KR20240010656A - 물품 보관 시스템 - Google Patents

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KR20240010656A
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stage
storage system
seating
positioning
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KR1020220087517A
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임종완
김영우
박준철
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명은 대상물을 이송하는 이송 설비와 이를 포함하는 물품 보관 시스템 그리고 물품 보관 시스템의 대상물 안착 방법에 관한 것이다.

Description

물품 보관 시스템{ARTICLE STORAGE SYSTEM}
본 발명은 물품을 이송하고 보관하는 물품 보관 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 반도체 소자 제조 공정이 수행되는 대상물은 캐리어(용기)에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다. 대상물을 수납하는 캐리어의 예로는 FOUP(Front Open Unified POD), FOSB(Front Opening Shipping Box), 매거진(Magazine), 레티클 포드(Reticle Pod) 등을 들 수 있다.
캐리어는 천장 이송 장치(OHT, Overhead Hoist Transport)의 비히클에 의해 이송될 수 있다. 비히클은 대상물이 수납된 캐리어를 파지하여 반도체 공정 장치들의 로드 포트로 이송하고, 공정 처리가 완료된 대상물이 수납된 캐리어를 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송할 수 있다.
캐리어들은 타워 리프트(Tower Lift)와 같은 이송 장치에 의하여 수직 이송 될 수 있고, 스토커(Stocker)와 같은 보관 장치의 선반들에 적재되어 보관될 수 있다. 이때 캐리어들은 비히클에 의하여 장치의 로드 포트로 이송될 수 있지만, 사용자에 의하여 이송될 수도 있다.
본 발명은 작업자에 의한 대상물의 비정상 안착 문제를 방지하고 대상물의 정상 안착을 안내할 수 있는 물품 보관 시스템을 제공하고자 한다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이에 제한되지 않고, 언급되지 않은 기타 과제는 통상의 기술자라면 이하의 기재로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 물품이 수납된 캐리어가 안착되는 안착면이 구비되는 스테이지; 상기 스테이지의 안착면에 형성된 통과공을 통해 승강하고 상기 캐리어의 하면을 지지하여 이송시키기 위한 이송 수단; 상기 이송 수단을 제어하는 제어부를 포함하는 캐리어 이송 설비가 제공될 수 있다. 상기 이송 수단의 상면에는 상기 캐리어의 하면에 구비된 위치 결정 홈에 대응되는 위치 결정 핀이 구비되고, 상기 제어부는, 상기 캐리어가 상기 스테이지의 안착면에 안착되기 전에 상기 이송 수단이 상기 안착면 높이까지 상승하여 대기함으로써 상기 캐리어가 안착되는 때 상기 캐리어 하면에 구비된 위치 결정 홈과 상기 이송 수단의 상면에 구비된 위치 결정 핀이 서로 감합하여 캐리어의 위치 결정이 이루어질 수 있도록 제어할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제어부는, 상기 캐리어가 상기 스테이지 상에 안착되는 때 상기 캐리어 하면에 구비된 위치 결정 홈과 상기 이송 수단의 상면에 구비된 위치 결정 핀이 서로 감합하지 않는 경우 알람을 발생시키는 알람 모듈을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 스테이지는, 상기 캐리어의 존재 유무를 감지하는 제1 센싱 모듈; 및 상기 캐리어의 정렬 상태를 감지하는 제2 센싱 모듈을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 알람 모듈은, 상기 제1 센싱 모듈 및 상기 제2 센싱 모듈에 의하여 감지된 상기 캐리어의 안착 상태가 비정상이라고 판단되는 경우 알람을 발생시키도록 구성될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 이송 수단은, 상기 캐리어의 하면을 지지하고 상면에 상기 캐리어의 하면에 구비된 위치 결정 홈에 대응되는 위치 결정 핀이 구비된 핸드; 및 상기 핸드를 이동시키는 구동 유닛을 포함할 수 있다.
한편, 상기 캐리어 이송 설비는 상기 이송 수단이 수용되는 하우징; 및 상기 하우징이 수평 이동되도록 마련되는 레일부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 스테이지는, 사용자가 수동으로 캐리어를 안착시킬 수 있도록 구성된 매뉴얼 포트에 포함될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 물품이 수납된 캐리어를 이송하는 캐리어 이송부; 및 상기 캐리어를 적재하기 위한 다수의 선반을 포함하는 보관부를 포함하는 물품 보관 시스템이 제공될 수 있다. 상기 캐리어 이송부는, 상기 캐리어가 안착되는 안착면이 구비되는 스테이지를 포함하는 로드 포트; 상기 스테이지의 안착면에 형성된 통과공을 통해 승강하고 상기 캐리어의 하면을 지지하여 이송시키기 위한 이송 수단; 상기 이송 수단을 제어하는 제어부를 포함하며, 상기 이송 수단의 상면에는 상기 캐리어의 하면에 구비된 위치 결정 홈에 대응되는 위치 결정 핀이 구비되고, 상기 제어부는, 상기 캐리어가 상기 스테이지의 안착면에 안착되기 전에 상기 이송 수단이 상기 안착면 높이까지 상승하여 대기함으로써 상기 캐리어가 안착되는 때 상기 캐리어 하면에 구비된 위치 결정 홈과 상기 이송 수단의 상면에 구비된 위치 결정 핀이 서로 감합하여 캐리어의 위치 결정이 이루어질 수 있도록 제어할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 로드 포트는, 사용자가 수동으로 캐리어를 안착시킬 수 있도록 구성된 매뉴얼 포트를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 물품이 수납된 캐리어가 안착되는 안착면이 구비되는 스테이지 상에 상기 캐리어를 정상 안착시키기 위한 방법이 제공될 수 있다. 상기 물품 보관 시스템의 캐리어 안착 방법은, 상기 스테이지의 안착면에 형성된 통과공을 통해 승강하고 상기 캐리어의 하면을 지지하여 이송시키는 이송 수단을 상기 안착면과 동일한 높이에 위치시키는 제1 단계; 상기 스테이지 상에 상기 캐리어를 안착시키는 제2 단계; 상기 이송 수단에 의하여 상기 캐리어를 이송하는 제3 단계를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 물품 보관 시스템의 캐리어 안착 방법은, 제3 단계에 의하여 이송되는 상기 캐리어를 보관하는 제4 단계를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제2 단계는, 상기 캐리어 하면에 구비된 위치 결정 홈과 상기 이송 수단의 상면에 구비된 위치 결정 핀이 서로 감합함에 따라 상기 캐리어의 위치 결정이 수행되는 단계를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제2 단계는, 상기 캐리어 하면에 구비된 위치 결정 홈과 상기 이송 수단의 상면에 구비된 위치 결정 핀이 서로 감합함에 따라 상기 캐리어의 위치 결정이 수행되는 단계를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제2 단계는, 상기 캐리어의 존재 여부를 감지하는 단계; 및 상기 캐리어의 정렬 상태를 감지하는 단계를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제2 단계는, 상기 캐리어의 존재 여부 및 상기 캐리어의 정렬 상태 중 적어도 하나 이상이 비정상인 경우 알람이 발생하는 단계를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 스테이지는, 사용자가 수동으로 캐리어를 안착시킬 수 있도록 구성된 매뉴얼 포트에 포함될 수 있다.
본 발명에 의하면, 대상물의 비정상 안착을 작업자에게 즉각적으로 인지시켜 대상물의 정상 안착을 유도함으로써 대상물의 비정상 안착에 의하여 발생하는 반송 지연을 방지할 수 있다. 특히, 기존 구성 요소의 구동 로직 변경만으로 대상물의 안착 가이드가 구현 가능하므로 별도의 하드웨어 설계 및 제작 비용없이 물품 보관 시스템의 대상물 안착 정확도를 높일 수 있기 때문에 비용면에서 효율적이다.
또한, 스테이지 상에 구비된 복수의 센서들과 함께 대상물의 안착 상태를 전체적으로 확인하도록 하고, 대상물의 비정상 안착 시 알람을 발생시킴으로써 보다 빠른 시간 내에 대상물 안착 상태의 정상화를 유도할 수 있다.
또한, 이를 작업자에 의하여 수동으로 캐리어가 안착되는 매뉴얼 포트에 적용시킴으로써 작업자에 의한 대상물의 비정상 안착 문제를 방지할 수 있다.
발명의 효과는 이에 한정되지 않고, 언급되지 않은 기타 효과는 통상의 기술자라면 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 물품 보관 시스템을 도시한 개략적인 정면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 물품 보관 시스템을 도시한 개략적인 평면도이다.
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 캐리어 이송부의 일부를 설명하기 위한 확대도이다.
도 4는 도 3의 다른 실시예를 도시한 것이다.
도 5는 본 발명이 적용된 대기 상태의 이송 수단을 도시한 측면도이다.
도 6은 도면의 이해를 돕기 위한 도 5의 분리 측면도이다.
도 7은 제어부의 구성을 도시한 구성도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 물품 보관 시스템의 캐리어 안착 방법의 개략적인 흐름도이다.
도 9는 도 8의 제2 단계를 개략적으로 나타낸 흐름도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 이하의 각 도면에 있어서, XYZ 좌표계를 이용하여 도면 중의 방향을 설명한다. 상기 XYZ 좌표계에 있어서는, 연직 방향을 Z방향으로 하고, 수평 방향을 X방향, Y방향으로 한다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 본 발명의 본질과 관계없는 부분은 그에 대한 상세한 설명을 생략할 수 있으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 부여할 수 있다.
또한, 참조하는 도면에서 구성 요소의 크기, 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되거나 축소되어 표현될 수 있다.
또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 여기서 사용되는 용어는 단지 특정 실시예를 언급하기 위한 것으로서 본 발명을 한정하도록 의도되지 않으며, 본 명세서에서 다르게 정의되지 않는 한 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 이해되는 개념으로 해석될 수 있다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 물품 보관 시스템(100)을 도시한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 물품 보관 시스템(100)은 캐리어 이송부 및 보관부를 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 물품 보관 시스템(100)은 다양한 종류의 캐리어를 이송하고 보관할 수 있다. 예를 들어, 물품 보관 시스템(100)은 멀티 스토커, 콤보 스토커, Foup & Pod 병행 반송 Tower Lifter 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
캐리어 이송부는, 로드 포트(110)와 이송 수단(130)을 포함할 수 있다.
로드 포트(110)는 물품이 수납된 캐리어(10)가 안착되는 공간을 제공하고, 캐리어(10)를 로딩하거나 언로딩한다. 로드 포트(110)는 물품 보관 시스템(100)의 외부로부터 물품 보관 시스템(100)의 내부 공간으로, 또는 물품 보관 시스템(100)의 내부 공간으로부터 물품 보관 시스템(100)의 외부로 캐리어(10)를 전달하기 위한 것이다. 로드 포트(110)는 복수 개 구비될 수 있다. 캐리어(10)의 하면에는 하나 이상의 위치 결정 홈(220)이 구비될 수 있다.
캐리어(10)는 풉(FOUP, Front Open Unified POD), 포스비(FOSB, Front Opening Shipping Box), 맥(MAC, Multi Application Carrier), 매거진, 포드(POD), 레티클 포드 등일 수 있다. 물품은 반도체 기판, 인쇄 회로 기판, 레티클 등일 수 있다.
상세히 도시하되지는 않았지만, 로드 포트(110)는 OHT(Overhead hoist transfer)로부터 이송되는 캐리어(10)를 받아 물품 보관 시스템(100) 내부로 전달하거나 물품 보관 시스템(100) 내부의 캐리어(10)를 OHT로 전달하는 OHT 로트 포트와, 사용자에 의해 수동으로 안착된 캐리어(10)를 물품 보관 시스템(100) 내부로 전달하거나 사용자에게 주어질 물품 보관 시스템(100) 내부의 캐리어(10)를 외부로 전달하는 매뉴얼 로드 포트를 포함할 수 있다.
다수의 웨이퍼 또는 레티클 등과 같이 반도체 제조 공정에 이용되는 물품은 캐리어(10)에 수용된 상태로 로드 포트(110)의 스테이지(112)의 안착면 상에 안착될 수 있다.
이송 수단(130)은 캐리어(10)의 하면을 지지하여 스테이지(112)에 안착된 캐리어(10)를 이송하기 위한 구성으로 스테이지(112)에 안착된 캐리어(10)를 스테이지(112)로부터 들어올려 물품 보관 시스템(100) 내부로 이송할 수 있다. 이송 수단(130)은 캐리어(10)를 보관부로 전달할 수 있다.
보관부는 캐리어(10)를 적재하기 위한 다수의 선반(120)을 포함할 수 있다. 선반(120)은 수평 방향(X축 방향, Y축 방향) 및 수직 방향(Z축 방향)으로 배열될 수 있다. 예를 들어, 수평 방향으로 복수의 행(行)과 열(列)이 각각 나란히 배치될 수 있고, 수직 방향으로 복수 단(段)이 나란히 배치될 수 있다. 각각의 선반(120) 바닥면에는 정렬 핀(미도시)들이 구비될 수 있다. 캐리어(10)가 선반(120)에 적재될 때, 선반(120)의 정렬 핀(미도시)이 캐리어(10)의 위치 결정 홈(220)에 삽입됨으로써 캐리어(10)를 각 선반(120)에 정확하게 적재할 수 있다.
상세히 도시되지는 않았지만, 보관부 내부에는 보관부 내부에서 캐리어(10)를 반송하기 위한 반송 모듈이 구비될 수 있다. 반송 모듈은 X 방향, Y 방향, Z 방향의 각 방향으로 캐리어(10)를 반송 가능하며 로드 포트(110)와 선반(120)의 사이, 및/또는 선반(120)으로부터 다른 선반(120)으로 캐리어(10)를 반송 가능하도록 구비될 수 있다. 일 예로, 반송 모듈은 캐리어(10)의 반송을 위해 X축 방향, Z축 방향으로 이동 및 회전 이동이 가능하도록 구비될 수 있다.
이하 본 발명의 스테이지를 사용자가 수동으로 캐리어를 안착시킬 수 있도록 구성된 매뉴얼 포트에 포함되는 것을 예로 들어 설명하지만 이로 한정하고자 하는 것은 아니다.
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 캐리어 이송부의 일부 구성을 구체적으로 설명하기 위한 확대도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 의한 이송 수단(130)은 캐리어(10)의 하면을 지지하기 위한 안장(saddle) 형태의 핸드(132)를 포함하고, 핸드(132)의 상면에는 캐리어(10)의 하면에 구비된 위치 결정 홈(220)에 대응되는 위치 결정 핀(210)이 구비된다.
스테이지(112)는 안장(saddle) 형태의 통과공과 복수의 가이드 부재(230)를 포함한다. 일 예로, 복수의 가이드 부재(230)는 캐리어(10)의 정위치를 안내하기 위한 구성으로 캐리어(10)의 하면 네 꼭지점에 대응하는 위치에 배치될 수 있다.
즉, 핸드(132)는 스테이지(112)의 안착면에 형성된 통과공의 형상과 동일한 형상을 갖고 통과공보다 작게 형성되어 통과공을 통해 승강 가능하게 제공될 수 있다. 상세히 도시되지는 않았지만, 이동 수단(130)은 핸드(132)를 스테이지(112)의 통과공을 통해 승강 이동시키기 위한 구동 유닛(미도시)을 더 포함할 수 있다.
한편, 스테이지(112)는 도 4에 도시된 바와 같이 제1 센싱 모듈(240)과 제2 센싱 모듈(250)을 더 포함할 수 있다.
제1 센싱 모듈(240)은 스테이지(112) 상면의 네 모서리 중 마주보는 두 모서리 영역에 각각 구비되어 캐리어(10)의 존재 유무를 감지할 수 있는 센서로 구비될 수 있다.
제2 센싱 모듈(250)은 스테이지(112)의 네 꼭지점 중 마주보는 두 꼭지점에 각각 구비되어 캐리어(10)의 정렬 상태를 감지할 수 있다. 즉, 제2 센싱 모듈(250)은 2개의 가이드 부재(230)를 대체할 수 있다. 일 예로, 제2 센싱 모듈(250)은 수광부와 발광부를 포함할 수 있다. 발광부에서 조사된 광이 수광부에 수광되면 스테이지(112)에 안착된 캐리어(10)가 기울어지지 않고 수평 상태인 것으로 판단된다. 발광부에서 조사된 광이 수광부에 수광되지 않으면, 스테이지(112)에 안착된 캐리어(10)가 기울어진 것으로 판단된다.
도 5는 캐리어(10)가 스테이지(112)의 안착면에 안착되기 전의 스테이지(112)와 이송 수단(130)을 도시하고, 도 6은 도면의 이해를 위하여 도 5를 분리하여 도시한 것이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 이송 수단(130)은 캐리어(10)가 스테이지(112)의 안착면에 안착되기 전 스테이지(112)의 안착면과 동일한 높이에 위치한 상태로 대기한다. 이에 따라, 캐리어(10)가 안착면에 정상 안착되는 때 캐리어(10) 하면에 구비된 위치 결정 홈(220)과 이송 수단(130)의 상면에 구비된 위치 결정 핀(210)이 서로 감합하여 캐리어(10)의 위치 결정이 이루어질 수 있다.
캐리어 이송부는 이를 제어하기 위한 제어부(150)를 더 포함할 수 있다.
도 7은 제어부(150)의 구성을 설명하기 위한 구성도이다.
제어부(150)는 캐리어(10)가 스테이지(112)의 안착면에 안착되기 전 이송 수단(130)이 안착면 높이까지 상승하여 대기하도록 제어함으로써 이송 수단(130)의 상면, 즉 핸드(132)의 상면과 스테이지(112)의 안착면이 동일한 높이에 위치한 상태로 대기하도록 제어할 수 있다. 이에 따라 캐리어(10)가 스테이지(112)의 안착면에 안착되는 때 캐리어(10) 하면에 구비된 위치 결정 홈(220)과 핸드(132)의 상면에 구비된 위치 결정 핀(210)이 서로 감합하여 캐리어의 위치 결정이 이루어질 수 있도록 제어할 수 있다.
제어부(150)는 알람 모듈(152)을 포함할 수 있다.
알람 모듈(152)은 캐리어(10)가 스테이지(112)의 안착면에 안착되는 때 캐리어(10) 하면에 구비된 위치 결정 홈(220)과 이송 수단(130)의 상면에 구비된 위치 결정 핀(210)이 서로 감합하지 않는 경우 알람을 발생시킬 수 있다. 캐리어(10)가 스테이지(112)의 안착면에 안착되는 때 캐리어(10) 하면에 구비된 위치 결정 홈(220)과 이송 수단(130)의 상면에 구비된 위치 결정 핀(210)이 서로 감합하지 않는 경우는 캐리어(10)의 비정상 안착을 의미하므로 알람을 발생시킴으로써 캐리어의 비정상 안착을 사용자에게 인지시키기 위함이다. 캐리어의 비정상 안착을 사용자에게 즉시 인지시킴으로써 캐리어(10)의 정상 안착을 유도하고, 캐리어(10)의 비정상 안착을 인지하지 못함으로써 발생하는 반송 지연을 방지할 수 있다.
이를 사용자(작업자)가 수동으로 캐리어를 안착시킬 수 있도록 구성된 매뉴얼 포트에 적용시킴으로써 작업자에 의한 물품의 비정상 안착 문제를 방지하고 물품의 정상 안착을 안내할 수 있다.
또한, 제어부(150)는 제1 센싱 모듈(240), 제2 센싱 모듈(250)로부터 감지 결과를 수신할 수 있다. 제어부(150)는 제1 센싱 모듈(240) 및 제2 센싱 모듈(250)로부터 수신한 감지 결과를 바탕으로 알람 모듈(152)을 제어할 수 있다.
알람 모듈(152)은 제1 센싱 모듈(240)에 의하여 캐리어(10)의 존재가 감지되지 않거나 제2 센싱 모듈(250)에 의하여 감지된 캐리어(10)의 정렬이 수평이 아닌 경우 알람을 발생시킬 수 있다. 즉, 제1 센싱 모듈(240) 및 제2 센싱 모듈(250)에 의하여 감지된 캐리어(10)의 안착 상태가 비정상이라고 판단되는 경우 알람 모듈(152)은 알람을 발생시킬 수 있다. 이때, 제1 센싱 모듈(240) 및 제2 센싱 모듈(250)에 의한 감지 결과 중 적어도 하나 이상의 결과가 비정상인 경우 알람 모듈(152)은 알람을 발생시키도록 제어될 수 있다.
한편, 상세히 도시되지는 않았지만, 캐리어 이송부는 이송 수단(130)을 수용하는 하우징과 하우징을 수평 이동시키는 레일부를 더 포함하는 타워 리프트 형태로 제공될 수 있다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 일 실시예에 의한 캐리어 안착 방법으로서, 앞서 설명한 물품 보관 시스템의 캐리어 안착 방법을 도시한다. 도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 전체적인 흐름도를 도시하고, 도 9는 도 8의 제2 단계를 구체적으로 설명하기 위한 순서도이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 안착 방법은 앞서 설명한 바와 같이 사용자가 수동으로 캐리어를 안착시킬 수 있도록 구성된 매뉴얼 포트에 포함되는 스테이지에 적용될 수 있다.
도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 물품 보관 시스템의 캐리어 안착 방법은, 이송 수단(130)을 스테이지(112)의 안착면과 동일한 높이에 위치시키는 제1 단계(S100), 캐리어(10)를 스테이지(112)의 안착면에 안착시키는 제2 단계(S200), 스테이지(112)에 안착된 캐리어(10)를 이송하는 제3 단계(S300)를 포함할 수 있다. 이송된 캐리어는 다수의 선반(120)이 구비된 보관부에 보관될 수 있다(S400).
제1 단계(S100)는, 캐리어(10)의 하면을 지지하여 이송시키는 이송 수단(130)을 상승시켜 이송 수단(130)의 상면을 스테이지(112)의 안착면과 동일한 높이에 위치시킴으로써 이송 수단(130)의 핸드(132)를 스테이지(112)의 안착면에 형성된 통과공에 삽입되는 위치에 대기시키는 단계이다.
제2 단계(S200)는 핸드(132)가 스테이지(112)의 통과공에 삽입된 상태로 대기하고 있는 스테이지(112) 상에 캐리어(10)를 안착시키는 단계로, 도 9에 도시된 바와 같이 캐리어의 존재 여부를 감지하는 단계(S210), 캐리어(10) 하면에 구비된 위치 결정 홈(220)과 이송 수단(130)의 핸드(132) 상면에 구비된 위치 결정 핀(210)의 감합 여부를 감지하는 단계(S220), 캐리어(10)의 정렬 상태의 정상 여부를 감지하는 단계(S230) 및 알람 발생(S250) 단계를 포함할 수 있다.
제2 단계(S200)에서, 캐리어(10) 하면에 구비된 위치 결정 홈(220)과 이송 수단(130)의 핸드(132) 상면에 구비된 위치 결정 핀(210)이 서로 감합함에 따라 위치 결정이 수행될 수 있다.
알람 발생 단계(S250)는, 캐리어(10)가 스테이지(112) 상에 안착되는 때 캐리어(10) 하면에 구비된 위치 결정 홈(220)과 이송 수단(130)의 핸드(132) 상면에 구비된 위치 결정 핀(210)이 서로 감합하지 않는 때, 캐리어의 존재 여부 및 캐리어의 정렬 상태 중 적어도 하나 이상이 비정상인 때에만 수행될 수 있다.
제2 단계(S200)는, 위치 결정 핀(210)과 위치 결정 홈(220)의 감합 상태, 캐리어(10)의 존재 여부 및 캐리어(10)의 정렬 상태가 모두 정상인 경우에 종료될 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명은 대상물(예: 물품이 수납된 캐리어)의 비정상 안착을 작업자에게 즉각적으로 인지시켜 대상물의 정상 안착을 유도함으로써 대상물의 비정상 안착에 의한 반송 지연 등과 같은 문제들을 사전에 방지할 수 있다. 특히, 기존 구성 요소의 구동 로직 변경만으로 별도의 하드웨어 설계 및 제작 비용없이 대상물의 안착 가이드가 구현 가능하므로 물품 보관 시스템의 대상물 안착 정확도를 높일 수 있어 비용면에서 효율적이다.
한편, 스테이지 상에 복수의 센서들과 더 구비함으로써 대상물의 안착 상태를 전체적으로 확인하도록 하고, 대상물의 비정상 안착 시 알람을 발생시킴으로써 보다 빠른 시간 내에 대상물 안착 상태의 정상화를 유도할 수 있다.
또한, 이를 작업자(사용자)에 의하여 수동으로 캐리어가 스테이지에 안착되도록 구성되는 매뉴얼 포트에 적용시킴으로써 작업자에 의한 물품의 비정상 안착 문제를 방지할 수 있는 효과가 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명에 기재된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상이 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의해서 해석되어야하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
10: 캐리어
100: 물품 보관 시스템
110: 로드 포트
112: 스테이지
120: 선반
130: 이송 수단
132: 핸드
150: 제어부
152: 알람 모듈
210: 위치 결정 핀
220: 위치 결정 홈
230: 가이드 부재
240: 제1 센싱 모듈
250: 제2 센싱 모듈

Claims (20)

  1. 물품이 수납된 캐리어가 안착되는 안착면이 구비되는 스테이지;
    상기 스테이지의 안착면에 형성된 통과공을 통해 승강하고 상기 캐리어의 하면을 지지하여 이송시키기 위한 이송 수단;
    상기 이송 수단을 제어하는 제어부;
    를 포함하는 캐리어 이송 설비로서,
    상기 이송 수단의 상면에는 상기 캐리어의 하면에 구비된 위치 결정 홈에 대응되는 위치 결정 핀이 구비되고,
    상기 제어부는, 상기 캐리어가 상기 스테이지의 안착면에 안착되기 전에 상기 이송 수단이 상기 안착면 높이까지 상승하여 대기함으로써 상기 캐리어가 안착되는 때 상기 캐리어 하면에 구비된 위치 결정 홈과 상기 이송 수단의 상면에 구비된 위치 결정 핀이 서로 감합하여 캐리어의 위치 결정이 이루어질 수 있도록 제어하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 캐리어가 상기 스테이지 상에 안착되는 때 상기 캐리어 하면에 구비된 위치 결정 홈과 상기 이송 수단의 상면에 구비된 위치 결정 핀이 서로 감합하지 않는 경우 알람을 발생시키는 알람 모듈을 포함하는 캐리어 이송 설비.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 스테이지는,
    상기 캐리어의 존재 유무를 감지하는 제1 센싱 모듈; 및
    상기 캐리어의 정렬 상태를 감지하는 제2 센싱 모듈을 포함하는 캐리어 이송 설비.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 알람 모듈은,
    상기 제1 센싱 모듈 및 상기 제2 센싱 모듈에 의하여 감지된 상기 캐리어의 안착 상태가 비정상이라고 판단되는 경우 알람을 발생시키는 캐리어 이송 설비.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 이송 수단은,
    상기 캐리어의 하면을 지지하고 상면에 상기 캐리어의 하면에 구비된 위치 결정 홈에 대응되는 위치 결정 핀이 구비된 핸드; 및
    상기 핸드를 이동시키는 구동 유닛을 포함하는 캐리어 이송 설비.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 이송 수단이 수용되는 하우징; 및
    상기 하우징이 수평 이동되도록 마련되는 레일부를 더 포함하는 캐리어 이송 설비.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 스테이지는,
    사용자가 수동으로 캐리어를 안착시킬 수 있도록 구성된 매뉴얼 포트에 포함되는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 설비.
  8. 물품이 수납된 캐리어를 이송하는 캐리어 이송부; 및
    상기 캐리어를 적재하기 위한 다수의 선반을 포함하는 보관부를 포함하고,
    상기 캐리어 이송부는,
    상기 캐리어가 안착되는 안착면이 구비되는 스테이지를 포함하는 로드 포트;
    상기 스테이지의 안착면에 형성된 통과공을 통해 승강하고 상기 캐리어의 하면을 지지하여 이송시키기 위한 이송 수단;
    상기 이송 수단을 제어하는 제어부를 포함하며,
    상기 이송 수단의 상면에는 상기 캐리어의 하면에 구비된 위치 결정 홈에 대응되는 위치 결정 핀이 구비되고,
    상기 제어부는, 상기 캐리어가 상기 스테이지의 안착면에 안착되기 전에 상기 이송 수단이 상기 안착면 높이까지 상승하여 대기함으로써 상기 캐리어가 안착되는 때 상기 캐리어 하면에 구비된 위치 결정 홈과 상기 이송 수단의 상면에 구비된 위치 결정 핀이 서로 감합하여 캐리어의 위치 결정이 이루어질 수 있도록 제어하는 것을 특징으로 하는 물품 보관 시스템.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 로드 포트는,
    사용자가 수동으로 캐리어를 안착시킬 수 있도록 구성된 매뉴얼 포트를 포함하는 물품 보관 시스템.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 캐리어가 사용자에 의하여 상기 스테이지 상에 안착되는 때 상기 캐리어 하면에 구비된 위치 결정 홈과 상기 이송 수단의 상면에 구비된 위치 결정 핀이 서로 감합하지 않는 경우 알람을 발생시키는 알람 모듈을 포함하는 물품 보관 시스템.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 스테이지는,
    상기 캐리어의 존재 유무를 감지하는 제1 센싱 모듈; 및
    상기 캐리어의 정렬 상태를 감지하는 제2 센싱 모듈을 포함하는 물품 보관 시스템.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 알람 모듈은
    상기 제1 센싱 모듈 및 상기 제2 센싱 모듈에 의하여 감지된 상기 캐리어의 안착 상태가 비정상이라고 판단되는 경우 알람을 발생시키는 물품 보관 시스템.
  13. 제8항에 있어서,
    상기 이송 수단은,
    상기 캐리어의 하면을 지지하고 상면에 상기 캐리어의 하면에 구비된 위치 결정 홈에 대응되는 위치 결정 핀이 구비된 핸드; 및
    상기 핸드를 이동시키는 구동 유닛을 포함하는 물품 보관 시스템.
  14. 제8항에 있어서,
    상기 이송 수단이 수용되는 하우징; 및
    상기 하우징이 수평 이동되도록 마련되는 레일부를 더 포함하는 물품 보관 시스템.
  15. 물품이 수납된 캐리어가 안착되는 안착면이 구비되는 스테이지 상에 상기 캐리어를 정상 안착시키기 위한 방법으로서,
    상기 스테이지의 안착면에 형성된 통과공을 통해 승강하고 상기 캐리어의 하면을 지지하여 이송시키는 이송 수단을 상기 안착면과 동일한 높이에 위치시키는 제1 단계;
    상기 스테이지 상에 상기 캐리어를 안착시키는 제2 단계;
    상기 이송 수단에 의하여 상기 캐리어를 이송하는 제3 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 물품 보관 시스템의 캐리어 안착 방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 제2 단계는,
    상기 캐리어 하면에 구비된 위치 결정 홈과 상기 이송 수단의 상면에 구비된 위치 결정 핀이 서로 감합함에 따라 상기 캐리어의 위치 결정이 수행되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 물품 보관 시스템의 캐리어 안착 방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 제2 단계는,
    상기 캐리어가 상기 스테이지 상에 안착되는 때 상기 캐리어 하면에 구비된 위치 결정 홈과 상기 이송 수단의 상면에 구비된 위치 결정 핀이 서로 감합하지 않는 경우 알람이 발생하는 단계를 더 포함하는 물품 보관 시스템의 캐리어 안착 방법.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 제2 단계는,
    상기 캐리어의 존재 여부를 감지하는 단계; 및
    상기 캐리어의 정렬 상태를 감지하는 단계를 더 포함하는 물품 보관 시스템의 캐리어 안착 방법.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 제2 단계는,
    상기 캐리어의 존재 여부 및 상기 캐리어의 정렬 상태 중 적어도 하나 이상이 비정상인 경우 알람이 발생하는 단계를 더 포함하는 물품 보관 시스템의 캐리어 안착 방법.
  20. 제15항에 있어서,
    상기 스테이지는,
    사용자가 수동으로 캐리어를 안착시킬 수 있도록 구성된 매뉴얼 포트에 포함되는 것을 특징으로 하는 물품 보관 시스템의 캐리어 안착 방법.
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