KR890007056A - 가스센서 및 그 제조방법 - Google Patents

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KR890007056A
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마사미치 이폰마츠
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아오이 죠이치
가부시키가이샤 도시바
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Abstract

내용 없음

Description

가스센서 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명 가스센서의 일실시예를 나타낸 평면도.
제2도는 제1도의 Ⅱ-Ⅱ선 단면도.
제3도는 제1도의 히터 및 절연층을 나타낸 평면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 기판 2, 2A : 히터
3, 3A : 절연층 4 : 히터단자
4A, 5 : 관통구멍 6 : 전극
7 : 전극단자 8, 8A : 촉매층

Claims (10)

  1. 세라믹으로 된 기판(1)과, 이 기판(1)표면에 형성된 히터(2), 이 히터(2)에 포개져 형성된 절연층(3), 이 절연층(3)의 표면에 형성된 전극(6) 및, 이 전극(6)에 포개져 형성된 가스검지성물질로 이루어진 촉매층(8)을 구비한 것을 특징으로 하는 가스센서.
  2. 제1항에 있어서, 상기 히터(2)가 텅스텐-백금계합금으로 형성된 것을 특징으로 하는 가스센서.
  3. 세라믹으로 된 기판(1)을 형성하는 공정과, 상기 기판(1)표면에 히터(2)를 형성하는 공정, 상기 히터(2)에 포개지도록 상기 기판(1)에다 절연층(3)을 형성하는 공정, 상기 절연층(3) 표면에 전극부(6)를 형성하는 공정 및, 상기 전극(6)에 포개지도록 형성된 가스검지성물질로 된 촉매층(8)을 형성시키는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 가스센서 제조방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 히터(2)가 텅스텐-백금계합금으로 이루어지도록 한 것을 특징으로 하는 가스센서 제조방법.
  5. 세라믹으로 된 기판(1)과, 이 기판(1)표면에 형성된 히터(2), 이 히터(2)에 포개져 형성된 절연층(3)이 절연층(3)의 표면에 형성된 가스검지층(8), 상기 기판(1)의 이면에 형성된 도체층 및, 상기 히터(2) 및 상기 가스검지층(8)에 접속된 전극부(6)로 구성된 것을 특징으로 하는 가스센서.
  6. 제5항에 있어서, 상기 도체층이 히터(2A)로서 상기 기판(1)표면에 형성된 상기 히터(2)와 도통된 것을 특징으로 하는 가스센서.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 히터(2A)가 텅스텐-백금계합금으로 형성된 것을 특징으로 하는 가스센서.
  8. 세라믹으로 된 기판(1)을 형성하는 공정과, 상기 기판(1) 표면에 히터(2)를 형성하는 공정, 상기 기판(1)이면에 도체층을 형성하는 공정, 상기 히터(2) 및 도체층에 포개지도록 기판(1) 표면과 이면에 절연층(3,3A)을 형성하는 공정, 상기 절연층(3) 표면에 상기 히터(2)와 접속되는 전극부(6)를 형성하는 공정 및, 상기 절연층(3) 표면에 상기 전극부(6)에 포개지도록 가스검지층(8)을 형성하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 가스센서 제조방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 도체층이 히터(2A)로서 기판(1)의 표면에 형성된 히터(2)와 도통되도록 하는 것을 특징으로 하는 가스센서 제조방법.
  10. 제8항 또는 제9항에 있어서, 히터(2,2A)가 텅스텐-백금계합금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스센서 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019880013626A 1987-10-22 1988-10-19 가스센서 및 그 제조방법 KR910006223B1 (ko)

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