KR890011013A - 웨이퍼 이동 교체 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

내용 없음

Description

웨이퍼 이동 교체 장치 및 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는, 가열로의 로입구 근방의 부대 설비를 나타낸 사시도.
제 2 도는, 본 발명의 실시예에 관한 웨이퍼 이동 교체 장치를 나타낸 사시도.
제 3 도는, 본 발명의 웨이퍼 이동 교체 장치의 일부를 이루는 보우딩 장치의 기구를 나타낸 사시도.

Claims (16)

  1. 복수매의 웨이퍼(45)가 수납된 제1의 웨이퍼 수납 수단을 선택적으로 방향 전환시키는 수단과, 상기 제1의 웨이퍼 수단으로부터 웨이퍼(45)를 빼내는 수단과, 빼내어진 웨이퍼(45)를 선택적으로 사이에 두고 잡는 수단과, 빼내어진 웨이퍼(45)를 제2의 웨이퍼 수납 수단위에 반송하는 수단과를 갖는 웨이퍼 이동 교체 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 방향 전환 수단이, 제1의 웨이퍼 수납 수단을 수직축의 주위로 회전시키는 턴테이블(30)인 웨이퍼 이동 교체 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 턴테이블(30)이, 수직축의 주위로 180°회전하도록 되어 있는 웨이퍼 이동 교체 장치.
  4. 제1항에 있어서, 직렬로 배열된 복수개의 방향 전환 수단을 갖는 웨이퍼 이동 교체 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 방향 전환 수단이, 컴퓨터 시스템에 의하여 제어되도록 형성되고, 소정의 컴퓨터 프로그래밍에 따라 상기 제1의 웨이퍼 수납 수단이 상기 방향 전환 수단에 의하여 선택적으로 방향을 전환시키게 되는 웨이퍼 이동 교체 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 사이에 두고 잡는 수단이, 복수개의 개폐 처크 기구(24),(25)를 갖는 웨이퍼 이동 교체 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 복수개의 각 개폐 처크 기구(24),(25)가, 다수개의 홈(26),(27)이 같은 간격으로 형성된 1쌍의 웨이퍼를 사이에 두고 잡는 부재를 갖는 웨이퍼 이동 교체 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 복수개의 각 개폐 처크 기구(24),(25)마다, 웨이퍼를 사이에 두고 잡는 부재의 홈(26),(27)의 상호 간격이 다른 웨이퍼 이동 교체 장치.
  9. 제6항에 있어서, 상기 사이에 두고 잡는 수단이, 컴퓨터 시스템에 의하여 제어되도록 형성되고, 소정의 컴퓨터 프로그래밍에 따라 상기 복수개의 개폐 처크 기구(24),(25)에서 동작시켜야할 소정의 기구가 선택되도록 되어 있는 웨이퍼 이동 교체 장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼를 빼내는 수단이, 제1의 웨이퍼 수납으로부터 웨이퍼를 일괄적으로 들어올리는 리프트 기구인 웨이퍼 이동 교체 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 리프트 기구가, 상기 방향 전환 수단의 아래쪽에 위치하는 웨이퍼 이동 교체 장치.
  12. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼를 빼내는 수단이, 사이에 두고 잡는 수단과 연동하도록 컴퓨터 제어되는 웨이퍼 이동 교체 장치.
  13. 제1항에 있어서, 상기 반송 수단이, 상기 사이에 두고 잡는 수단과 연동하도록 컴퓨터 제어되는 웨이퍼 이동 교체 장치.
  14. 제1항에 있어서, 상기 방향 전환 수단이, 웨이퍼를 빼내는 수단과 연동하도록 컴퓨터 제어되는 웨이퍼 이동 교체 장치.
  15. 제1항에 있어서, 상기 방향 전환 수단이, 사이에 두고 잡는 수단을 얹어 실은 슬라이더(16)와, 슬라이더(16)를 안내하는 슬라이드 레일과, 슬라이더(16)를 레일에 따라 슬라이드시키는 수단과를 갖는 웨이퍼 이동 교체 장치.
  16. 복수매의 웨이퍼(45)를 사이에 두고 잡는 제1의 웨이퍼 수납 수단을 선택적으로 방향 전환시키는 공정과, 제1의 웨이퍼 수납 수단으로 전체 웨이퍼(45)를 들어올리는 공정과, 들어올려진 웨이퍼 배열로부터 1매 이상의 웨이퍼를 선택적으로 이동 교체하는 공정과, 제2의 웨이퍼 수납 수단위에 이동 교체된 웨이퍼(45)를 수납하는 공정과를 구비하여 이루어지는 웨이퍼 이동 교체 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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