리층으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

상기와 같은 저항소자의 제조방법은 코어선에 열선을 감아 열선코일을 형성하고, 열선코일의 양단에 리드선을 부착하고, 그 양단에 리드선이 부착된 열선코일 위에 제 1 층의 세라믹층을 형성하여 열선코일과, 이 열선코일 및 리드선과의 접속점을 일체로 피복하지만 코어선의 양단면은 피복되지 않도록 하고, 코어선을 화학적 에칭에 의해 제거하여 그 내부에 동축으로 그 내면에 따라 열선코일이 배설되는 원통형부재를 형성하고, 이 원통형부재의 외부면 전체를 제 2 층의 유리층으로 피복하는 것을 특징으로 한다.

상기에서 명백한 바와 같이, 제 1 층의 세라믹층은 제 2 층의 유리층과 코어선 사에 있기 때문에, 제 2 층의 유리가 소결될때, 이들 둘은 결코 서로 반응하지 않는다. 그러므로, 평활한 외부면을 가진 저항소자를 얻게 되며, 이와 같은 저항소자로서는 측정정확도가 높은 열선식 공기유량계를 실현하게 된다.

먼저, 도면을 참조하여 예를들면 내연기관에 사용되는 공기유량센서를 들어 열선식 공기유량계에 관해 설명한다.

제 1a 도 및 제 1 b도는 열선식 공기유량계(10)의 구성을 나타내며, 여기에서 정류부재(整流部材)(12)는 흡기관(14)의 입구측에 끼워져 있다. 화살표로 나타낸 바와 같이 흡기관(14)내로 흘러 들어온 공기는 정류부재(12)에 의해 대략 평행기류로되며, 따라서 공기의 난류(亂流)의 발생을 방지할 수 있다.

내측관(16)이 흡기관(14)내에 대략 동축으로 배설되어 측정될 공기흐름을 형성한다. 측정을 위한 저항소자(18)의 리드선과, 온도보상프로브로서의 저항소자(20)는 둘다 동일한 구성을 가지고, 각각 점용접이나 납땜의 수단에 의해 내측관(16)내로 돌출한 지지부재(22), (24)에 고정되어 있다. 저항소자(18), (20)는 도전재로 만들어진 지지부재(22), (24)를 통하여 검출회로(26)에 전기적으로 접속되어 있다.

제 2 도에 나타낸 바와 같이 검출회로(26)는 브리지회로 구성으로 되어 있다. 즉, 저항소자(18)와 고정저항(28)과의 직렬접속과, 저항소자(20)과 고정저항(30, (32)과의 직렬접속은 서로 병렬로 접속되어 있다. 또, 고정저항(28)과 (32)의 접속점은 접지되어 있으며, 저항소자(18)과의 (20)의 접속점은 트랜지스터(34)의 에미터에 접속되어 있으며, 트랜지스터의 콜텍터는 전원에 접속되어 있다. 또, 저항소자(18)와 고정저항(28)과의 접속점과, 고정저항(30)과 (32)의 접속점은 각각 차동증폭기(36)의 입력단자에 접속되어 있다. 증폭기(36)의 출력은 트랜지스터(34)의 베이스에 공급된다.

이 브리지회로에 있어서, 전류는 저항소자(18)를 통하여 흐르게되며, 따라서 저항소자는 소정의 온도를 얻게되고, 브리지회로는 이와 같은 상태하에서 평형을 잡는다. 흡입공기가 저항소자(18)에 분출되면 저항소자의 온도가 변화하고, 따라서 저항소자 (18)의 저항치에 변화가 생긴다. 온도변화는 흡입공기의 유량에 달려 있기 때문에 출력신호는 저항소자(18)와 저항 (28)과의 접속점으로부터 유도되며, 또한 흡입공기의 유량에 대응한다.

흡입공기온도의 영향을 받지 않고 흡입공기 유량을 정확하게 측정할 목적으로 저항소자(20)가 설치되어 있다. 즉, 흡입공기 온도변화에 따라 유량신호가 변동되지만 이러한 변동은 저항소자(20)를 설치함으로써 보상될 수 있다. 저항소자(20)에 의한 온도보상작용은 이미 공지되어 있기 때문에 이것에 대한 설명은 생략한다.

제 3 도에 있어서, 제 1a 도 및 제 1b 도에 나타낸 공기유량계의 소자(18), (20)으로서 사용되는 저항소자(40)의 구성의 단면도를 나타낸다. 저항소자(40)가 그 양단에 설치된 리드선(42), (44)에 의해 지지부재(22), (24)에 부착되어, 그 유량이 측정될 공기흐름속에 배설되어 있다. 또, 상기한 바와 같이 소자(40)도 또한 지지부재(22), (24)와 리드선(42), (44)을 통하여 검출회로(26)에 전기적으로 접속되어 있다.

저항소자(40)는 백금, 니켈, 백금·코발트 합금등과 같은 물질로된 열선(46)으로 만든 열선코일로 이루어지며, 발열저항, 원통형 세라믹부재(50)로서 작용하며, 원통형 세라믹부재는 동축으로 그의 내면에 따라 열선코일이 배설되며, 열선코일과 리드선(42), (44)의 접속부를 고정시키며, 원통형부재(50)의 외부면과 일단 또는 양단의 개구를 덮기 위한 유리 피복층(52)을 포함하고 있다.

상기 설명에서 명백한 바와 같이, 저항소자(40)와 종래 기술의 저항소자와의 구조적 차이는 무기질층이 2개의 층 즉 제 1 층의 세라믹층(50)과 제 2 층의 유리층(52)으로 이루어져 있다는 것이다. 그러므로, 제 1 층(50)은 제 2 층(52)과 제거된 코어선의 잔여부인 중공부(54)와의 사이에 있다.

다음에, 제 4 도에 따라 상기한 저항소자의 제조방법에 대해 설명한다.

제 4a 도에 나타낸 바와 같이 권선코어를 위한 재료로서 몰리브덴선이 사용된다. 코어선의 직경은 약 0.3-0.5mm이다. 몰리브덴선이외에 코어선의 재료로서 Fe-Ni선, 플라스틱선 등을 사용할 수도 있다.

제조공정의 제 1 단계에서, 코어선은 적당한 길이로 절단되고, 코어선의 양단에 가까운 부분은 가압되어 부분적으로 평면부를 형성하게 된다(제 4b 도). 다음에, 공정의 제 2 단계에서 직경이 0.02-0.05mm의 백금선을 열선으로서 코어선위에 감아 열선코일을 형성한다(제 4c 도). 제 1 단계에서 코어선에 형성된 평면부는 제 2 단계에서 형성된 열선코일이 풀리지 않도록 방지하는데 유용하다.

공정의 제 3 단계에서, 열선코일이 배설된 코어선은 저항소자가 코어선의 양단에 평면부의 일부가 남아 있도록 필요한 길이로 절단된다(제 4d 도). 또, 제 4d 도에 나타낸 바와 같이 열선코일에 있어서 그 중앙의 부분은 검출부의 작용을 하며, 양단의 평면부는 리드부로서 사용되며, 여기에서 리드선은 다음에 설명하는 바와 같이 열선코일에 부착된다.

공정의 제 4 단계에서, 리드선은 점용접이나 납땜의 수단으로 리드부에 고착되며(제 4e 도), 코어선, 열선코일 및 리드선을 모두 일체로 접속시킨다. 이로서, 제조공정의 후속단계에서 열선코일의 취급이 용이해진다. 그 이유는 코어선에 의해 충분한 견고성이 부여되기 때문이다. 또, 리드부는 평면부로 되어 있기 때문에 리드선은 거기에 안정되고 신뢰성 있게 부착될 수 있다. 또, 이 단계에서 도면에 나타낸 바와 같이 염화비닐수지와 같은 마스킹제를 코어선의 일단 또는 양단면에 도포한다.

공정의 제 5 단계에서, 제 1 층의 세라믹층이 형성되어, 코어선에 그리고 열선코일과 리드선의 접속부에 형성된 열선코일이 완전히 피복된다(제 4f 도). 이를 위하여, 세라믹분말을 전기영동(泳動), 용사(熔射) 또는 침지수단에 의해 코어선에 형성된 열선코일에 부착시킨다. 세라믹분말의 부착은 또한 리드선의 일부를 피복한다. 그리고, 세라믹분말을 부착시킨 상태로 고온로에서 소결함으로써 제 1 층의 세라믹층을 형성한다. 그러나, 세라믹층은 코어선의 일단 또는 양단면에서는 형성되지 않는다. 그 이유는 거기에 마스킹제를 도포했기 때문이다(제 4f 도).

고온로에서 소결하는 동안 백금선을 약 1300℃이상의 고온에 노출시키면, 백금의 재결정이 발생하여, 백금선의 단선이 발생되며, 그 저항치의 온도계수도 또한 변한다. 그러므로, 제 1 층은 약 1300℃보다 낮은 온도에서 응고될 수 있는 세라믹물질을 사용하여 형성되도록 하여야 한다.

예를들면, 결합제로서 알루미나와 소량의 붕규산 유리의 혼합물을 사용할 수 있다. 이와 같은 결합제를 혼합하는 이유는 다음과 같다. 상기와 같이 세라믹의 소결이 비교적 낮은 온도에서 행하여지기 때문에, 제 1 층은 이것이 세라믹으로만 이루어져 있다면 소결에 의해 충분한 기계적 강도를 얻지 못한다. 따라서, 그 융점이 상기 온도보다 낮은 결합제가 세라믹분말에 혼합된다. 세라믹의 소결중, 온도는 세라믹의 완전한 소결을 위해서는 낮을지라도, 결합제는 용해하여 세라믹분말에 침투하여 그 입자와 단단히 결합하게 된다.

실험적으로, 유리를 결합제로서 사용하였을 때, 세라믹물질과 결합제의 혼합비율은 중량으로 1대 0.05-0.2가 바람직하였다. 결합제로서 유리의 양이 너무 소량이면 저항소자의 충분한 기계적 강도를 얻지 못한다. 이와 반대로, 결합제로서 유리의 양이 너무 많으면 그 안의 과도한 유리성분 때문에 제 2 층의 유리가 제 1 층에 침투하기가 곤란해진다. 그 결과, 제 1 층과 백금선 사이의 열접촉이 불량해진다.

알루미나 이외에 실리카, 산화마그네슘, 탄화규소, 질화규소등과 같은 잘알려진 세라믹물질이 제 1 층의 주구성물질로서 사용될 수 있지만, 발열저항물질로서 백금에 대하여 그리고 코어선물질로서 몰리브덴의 양자에 대하여 용이하게 이용할 수 있고 화학적으로 안정되어 있다는 견지에서 알루미나가 바람직하다.

다음 단계에서, 제 1 층에 의해 피복된 코어선을 구비한 열선코일은 코어선의 부식제로 작용하는 혼산용액(예를들면 50%의 황산, 30%의 질산과 잔여분으로서의 물)속에 담그어진다. 제 1 층에 의해 피복된 열선코일이 이와 같은 부식제속에 담그어지면, 코어선은 노출된 일단면 또는 양단면에서 에칭되기 시작한다. 에칭이 완료된후, 그의 양단이 개방된 중공부(中空部)를 가진 원통형 세라믹부재를 얻게되며, 이 원통형 부재는 그안에 동축으로 그 내면에 따라 열선코일이 배설된다(제 4g 도).

또, 시간이 더 길게 걸리지만, 중공부(54)의 일단 또는 양단이 개방되지 않더라도 세라믹입자의 갭을 통해서 부식제가 침투되도록 함으로써 코어선의 에칭을 행할 수 있다. 이 경우, 제 4 단계의 마스킹 절차는 생략될 수 있다.

이미 설명한 바와 같이, 제 5 단계에서 1300℃보다 낮은 온도로 소결을 행한다.

이와 같은 소결온도의 상한을 선정하여 백금선이 고온에 의해 단선되는 것을 방지한다. 그러나, 한편 이와 같은 저온에서의 소결은 제 1 층의 세라믹층에 충분한 기계적 강도를 부여할 수 없다. 그래서, 공정의 마지막 단계에서, 제 1 층의 표면은 비교적 낮은 융점의 제 2 층의 유리층에 의해 피복된다(제 4h 도).

이를 위하여, 유리분말을 전기영동, 용사 또는 침지의 수단에 의해 제 1 층의 외부면에 부착시켜 비교적 낮은 온도에서 소결시킨다. 이 소결기간중, 유리는 제 1 층에 침투하여 세라믹층을 보강한다. 또, 유리층은 저항소자의 외부면을 평활하게하는 효과를 가지며, 그리하여 저항소자와 접촉하고 있는 공기흐름속에 포함된 분진이 저항소자에 부착하기 곤란하며, 또 저항소자의 외부면에 쌓이기 곤란하게 한다.

이와 같이 하여, 열선코일과 리드선을 피복하고 일체화 고정시키는 제 1 층의 세라믹층과 제 2 층의 유리층으로 구성되는 2층의 무기질 피복이 형성되어, 제 1 층의 불충분한 기계적 강도가 제 2 층에 의해 보강된다. 그 결과, 저항소자는 대체로 대단히 견고한 구조를 갖게 된다.

또, 상기 실시예에 있어서 부분적인 변형을 고려할 수 있으며, 이 변형에 의해 열선코일의 구성을 개량할 수 있다. 제 5 도는 이러한 변형된 제조공정의 단계의 일부를 나타낸다. 변형된 공정에 있어서 제 4 도의 처음 2개 단계의 공정은 동일하다. 즉, 열선으로서 백금선을 그 양단 부근에 평면부가 설치된 코어선에 감는다(제 5a 도). 그러나, 제 5a 도는 제 4c 도에 대응하지만, 제 5a 도는 열선코일이 구비된 코어선을 제 4c 도의 상부에서 본 것을 나타낸다.

상기 제 4 도의 실시예와는 상이하게, 열선코일이 설치된 코어선을 저항소자에 필요한 길이로 절단하기 전에 리드선이 점용접 또는 납땜의 수단에 의해 양 리드부의 평면부에 부착된다(제 5b 도). 그리고, 리드선을 부착한 후에 코어선을 필요한 길이로 절단한다(제 5c 도).

이와 같이, 코어선을 절단하기 전에 리드선이 열선코일에 부착되기 때문에, 리드선의 존재가 코어선의 절단작업에 방해되지 않도록 리드선이 코어선에 부착될 필요가 있다. 그러므로, 예를들면 리드선은 제 5b 도에 나타낸 바와 같이 열선코일의 축방향에 대략 수직방향으로 부착된다. 코어선을 절단하기 전에 리드선을 고정시킴으로써, 코어선이 절단될때 열선코일은 풀어지지 않는다.

제 5c 도와 제 4e 도는 서로 대응하여, 여기에서 그 양단에 리드선을 부착한 길이가 조정된 열선코일을 나타낸다. 이 변형의 공정의 후속단계는 상기 실시예의 제 4f 도의 다음 단계와 동일하다.

또, 제 5 도에서 열선이 열선코일의 검출부에서 조밀하게 즉 작은 피치로, 열선코일의 리드부에서 희박하게 즉 큰피치로 코어선에 감겨있다. 이로서, 저항소자의 저항치는 열선코일과 리드선의 접속부의 위치정확성에 대한 구속을 받지 않는다. 그 이유는 그것이 거의 검출부의 조밀하게 감겨진 열선에 의해 결정되기 때문이다.

상기와 같이, 본원 발명의 실시예인 개량된 저항소자를 가진 공기유량계의 몇가지 형태를 상세히 설명하였다. 그러나, 본원 발명은 설명된 형태에만 제한되는 것이 아니고, 본원 발명의 기술적사상 및 범위에서 일탈하지 않고 특허청구의 범위내에서 여러가지 변경 및 변형을 할 수 있다는 것을 이해하여야 한다.

Claims (11)

1. 그 유량이 측정될 공기흐름을 유도하는 흡기관수단과, 상기 흡기관수단내에 배설되어 발열저항으로서 작용하는 저항소자수단과, 그리고 상기 저항소자수단에 전류를 공급하고, 공기유량의 변화에 따르는 상기 저항소자수단의 저항치 변화를 검출함으로써 공기유량에 비례하여 출력신호를 발생하는 검출회로수단을 구비한 열선식공기유량계에 있어서, 상기 저항소자는 발열저항으로서 작용하는 열선에 의해 형성된 열선코일과, 상기 열선코일의 양단에 부착되어 이 열선코일을 상기 검출회로수단에 전기적으로 접속시키는 리드선과, 상기 열선코일과, 이 열선코일 및 상기 리드선의 접속부를 피복하여 상기 열선코일의 내부에 동축으로 그 내면에 따라 이 열선코일이 배설되는 원통형 부재를 형성하는 제 1 층의 세라믹층과, 상기 원통형부재의 외부면을 피복하는 제 2 층의 유리층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 열선식 공기유량계.
2. 제 1 항에 있어서, 원통형부재의 양단에 있는 개구는 상기 제 2 층의 유리층에 의해 폐쇄되는 것을 특징으로 하는 열선식 공기유량계.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 열선코일은 그 중앙부가 그 양단보다 더 작은 피치로 감겨지는 것을 특징으로 하는 열선식 공기유량계.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 리드선은 상기 열선코일의 축방향에 대략 수직방향으로 상기 열선코일에 부착되는 것을 특징으로 하는 열선식 공기유량계.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 열선코일은 그 양단에 평면부를 가지며, 이 평면부에 상기 리드선이 부착되는 것을 특징으로 하는 열선식 공기유량계.
6. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 층의 세라믹층은 주성분으로서 세라믹과 소량의 결합제를 포함하는 혼합물에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 열선식 공기유량계.
7. 제 6 항에 있어서, 세라믹과 결합제의 혼합비율은 중량으로 1대 0.05-0.2인 것을 특징으로 하는 열선식 공기유량계.
8. 코어선에 열선을 감아 열선코일을 형성하는 단계와, 열선코일의 양단에 리드선을 부착하는 단계와, 코어선에 형성된 열선코일을 무기질층으로 피복하는 단계와, 그리고 화학적 에칭으로 코오선을 제거하는 단계를 포함하는 열선식 공기유량계용 저항소자의 제조방법에 있어서, 상기 피복 및 제거단계는 주로 세라믹으로 구성된 혼합물의 분말을 부착시켜 열선코일을 피복하는 단계와, 열선코일에 부착된 혼합물분말을 소결시켜, 열선코일을 피복하는 제 1 층의 세라믹층을 형성하는 단계와, 화학적에칭에 의해 코어선을 제거하여 열선코일이 원통형 부재내에 동축으로 그 내면에 따라 배설되는 원통형부재를 형성하는 단계와, 그리고 원통형부재의 외부면에 제 2 층의 유리층을 피복하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 열선식 공기유량계용 저항소자의 제조방법.
9. 제 8 항에 있어서, 상기 코어선에 열선을 감는 단계에 앞서 코어선의 양단에 가까운 부분에 가압하여 리드선이 부착되는 평면부를 형성하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 열선식 공기유량계용 저항소자의 제조방법.
10. 제 8 항에 있어서, 상기 리드선을 부착하는 단계는 코어선에 형성된 열선코일을 저항소자에 필요한 길이로 절단하기 전에 행하여지는 것을 특징으로 하는 열선식 공기유량계용 저항소자의 제조방법.
11. 제 8 항에 있어서, 주로 세라믹으로 구성된 혼합물의 분말을 부착시키는 단계에 앞서 열선코일이 형성된 코어선의 일단면 또는 양단면을 마스킹제로 도포하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 열선식 공기유량계용 저항소자의 제조방법.

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