KR860006768A - 광자기 기록매체와 그 제조방법 - Google Patents

광자기 기록매체와 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

광자기 기록매체와 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 구현예에 따른 광자기 기록 디스크의 주요부분에 대한 단면도. 제2A도 및 제2B도는 제1도의 광자기 기록디스크와 종래 광디스크 케어히스테리시스의 특성곡선을 나타낸도면. 제3A도 및 제3B도는 플라즈마 표면처리 공정을 포함한 본 발명의 제조방법을 이용하여 제조된 광자기기록 디스크와 종래의 디스크에서 각각 측정된 오오제피이크강도(Auger peak intensity)의 분포를 나타낸 그래프.

Claims (12)

  1. 기판과 희토류-변이금속비결정질 페리자성 합금박막으로 된 기록층이 구비되어진 광자기기록매체에 있어서, 상기기판(12)과 상기기록층(16)과의 사이에 간섭층으로서 기능하는 투명박막층(14)이 형성되어 있고, 상기기록 층(16)은 상기투명박막층(14)과의 사이에 희토류의 함유량이 적은 계면영역(18)을 갖는 것을 특징으로 하는 광자기기록매체.
  2. 제1항에 있어서, 상기 기록층(16)의 계면영역(18)에서의 희토류의 변이금속에 대한 조성비율이 상기기록층(16)의 전체영역에 함유되어 있는 희토류변이금속에 대한 평균조성비율보다 작게 설정되어진 것을 특징으로 하는 광자기기록매체.
  3. 제2항에 있어서, 상기 계면영역(18)의 두께는 상기 기록층(16)의 두께보다 적어도 1/10이하로 설정되어진 것을 특징으로 하는 광자기기록매체.
  4. 제1항에 있어서, 상기 투명박막층(14)은 산소함유량이 적어도 2%이하인 것을 특징으로 하는 광자기기록매체.
  5. 제1항에 있어서, 상기 기판(12)은 광선을 투과시킬 수 있는 투명한 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 광자기기록매체.
  6. 기판과 희토류-변이금속비결정질페리자성 합금박막으로 된 기록층이 구비되어진 광자기기록매체를 제조하는데 있어서, 기판(12)상에 간섭층으로서 기능하는 투명박막층(14)을 형성시키고, 상기 투명박막층(14)의 적어도 어느한 표면부분에 함유되며 또 다른 원소와의 화학적 결합이 용이하게 일어날 수 있는 활성적인 산소를 감소시키고, 상기 투명박막층(14)상에다 희토류-변이금속비결정질페리자성합금박막으로 된 기록층(16)을 형성시키되 여기서 상기기록층(16)은 투명박막층(14)과의 사이에 있는 계면영역(18)에서의희토류산화물의 형성을 억제시키므로서 희토류의 함유량이 감소되도록 형성시키는 것을 특징으로하는 광자기기록매체의 제조방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 기판(12)상에 투명박막층(14)을 형성시킨 다음에는 상기 기판(12)을 플라즈마 기류하에 노출시켜서 상기 투명박막층(14)의 적어도 표면부분에 함유된 용존산소를 플라즈마이온의 충격에 의해 강제로 결합시키고 또 안정화시키므로서, 상기 투명박막층(14)상에 기록층(16)이 형성되었을 때 상기 투명박막층(14)과 상기기록층(16)과의 사이의 계면영역(18)에서 희토류산화물이 형성되는 것을 억제시키도록 하는 것을 특징으로하는 제조 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 투명박막층(14)을 갖는 기판(12)이 플라즈마가스 중에서 노출되고 있는 동안에 상기 기판(12)에 상기 플라즈마에 대하여 음극성의 전압이 인가되어지도록 하는 것을 특징으로 하는 제조방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기기판(12)에는 상기 플라즈마에 대하여 -120V내지 -70V정도의 비교적 높은 음극성 전압이 인가되어지도록 하는 것을 특징으로하는 제조방법.
  10. 제6항에 있어서, 상기 기판(12)상에 투명한 박막층(14)을 형성시킬 때, 상기 투명박막층(14)의 적어도 표면부분은 바이어스, 스핏터다방법으로 형성되며, 투명 박막층(14)의 적어도 표면부분에 함유된 용존산소를 강제적으로 두들겨 꺼내어 투명박막층(14)중의 산소함유율을 감소시키므로서 상기 투명박막층(14)상에 기록층(16)이 형성되었을 때 상기 투명박막층(14)과 기록층(16)사이의 계면영역(18)에서의 희토류산화물이 화성되는 것을 억제되어지도록 하는 것을 특징으로 하는 제조방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 바이어스, 스펏터링은 투명박막층(14)을 형성시킬 때 투명박막층(14)의 전역에 함유된 용존산소를 두들겨 꺼내기에 충분할정도로 시행되어지는 것을 특징으로하는 제조방법.
  12. 제10항에 있어서, 상기 바이어스, 스펏터링은 상기기판(12)상에 바이어스, 스펏터링없이 상기 투명박막층(14)의 일부분을 형성시킬때에 상기 투명박막층(14)의 다른부분을 형성시킬 때에 상기투명박막층의 다른 부분에 함유되어 있는 용존산소를 두들겨 꺼내기에 충분한정도로 시행되어지는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019850007460A 1985-02-25 1985-10-10 광자기 기록매체와 그 제조방법 KR890004232B1 (ko)

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