KR880009543A - 기판 표면 편향장치 - Google Patents

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KR880009543A
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노부유끼 아끼야마
아사히로 구니
유끼오 겐보
도시히꼬 나가다
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미다 가쓰시게
가부시기가이샤 히다찌세이사꾸쇼
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    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691—Handling of masks or workpieces

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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

내용 없음.

Description

기판 표면 편향장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명에 따른 노출장치의 1실시예를 나타내는 설명도,
제 4 도 A는 본 발명의 장치에서 중요부를 형성하는 기판 표면 편향장치의 1실시예를 도시한 평면도,
제 4 도 B는 제 4 도 A에 도시한 기판 표면 편향장치의 정면도,
제 4 도 C는 제 4 도 A에 도시한 기판 표면 편향장치의 측면도,
제 5 도는 제 4 도 A, 제 4 도 B, 제 4 도 C에 도시한 플렉시블 처크의 이면을 도시한 부분 사시도.

Claims (4)

  1. 스테이지, 상기 스테이지에 마련된 베이스 플레이트, 기판의 전면을 표면에 진공 흡착할 수 있는 플렉시블 처크판, 상기 베이스 플레이트에 소정의 간격으로 마련된 여러개의 이송나사, 상기 이송나사의 각각을 회전 구동시키는 여러개의 회전 액추에이터, 상기 각각의 이송나사가 상기 처크판의 뒷면에 끼워 맞춰지도록 상기 베이스 플레이트와 상기 처크판의 사이에 끼워진 여러개의 스프링부재를 포함하는 여러개의 수직 변위 발생수단, 상기 처크판에 베이스 플레이트에 대하여 수평방향으로 변위하지 않도록 구속하는 구속수단, 마스크를 유지하는 유지수단, 상기 마스크 유지수단에 의해 유지된 상기 마스크의 높이를 측정하는 수단, 상기 처크판위에 흡착된 기판의 높이를 측정하는 수단을 포함하며, 상기 마스크 높이 측정수단과 상기 기판 높이 측정수단에 의해서 측정된 상기 마스크와 상기 기판 사이의 갭에 따라서 상기 수직변형 발생수단의 상기 각각의 회전형 액추에이터를 구동하여 플레시블 처크판을 경유하여 기판을 변형시켜서 상기 마스크와 기판사이의 갭을 일정하게 되도록 하는 노출장치.
  2. 특허청구의 범위 제1항에 있어서, 상기 구속수단은 상기 처크판의 주변부와 상기 베이스 플레이트를 접속하도록 수평방향으로 배치된 판 스프링에 의해 형성되는 노출장치.
  3. 특허청구의 범위 제1항에 있어서, 상기 구속수단은 상기 처크판의 주변부에서 상기 베이스 플레이트에 대하여 수직으로 슬라이드 할 수 있도록 지지하는 슬라이딩 기구에 의해 구성되는 노출장치.
  4. 베이스 플레이트, 기판의 전체 표면을 진공으로 흡착할 수 있는 처크판의 뒷면에 균일하게 형성된 각을 이루는 홈에서 변형할 수 있는 플렉시블 처크판, 베이스 플레이트 위에 균일하게 탑재된 팽창 및 축소 구동소자, 처크판의 뒷면과 끼워 맞추어진 구동소자의 끝으로 출력하도록 균일하게 배치된 스프링 부재, 베이스 플레이트에 대하여 처크판의 수평변위를 억제하는 수단, 기판의 표면 조건에 대하여 팽창 및 축소 구동소자로 구동하는 것에 의해 처크판을 통하여 임의 구성으로 기판 표면의 편향을 조절하는 수단을 포함하는 기판 표면 편향장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019880000047A 1987-01-12 1988-01-07 기판 표면 편향 장치 KR900008782B1 (ko)

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JP62-3179 1987-01-12

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