KR20240044511A - 코팅 및 현상 장치 - Google Patents
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Abstract
코팅 및 현상 장치는 연속적으로 연결된 프론트엔드 모듈(100), 프로세스 스테이션(200) 및 인터페이스 스테이션(300)을 포함하고, 프로세스 스테이션(200)은 코팅 유닛(210), 현상 유닛(220), 적어도 하나의 횡방향 이동형 반송부(230), 및 적어도 하나의 측면 로봇(R0)을 포함하고; 코팅 유닛(210)에서 기판이 처리된 후, 적어도 하나의 측면 로봇(R0)에 의해 기판이 이동형 반송부(230)로 반송되고, 이동형 반송부(230)에 의해 인터페이스스테이션(300)으로 전달되고; 현상 유닛(220)에서 기판이 처리된 후, 적어도 하나의 사이드 로봇(R0)에 의해 기판이 이동형 반송부(230)로 반송되고, 이동형 반송부(230)에 의해 프론트엔드 모듈(100)로 전달된다. 이동형 반송부(230)와 측면 로봇(R0)은 프론트엔드 모듈(100)과 인터페이스 스테이션(300) 사이에서 코팅 유닛(210) 또는 현상 유닛(220)에 의해 처리된 기판을 전달하도록 구성되어, 코팅 유닛(210) 또는 현상 유닛(220) 내의 로봇의 작동 부하를 줄일 수 있고, 코팅 및 현상 장치의 처리량을 향상시킨다.
Description
본 발명은 일반적으로 반도체 제조 장비의 분야에 관한 것이며, 특히 코팅 및 현상 장치에 관한 것이다.
현재, 포토리소그래피 공정을 구현하기 위한 인라인 기계는 코팅 및 현상 장치와 노광기로 구성된다. 포토리소그래피 공정의 일반적인 공정은 다음과 같은데, 기판이 코팅 및 현상 장치에서 코팅된 후, 노광 처리를 위해 노광기로 보내지고, 노광된 기판이 코팅 및 현상 장치로 복귀되어 현상 공정을 완료한다.
특허문헌 1(CN104465460B)에 기술된 바와 같이, 종래의 코팅 및 현상 장치는 캐리어 블록, 프로세싱 블록 및 인터페이스 블록을 순차적으로 포함한다. 프로세싱 블록은 층상으로 배열된 4개 층의 코팅 유닛 블록과, 코팅 유닛 블록의 상부에 적층된 현상 유닛 블록을 포함한다. 유닛 블록의 각 층에는 그 중앙 처리 영역에서 수평으로 이동하는 로봇이 배치된다. 상기 장치의 전체 높이의 설계 요건으로 인해, 장치 블록의 각 층에 팬 필터 장치(FFU)를 배치할 공간이 충분하지 않을 수 있으며, 이로 인해 유닛 블록의 각 층 내의 공정 환경의 청정도를 보장할 수 없고, 궁극적으로 기판 표면의 입자 오염의 위험을 증가시킬 수 있다.
또한, 각 층의 유닛 블록 내의 로봇은 (코팅 모듈, 현상 모듈 또는 가열 처리 모듈과 같은) 유닛 블록 내의 처리 모듈들 사이에서 기판을 반송하는 작업을 수행하는 한편, 캐리어 블록과 인터페이스 블록 사이에서 기판을 반송하는 작업을 수행하므로, 로봇이 매우 바쁘게 작동하여 상기 장치의 작동 효율성이 저하된다.
본 발명은 기판 입자 오염의 위험을 줄이고 장치의 전반적인 작동 효율을 향상시킬 수 있는 코팅 및 현상 장치와, 기판 반송 방법을 개시한다.
본 발명에 개시된 코팅 및 현상 장치는 연속적으로 연결된 프론트엔드 모듈, 프로세스 스테이션 및 인터페이스 스테이션을 포함하며, 상기 프로세스 스테이션은,
기판에 코팅 처리를 수행하기 위해 수직으로 적층된 적어도 한 라인의 코팅 모듈을 포함하는 코팅 유닛;
상기 기판에 현상 처리를 수행하기 위해 수직으로 적층된 적어도 한 라인의 현상 모듈을 포함하는 현상 유닛;
적어도 하나의 횡방향으로 이동하는 이동형 반송부; 및
적어도 하나의 수직방향으로 이동하는 측면 로봇
을 포함하고,
상기 기판이 상기 코팅 유닛에서 처리된 후, 상기 기판은 적어도 하나의 측면 로봇에 의해 상기 이동형 반송부로 반송되고, 상기 이동형 반송부는 상기 기판을 상기 인터페이스 스테이션으로 반송하고; 상기 기판이 상기 현상 유닛에서 처리된 후, 상기 기판은 적어도 하나의 측면 로봇에 의해 상기 이동형 반송부로 반송되고, 상기 이동형 반송부는 상기 기판을 상기 프론트엔드 모듈로 반송한다.
상기 코팅 유닛의 코팅 모듈의 수직 레이아웃은 다수 층의 코팅 모듈이 동일한 코팅 로봇을 공유할 수 있게 하여, 코팅 유닛에 설치되는 FFU의 수를 줄이고 공정 환경 제어를 용이하게 한다. 상기 현상 장치는 소량의 FFU를 사용하여 전체 유닛의 내부 환경의 청정도를 보장할 수 있다.
상기 이동형 반송부의 횡방향 이동과 상기 측면 로봇의 수직방향 이동이 효과적으로 연동하여, 상기 코팅 유닛 또는 상기 현상 유닛에서 처리된 기판이 인터페이스 스테이션이나 프론트엔드 모듈로 신속하게 반송되어, 상기 장치의 작동 효율을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 선택적인 해결책으로서, 상기 코팅 유닛은 코팅 처리 전후에 기판을 가열 및 냉각하기 위해 상기 코팅 모듈 반대편에 위치된 수직으로 적층된 적어도 한 라인의 가열 처리 모듈을 더 포함하고;
상기 현상 유닛은 현상 처리 전후에 기판을 가열 및 냉각하기 위해 상기 현상 모듈 반대편에 위치된 수직으로 적층된 적어도 한 라인의 가열 처리 모듈을 더 포함한다.
본 발명의 선택적인 해결책으로서, 상기 코팅 유닛과 상기 현상 유닛의 상부 또는 하부에는 적어도 하나의 이동형 반송부가 위치한다.
본 발명의 선택적인 해결책으로서, 상기 코팅 유닛은 상기 코팅 유닛의 코팅 모듈과 가열 처리 모듈 사이에서 기판을 반송하기 위한 적어도 하나의 코팅 로봇을 더 포함하고;
상기 현상 유닛은 상기 현상 유닛의 현상 모듈과 가열 처리 모듈 사이에서 기판을 반송하기 위한 적어도 하나의 현상 로봇을 더 포함한다.
상기 코팅 유닛 내의 복수 라인의 수직으로 적층된 코팅 모듈은 동일한 코팅 로봇을 공유할 수 있으므로, 하나의 팬 필터 유닛(FFU)만이 코팅 유닛에 배치되어 청정한 공정 분위기를 보장하고 기판의 환경 입자 오염을 줄인다. 마찬가지로, 상기 현상 장치는 하나만의 FFU로 배치하여 청정한 내부 환경을 성취하고 입자 오염을 줄일 수 있다. 따라서, 상기 코팅 모듈과 상기 현상 모듈의 수직 레이아웃은 코팅 또는 현상 처리 환경을 제어하기가 더 쉽게 한다.
본 발명의 선택적인 해결책으로서, 상기 코팅 유닛과 상기 현상 유닛의 상부와 하부 사이에는 적어도 하나 이상의 이동형 반송부가 위치한다.
본 발명의 선택적인 해결책으로서, 상기 코팅 유닛은, 상기 코팅 유닛의 코팅 모듈과 가열 처리 모듈 사이에서 기판을 반송하기 위해, 상기 코팅 유닛과 상기 현상 유닛의 상부와 하부 사이에 위치되는 상기 이동형 반송부의 상측에 배치되는 적어도 하나의 코팅 로봇과, 상기 코팅 유닛과 상기 현상 유닛의 상부와 하부 사이에 위치되는 상기 이동형 반송부의 하측에 배치되는 적어도 하나의 코팅 로봇을 포함하고;
상기 현상 유닛은, 상기 현상 유닛의 현상 모듈과 가열 처리 모듈 사이에서 기판을 반송하기 위해, 상기 코팅 유닛과 상기 현상 유닛의 상부와 하부 사이에 위치된 상기 이동형 반송부의 상측에 배치되는 적어도 하나의 현상 로봇과, 상기 코팅 유닛과 상기 현상 유닛의 상부와 하부 사이에 위치된 상기 이동형 반송부의 하측에 배치되는 적어도 하나의 현상 로봇을 포함한다.
상기 이동형 반송부가 상기 코팅 유닛과 상기 현상 유닛의 상부와 하부 사이에 위치하는 경우, 횡방향으로 배열된 이동형 반송부는 코팅 유닛과 현상 유닛의 내부 공간을 상대적으로 여러 개의 독립적인 하위 공간으로 분할하고, 예를 들어 상기 코팅 유닛과 상기 현상 유닛의 상부와 하부 사이에 한 쌍의 이동형 반송부가 배치되는 경우, 한 쌍의 횡방향으로 배열된 이동형 반송부는 코팅 유닛과 현상 유닛을 상대적으로 독립된 상부 공간과 하부 공간으로 분리시킨다. 이때, 상부 공간과 하부 공간은 각각 코팅 로봇과 현상 로봇으로 구성된다. 마찬가지로, 청정한 공정 환경을 보장하기 위해, 상부 공간과 하부 공간은 각각 FFU로 구성하여 각 유닛의 내부 환경을 제어한다.
본 발명의 선택적인 해결책으로서, 상기 기판이 상기 코팅 유닛에서 처리된 후에 상기 기판을 상기 이동형 반송부로 반송하거나, 또는 상기 기판이 상기 현상 유닛에서 처리된 후에 상기 기판을 상기 이동형 반송부로 반송하기 위해, 상기 코팅 유닛과 상기 현상 유닛 사이에는 적어도 하나의 측면 로봇이 배열된다.
본 발명의 선택적인 해결책으로서, 상기 프로세스 스테이션은 적어도 2개의 측면 로봇을 포함하고, 상기 적어도 2개의 측면 로봇 중 적어도 하나는 상기 기판이 상기 코팅 유닛에서 처리된 후 상기 기판을 상기 이동형 반송부로 반송하거나, 또는 상기 기판이 상기 현상 유닛에서 처리된 후 상기 기판을 상기 이동형 반송부로부터 취출하기 위해 상기 코팅 유닛과 상기 프론트엔드 모듈 사이에 배치되고;
상기 적어도 2개의 측면 로봇 중 적어도 하나는 상기 기판이 현상 유닛에서 처리된 후 상기 기판을 상기 이동형 반송부로 반송하거나, 또는 상기 기판이 상기 코팅 유닛에서 처리된 후 상기 기판을 상기 이동형 반송부로부터 취출하기 위해 상기 현상 유닛과 상기 인터페이스 스테이션 사이에 배열된다.
상기 측면 로봇은 프로세스 스테이션의 양측에 배열되며, 상기 코팅 유닛과 상기 현상 유닛 사이의 측면 로봇은 없앤다. 한편으로는, 상기 장치의 길이를 줄일 수 있고 상기 장치의 설치 공간을 줄일 수 있다. 다른 한편으로는, 상기 이동형 반송부의 이동 거리를 단축시키는 것은 반송 효율을 높이는데 도움이 되어 상기 장치 전체의 작동 효율을 높이는데 도움이 된다.
본 발명의 선택적인 해결책으로서, 상기 프로세스 스테이션은 적어도 3개의 측면 로봇을 포함하고, 상기 적어도 3개의 측면 로봇 중 적어도 하나는 상기 기판이 상기 현상 유닛에서 처리된 후 상기 기판을 상기 이동형 반송부로부터 취출하기 위해 상기 코팅 유닛과 상기 프론트엔드 모듈 사이에 배치되고;
상기 적어도 3개의 측면 로봇 중 적어도 하나는 상기 기판이 상기 코팅 유닛에서 처리된 후 상기 기판을 상기 이동형 반송부로 반송하거나, 또는 상기 기판이 상기 코팅 유닛에서 처리된 후 상기 기판을 상기 이동형 반송부로 반송하기 위해 상기 코팅 유닛과 상기 현상 유닛 사이에 배치되고;
상기 적어도 3개의 측면 로봇 중 적어도 하나는 상기 기판이 상기 코팅 유닛에서 처리된 후 상기 기판을 상기 이동형 반송부로부터 취출하기 위해 상기 현상 유닛과 상기 인터페이스 스테이션 사이에 배치된다.
본 발명의 선택적인 해결책으로서, 상기 프론트엔드 모듈은 프론트엔드 모듈 로봇을 포함하고, 상기 프론트엔드 모듈 상기 기판이 상기 현상 유닛에서 처리된 후 상기 기판을 상기 이동형 반송부로부터 취출하고;
상기 인터페이스 스테이션은 인터페이스 로봇을 포함하고, 상기 인터페이스 로봇은 상기 기판이 상기 코팅 유닛에서 처리된 후 상기 기판을 상기 이동형 반송부로부터 취출한다.
또한, 본 발명은 코팅 및 현상 장치의 기판 반송 방법으로서,
프론트엔드 모듈에 설치되어 상기 프론트엔드 모듈로부터 기판을 취출하여 프로세스 스테이션으로 반송하는 프론트엔드 모듈 로봇;
상기 프로세스 스테이션의 코팅 유닛에 설치되어 상기 기판을 상기 코팅 유닛으로 반송하고, 상기 코팅 유닛에서 상기 기판에 코팅 처리 및 가열 처리를 수행하는 코팅 로봇;
상기 코팅 로봇은 상기 기판이 상기 코팅 유닛에서 처리된 후 상기 코팅 유닛 외부로 상기 기판을 취출하고;
측면 로봇은 상기 코팅 유닛으로부터 이동형 반송부로 상기 기판을 반송하고;
상기 이동형 반송부는 상기 기판이 상기 코팅 유닛에서 처리된 후 상기 기판을 상기 인터페이스 스테이션으로 반송하고;
상기 인터페이스 스테이션에 설치되는 인터페이스 로봇으로서, 상기 인터페이스 로봇은 상기 기판이 상기 코팅 유닛에서 처리된 후에 상기 이동형 반송부로부터 상기 기판을 취출하여 상기 기판이 상기 코팅 유닛에서 처리된 후에 상기 기판을 상기 인터페이스 스테이션으로 반송하거나, 또는 상기 기판이 상기 코팅 유닛에서 처리된 후에 또 다른 측면 로봇이 상기 기판을 상기 이동형 반송부로부터 취출한 다음, 상기 인터페이스 로봇이 상기 기판을 상기 인터페이스 스테이션으로 반송하는, 상기 인터페이스 로봇;
상기 인터페이스 로봇은 상기 기판의 노광 처리가 완료된 후 상기 인터페이스 스테이션으로부터 상기 기판을 취출하여 상기 기판을 상기 프로세스 스테이션으로 반송하고;
상기 프로세스 스테이션의 현상 유닛에 설치되어, 상기 현상 유닛으로 기판을 반송하고, 상기 현상 유닛에서 상기 기판에 현상 처리 및 가열 처리를 수행하는 현상 로봇;
상기 현상 로봇은 상기 기판이 상기 현상 유닛에서 처리된 후 상기 현상 유닛으로부터 상기 기판을 인출하고;
상기 측면 로봇은 상기 기판이 상기 현상 유닛에서 취출된 후 상기 기판을 상기 이동형 반송부로 반송하고;
상기 이동형 반송부는 상기 기판이 상기 현상 유닛에서 처리된 후 상기 기판을 상기 이동형 반송부로 반송하고;
상기 프론트엔드 모듈 로봇은 상기 기판이 상기 현상 유닛에서 처리된 후 상기 기판을 상기 이동형 반송부로부터 취출하거나, 또는 또 다른 측면 로봇은 상기 기판이 상기 현상 유닛에서 처리된 후 상기 기판을 상기 이동형 반송부로부터 취출하고, 그 다음 상기 프론트엔드 모듈 로봇은 상기 기판을 상기 프론트엔드 모듈로 반송하는, 기판 반송 방법을 제공한다.
도 1은 본 발명의 실시예 1의 코팅 및 현상 장치의 정면 사시도를 도시한다.
도 2는 본 발명의 실시예 1의 코팅 및 현상 장치의 후면 사시도를 도시한다.
도 3은 본 발명의 실시예 1의 코팅 및 현상 장치의 단면도를 도시한다.
도 4는 본 발명의 실시예 1의 코팅 및 현상 장치의 종단면도를 도시한다.
도 5는 본 발명의 실시예 1의 코팅 및 현상 장치의 다른 단면도를 도시한다.
도 6은 본 발명의 실시예 1의 코팅 및 현상 장치의 다른 종단면도를 도시한다.
도 7은 본 발명의 실시예 1의 코팅 및 현상 장치의 다른 종단면도를 도시한다.
도 8a는 본 발명의 실시예 1의 노광 처리 전의 코팅 및 현상 장치에서의 기판의 반송 경로를 도시한다.
도 8b는 본 발명의 실시예 1의 노광 처리 후의 코팅 및 현상 장치에서의 기판의 반송 경로를 도시한다.
도 9는 본 발명의 실시예 2의 코팅 및 현상 장치의 단면도를 도시한다.
도 10은 본 발명의 실시예 2의 코팅 및 현상 장치의 종단면도를 도시한다.
도 11은 본 발명의 실시예 2의 코팅 및 현상 장치의 다른 단면도를 도시한다.
도 12a는 본 발명의 실시예 2의 노광 처리 전의 코팅 및 현상 장치에서의 기판의 반송 경로를 도시한다.
도 12b는 본 발명의 실시예 2의 노광 처리 후의 코팅 및 현상 장치에서의 기판의 반송 경로를 도시한다.
도 13은 본 발명의 실시예 3의 코팅 및 현상 장치의 단면도를 도시한다.
도 14는 본 발명의 실시예 3의 코팅 및 현상 장치의 종단면도를 도시한다.
도 15는 본 발명의 실시예 3의 코팅 및 현상 장치의 다른 단면도를 도시한다.
도 16a는 본 발명의 실시예 3의 노광 처리 전의 코팅 및 현상 장치에서의 기판의 반송 경로를 도시한다.
도 16b는 본 발명의 실시예 3의 노광 처리 후의 코팅 및 현상 장치에서의 기판의 반송 경로를 도시한다.
도 17은 본 발명의 실시예 4의 코팅 및 현상 장치의 단면도를 도시한다.
도 18은 본 발명의 실시예 4의 코팅 및 현상 장치의 다른 단면도를 도시한다.
도 19는 본 발명의 실시예 4의 코팅 및 현상 장치 내의 코팅 모듈 및 현상 모듈을 숨긴 프로세스 스테이션의 사시도를 도시한다.
도 20a는 본 발명의 실시예 4의 노광 처리 전의 코팅 및 현상 장치에서의 기판의 반송 경로를 도시한다.
도 20b는 본 발명의 실시예 4의 노광 처리 후의 코팅 및 현상 장치에서의 기판의 반송 경로를 도시한다.
도 21은 본 발명의 실시예 5의 코팅 및 현상 장치의 단면도를 도시한다.
도 22는 본 발명의 실시예 5의 코팅 및 현상 장치의 다른 단면도를 도시한다.
도 23a는 본 발명의 실시예 5의 노광 처리 전의 코팅 및 현상 장치에서의 기판의 반송 경로를 도시한다.
도 23b는 본 발명의 실시예 5의 노광 처리 후의 코팅 및 현상 장치에서의 기판의 반송 경로를 도시한다.
도 24는 본 발명의 실시예 6의 코팅 및 현상 장치의 종단면도를 도시한다.
도 25a 내지 도 25c는 코팅 유닛 내의 코팅 모듈 및 가열 모듈의 종방향 레이아웃 다이어그램을 도시한다.
도 26a 내지 도 26c는 현상 유닛 내의 현상 모듈 및 가열 모듈의 종방향 레이아웃 다이어그램을 도시한다.
도 2는 본 발명의 실시예 1의 코팅 및 현상 장치의 후면 사시도를 도시한다.
도 3은 본 발명의 실시예 1의 코팅 및 현상 장치의 단면도를 도시한다.
도 4는 본 발명의 실시예 1의 코팅 및 현상 장치의 종단면도를 도시한다.
도 5는 본 발명의 실시예 1의 코팅 및 현상 장치의 다른 단면도를 도시한다.
도 6은 본 발명의 실시예 1의 코팅 및 현상 장치의 다른 종단면도를 도시한다.
도 7은 본 발명의 실시예 1의 코팅 및 현상 장치의 다른 종단면도를 도시한다.
도 8a는 본 발명의 실시예 1의 노광 처리 전의 코팅 및 현상 장치에서의 기판의 반송 경로를 도시한다.
도 8b는 본 발명의 실시예 1의 노광 처리 후의 코팅 및 현상 장치에서의 기판의 반송 경로를 도시한다.
도 9는 본 발명의 실시예 2의 코팅 및 현상 장치의 단면도를 도시한다.
도 10은 본 발명의 실시예 2의 코팅 및 현상 장치의 종단면도를 도시한다.
도 11은 본 발명의 실시예 2의 코팅 및 현상 장치의 다른 단면도를 도시한다.
도 12a는 본 발명의 실시예 2의 노광 처리 전의 코팅 및 현상 장치에서의 기판의 반송 경로를 도시한다.
도 12b는 본 발명의 실시예 2의 노광 처리 후의 코팅 및 현상 장치에서의 기판의 반송 경로를 도시한다.
도 13은 본 발명의 실시예 3의 코팅 및 현상 장치의 단면도를 도시한다.
도 14는 본 발명의 실시예 3의 코팅 및 현상 장치의 종단면도를 도시한다.
도 15는 본 발명의 실시예 3의 코팅 및 현상 장치의 다른 단면도를 도시한다.
도 16a는 본 발명의 실시예 3의 노광 처리 전의 코팅 및 현상 장치에서의 기판의 반송 경로를 도시한다.
도 16b는 본 발명의 실시예 3의 노광 처리 후의 코팅 및 현상 장치에서의 기판의 반송 경로를 도시한다.
도 17은 본 발명의 실시예 4의 코팅 및 현상 장치의 단면도를 도시한다.
도 18은 본 발명의 실시예 4의 코팅 및 현상 장치의 다른 단면도를 도시한다.
도 19는 본 발명의 실시예 4의 코팅 및 현상 장치 내의 코팅 모듈 및 현상 모듈을 숨긴 프로세스 스테이션의 사시도를 도시한다.
도 20a는 본 발명의 실시예 4의 노광 처리 전의 코팅 및 현상 장치에서의 기판의 반송 경로를 도시한다.
도 20b는 본 발명의 실시예 4의 노광 처리 후의 코팅 및 현상 장치에서의 기판의 반송 경로를 도시한다.
도 21은 본 발명의 실시예 5의 코팅 및 현상 장치의 단면도를 도시한다.
도 22는 본 발명의 실시예 5의 코팅 및 현상 장치의 다른 단면도를 도시한다.
도 23a는 본 발명의 실시예 5의 노광 처리 전의 코팅 및 현상 장치에서의 기판의 반송 경로를 도시한다.
도 23b는 본 발명의 실시예 5의 노광 처리 후의 코팅 및 현상 장치에서의 기판의 반송 경로를 도시한다.
도 24는 본 발명의 실시예 6의 코팅 및 현상 장치의 종단면도를 도시한다.
도 25a 내지 도 25c는 코팅 유닛 내의 코팅 모듈 및 가열 모듈의 종방향 레이아웃 다이어그램을 도시한다.
도 26a 내지 도 26c는 현상 유닛 내의 현상 모듈 및 가열 모듈의 종방향 레이아웃 다이어그램을 도시한다.
본 발명의 기술적 내용, 구조적 특징, 목적 및 효과를 상세히 설명하기 위해, 실시예 및 도면을 상세히 설명한다.
본 발명은 순차적으로 연결된 프론트엔드 모듈(EFEM), 프로세스 스테이션 및 인터페이스 스테이션을 포함하는 코팅 및 현상 장치를 개시한다. 프론트엔드 모듈에는 프론트엔드 모듈 로봇(EFEM 로봇)이 배치되고, 인터페이스 스테이션에는 인터페이스 로봇이 배치된다.
프로세스 스테이션은 코팅 유닛, 현상 유닛, 횡방향으로 이동할 수 있는 적어도 하나의 이동형 반송부 및 수직으로 이동할 수 있는 적어도 하나의 측면 로봇을 포함한다. 기판이 코팅 유닛에서 처리된 후, 기판은 측면 로봇에 의해 이동형 반송부로 이동되고, 이동형 반송부에 의해 인터페이스 스테이션으로 반송된다. 기판이 현상 유닛에서 처리된 후, 기판은 측면 로봇에 의해 이동형 반송부로 이동되고, 이동형 반송부에 의해 프론트엔드 모듈로 반송된다.
코팅 유닛은 수직으로 적층된 적어도 한 라인의 코팅 모듈, 수직으로 적층된 적어도 한 라인의 가열 처리 모듈, 및 적어도 하나의 코팅 로봇을 포함한다. 코팅 모듈은 기판에 코팅 처리를 수행하는데 사용된다. 가열 처리 모듈은 코팅 처리 전후에 기판을 가열 및 냉각하는데 사용되며, 가열 처리 모듈은 코팅 모듈의 반대편에 위치된다. 코팅 로봇은 코팅 유닛의 코팅 모듈과 가열 처리 모듈 사이에서 기판을 반송하는데 사용된다.
현상 유닛은 수직으로 적층된 적어도 한 라인의 현상 모듈, 수직으로 적층된 적어도 한 라인의 가열 처리 모듈, 및 적어도 하나의 현상 로봇을 포함한다. 현상 모듈은 기판에 현상 처리를 수행하는데 사용된다. 가열 처리 모듈은 현상 처리 전후에 기판을 가열 및 냉각하는데 사용되며, 가열 처리 모듈은 현상 모듈의 반대편에 위치된다. 현상 로봇은 현상 유닛의 현상 모듈과 가열 처리 모듈 사이에서 기판을 반송하는데 사용된다.
코팅 유닛과 현상 유닛의 상부 또는 하부에는 적어도 하나의 횡방향으로 이동하는 이동형 반송부가 위치되거나, 또는 코팅 유닛과 현상 유닛의 상부와 하부 사이에는 적어도 하나의 횡방향으로 이동하는 이동형 반송부가 위치된다. 코팅 유닛과 현상 유닛의 상부와 하부 사이에 적어도 하나의 횡방향으로 이동하는 이동형 반송부가 위치하는 경우, 코팅 유닛에는 코팅 유닛의 코팅 모듈과 가열 처리 모듈 사이에서 기판을 반송하기 위해 이동형 반송부의 상측에 위치하는 적어도 하나의 코팅 로봇과, 이동형 반송부의 하측에 위치하는 적어도 하나의 코팅 로봇이 배치된다. 현상 유닛에는 현상 유닛의 현상 모듈과 가열 처리 모듈 사이에서 기판을 반송하기 위해 이동형 반송부의 상측에 위치하는 적어도 하나의 현상 로봇과, 이동형 반송부의 하측에 위치하는 적어도 하나의 현상 로봇이 배치된다.
측면 로봇은 프론트엔드 모듈과 코팅 유닛 사이, 코팅 유닛과 현상 유닛 사이, 또는 현상 유닛과 인터페이스 스테이션 사이에 배치된다.
이하에서는, 특정 실시예와 조합하여 측면 로봇 설정의 위치와 수, 그리고 해당 기판 반송 방법을 상세하게 소개한다.
실시예 1
본 발명의 실시예에 따른 코팅 및 현상 장치를 도시하는 도 1 내지 도 7을 참조한다. 도 1 및 도 2는 본 발명의 코팅 및 현상 장치의 사시도를 도시한다. 코팅 및 현상 장치는 주로 프론트엔드 모듈(EFEM)(100), 프로세스 스테이션(200) 및 인터페이스 스테이션(300)을 구비한다. 도 3은 본 실시예의 코팅 및 현상 장치의 단면도를 도시한다. 프론트엔드 모듈(100)은 다수의 기판을 수용하는 하나 이상의 기판 카세트(120)를 유지하기 위한 복수의 로딩 포트(110)를 갖는다. 프론트엔드 모듈(100)에는 EFEM 로봇(R10)이 설치되어 EFEM(100)과 프로세스 스테이션(200) 사이에서 기판을 반송한다. 인터페이스 스테이션(300)은 노광기(exposing machine)와 같은 외부 장비를 연결하는데 사용되어 기판이 코팅 유닛(210)에서 처리된 후에 기판을 노광시킨다. 인터페이스 스테이션(300)에는 인터페이스 로봇(R30)이 설치되어 프로세스 스테이션(200)과 인터페이스 스테이션(300) 사이에서 기판을 반송한다.
프로세스 스테이션(200)은 코팅 유닛(210)과 현상 유닛(220), 횡방향(예를 들어, 도 4의 수평방향)으로 이동할 수 있는 적어도 하나의 이동형 반송부(230), 및 수직방향(예를 들어, 도 4의 수직 방향)으로 이동할 수 있는 적어도 하나의 측면 로봇(R0)을 포함한다. 코팅 유닛(210)은 기판에 코팅 및 가열 처리를 수행하는데 사용되며, 수직으로 적층된 적어도 한 라인의 코팅 모듈(211), 수직으로 적층된 적어도 한 라인의 가열 처리 모듈(212), 및 적어도 하나의 코팅 로봇(R21)을 포함한다. 코팅 모듈(211)과 가열 처리 모듈(212)은 서로에 대해 배열된다. 도 25a 내지 도 25c는 코팅 모듈(211)과 가열 처리 모듈(212)의 서로에 대한 다양한 레이아웃을 도시한다. 코팅 모듈(211)은 기판에 대한 코팅 처리를 수행하는데 사용되고, 가열 처리 모듈(212)은 기판에 대한 가열 및 냉각 처리를 수행하는데 사용되며, 코팅 로봇(R21)은 코팅 유닛(210)의 코팅 모듈(211)과 가열 처리 모듈(212) 사이에서 기판을 반송하는데 사용된다. 코팅 유닛(210)의 가열 처리 모듈(212). 현상 유닛(220)은 기판에 현상 및 가열 처리를 수행하는데 사용되며, 수직으로 적층된 적어도 한 라인의 현상 모듈(221), 수직으로 적층된 적어도 한 라인의 가열 처리 모듈(222), 및 적어도 하나의 현상 로봇(R22)을 포함한다. 현상 모듈(221)과 가열 처리 모듈(222)은 서로에 대해 배열된다. 도 26a 내지 도 26c는 현상 모듈(221)과 가열 처리 모듈(222)의 서로에 대한 다양한 레이아웃을 도시한다. 현상 모듈(221)은 기판에 현상 처리를 수행하는데 사용되고, 가열 처리 모듈(222)은 기판에 가열 및 냉각 처리를 수행하는데 사용된다. 현상 로봇(R22)은 현상 유닛(220)의 현상 모듈(221)과 가열 처리 모듈(222) 사이에서 기판을 반송하는데 사용된다. 기판이 코팅 유닛(210)에서 처리된 후, 기판은 측면 로봇(R0)에 의해 이동형 반송부(230)로 이동되고, 기판은 이동형 반송부(230)에 의해 인터페이스 스테이션(300)으로 이동된다. 기판이 현상 유닛(220)에서 처리된 후, 기판은 측면 로봇(R0)에 의해 이동형 반송부(230)로 이동되고, 기판은 이동형 반송부(230)에 의해 프론트엔드 모듈(100)로 반송된다.
EFEM과 인터페이스 스테이션 사이에서 기판을 반송하기 위해 코팅 유닛 또는 현상 유닛 내부에 로봇이 있는 종래기술에 비해, 본 발명의 실시예에서는 EFEM과 인터페이스 스테이션 사이에서 코팅되거나 현상된 기판을 반송하기 위해 별도의 이동형 반송부 및 측면 로봇이 구성되어, 코팅 유닛 또는 현상 유닛 내부의 로봇의 작동 부하를 줄인다. 따라서, 코팅 및 현상 장치의 처리량에 대한 로봇 작동 효율의 영향이 감소되고, 코팅 및 현상 장치의 처리량이 향상된다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서, 코팅 유닛(210)은 수직으로 적층된 3개 라인의 코팅 모듈(C1 내지 C3)을 포함하며, 각 코팅 모듈은 4개의 코팅 모듈(211)을 포함하고, 현상 유닛(220)은 수직으로 적층된 3개 라인의 현상 모듈(D1 내지 D3)을 포함하며, 각 현상 모듈은 4개의 현상 모듈(221)을 포함한다. 코팅 및 현상 유닛 내의 코팅, 현상 가열 처리 모듈들의 라인 수 및 개수는 특정 공정 용량 및 장치 크기 요건에 따라 조정될 수 있다.
본 발명의 실시예에서 언급된 코팅 모듈은 3가지 타입, 즉 포토레지스트 코팅을 형성하기 위한 코팅 모듈, 상부 반사방지 코팅을 형성하기 위한 코팅 모듈, 및 하부 반사방지 코팅을 형성하기 위한 코팅 모듈을 포함할 수 있다는 점에 유의해야 한다. 코팅 유닛은 특정 공정 요건에 따라 해당 코팅 모듈로 구성된다. 그 중, 동일한 타입의 코팅 모듈은 액체 공급 노즐을 공유하거나, 또는 액체 공급 노즐로 별도로 구성할 수 있으며, 다른 타입의 코팅 모듈은 액체 공급 노즐로 별도로 구성된다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 코팅 유닛(210)과 현상 유닛(220)의 상부와 하부 사이에는 횡방향으로 이동하는 이동형 반송부(230)가 배치된다. 이동형 반송부(230)는 EFEM(100)과 인터페이스(300)를 연결하는 직선 반송 경로를 따라 횡방향으로 이동할 수 있다. 코팅 유닛(210)에는 2개의 코팅 로봇(R21)이 설치된다. 이동형 반송부(230)의 상측에는 코팅 모듈(211)과 가열 처리 모듈(212) 사이에서 기판 반송을 위해 하나의 코팅 로봇(R21)이 이동형 반송부(230)의 상측에 위치되고, 이동형 반송부(230)의 하측에는 코팅 모듈(211)과 가열 처리 모듈(212) 사이에서 기판을 반송하기 위해 다른 하나의 코팅 로봇(R21)이 이동형 반송부(230)의 하측에 위치된다. 현상 유닛(220)에는 2개의 현상 로봇(R22)이 설치된다. 이동형 반송부(230)의 상측에는 현상 모듈(221)과 가열 처리 모듈(222) 사이에서 기판을 반송하기 위해 하나의 현상 로봇(R22)이 이동형 반송부(230)의 상측에 위치되고, 이동형 반송부(230)의 하측에는 현상 모듈(221)과 가열 처리 모듈(222) 사이에서 기판을 반송하기 위해 다른 하나의 현상 로봇(R22)이 이동형 반송부(230)의 하측에 위치된다. 다른 실시예에서, 코팅 유닛과 현상 유닛의 상부와 하부 사이에도 복수의 횡방향으로 이동하는 이동형 반송부가 배치될 수 있고, 코팅 유닛에는 코팅 유닛의 코팅 모듈과 가열 처리 모듈 사이에서 기판을 반송하기 위해 코팅 유닛과 현상 유닛의 상부와 하부 사이에 위치된 이동형 반송부의 상측과 하측에 적어도 하나의 코팅 로봇이 별도로 설치된다. 현상 유닛에는 현상 유닛의 현상 모듈과 가열 처리 모듈 사이에서 기판을 반송하기 위해 코팅 유닛과 현상 유닛의 상부와 하부 사이에 위치된 이동형 반송부의 상측과 하측에 적어도 하나의 현상 로봇이 별도로 설치된다.
다른 실시예에서, 이동형 반송부(230)는 도 6 및 도 7에 각각 도시된 바와 같이 코팅 유닛(210) 및 현상 유닛(220)의 상부 또는 하부에 배치될 수도 있다. 이동형 반송부(230)가 코팅 유닛(210)과 현상 유닛(220)의 상부 또는 하부에 위치하는 경우, 코팅 유닛(210)은 도 6 또는 도 7에 도시된 바와 같이 적어도 하나, 예를 들어 2개의 코팅 로봇으로 구성되고, 코팅 유닛(210)은 상부 공간과 하부 공간으로 분할된다. 하나의 코팅 로봇(R21)은 코팅 모듈(211)과 코팅 유닛(210)의 상부 공간에 위치한 가열 처리 모듈(212) 사이에서 기판을 반송하는데 사용된다. 또 다른 코팅 로봇(R21)은 코팅 모듈(211)과 코팅 유닛(210)의 하부 공간에 위치한 가열 처리 모듈(212) 사이에서 기판을 반송하는데 사용된다. 이때, 코팅 유닛(210)의 상부 공간과 코팅 유닛(210)의 하부 공간은 팬 필터 유닛(FFU)을 구비하여 코팅 유닛(210)의 상부 및 하부 공간에서 청정한 공정 환경을 보장한다. 물론, 코팅 유닛(210)은 코팅 유닛(210)의 전체 공간에서 모든 코팅 모듈(211)과 가열 처리 모듈(212) 사이에서 기판을 반송하는 하나의 코팅 로봇(R21)만으로 구성될 수도 있다. 이 경우, 코팅 유닛(210)은 청정한 공정 환경을 구현하기 위해 하나의 팬 필터 유닛(FFU)으로 구성되기만 하면 되어, 장치 공정 환경의 제어가 보다 용이해진다. 마찬가지로, 현상 유닛(220)은 하나만의 현상 로봇(R22) 또는 복수의 현상 로봇(R22)으로 구성될 수도 있다.
실시예 1에서, 기판이 코팅 유닛(210) 또는 현상 유닛(220)에서 처리된 후에 기판을 이동형 반송부(230)로 이동시키기 위해 코팅 유닛(210)과 현상 유닛(220) 사이에는 측면 로봇(R0)이 구성된다. 서로 다른 로봇 간의 기판 반송을 용이하게 하기 위해, EFEM(100)과 코팅 유닛(210) 사이에는 제1 버퍼부(241, 242)가 구성되고, 코팅 유닛(210)과 현상 유닛(220) 사이에는 제2 버퍼부(251,252)가 구성되며, 현상 유닛(220)과 인터페이스 스테이션(300) 사이에는 제3 버퍼부(261, 262)가 구성된다. 버퍼부는 다수의 기판을 수용하여 기판을 머물게 하며, 측면 로봇(R0)은 코팅 및 현상 장치의 높이방향을 따라 수직 상하로 이동하여 다양한 높이에서 버퍼부에 접근할 수 있다.
도 8a는 실시예 1의 노광 처리 전의 코팅 및 현상 장치 내에서의 기판 반송 방법을 나타낸다. 처리할 기판을 프론트엔드 모듈(100)로부터 취출하여 EFEM 로봇(R10)에 의해 제1 버퍼부(241)로 반송하고, 그 다음 기판은 코팅 로봇(R21)에 의해 제1 버퍼부(241)로부터 취출되어 코팅 유닛(210)으로 반송된다. 코팅 유닛(210)에서는 기판을 코팅 및 열처리한다. 기판이 코팅 유닛(210)에서 처리된 후, 기판은 코팅 로봇(R21)에 의해 코팅 유닛(210)에서 취출되어 제2 버퍼부(251)로 반송되고, 그 다음 기판은 측면 로봇(R0)에 의해 제2 버퍼부(251)에서 취출되어 이동형 반송부(230)로 반송된다. 기판은 이동형 반송부(230)에 의해 인터페이스 스테이션(300)으로 반송된다. 기판은 이동형 반송부(230)에서 취출되어 인터페이스 스테이션(300)에 위치한 인터페이스 로봇(R30)에 의해 노광 처리를 위해 노광기로 보내진다.
도 8b는 실시예 1에서 노광 처리 후의 코팅 및 현상 장치에서의 기판 반송 방법을 도시한다. 기판의 노광 처리가 완료된 후, 인터페이스 로봇(R30)은 노광기로부터 기판을 받아 제3 버퍼부(262)로 기판을 반송하고, 그 다음 현상 로봇(R22)은 제3 버퍼부(262)에서 기판을 취출하여 현상 유닛(220)으로 기판을 반송한다. 현상 유닛(220)에서 기판을 현상 및 열처리하고, 그 다음 기판이 현상 유닛(22)에서 처리된 후 기판은 현상 로봇(R22)에 의해 현상 유닛(220)에서 취출되어 제2 버퍼부(252)로 반송된다. 기판은 측면 로봇(R0)에 의해 제2 버퍼부(252)에서 취출되어 이동형 반송부(230)로 반송되고, 그 다음 기판은 이동형 반송부(230)에 의해 EFEM(100)으로 반송된다. 기판은 EFEM(100)에 위치한 EFEM 로봇(R10)에 의해 이동형 반송부(230)로부터 취출되어 로딩 포트(110)에 위치한 기판 카세트(120)로 반송된다.
실시예 2
도 1 내지 도 11을 참조하면, 실시예 2와 실시예 1의 차이점은, 1) 코팅 유닛(210)과 현상 유닛(220) 사이에 2개의 측면 로봇, 즉 제1 측면 로봇(R1)과 제2 측면 로봇(R2)이 구성되고; 2) 코팅 유닛(210)과 현상 유닛(220)의 상부와 하부 사이에는 한 쌍의 이동형 반송부, 즉 제1 이동형 반송부(231)와 제2 이동형 반송부(232)가 설치된다는 점이다. 제1 측면 로봇(R1)은 기판이 코팅 유닛(210)에서 처리된 후 제1 이동형 반송부(231)로 기판을 반송하는데 사용된다. 제2 측면 로봇(R2)은 현상 유닛(220)에서 처리된 기판을 제2 이동형 반송부(232)로 반송하는데 사용된다. 실시예 2에서 제안하는 코팅 및 현상 장치의 다른 구성은 실시예 1과 실질적으로 동일하므로, 이하에서는 설명하지 않는다.
도 12a는 실시예 2의 노광 처리 전의 코팅 및 현상 장치에서의 기판 반송 방법을 도시한다. 처리할 기판은 EFEM 로봇(R10)에 의해 EFEM(100)에서 취출되어 제1 버퍼부(241)로 반송되고, 그 다음 기판은 코팅 로봇(R21)에 의해 제1 버퍼부(241)에서 취출되어 코팅 유닛(210)으로 반송된다. 기판이 코팅 유닛(210)에서 코팅 및 열처리되고, 그 다음 기판이 코팅 유닛(210)에서 처리되면 기판은 코팅 로봇(R21)에 의해 코팅 유닛(210)에서 취출되어 제2 버퍼부(251)로 반송된다. 기판은 제1 측면 로봇(R1)에 의해 제2 버퍼부(251)로부터 취출되어 제1 이동형 반송부(231)로 반송되고, 그 다음 제1 이동형 반송부(231)는 기판을 인터페이스 스테이션(300)으로 반송시킨다. 기판은 제1 이동형 반송부(231)에서 취출되어 인터페이스 스테이션(300)에 위치한 인터페이스 로봇(R30)에 의해 노광 처리를 위해 제1 이동 반송부(231)로 보내진다.
도 12b는 실시예 2에서 노광 처리 후의 코팅 및 현상 장치에서의 기판 반송 방법을 도시한다. 기판의 노광 처리가 완료된 후, 인터페이스 로봇(R30)은 노광기로부터 기판을 받아 제3 버퍼부로 기판을 반송하고, 그 다음 현상 로봇(R22)은 제3 버퍼부(262)에서 기판을 취출하여 현상 유닛(220)으로 기판을 반송한다. 현상 유닛(220)에서 기판을 현상 및 열처리한다. 현상 로봇(R22)은 기판이 현상 유닛(220)에서 처리되면 현상 유닛(220)에서 기판을 취출하여 제2 버퍼부(252)로 기판을 반송하고, 그 다음 기판은 제2 측면 로봇(R2)에 의해 제2 버퍼부(252)에서 취출하여 제2 이동형 반송부(232)로 반송된다. 제2 이동형 반송부(232)는 기판을 EFEM(100)으로 반송하고, 그 다음 기판은 제2 이동형 반송부(232)에서 취출되어 EFEM에 위치한 EFEM 로봇(R10)에 의해 로딩 포트(110)에 위치한 기판 카세트(120)로 반송된다.
장치의 설치 공간을 변경하지 않고, 코팅 유닛과 현상 유닛에서 기판이 처리된 후의 기판 반송 경로가 겹치지 않도록 2개의 측면 로봇과 한 쌍의 이동형 반송부를 설정하므로, 측면 로봇과 이동형 반송부를 공유함으로써 발생하는 교차 오염을 방지하고, 장치의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.
실시예 3
도 13 내지 도 15를 참조하면, 실시예 3과 실시예 1의 차이점은, 1) 코팅 유닛(210)과 현상 유닛(220) 사이에 측면 로봇(R0) 및 제2 버퍼부(251, 252)가 설치되지 않고, 그 대신에 EFEM(100)과 코팅 유닛(2210) 사이에 측면 로봇이 설치되고, 현상 유닛(220)과 인터페이스 스테이션(300) 사이에 또 다른 측면 로봇이 설치되어 제3 측면 로봇(R3)과 제4 측면 로봇(R4)으로 정의되고; 2) 코팅 유닛(210)과 현상 유닛(220)의 상부와 하부 사이에는 한 쌍의 이동형 반송부, 즉 제1 이동형 반송부(231)와 제2 이동형 반송부(232)가 각각 설치된다는 점이다. 제3 측면 로봇(R3)은 기판이 코팅 유닛(210)에서 처리된 후 제1 이동형 반송부(231)로 기판을 반송하거나, 또는 기판이 코팅 유닛(210)에서 처리된 후 제2 이동형 반송부(232)로부터 기판을 취출하는데 사용된다. 제4 측면 로봇(R4)은 기판이 현상 유닛(220)에서 처리된 후 제2 이동형 반송부(232)로 기판을 반송하거나, 또는 기판이 코팅 유닛(210)에서 처리된 후 제1 이동형 반송부(231)로부터 기판을 취출하는데 사용된다. 실시예 3에서 제안된 코팅 및 현상 장치의 다른 구성은 실시예 1과 실질적으로 동일하므로, 이하에서는 설명을 하지 않는다.
실시예 3에서, 코팅 유닛(210)과 현상 유닛(220) 사이의 측면 로봇을 제거함으로써, 코팅 및 현상 장치의 길이를 단축하고 장치의 설치 공간을 줄이는 동시에, 이동형 반송부의 이동 거리를 단축하여 그 반송 효율을 향상시킬 수 있어, 장치 전체의 작동 효율을 향상시킬 수 있다.
도 16a는 실시예 3의 노광 처리 전의 코팅 및 현상 장치에서의 기판 반송 방법을 도시한다. 처리할 기판은 EFEM 로봇(R10)에 의해 프론트엔드 모듈(100)에서 취출되어 제1 버퍼부(241)로 반송되고, 그 다음 기판은 코팅 로봇(R21)에 의해 제1 버퍼부(241)에서 취출되어 코팅 유닛(210)으로 반송된다. 기판이 코팅 유닛(210)에서 코팅 및 열처리되고, 그 다음 기판이 코팅 유닛(210)에서 처리되면 기판은 코팅 로봇(R21)에 의해 코팅 유닛(210)에서 취출되어 제1 버퍼부(241)로 반송된다. 기판은 제3 측면 로봇(R3)에 의해 제1 버퍼부(241)로부터 취출되어 제1 이동형 반송부(231)로 반송되고, 그 다음 제1 이동형 반송부(231)는 인터페이스 스테이션(300)으로 기판을 반송한다. 기판은 제1 이동형 반송부(231)에서 직접 취출되어 인터페이스 스테이션(300)에 위치한 인터페이스 로봇(R30)에 의해 노광 처리를 위해 노광기로 보내지거나, 또는 기판은 제4 측면 로봇(R4)에 의해 제1 이동형 반송부(231)에서 취출되어 제3 버퍼부(261)로 반송된 다음, 기판은 제3 버퍼부(261)에서 취출되어 인터페이스 로봇(R30)에 의한 노광 처리를 위해 노광기로 보내진다.
도 16b는 실시예 3의 노광 처리 후의 코팅 및 현상 장치에서의 기판 반송 방법을 도시한다. 기판의 노광 처리가 완료된 후, 인터페이스 로봇(R30)은 노광기로부터 기판을 받아 제3 버퍼부로 기판을 반송한다. 기판은 현상 로봇(R22)에 의해 제3 버퍼부(262)로부터 취출되어 현상 유닛(220)으로 반송된다. 기판은 현상 유닛(220)에서 현상 및 열처리되고, 그 다음 기판은 현상 로봇(220)에 의해 현상 유닛(220)에서 취출되어 제3 버퍼부(262)로 반송된다. 기판은 제4 측면 로봇(R4)에 의해 제3 버퍼부(262)에서 취출되어 제2 이동형 반송부(232)로 반송되고, 그 다음 기판은 제2 이동형 반송부(232)에 의해 EFEM(100)으로 반송된다. 기판은 제2 이동형 반송부(232)에서 직접 취출되어 EFEM에 위치한 EFEM 로봇(R10)에 의해 로딩 포트(110)에 위치한 기판 카세트(120)로 반송되거나, 또는 기판은 제3 측면 로봇(R3)에 의해 제2 이동형 반송부(232)에서 취출되어 제1 버퍼부(242)로 반송되고, 그 다음 기판은 제1 버퍼부(242)에서 취출되어 EFEM 로봇(R10)에 의해 로딩 포트(110)에 위치한 기판 카세트(120)로 반송된다.
실시예 4
도 17 내지 도 19를 참조하면, 실시예 4와 실시예 1의 차이점은, 1) 코팅 유닛(210)과 현상 유닛(220) 사이에 2개의 측면 로봇, 즉 제1 측면 로봇(R1)과 제2 측면 로봇(R2)이 구성되고; EFEM(100)과 코팅 유닛(210) 사이에는 2개의 측면 로봇, 즉 제3 측면 로봇(R3)과 제5 측면 로봇(R5)이 구성되고; 현상 유닛(220)과 인터페이스 스테이션(300) 사이에는 측면 로봇, 즉 제4 측면 로봇(R4)이 구성되며, 다수의 측면 로봇의 작동 흐름은 기판의 반송 프로세스와 함께 하기의 단락에서 상세하게 설명될 것이고; 2) 코팅 유닛(210)과 현상 유닛(220)의 상부와 하부 사이에는 한 쌍의 이동형 반송부, 즉 제1 이동형 반송부(231)와 제2 이동형 반송부(232)가 각각 설치되고, 제1 측면 로봇(R1)은 기판이 코팅 유닛(210)에서 처리된 후 제1 이동형 반송부(231)로 기판을 반송하는데 사용되고, 제2 측면 로봇(R2)은 기판이 현상 유닛(220)에서 처리된 후 제2 이동형 반송부(232)로 기판을 반송하는데 사용되고, 제3 측면 로봇(R3)은 기판이 현상 유닛(220)에서 처리된 후 제2 이동형 반송부(232)로부터 기판을 취출하는데 사용되고, 제4 측면 로봇(R4)은 기판이 코팅 유닛(210)에서 처리된 후 제1 이동형 반송부(232)로부터 기판을 취출하는데 사용되며; 3) 다수의 기능적 모듈, 기능적 모듈의 구체적인 레이아웃 및 기능은 하기에 상세하게 설명된다. 실시예 4에서 제안하는 코팅 및 현상 장치의 다른 구성은 실시예 1과 실질적으로 동일하므로, 이하에서는 설명하지 않는다.
기능적 모듈은 접착 모듈(adhesion modules)(271), 사전 냉각 모듈(pre cooling modules)(272), 에지 노광 모듈(edge exposure modules)(273), 사전 세정 모듈(pre cleaning modules)(274), 사후 냉각 모듈(post cooling modules)(275) 및 사후 세정 모듈(post cleaning modules)(276)을 포함한다.
본 실시예에서, EFEM(100)과 코팅 유닛(210) 사이에는 복수의 수직으로 적층된 접착 모듈(271) 및 복수의 수직으로 적층된 사전 냉각 모듈(272)이 배열된다. 접착 모듈(271)은 기판이 처리를 위해 코팅 유닛(21)으로 보내지기 전에 기판 표면 상에 접착 필름을 형성하는데 사용되고, 예를 들어, HMDS 가스를 기판 표면을 불어넣어 기판 표면의 소수성을 향상시켜, 포토레지스트와 기판 사이의 접착력을 높이는데 도움이 된다. 접착 처리 후의 기판 온도는 120℃~130℃의 고온이다. 기판은 제5 측면 로봇(R5)에 의해 접착 모듈(271)로부터 사전 냉각 모듈(272)로 반송되며, 기판은 고온에서 22℃~23℃로 냉각된다.
코팅 유닛에서 처리된 기판의 에지지 노광 처리를 위해 코팅 유닛(210)과 현상 유닛(220) 사이에는 복수의 수직으로 적층된 에지 노광 모듈(273)이 배열된다. 인터페이스 스테이션(300)이 침지 노광기에 연결되는 경우, 기판이 침지 노광 작업을 위한 노광기에 반송되기 전에 기판에 사전 세정 작업을 수행하여 노광 처리 동안에 디포커싱 현상(defocusing phenomenon)을 줄이는 것이 일반적으로 필요하다. 따라서, 본 실시예에서, 에지 노광 처리 후에 기판을 세정하기 위해 코팅 유닛(210)과 현상 유닛(220) 사이에는 복수의 수직으로 적층된 사전 세정 모듈(274)이 배열된다.
사전 세정 후 기판을 냉각시키기 위해 현상 유닛(220)과 인터페이스 스테이션(300) 사이에는 복수의 사후 냉각 모듈(275)이 배열된다. 또한, 침지 노광 처리 후의 기판의 경우, 침지 노광 처리 후의 기판의 표면에 남아 있는 침지액이 가열될 때 포토레지스트가 손상되는 것을 방지하기 위해 처리를 위한 현상 유닛(220)에 들어가기 전에 기판을 세정해야 한다. 따라서, 본 실시예에서, 침지 노광 처리 후에 기판을 세정하기 위해 현상 유닛(220)과 인터페이스 스테이션(300) 사이에는 복수의 수직으로 적층된 사후 세정 모듈(276)이 배열된다.
도 20a는 실시예 4의 노광 처리 전의 코팅 및 현상 장치에서의 기판 반송 방법을 도시한다. EFEM 로봇(R10)은 처리될 기판을 제1 버퍼부(241)로 반송하고, 제5 측면 로봇(R5)은 제1 버퍼부(241)에서 기판을 취출하여 접착 모듈(271)로 기판을 반송하고, 그 다음 기판 접착 처리가 완료된 후 기판을 사전 냉각 모듈(272)로 반송한다. 코팅 로봇(R21)은 사전 냉각 모듈(272)에서 기판을 취출하여 코팅 유닛(210)으로 반송하고, 기판은 코팅 유닛(210)에서 코팅 및 열처리되고, 그 다음 코팅 로봇(R21)은 기판이 코팅 유닛(210)에서 처리된 후 제2 버퍼부(251)로 기판을 반송한다. 제1 측면 로봇(R1)은 제2 버퍼부(251)에서 기판을 취출하여 에지 노광 모듈(273)로 반송하고, 그 다음 에지 노광 처리 후의 기판을 사전 세정을 위해 사전 세정 모듈(274)로 반송하고, 그 다음 사전 세정된 기판을 제1 이동형 반송부(231)로 반송한다. 제1 이동형 반송부(231)는 인터페이스 스테이션(300)으로 기판을 반송한다. 제4 측면 로봇(R4)은 제1 이동형 반송부(231)에서 기판을 취출하여 제3 버퍼부(261) 또는 사후 냉각 모듈(275)로 기판을 반송한다. 인터페이스 로봇(R30)은 제3 버퍼부(261) 또는 사후 냉각 모듈(275)에서 기판을 취출하여 노광 처리를 위해 노광기로 기판을 반송한다.
도 20b는 본 실시예에서 노광 처리 후의 코팅 및 현상 장치에서의 기판 반송 방법을 도시한다. 인터페이스 로봇(R30)은 노광기로부터 노광된 기판을 받아 제3 버퍼부(262)로 기판을 반송한다. 제4 측면 로봇(R4)은 제3 버퍼부(262)에서 기판을 취출하여 노광 사후 세정을 위한 사후 세정 모듈(276)로 기판을 반송하고, 그 다음 세정된 기판을 제3 버퍼부(262)로 반송한다. 현상 로봇(R22)은 제3 버퍼부(262)에서 기판을 취출하여 현상 유닛(220)으로 기판을 반송한다. 기판이 현상 유닛(220)에서 현상 및 열처리되고, 그 다음 현상 로봇(R22)은 현상 유닛에서 처리된 기판을 제2 버퍼부(252)로 반송한다. 제2 측면 로봇(R2)은 제2 버퍼부(252)에서 기판을 취출하여 제2 이동 반송부(232)로 기판을 반송한다. 제2 이동형 반송부(232)는 기판을 EFEM(100)으로 반송한다. 제3 측면 로봇(R3)은 제2 이동형 반송부(232)에서 기판을 취출하여 제1 버퍼부(242)로 기판을 반송한다. EFEM 로봇(R10)은 기판을 제1 버퍼부(242)로부터 취출하여 로딩 포트(110)에 위치한 기판 카세트(120)로 기판을 반송한다.
실시예 4에서는, 실시예 1과 비교하면, 현상 유닛(220)과 인터페이스 스테이션(300) 사이에 적층 및 설치되는 2개의 임시 보관부, 즉 제1 임시 보관부(281)와 제2 임시 보관부(282)를 구비할 수도 있다. 제1 임시 보관부(281)는 코팅 유닛(210)에서 처리된 기판을 임시로 보관하는데 사용되어, 노광 처리를 위해 노광기에 들어가기를 대기한다. 노광기 내에 자유로운 스테이션(free station)이 있는 경우, 기판은 우선적으로 제1 임시 보관부(281)에서 입수되어 노광 처리를 위해 노광기로 반송되고, 이로써 코팅 유닛(210)에서 처리된 기판은 노광기로 들어가기 전에 임시로 보관될 수 있어, 노광 처리를 위해 노광기로 들어가기를 대기하는 기판이 충분하여, 노광기의 대기 시간을 줄이고 노광기의 효율성을 향상시킨다.
제2 임시 보관부(282)는 노광 처리 후의 기판을 임시로 보관하여, 처리를 위해 현상 유닛에 들어가기를 대기한다. 현상 유닛에 유휴 스테이션(idle station)이 있는 경우, 기판은 우선적으로 제2 임시 보관부(282)에서 입수되어 처리를 위해 현상 유닛으로 반송되어, 노광 처리된 기판이 현상 유닛(220)으로 들어가기 전에 임시로 보관될 수 있어, 노광기에서 노광 처리가 완료된 기판이 제때에 반출하도록 하여, 노광기의 점유 또는 대기 시간을 줄이고 노광기의 사용 효율을 향상시킨다.
실시예 5
도 21 및 도 22를 참조하면, 실시예 5와 실시예 1의 차이점은, 1) 측면 로봇(R0)과 제2 버퍼부(251, 252)가 코팅 유닛(210)과 현상 유닛(220) 사이에 설치되지 않고, EFEM(100)과 코팅 유닛(210) 사이에는 2개의 측면 로봇, 즉 제3 측면 로봇(R3) 및 제5 측면 로봇(R5)이 설치되고, 현상 유닛(220)과 인터페이스 스테이션(300) 사이에는 2개의 측면 로봇, 즉 제4 측면 로봇(R4) 및 제6 측면 로봇(R6)이 각각 설치되며, 다수의 측면 로봇의 작동 흐름은 기판의 반송 프로세스와 함께 하기의 단락에서 상세하게 설명되고; 2) 코팅 유닛(210)과 현상 유닛(220)의 상부와 하부 사이에는 한 쌍의 이동형 반송부, 즉 제1 이동형 반송부(231)와 제2 이동형 반송부(232)가 설치되고, 제5 측면 로봇(R5)은 기판이 코팅 유닛(210)에서 처리된 후 기판을 제1 이동형 반송부(231)로 반송하는데 사용되고, 제6 측면 로봇(R6)은 제1 이동형 반송부(231)로부터 코팅 유닛(210)에서의 처리가 완료된 기판을 취출하는데 사용되고, 제4 측면 로봇(R4)은 현상 유닛(220)에서 처리가 완료된 기판을 제2 이동형 반송부(232)로 반송하는데 사용되고, 제3 측면 로봇(R3)은 기판이 제2 이동형 반송부(232)에서 처리된 후 기판을 제2 이동형 반송부(232)로부터 취출하는데 사용되고; 3) 다수의 기능적 모듈, 기능적 모듈의 구체적인 레이아웃 및 기능은 하기에 상세하게 설명된다. 실시예 5에서 제안하는 코팅 및 현상 장치의 다른 구성은 실시예 1과 실질적으로 동일하므로, 이하에서는 설명하지 않는다.
기능적 모듈은 접착 모듈(271), 사전 냉각 모듈(272), 에지 노광 모듈(273), 사전 세정 모듈(274), 사후 냉각 모듈(275) 및 사후 세정 모듈(276)을 포함하며, 각 기능적 모듈의 기능은 실시예 4의 기능과 동일하다. 본 실시예에서, EFEM(100)과 코팅 유닛(210) 사이에는 복수의 수직으로 적층된 접착 모듈(271) 및 복수의 수직으로 적층된 사전 냉각 모듈(272)이 배열된다. 현상 유닛(220)과 인터페이스 스테이션(300) 사이에는 복수의 수직으로 적층된 에지 노광 모듈(273), 복수의 수직으로 적층된 사전 냉각 모듈(274), 복수의 수직으로 적층된 사후 냉각 모듈(275) 및 복수의 수직으로 적층된 사후 세정 모듈(276)이 배열된다. 다른 실시예에서, EFEM(100)과 코팅 유닛(210) 사이에는 복수의 수직으로 적층된 에지 노광 모듈(273) 및 복수의 수직으로 적층된 사전 세정 모듈(274)이 배열될 수도 있다.
도 23a는 실시예 5의 노광 처리 전의 코팅 및 현상 장치에서의 기판 반송 방법을 도시한다. EFEM 로봇(R10)은 처리될 기판을 제1 버퍼부(241)로 반송한다. 제5 측면 로봇(R5)은 기판을 제1 버퍼부(241)로 취출하여 접착 모듈(271)로 기판을 번송하고, 그 다음 기판에 접착 처리가 완료된 후 사전 냉각 모듈(272)로 기판을 반송한다. 코팅 로봇(R21)은 사전 냉각 모듈(272)에서 기판을 취출하여 코팅 유닛(210)으로 기판을 반송하고, 기판이 코팅 유닛(210)에서 코팅 및 열처리되고, 그 다음 코팅 로봇(R21)은 코팅 유닛(210)에서 처리된 기판을 제1 버퍼부(241)로 반송한다. 제5 측면 로봇(R5)은 제1 버퍼부(241)로부터 기판을 취출하여 제1 이동형 반송부(231)로 기판을 반송한다. 제1 이동형 반송부(231)는 기판을 인터페이스 스테이션(300)으로 반송한다. 제6 측면 로봇(R6)은 제1 이동 반송부(231)에서 기판을 취출하여 에지 노광 모듈(273)로 반송하고, 그 다음 사전 세정을 위해 에지 노광 처리된 기판을 사전 세정 모듈(274)로 반송하고, 그 다음 사전 세정된 기판을 제3 버퍼부(261) 또는 사후 냉각 모듈(275)로 반송한다. 인터페이스 로봇(R30)은 제3 버퍼부(261) 또는 사후 냉각 모듈(275)에서 기판을 취출하여 노광 처리를 위한 노광기로 반송한다.
도 23b는 실시예 5의 노광 처리 후의 코팅 및 현상 장치에서의 기판 반송 방법을 도시한다. 인터페이스 로봇(R30)은 기판의 노광 처리가 완료된 후 노광기로부터 기판을 받아 제3 버퍼부(262)로 기판을 반송한다. 제4 측면 로봇(R4)은 제3 버퍼부(262)에서 기판을 취출하여 노광 사후 세정을 위해 사후 세정 모듈(276)로 기판을 반송하고, 그 다음 기판 세정이 완료된 후 기판을 제3 버퍼부(262)로 반송한다. 현상 로봇(R22)은 제3 버퍼부(262)로부터 기판을 취출하여 현상 유닛(220)으로 반송하고, 기판이 현상 유닛(220)에서 현상 및 열처리되고, 그 다음 현상 로봇(R22)은 현상 유닛(220)에서 처리된 기판을 제3 버퍼부(262)로 반송한다. 제4 측면 로봇(R4)은 제3 버퍼부(262)에서 기판을 취출하여 제2 이동형 반송부(232)로 기판을 반송한다. 제2 이동형 반송부(232)는 기판을 EFEM(100)으로 반송한다. 제3 측면 로봇(R3)은 제2 이동형 반송부(232)에서 기판을 취출하여 제1 버퍼부(242)로 기판을 반송한다. EFEM 로봇(R10)은 제1 버퍼부(242)에서 기판을 취출하여 로딩 포트(110) 내의 기판 카세트로 기판을 반송한다.
마찬가지로, 제1 임시 보관부(281)와 제2 임시 보관부(282)는 실시예 5에도 적용될 수 있다.
실시예 6
도 24는 실시예 6의 코팅 및 현상 장치의 종단면도를 도시한다. 실시예 6과 실시예 5의 차이점은, 1) 코팅 유닛(210)이 수직으로 적층된 2개 라인의 코팅 모듈(211)을 가지며, 각 라인은 5개의 코팅 모듈(211)를 갖고, 현상 유닛(220)이 수직으로 적층된 2개 라인의 현상 모듈(221)을 가지며, 각 라인은 5개의 현상 모듈(221)을 갖고; 2) 코팅 및 현상 장치에는 포토레지스트 탱크(280)와 포토레지스트 펌프(미도시)도 일체화되며, 포토레지스트 탱크(280)는 포토레지스트를 저장하고, 포토레지스트 탱크(280)는 포토레지스트 펌프를 통해 코팅 모듈(211)에 포토레지스트를 공급한다. 포토레지스트 탱크(280)는 이동형 반송부(231, 232)의 반송방향의 일측에 배치되고, 포토레지스트 펌프는 EFEM(100)과 코팅 유닛(210)(미도시) 사이에 위치된다. 실시예 6의 코팅 및 현상 장치의 다른 구조와 동일한 구성 요소의 넘버링은 실시예 5와 실질적으로 동일하므로, 이하에서는 설명을 하지 않는다.
실시예 6의 기능적 모듈은 도 24에 도시되어 있지 않고, 실시예 6의 기능적 모듈의 특정 레이아웃 및 기능은 실시예 5를 참조할 수 있다.
다른 실시예에서, 포토레지스트 탱크 및 포토레지스트 펌프는 코팅 및 현상 장치 외부, 예를 들어 외부 캐비닛에 배열될 수도 있다.
본 발명의 코팅 및 현상 장치와 기판 반송 방법은 각각 코팅 모듈과 현상 모듈의 수직 레이아웃을 채택하고, 코팅 및 현상의 공정 분위기가 완전히 독립적이므로, 환경 분위기의 청정도를 보다 쉽게 제어하고, 기판 입자 오염의 위험을 줄일 수 있고, 한편 이동형 반송부의 횡방향 이동과 측면 로봇의 수직방향 이동이 연동하여 코팅 장치 또는 현상 장치에서 처리된 기판을 인터페이스 스테이션 또는 프론트엔드 모듈에 반송하므로, 코팅 유닛 또는 현상 유닛 내의 로봇의 작동 효율성을 향상시켜서, 장치의 전반적인 작동 효율성을 향상시킨다.
상기 실시예들은 본 발명의 사상 및 원리를 벗어나지 않는 범위 내에서 당업자가 다양한 수정 또는 변경을 가할 수 있다는 조건 하에서 본 발명을 실현하거나 사용하기 위해 당업자에게 제공되는 것이다. 본 발명의 보호 범위는 다양하게 수정 및 변경될 수 있으므로, 본 발명의 보호 범위는 상기 실시예들에 의해 제한되지 않고, 오히려 청구범위에 언급된 혁신적인 특징의 최대 범위에 부합해야 한다.
Claims (18)
- 연속적으로 연결된 프론트엔드 모듈, 프로세스 스테이션 및 인터페이스 스테이션을 포함하는 코팅 및 현상 장치에 있어서,
상기 프로세스 스테이션은,
기판에 코팅 처리를 수행하기 위해 수직으로 적층된 적어도 한 라인의 코팅 모듈을 포함하는 코팅 유닛;
상기 기판에 현상 처리를 수행하기 위해 수직으로 적층된 적어도 한 라인의 현상 모듈을 포함하는 현상 유닛;
적어도 하나의 횡방향으로 이동하는 이동형 반송부; 및
적어도 하나의 수직방향으로 이동하는 측면 로봇
을 포함하고,
상기 기판이 상기 코팅 유닛에서 처리된 후, 상기 기판은 적어도 하나의 측면 로봇에 의해 상기 이동형 반송부로 반송되고, 상기 이동형 반송부는 상기 기판을 상기 인터페이스 스테이션으로 반송하고; 상기 기판이 상기 현상 유닛에서 처리된 후, 상기 기판은 적어도 하나의 측면 로봇에 의해 상기 이동형 반송부로 반송되고, 상기 이동형 반송부는 상기 기판을 상기 프론트엔드 모듈로 반송하는,
코팅 및 현상 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 코팅 유닛은 코팅 처리 전후에 기판을 가열 및 냉각하기 위해 상기 코팅 모듈 반대편에 위치된 수직으로 적층된 적어도 한 라인의 가열 처리 모듈을 더 포함하고;
상기 현상 유닛은 현상 처리 전후에 기판을 가열 및 냉각하기 위해 상기 현상 모듈 반대편에 위치된 수직으로 적층된 적어도 한 라인의 가열 처리 모듈을 더 포함하는,
코팅 및 현상 장치.
- 제2항에 있어서,
상기 코팅 유닛과 상기 현상 유닛의 상부 또는 하부에는 적어도 하나의 이동형 반송부가 위치하는,
코팅 및 현상 장치.
- 제3항에 있어서,
상기 코팅 유닛은 상기 코팅 유닛의 코팅 모듈과 가열 처리 모듈 사이에서 기판을 반송하기 위한 적어도 하나의 코팅 로봇을 더 포함하고;
상기 현상 유닛은 상기 현상 유닛의 현상 모듈과 가열 처리 모듈 사이에서 기판을 반송하기 위한 적어도 하나의 현상 로봇을 더 포함하는,
코팅 및 현상 장치.
- 제2항에 있어서,
상기 코팅 유닛과 상기 현상 유닛의 상부와 하부 사이에는 적어도 하나 이상의 이동형 반송부가 위치하는,
코팅 및 현상 장치.
- 제5항에 있어서,
상기 코팅 유닛은, 상기 코팅 유닛의 코팅 모듈과 가열 처리 모듈 사이에서 기판을 반송하기 위해, 상기 코팅 유닛과 상기 현상 유닛의 상부와 하부 사이에 위치되는 상기 이동형 반송부의 상측에 배치되는 적어도 하나의 코팅 로봇과, 상기 코팅 유닛과 상기 현상 유닛의 상부와 하부 사이에 위치되는 상기 이동형 반송부의 하측에 배치되는 적어도 하나의 코팅 로봇을 포함하고;
상기 현상 유닛은, 상기 현상 유닛의 현상 모듈과 가열 처리 모듈 사이에서 기판을 반송하기 위해, 상기 코팅 유닛과 상기 현상 유닛의 상부와 하부 사이에 위치된 상기 이동형 반송부의 상측에 배치되는 적어도 하나의 현상 로봇과, 상기 코팅 유닛과 상기 현상 유닛의 상부와 하부 사이에 위치된 상기 이동형 반송부의 하측에 배치되는 적어도 하나의 현상 로봇을 포함하는,
코팅 및 현상 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 기판이 상기 코팅 유닛에서 처리된 후에 상기 기판을 상기 이동형 반송부로 반송하거나, 또는 상기 기판이 상기 현상 유닛에서 처리된 후에 상기 기판을 상기 이동형 반송부로 반송하기 위해, 상기 코팅 유닛과 상기 현상 유닛 사이에는 적어도 하나의 측면 로봇이 설치되는,
코팅 및 현상 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 프로세스 스테이션은 적어도 2개의 측면 로봇을 포함하고, 상기 적어도 2개의 측면 로봇 중 적어도 하나는 상기 기판이 상기 코팅 유닛에서 처리된 후 상기 기판을 상기 이동형 반송부로 반송하거나, 또는 상기 기판이 상기 현상 유닛에서 처리된 후 상기 기판을 상기 이동형 반송부로부터 취출하기 위해 상기 코팅 유닛과 상기 프론트엔드 모듈 사이에 배치되고;
상기 적어도 2개의 측면 로봇 중 적어도 하나는 상기 기판이 현상 유닛에서 처리된 후 상기 기판을 상기 이동형 반송부로 반송하거나, 또는 상기 기판이 상기 코팅 유닛에서 처리된 후 상기 기판을 상기 이동형 반송부로부터 취출하기 위해 상기 현상 유닛과 상기 인터페이스 스테이션 사이에 배치되는,
코팅 및 현상 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 프로세스 스테이션은 적어도 3개의 측면 로봇을 포함하고, 상기 적어도 3개의 측면 로봇 중 적어도 하나는 상기 기판이 상기 현상 유닛에서 처리된 후 상기 기판을 상기 이동형 반송부로부터 취출하기 위해 상기 코팅 유닛과 상기 프론트엔드 모듈 사이에 배치되고;
상기 적어도 3개의 측면 로봇 중 적어도 하나는 상기 기판이 상기 코팅 유닛에서 처리된 후 상기 기판을 상기 이동형 반송부로 반송하거나, 또는 상기 기판이 상기 코팅 유닛에서 처리된 후 상기 기판을 상기 이동형 반송부로 반송하기 위해 상기 코팅 유닛과 상기 현상 유닛 사이에 배치되고;
상기 적어도 3개의 측면 로봇 중 적어도 하나는 상기 기판이 상기 코팅 유닛에서 처리된 후 상기 기판을 상기 이동형 반송부로부터 취출하기 위해 상기 현상 유닛과 상기 인터페이스 스테이션 사이에 배치되는,
코팅 및 현상 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 프론트엔드 모듈은 프론트엔드 모듈 로봇을 포함하고, 상기 프론트엔드 모듈 상기 기판이 상기 현상 유닛에서 처리된 후 상기 기판을 상기 이동형 반송부로부터 취출하고;
상기 인터페이스 스테이션은 인터페이스 로봇을 포함하고, 상기 인터페이스 로봇은 상기 기판이 상기 코팅 유닛에서 처리된 후 상기 기판을 상기 이동형 반송부로부터 취출하는,
코팅 및 현상 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 프로세스 스테이션은,
기판 표면에 접착 필름을 형성하기 위한 복수의 수직으로 적층된 접착 모듈; 및
접착 처리 후 상기 기판을 냉각하기 위한 복수의 수직으로 적층된 사전 냉각 모듈
을 더 포함하고,
상기 복수의 수직으로 적층된 접착 모듈과 상기 복수의 수직으로 적층된 사전 냉각 모듈은 상기 코팅 유닛과 상기 프론트엔드 모듈 사이에 위치되고;
상기 기판이 처리를 위해 상기 코팅 유닛으로 반송되기 전에, 적어도 하나의 측면 로봇이 상기 기판을 상기 접착 모듈로 반송하고, 그 다음 상기 기판의 접착 처리가 완료된 후 상기 기판을 사전 냉각 모듈로 반송하는,
코팅 및 현상 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 프로세스 스테이션은,
상기 코팅 유닛에서 처리된 상기 기판을 에지 노광 처리하기 위한 복수의 수직으로 적층된 에지 노광 모듈(a plurality of vertically stacked edge exposure modules)을 더 포함하고;
상기 복수의 수직으로 적층된 에지 노광 모듈은 상기 코팅 유닛과 상기 현상 유닛 사이에 설치되거나, 상기 코팅 유닛과 상기 프론트엔드 모듈 사이에 설치되거나, 또는 상기 현상 유닛과 인터페이스 스테이션 사이에 설치되고;
상기 기판이 상기 코팅 유닛에서 처리된 후 그리고 상기 기판이 상기 인터페이스 스테이션으로 반송되기 전에 에지 노광 처리를 위해 적어도 하나의 측면 로봇이 상기 기판을 상기 에지 노광 모듈로 반송하는,
코팅 및 현상 장치.
- 제12항에 있어서,
상기 프로세스 스테이션은 에지 노광 처리 후에 상기 기판을 세정하기 위한 복수의 수직으로 적층된 사전 세정 모듈을 더 포함하고;
상기 복수의 수직으로 적층된 사전 세정 모듈은 상기 코팅 유닛과 상기 현상 유닛 사이에 설치되거나, 상기 코팅 유닛과 상기 프론트엔드 모듈 사이에 설치되거나, 또는 상기 현상 유닛과 인터페이스 스테이션 사이에 설치되고;
상기 기판이 상기 에지 노광 모듈에서 처리된 후 그리고 상기 기판이 상기 인터페이스 스테이션으로 반송되기 전에 사전 세정을 위해 적어도 하나의 측면 로봇이 상기 기판을 상기 사전 세정 모듈로 반송하는,
코팅 및 현상 장치.
- 제13항에 있어서,
상기 프로세스 스테이션은 사전 세정 후에 상기 기판을 냉각하기 위한 복수의 수직으로 적층된 사후 냉각 모듈(a plurality of vertically stacked post cooling modules)을 더 포함하고;
상기 복수의 수직으로 적층된 사후 냉각 모듈은 상기 현상 유닛과 상기 인터페이스 스테이션 사이에 설치되고;
상기 기판이 사전 세정된 후 그리고 상기 기판이 상기 인터페이스 스테이션으로 반송되기 전에 냉각을 위해 적어도 하나의 측면 로봇이 상기 기판을 상기 사후 냉각 모듈로 기판을 반송하는,
코팅 및 현상 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 프로세스 스테이션은 침지 노광 처리(immersion exposure processing) 후에 그리고 상기 기판이 상기 현상 유닛으로 반송되기 전에 상기 기판을 사후 세정하기 위한 복수의 수직으로 적층된 사후 세정 모듈(a plurality of vertically stacked post cleaning modules)을 더 포함하고;
상기 복수의 수직으로 적층된 사후 세정 모듈은 상기 현상 유닛과 상기 인터페이스 스테이션 사이에 설치되고;
적어도 하나의 측면 로봇은 상기 기판이 노광 처리된 후에 세정을 위해 상기 사후 세정 모듈로 상기 기판을 반송하고, 상기 기판이 사후 세정된 후에 현상 처리를 위해 상기 기판을 상기 현상 유닛으로 반송하는,
코팅 및 현상 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 프로세스 스테이션은,
상기 코팅 유닛에서 처리된 상기 기판을 임시로 보관하여 노광 처리를 위해 노광기로 들어가는 것을 대기하기 위한 적어도 하나의 제1 임시 보관부; 및
노광 처리 후에 상기 기판음 임시로 보관하여 처리를 위해 상기 현상 유닛에 들어가는 것을 대기하기 위한 적어도 하나의 제2 임시 보관부
를 더 포함하고,
상기 제1 임시 보관부와 상기 제2 임시 보관부는 상기 현상 유닛과 상기 인터페이스 스테이션 사이에 설치되는,
코팅 및 현상 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 프로세스 스테이션은,
상기 프론트엔드 모듈과 상기 코팅 유닛 사이에 설치되는 포토레지스트 펌프; 및
포토레지스트를 보관하기 위해 상기 이동형 반송부의 일측에 설치되는 포토레지스트 탱크
를 더 포함하고,
상기 포토레지스트 탱크는 상기 포토레지스트 펌프를 통해 상기 코팅 모듈에 포토레지스트를 공급하는,
코팅 및 현상 장치.
- 코팅 및 현상 장치의 기판 반송 방법에 있어서,
프론트엔드 모듈에 설치되어 상기 프론트엔드 모듈로부터 기판을 취출하여 프로세스 스테이션으로 반송하는 프론트엔드 모듈 로봇;
상기 프로세스 스테이션의 코팅 유닛에 설치되어 상기 기판을 상기 코팅 유닛으로 반송하고, 상기 코팅 유닛에서 상기 기판에 코팅 처리 및 가열 처리를 수행하는 코팅 로봇;
상기 코팅 로봇은 상기 기판이 상기 코팅 유닛에서 처리된 후 상기 코팅 유닛 외부로 상기 기판을 취출하고;
측면 로봇은 상기 코팅 유닛으로부터 이동형 반송부로 상기 기판을 반송하고;
상기 이동형 반송부는 상기 기판이 상기 코팅 유닛에서 처리된 후 상기 기판을 인터페이스 스테이션으로 반송하고;
상기 인터페이스 스테이션에 설치되는 인터페이스 로봇으로서, 상기 인터페이스 로봇은 상기 기판이 상기 코팅 유닛에서 처리된 후에 상기 이동형 반송부로부터 상기 기판을 취출하여 상기 기판이 상기 코팅 유닛에서 처리된 후에 상기 기판을 상기 인터페이스 스테이션으로 반송하거나, 또는 상기 기판이 상기 코팅 유닛에서 처리된 후에 또 다른 측면 로봇이 상기 기판을 상기 이동형 반송부로부터 취출한 다음, 상기 인터페이스 로봇이 상기 기판을 상기 인터페이스 스테이션으로 반송하는, 상기 인터페이스 로봇;
상기 인터페이스 로봇은 상기 기판의 노광 처리가 완료된 후 상기 인터페이스 스테이션으로부터 상기 기판을 취출하여 상기 기판을 상기 프로세스 스테이션으로 반송하고;
상기 프로세스 스테이션의 현상 유닛에 설치되어, 상기 현상 유닛으로 기판을 반송하고, 상기 현상 유닛에서 상기 기판에 현상 처리 및 가열 처리를 수행하는 현상 로봇;
상기 현상 로봇은 상기 기판이 상기 현상 유닛에서 처리된 후 상기 현상 유닛으로부터 상기 기판을 인출하고;
상기 측면 로봇은 상기 기판이 상기 현상 유닛에서 취출된 후 상기 기판을 상기 이동형 반송부로 반송하고;
상기 이동형 반송부는 상기 기판이 상기 현상 유닛에서 처리된 후 상기 기판을 상기 이동형 반송부로 반송하고;
상기 프론트엔드 모듈 로봇은 상기 기판이 상기 현상 유닛에서 처리된 후 상기 기판을 상기 이동형 반송부로부터 취출하거나, 또는 또 다른 측면 로봇은 상기 기판이 상기 현상 유닛에서 처리된 후 상기 기판을 상기 이동형 반송부로부터 취출하고, 그 다음 상기 프론트엔드 모듈 로봇은 상기 기판을 상기 프론트엔드 모듈로 반송하는,
기판 반송 방법.
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