KR940012541A - 축소투영 노광장치용 이중구조 레티클(Reticle) 구동계 - Google Patents

축소투영 노광장치용 이중구조 레티클(Reticle) 구동계 Download PDF

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KR940012541A
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장원익
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양승택
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    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Abstract

본 발명은 노광광원에서 발생되는 특정한 파장의 광을 반도체 회로패턴(pattern)이 새겨진 레티클 (Reticle)에 조사한 후, 투영렌즈에 의해 축소된 회로패턴의 상을 투영렌즈의 초점위치에 놓여진 감광물질이 도포된 웨이퍼 위에 형성시키는 반도체 제조장치인 축소투영 노광장치 이중구조 레티클 구동계에 관한 것으로, 2개의 리니어 모터로 구동되는 조동부와 링형태의 압전소자로 구동되는 미동부의 이중 구조로 구성하되, 상기 조동부의 측면과 하부에 정압안내 방식인 공기 베어링을 각각 2개의 가이드용과 4개의 지지용으로 하여 X, Y, Z, ø 방향의 위치제어가 가능하도록 구성하여 사다리꼴 오차, 확대오차, 회전오차가 개선되도록 하는 것이다.

Description

축소투영 노광장치용 이중구조 레티클(Reticle) 구동계
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 (가)는 레티클 구동계의 위치설정이 제어되지 않아 발생되는 확대오차를 나타낸 도면.
(나)는 사다리꼴 오차를 나타낸 도면.
(다)는 회전오차를 나타낸 도면.
제2도는 본 발명의 레티클 구동계에 대한 구성을 나타낸 정면도.
제3도는 제2도의 본 발명에 대한 측면도.
제4도는 본 발명의 레티클 구동계 중 X, Y, Z, ø 미동부에 대한 상세도.
제5도는 제4도의 미동부에 대한 측면 상세도.

Claims (4)

  1. X, Y방향 리니어 모터 (18,19)로 구동되는 X, Y방향 조동부 (8,9)와, 링형태의 압전소자 (23)로 구동되는 X, Y, Z, ø 미동부 (10)의 이중구조로 되어 있고, 정압 안내방식인 공기베어링을 X, Y방향 조동부 (8,9)의 측면에 가이드용의 X, Y방향 공기베어링 (12,15), 하부에 지지용의 공기베어링 (12,15)를 도입하여 X, Y, Z, ø 방향의 위치제어가 가능하여 확대오차, 사다리꼴 오차, 회전오차가 개선되도록 구성한 것을 특징으로 하는 축소투영 노광장치용 이중구조 레티클 구동계.
  2. 제1항에 있어서, Y방향 조동부 (9) 위에 놓여진 X, Y, Z, ø 미동부 (10) 하부에 3개의 링형태의 압전소자 (23d, 23e, 23f)와 그에 따른 각각의 엔코더들을 이등변 삼각형으로 배치하여 무게균형과 Z 및 (α, β) 방향으로 구동되도록 X, Y, Z, ø 미동부 (10)를 조합한 것을 특징으로 하는 축소투영 노광장치용 이중구조 레티클 구동계.
  3. 제1항에 있어서, 링형태의 압전소자(23b, 23c)을 대각선 방향으로 설치하여 레티클 (3)이 놓여진 레티클 받침대 (26)가 있는 판(plate)을 탄성 힌지스프링 (25)의 역할로 시계 및 반시계 방향으로 회전시킬 수 있고, 다른 압전소자 (23a)로 보완하도록 하는 미동부를 구성한 것을 특징으로 하는 축소투영 노광장치용 이중구조 레티클 구동계.
  4. 제1항에 있어서, X방향의 미세이동은 링형태의 압전소자 (23a, 23b), Y방향의 미세 이동은 링형태의 압전소자 (23)로 탄성 힌지스프링 (25)와 함께 X, Y 방향으로 미소변위가 제어되도록 미동부 (10)를 구성한 것을 특징으로 하는 축소투영 노광장치용 이중구조 레티클 구동계.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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