NL9002077A - Sensor. - Google Patents
Sensor. Download PDFInfo
- Publication number
- NL9002077A NL9002077A NL9002077A NL9002077A NL9002077A NL 9002077 A NL9002077 A NL 9002077A NL 9002077 A NL9002077 A NL 9002077A NL 9002077 A NL9002077 A NL 9002077A NL 9002077 A NL9002077 A NL 9002077A
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- sensor
- substrate
- protruding part
- sensing element
- heating element
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
Sensor
Bij bekende sensoren voor het meten van gasconcentraties in bijvoorbeeld lucht, worden veelal de sensor en de daarbij behorende electronica op een zelfde substraat aangebracht. Electronica is gevoelig voor temperatuurs-invloeden.
De onderhavige uitvinding verschaft een sensor omvattende een isolerend substraat, voorzien van een uitstekend deel en een op het uistekend deel aangebracht voelelement dat via op het substraat aangebrachte geleidings-banen is verbonden met de tegenover het uitstekende deel van het substraat gelegen aansluitcontacten.
Met behulp van de sensor volgens de onderhavige uitvinding kan de electronica op afstand van het voelelement worden aangebracht, waardoor tussen het voelelement en de aansluitkontakten (en electronica) een voldoende verschil in temperatuur kan bestaan.
Dit is in het bijzonder van voordeel indien het substraat tevens voorzien is van een verwarmingselement, daar de door dit verwarmingselement veroorzaakte temperatuur-verhoging geen invloed uitoefent op de werkwing van de electronica.
Verdere voordelen, kenmerken en details van de onderhavige uitvinding zullen duidelijk worden aan de hand van een beschrijving met referentie naar de bijgevoegde figuur, waarin een sensor 1 een isolerend substraat 2 omvat, bij voorkeur uit aluminiumoxide (A^O^) , waarop een voelelement uit een -gedeeltelijk weggebroken - laag tinoxide 3 is aangebracht, waaronder zich gouden geleidingsbanen 4 uitstrekken, die via verdere geleidings-banen 6 uit goud geleidend zijn verbonden met soldeerbare aansluitcontacten 7.
Bij voorkeur is het substraat 2 tevens voorzien van aansluitcontacten 8 voor een verwarmingselement, dat via geleidingsbanen 9, bij voorkeur uit platina, geleidend is verbonden met een verder niet getoond verwarmingselement dat zich een over dat verwarmingselement aangebrachte laag 11 uit dielektrisch materiaal uitstrekt.
Een sensor 1 is, zoals schematisch aangeduid, bij voorkeur opgesteld in een huis 12, bijvoorbeeld uit kunststof en een daarop passende kap 13, bijvoorbeeld uit poreus metaal.
De geleiding van het tinoxide geeft, in afhankelijkheid van de temperatuur, een maat voor de concentratie van de in de lucht aanwezige gassen, zoals I^/CH^CO enz.
Met behulp van het verwarmingselement en geschikte ijking, kan het oppervlak uit tinoxide op verschillende temperaturen gebracht worden, en kunnen eventueel een reeks van dergelijke, op verschillende temperatuur gehouden elementen worden opgesteld.
Daar het isolerende substraat voorzien is van een uitstekend deel, waarop het voelelement is aangebracht en de aansluitcontacten, eventueel met daar direkt op geplaatste electronica, op afstand van het uitstekende deel zijn geplaatst, blijven de temperatuurs-invloeden , die via de aansluitcontacten op de electronica werken, minimaal. Voorts is de geometrie van het uitstekende deel om de hoeveelheid door het verwarmingselement gedissipeerde electrisch vermogen tot een beperkte waarde te optimaliseren.
Bij voorkeur heeft de lengté;ivan het uitstekende deel een zodanige lengte, dat de electrische weerstand van de geleidingsbanen 9 niet te groot wordt, waardoor de dissipatie voor deze geleidingsbanen 9 wordt vergroot.
Vanwege eerder genoemde thermische weerstand tussen het voelelement en de aansluitcontacten kan het uitstekende deel ook niet te kort zijn.
Ook voor wat betreft de breedte van het uitstekende deel is een optimalisatie te maken voor wat betreft warmte-weerstand en electrische weerstand van de geleidingsbanen, die afhankelijk is van de breedte daarvan.
Claims (5)
1. Sensor, omvattende een isolerend substraat voorzien van een uitstekend deel en een op het uistekend deel aangebracht voelelement dat via op het substraat aangebrachte geleidingsbanen is verbonden met tegenover het uitstekende deel van het substraat gelegen aansluitcontacten voor één of meer electronische circuits.
2. Sensor volgens conclusie 1, waarbij op het substraat geleidingsbanen voor een verwarmingselement voor het verwarmen van het voelelement zijn aangebracht.
3. Sensor volgens conclusie 2, waarbij het verwarmingselement onder een dielectrische laag, waarop het voelelement is aangebracht, op het substraat is aangebracht.
4. Sensor volgens conclusie 1,2 of 3, waarbij geleidingsbanen met behulp van zeefdruk- of dikke-film-techniek zijn aangebracht.
5. Sensor volgens een van de voorgaande conclusies, waarbij het voelelement een oppervlak uit tinoxide omvat.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL9002077A NL9002077A (nl) | 1990-09-22 | 1990-09-22 | Sensor. |
PCT/EP1991/001845 WO1992005432A1 (en) | 1990-09-22 | 1991-09-23 | Integrated sensor |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL9002077A NL9002077A (nl) | 1990-09-22 | 1990-09-22 | Sensor. |
NL9002077 | 1990-09-22 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NL9002077A true NL9002077A (nl) | 1992-04-16 |
Family
ID=19857715
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NL9002077A NL9002077A (nl) | 1990-09-22 | 1990-09-22 | Sensor. |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
NL (1) | NL9002077A (nl) |
WO (1) | WO1992005432A1 (nl) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000241382A (ja) * | 1999-02-22 | 2000-09-08 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ |
US7304715B2 (en) | 2004-08-13 | 2007-12-04 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2942516C2 (de) * | 1979-10-20 | 1982-11-11 | Drägerwerk AG, 2400 Lübeck | Gasspürelement zum Nachweis von Schwefelwasserstoff |
US4413502A (en) * | 1981-04-27 | 1983-11-08 | Nippon Soken, Inc. | Gas detecting sensor |
JPS57194345A (en) * | 1981-05-25 | 1982-11-29 | Nippon Soken Inc | Gas component detector |
JPS58195146A (ja) * | 1982-05-10 | 1983-11-14 | Nippon Soken Inc | ガス成分検出器 |
JPS5927253A (ja) * | 1982-08-06 | 1984-02-13 | Shinei Kk | ガスセンサおよびその製造法 |
JPH01109250A (ja) * | 1987-10-22 | 1989-04-26 | Toshiba Corp | ガスセンサ |
US4911892A (en) * | 1987-02-24 | 1990-03-27 | American Intell-Sensors Corporation | Apparatus for simultaneous detection of target gases |
IT1241405B (it) * | 1990-03-02 | 1994-01-14 | Eniricerche Spa | Sensori di gas per determinare idrocarburi gassosi realizzati con film sottili di ossido di stagno |
-
1990
- 1990-09-22 NL NL9002077A patent/NL9002077A/nl not_active Application Discontinuation
-
1991
- 1991-09-23 WO PCT/EP1991/001845 patent/WO1992005432A1/en unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO1992005432A1 (en) | 1992-04-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6072165A (en) | Thin film metal/metal oxide thermocouple | |
US6508585B2 (en) | Differential scanning calorimeter | |
IT1241405B (it) | Sensori di gas per determinare idrocarburi gassosi realizzati con film sottili di ossido di stagno | |
CA2140325C (en) | Device for sensing combustible gases | |
KR910005043A (ko) | 유도형 쿠킹 기구용 온도 측정 장치 및 그 장치의 제조 방법 | |
DE59009247D1 (de) | Sensor zur Erfassung reduzierender Gase. | |
US3354720A (en) | Temperature sensing probe | |
NL9002077A (nl) | Sensor. | |
ATE394655T1 (de) | Beheizbarer infrarot-sensor und infrarot- thermometer mit einem derartigen infrarot-sensor | |
AU736573B2 (en) | Liquid level sensor | |
JP2889910B2 (ja) | 雰囲気検出装置 | |
US6361204B1 (en) | Device for measuring the thermal conductivity of a fluid | |
Mutschall et al. | A capacitive CO2 sensor with on-chip heating | |
GB2002907A (en) | Semiconductor gas sensing elements | |
EP0334614A3 (en) | Catalytic gas detector | |
US6145371A (en) | Gas sensor | |
JPH04235338A (ja) | 湿度センサ | |
JP3348256B2 (ja) | 奪熱雰囲気検出装置 | |
JP3809897B2 (ja) | 可燃性ガス濃度測定装置 | |
JPH0769221B2 (ja) | 温度検知材料、温度センサー及び温度測定方法 | |
JPH06249864A (ja) | 風速センサ | |
KR20040063050A (ko) | 히터 내장형 감습센서 모듈 및 이를 이용한 습도 측정 방법 | |
JPH06242048A (ja) | 熱伝導式絶対湿度センサ | |
JP2018151283A (ja) | 湿度センサ | |
KR100331809B1 (ko) | 박막형 절대습도 센서 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A1B | A search report has been drawn up | ||
BV | The patent application has lapsed |