KR20230150877A - 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 - Google Patents

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 Download PDF

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KR20230150877A
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가부시키가이샤 스크린 홀딩스
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Abstract

기판 처리 장치는, 기판 또는 더미 기판을 수용하는 캐리어를 유지하는 캐리어 유지부와, 기판을 처리하고, 또한 더미 기판을 사용하는 처리를 실행하는 복수의 제 1 처리 유닛을 갖는 제 1 처리 유닛군과, 기판을 처리하고, 또한 더미 기판을 사용하는 처리를 실행하는 복수의 제 2 처리 유닛을 갖는 제 2 처리 유닛군과, 제 1 더미 기판 수용부와, 제 2 더미 기판 수용부와, 기판이 재치되는 기판 재치부와, 제 1 ∼ 제 3 반송 유닛과, 제 1 ∼ 제 3 반송 유닛을 제어하는 컨트롤러를 포함한다. 제 1 반송 유닛은, 제 1 처리 유닛 및 기판 재치부의 사이에서 기판을 반송하고, 또한 제 1 처리 유닛 및 제 1 더미 기판 수용부의 사이에서 더미 기판을 반송한다. 제 2 반송 유닛은, 제 2 처리 유닛 및 기판 재치부의 사이에서 기판을 반송하고, 또한 제 2 처리 유닛 및 제 2 더미 기판 수용부의 사이에서 더미 기판을 반송한다. 제 3 반송 유닛은, 캐리어와 기판 재치부의 사이에서, 기판을 반송한다. 컨트롤러는, 제 1 더미 기판 수용부와 제 2 더미 기판 수용부의 사이에서 더미 기판을 이송하는 더미 기판 이송 제어를 실행한다.

Description

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
이 출원은, 2021년 3월 23일에 제출된 일본 특허출원 2021-049171호에 기초하는 우선권을 주장하고 있으며, 이 출원의 전체 내용은 여기에 인용에 의해 받아들이는 것으로 한다.
이 발명은, 기판을 처리하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 처리 대상이 되는 기판에는, 예를 들어, 반도체 웨이퍼, 액정 표시 장치 및 유기 EL (Electroluminescence) 표시 장치 등의 FPD (Flat Panel Display) 용 기판, 광 디스크용 기판, 자기 디스크용 기판, 광자기 디스크용 기판, 포토마스크용 기판, 세라믹 기판, 태양 전지용 기판 등이 포함된다.
반도체 장치의 제조 공정에 있어서는, 반도체 웨이퍼와 같은 기판을 처리하는 기판 처리 장치가 사용된다. 이와 같은 기판 처리 장치의 일례는, 특허문헌 1 에 개시되어 있다. 이 기판 처리 장치는, 기판을 수용하는 캐리어를 유지하는 캐리어 유지부와, 기판을 처리하는 복수의 처리 유닛과, 캐리어와 처리 유닛의 사이에서 기판을 반송하는 반송 유닛과 제어 유닛을 포함한다. 처리 유닛의 불사용 계속 시간이 소정 시간에 이르면, 제어 장치는, 호스트 장치에 대해, 더미 기판을 유지한 더미 캐리어의 반입을 요구한다. 더미 캐리어가 캐리어 유지부에 반입되면, 반송 유닛은, 더미 캐리어로부터 처리 유닛으로 더미 기판을 반송한다. 그 더미 기판을 사용하여 처리 유닛의 세정이 실시된다.
반송 유닛은, 인덱서 로봇과 주반송 로봇을 포함하고, 이들 사이에 수도 (受渡) 유닛이 배치되어 있다. 인덱서 로봇은, 캐리어와 수도 유닛의 사이에서 기판을 반송한다. 주반송 로봇은, 수도 유닛과 처리 유닛의 사이에서 기판을 반송한다.
더미 캐리어가 캐리어 유지부에 놓여지면, 인덱서 로봇은 더미 캐리어로부터 더미 기판을 취출하여 수도 유닛까지 반송한다. 그 더미 기판은, 주반송 로봇에 의해, 수도 유닛으로부터 처리 유닛으로 반송된다. 더미 기판을 사용한 유닛 세정 처리가 종료되면, 주반송 로봇은, 더미 기판을 처리 유닛으로부터 취출하여 수도 유닛으로 반송한다. 그 더미 기판은, 인덱서 로봇에 의해, 수도 유닛으로부터 더미 캐리어로 반송된다. 모든 더미 기판이 더미 캐리어에 수용되면, 더미 캐리어가 캐리어 유지부로부터 반출된다.
일본 공개특허공보 2017-41506호
이와 같이, 더미 기판이 기판 처리 장치의 외부로부터 도입되어, 제품 기판과 동일한 경로를 지나 처리 유닛에 반송되고, 또한 처리 유닛으로부터 반출되어 더미 캐리어에 수용된다. 따라서, 더미 기판의 반송을 위해서 인덱서 로봇 및 주반송 로봇의 양방이 사용되고, 또한 수도 유닛을 지나 더미 기판이 반송된다. 그럼으로써, 제품 기판의 반송과 간섭하여, 제품 기판의 반송 효율이 나빠지고, 결과적으로, 생산성 향상을 방해한다.
특히, 처리 유닛의 수를 늘려 다수 장의 제품 기판을 병행 처리하도록 구성된 기판 처리 장치에 있어서는, 인덱서 로봇 및 주반송 로봇의 반송 부하가 커, 그 경감이 생산성 향상의 단초가 된다.
또, 더미 캐리어가 캐리어 유지부에 반입되고, 그곳으로부터 더미 기판이 처리 유닛으로 반송되어 처리 유닛에서의 처리를 마쳐 당해 더미 기판이 캐리어에 수용될 때까지, 더미 캐리어가 캐리어 유지부를 점유한다. 따라서, 더미 캐리어에 의한 캐리어 유지부의 점유가 계속되므로, 제품 기판의 반입에 대기 시간이 발생할 우려가 있다. 따라서, 이 관점에서도, 생산성 향상을 방해받고 있다.
그래서, 이 발명의 일 실시형태는, 제품용의 기판의 반송에 대한 영향을 경감하면서, 더미 기판을 사용한 처리를 처리 유닛 내에서 실시할 수 있는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공한다.
이 발명의 일 실시형태는, 기판 또는 더미 기판을 수용하는 캐리어를 유지하는 캐리어 유지부와, 기판을 처리하고, 또한 더미 기판을 사용하는 처리를 실행하는 복수의 제 1 처리 유닛을 갖는 제 1 처리 유닛군과, 기판을 처리하고, 또한 더미 기판을 사용하는 처리를 실행하는 복수의 제 2 처리 유닛을 갖는 제 2 처리 유닛군과, 더미 기판을 수용하는 제 1 더미 기판 수용부와, 더미 기판을 수용하는 제 2 더미 기판 수용부와, 기판이 재치되는 기판 재치부와, 상기 복수의 제 1 처리 유닛, 상기 기판 재치부 및 상기 제 1 더미 기판 수용부에 액세스 가능하게 구성되고, 상기 복수의 제 1 처리 유닛 및 상기 기판 재치부의 사이에서 기판을 반송하고, 상기 복수의 제 1 처리 유닛 및 상기 제 1 더미 기판 수용부의 사이에서 더미 기판을 반송하는 제 1 반송 유닛과, 상기 복수의 제 2 처리 유닛, 상기 기판 재치부 및 상기 제 2 더미 기판 수용부에 액세스 가능하게 구성되고, 상기 복수의 제 2 처리 유닛 및 상기 기판 재치부의 사이에서 기판을 반송하고, 상기 복수의 제 2 처리 유닛 및 상기 제 2 더미 기판 수용부의 사이에서 더미 기판을 반송하는 제 2 반송 유닛과, 상기 캐리어 유지부에 유지된 캐리어 및 상기 기판 재치부에 액세스 가능하고, 상기 캐리어 유지부에 유지된 캐리어와 상기 기판 재치부의 사이에서, 기판을 반송하는 제 3 반송 유닛과, 상기 제 1 반송 유닛, 상기 제 2 반송 유닛 및 상기 제 3 반송 유닛을 제어하는 컨트롤러로서, 상기 제 1 더미 기판 수용부와 상기 제 2 더미 기판 수용부의 사이에서 더미 기판을 이송하는 더미 기판 이송 제어를 실행하는 컨트롤러를 포함하는, 기판 처리 장치를 제공한다.
이 구성에 의하면, 기판 처리 장치 내에 더미 기판 수용부를 구비하고 있으므로, 처리 유닛에 있어서 더미 기판을 사용할 필요가 생겼을 때에는, 제 3 반송 유닛의 관여 없이, 더미 기판 수용부와 처리 유닛의 사이에서 더미 기판을 반송할 수 있다.
따라서, 제 3 반송 유닛의 반송 부하를 경감할 수 있으므로, 제품용의 기판의 반송에 대한 영향을 경감하면서, 더미 기판을 사용하는 처리를 실시할 수 있다. 특히, 복수의 처리 유닛을 각각 갖는 제 1 및 제 2 처리 유닛군과 캐리어 유지부에 유지되는 캐리어의 사이에서의 모든 기판의 반송에 관여하는 제 3 반송 유닛의 반송 부하는 매우 크다. 따라서, 제 3 반송 유닛의 반송 부하를 경감함으로써, 제품용의 기판의 반송 효율이 좋아지고, 그에 따라, 생산성을 향상시킬 수 있다. 제 1 및 제 2 반송 유닛은, 제 1 및 제 2 처리 유닛군과 기판 재치부의 사이의 기판의 반송을 분담하여 맡으므로, 제 3 반송 유닛과 비교하여 반송 부하가 작다. 따라서, 제 1 및 제 2 반송 유닛이 더미 기판의 반송을 맡는 것은, 생산 효율의 관점에서 큰 문제는 되지 않는다.
또, 제 1 및 제 2 반송 유닛은, 각각 제 1 및 제 2 더미 기판 수용부에 액세스할 수 있으므로, 더미 기판 수용부와 처리 유닛의 사이의 더미 기판의 반송은, 기판 재치부를 경유하지 않고 실시할 수 있다. 따라서, 더미 기판의 반송과 제품용의 기판의 반송의 간섭을 저감할 수 있으므로, 제품용의 기판의 반송 효율이 좋아지고, 그에 따라, 생산성을 향상시킬 수 있다.
또한, 이 실시형태에서는, 제 1 반송 유닛이 제 1 더미 기판 수용부와 제 1 처리 유닛군의 사이에서 더미 기판을 반송하고, 제 2 반송 유닛이 제 2 더미 기판 수용부와 제 2 처리 유닛군의 사이에서 더미 기판을 반송한다. 그럼으로써, 더미 기판의 반송 부하가 분산되므로, 제품용의 기판의 반송과 더미 기판의 반송의 간섭을 억제하여, 기판의 반송 효율을 향상시킬 수 있다. 이로써도, 생산성을 향상시킬 수 있다.
또한, 특허문헌 1 의 경우와는 달리, 더미 기판을 수용하는 더미 캐리어에 의해 캐리어 유지부가 장시간에 걸쳐 점유되는 경우도 없다. 그럼으로써, 제품용의 기판을 수용한 캐리어의 반입에 대기 시간이 발생하는 것을 억제할 수 있으므로, 생산성의 향상에 기여할 수 있다.
또한, 이 실시형태에서는, 제 1 더미 기판 수용부와 제 2 더미 기판 수용부의 사이에서 더미 기판의 이송이 가능하다. 그 때문에, 제 1 처리 유닛군과 제 2 처리 유닛군의 사이에서 더미 기판을 서로 융통할 수 있으므로, 제 1 및 제 2 기판 수용부에 수용된 더미 기판을 유효하게 활용할 수 있다. 그럼으로써, 사용 한계에 이른 더미 기판을 새로운 더미 기판으로 교환하는 횟수를 줄일 수 있다. 따라서, 더미 기판을 수용하는 더미 캐리어에 의해 캐리어 유지부가 점유되는 횟수 및 시간을 줄일 수 있다. 이로써, 생산성의 향상에 기여할 수 있다.
더불어, 기판 처리 장치의 외부로부터의 더미 기판의 공급을 기다리는 일 없이, 기판 처리 장치 내에 도입이 끝난 더미 기판을 사용한 처리를 처리 유닛에 있어서 실시할 수 있다. 따라서, 더미 기판을 사용하는 처리를 지체 없이 실시할 수 있으므로, 그에 따라서도, 생산성의 향상을 도모할 수 있다.
이 발명의 일 실시형태에서는, 제 1 반송 유닛은, 제 2 처리 유닛 및 제 2 더미 기판 수용부의 어느 것에도 액세스할 수 없게 구성되어 있다. 또, 이 발명의 일 실시형태에서는, 제 2 반송 유닛은, 제 1 처리 유닛 및 제 1 더미 기판 수용부의 어느 것에도 액세스할 수 없게 구성되어 있다.
이 발명의 일 실시형태에서는, 상기 제 3 반송 유닛은, 캐리어 유지부에 유지된 캐리어와 상기 기판 재치부의 사이에서 더미 기판을 반송한다. 또, 제 1 반송 유닛은, 상기 복수의 제 1 처리 유닛, 상기 기판 재치부 및 상기 제 1 더미 기판 수용부의 사이에서 더미 기판을 반송한다. 또, 제 2 반송 유닛은, 상기 복수의 제 2 처리 유닛, 상기 기판 재치부 및 상기 제 2 더미 기판 수용부의 사이에서 더미 기판을 반송한다. 이로써, 기판 재치부를 경유하여, 미사용 더미 기판을 제 1 더미 기판 수용부 및 제 2 더미 기판 수용부에 도입하거나, 사용이 끝난 더미 기판을 제 1 더미 기판 수용부 및 제 2 더미 기판 수용부로부터 캐리어로 배출하거나 할 수 있다.
이 발명의 일 실시형태에서는, 상기 컨트롤러는, 소정의 더미 기판 이송 조건이 성립하면, 상기 더미 기판 이송 제어를 실행한다. 이 구성에 의해, 적절한 더미 기판 이송 조건을 설정함으로써, 제 1 및 제 2 더미 기판 수용부의 사이에서 더미 기판을 적절히 이송할 수 있으므로, 더미 기판의 이용 효율을 높일 수 있다.
이 발명의 일 실시형태에서는, 상기 컨트롤러는, 상기 제 1 더미 기판 수용부에 수용되는 더미 기판의 사용 이력 정보와, 상기 제 2 더미 기판 수용부에 수용되는 더미 기판의 사용 이력 정보를 포함하는 데이터를 기억하는 기억부와, 상기 기억부에 기억되어 있는 상기 데이터에 기초하여, 상기 더미 기판 이송 조건의 성부를 판단하는 판단부를 포함한다.
이 구성에 의해, 더미 기판의 사용 이력에 기초하여, 더미 기판 이송 조건의 성부가 판단되므로, 더미 기판의 이송의 필요 여부를 적절히 판단할 수 있고, 그에 따라, 더미 기판을 적절히 이송할 수 있다.
이 발명의 일 실시형태에서는, 상기 컨트롤러는, 상기 더미 기판 이송 제어에 있어서, 상기 기판 재치부를 경유하여 상기 제 1 더미 기판 수용부와 상기 제 2 더미 기판 수용부의 사이에서 더미 기판이 이송되도록, 상기 제 1 반송 유닛 및 상기 제 2 반송 유닛을 제어한다.
이 구성에서는, 더미 기판의 이송은 기판 재치부를 경유하여 실시된다. 더미 기판의 이송은 빈번히 필요하게 되는 것은 아니기 때문에, 제 1 반송 유닛이 제 2 더미 기판 수용부에 액세스할 수 있도록 구성하거나, 제 2 반송 유닛이 제 1 더미 기판 수용부에 액세스할 수 있도록 구성하거나 하는 이익은 적다. 그보다, 제 1 및 제 2 반송 유닛의 액세스처를 줄이는 편이, 제품용의 기판의 반송 효율이 높아져, 생산성의 향상에 기여할 수 있다.
이 발명의 일 실시형태에서는, 상기 기판 재치부는, 상기 제 1 반송 유닛 및 상기 제 3 반송 유닛이 액세스 가능한 제 1 기판 재치부와, 상기 제 2 반송 유닛 및 상기 제 3 반송 유닛이 액세스 가능한 제 2 기판 재치부를 포함한다. 또, 상기 컨트롤러는, 상기 더미 기판 이송 제어에 있어서, 상기 제 1 반송 유닛이 상기 제 1 더미 기판 수용부와 상기 제 1 기판 재치부의 사이에서 더미 기판을 반송하고, 상기 제 2 반송 유닛이 상기 제 2 더미 기판 수용부와 상기 제 2 기판 재치부의 사이에서 더미 기판을 반송하고, 상기 제 3 반송 유닛이 상기 제 1 기판 재치부와 상기 제 2 기판 재치부의 사이에서 더미 기판을 반송하도록, 상기 제 1 반송 유닛, 상기 제 2 반송 유닛 및 상기 제 3 반송 유닛을 제어한다.
이 구성에서는, 제 1 및 제 2 반송 유닛에 각각 대응한 제 1 및 제 2 기판 재치부가 구비되어 있다. 그럼으로써, 제 1 및 제 2 기판 재치부는, 제 1 및 제 2 반송 유닛에 의해 액세스하기 쉬운 배치로 할 수 있다. 그럼으로써, 제품용의 기판의 반송 효율을 높일 수 있어, 생산성의 향상을 도모할 수 있다. 더미 기판의 이송을 위해서, 제 3 반송 유닛이 제 1 기판 재치부와 제 2 기판 재치부의 사이에서 더미 기판을 반송하게 되지만, 더미 기판의 이송의 필요는 빈번히 일어나는 것은 아니기 때문에, 더미 기판의 이송에 제 3 반송 유닛이 관여하는 것으로 인한 생산성의 저하는 적다.
이 발명의 일 실시형태에서는, 상기 제 3 반송 유닛이, 상기 제 1 더미 기판 수용부 및 상기 제 2 더미 기판 수용부에 액세스 가능하다. 또, 상기 컨트롤러는, 상기 더미 기판 이송 제어에 있어서, 상기 제 1 더미 기판 수용부와 상기 제 2 더미 기판 수용부의 사이에서, 상기 기판 재치부를 경유하는 일 없이, 더미 기판을 이송하도록, 상기 제 3 반송 유닛을 제어한다.
이 구성에서는, 제 3 반송 유닛이 제 1 더미 기판 수용부와 제 2 더미 기판 수용부에 액세스 가능하므로, 그들 사이에서 더미 기판을 직접적으로 이송할 수 있다. 더미 기판의 이송은 빈번히 필요해지는 것은 아니기 때문에, 더미 기판의 이송에 제 3 반송 유닛이 관여하는 것은, 생산성에 큰 영향을 줄 우려는 없다.
이 발명의 일 실시형태에서는, 상기 기판 처리 장치는, 제 1 처리 블록층과, 상기 제 1 처리 블록층의 상방에 위치하는 제 2 처리 블록층을 포함하고, 상기 제 1 처리 블록층에 상기 제 1 처리 유닛군이 배치되어 있고, 상기 제 2 처리 블록층에 상기 제 2 처리 유닛군이 배치되어 있다.
이 발명의 일 실시형태에서는, 상기 기판 처리 장치는, 제 1 처리 블록부와, 상기 제 1 처리 블록부의 측방에 위치하는 제 2 처리 블록부를 포함하고, 상기 제 1 처리 블록부에 상기 제 1 처리 유닛군이 배치되어 있고, 상기 제 2 처리 블록부에 상기 제 2 처리 유닛군이 배치되어 있다
이 발명의 일 실시형태에서는, 상기 제 1 더미 기판 수용부 및 상기 제 2 더미 기판 수용부가, 평면에서 보아, 상기 기판 재치부와 겹쳐 있다.
이 구성에 의하면, 기판 재치부의 상방 또는 하방의 공간을 이용하여, 평면에서 보아 기판 재치부와 겹치도록 더미 기판 수용부를 배치할 수 있다. 이로써, 제품용의 기판의 반송을 저해하지 않는 더미 기판 수용부의 배치를 실현할 수 있고, 또한 기판 처리 장치 내의 공간을 유효하게 이용하여, 더미 기판 수용부를 배치할 수 있다.
더미 기판 수용부가 평면에서 보아 기판 재치부에 중첩되는 배치는, 구체적으로는, 더미 기판 수용부에 수용된 더미 기판의 일부 또는 전부가 기판 재치부에 유지된 기판에 중첩되는 배치여도 된다.
이 발명의 일 실시형태에서는, 상기 제 1 더미 기판 수용부 및 상기 제 2 더미 기판 수용부가, 상기 기판 재치부를 사이에 두고 상하로 배분되어 배치되어 있다.
이 발명의 일 실시형태는, 제 1 처리 유닛군에 속하는 복수의 제 1 처리 유닛과 기판 재치부의 사이에서, 제 1 반송 유닛에 의해 기판을 반송하는 공정과, 상기 제 1 처리 유닛에 있어서, 상기 제 1 반송 유닛에 의해 반송된 기판을 처리하는 공정과, 상기 복수의 제 1 처리 유닛과 제 1 더미 기판 수용부의 사이에서, 상기 제 1 반송 유닛에 의해 더미 기판을 반송하는 공정과, 상기 제 1 처리 유닛에 있어서, 상기 제 1 반송 유닛에 의해 반송된 더미 기판을 사용한 더미 처리를 실행하는 공정과, 제 2 처리 유닛군에 속하는 복수의 제 2 처리 유닛과 상기 기판 재치부의 사이에서, 제 2 반송 유닛에 의해 기판을 반송하는 공정과, 상기 제 2 처리 유닛에 있어서, 상기 제 2 반송 유닛에 의해 반송된 기판을 처리하는 공정과, 상기 복수의 제 2 처리 유닛과 제 2 더미 기판 수용부의 사이에서, 상기 제 2 반송 유닛에 의해 더미 기판을 반송하는 공정과, 상기 제 2 처리 유닛에 있어서, 상기 제 2 반송 유닛에 의해 반송된 더미 기판을 사용한 더미 처리를 실행하는 공정과, 캐리어 유지부에 유지된 캐리어와 상기 기판 재치부의 사이에서, 제 3 반송 유닛에 의해 기판을 반송하는 공정과, 상기 제 1 더미 기판 수용부와 상기 제 2 더미 기판 수용부의 사이에서, 더미 기판을 이송하는 더미 기판 이송 공정을 포함하는, 기판 처리 방법을 제공한다.
이 발명의 일 실시형태에 관련된 기판 처리 방법은, 또한, 상기 캐리어 유지부에 유지된 캐리어와 상기 기판 재치부의 사이에서, 상기 제 3 반송 유닛에 의해 더미 기판을 반송하는 공정과, 상기 기판 재치부와 상기 제 1 더미 기판 수용부의 사이에서, 상기 제 1 반송 유닛에 의해 더미 기판을 반송하는 공정과, 상기 기판 재치부와 상기 제 2 더미 기판 수용부의 사이에서, 상기 제 2 반송 유닛에 의해 더미 기판을 반송하는 공정을 포함한다. 이로써, 기판 재치부를 경유하여, 미사용 더미 기판을 제 1 더미 기판 수용부 및 제 2 더미 기판 수용부에 도입하거나, 사용이 끝난 더미 기판을 제 1 더미 기판 수용부 및 제 2 더미 기판 수용부로부터 캐리어로 배출하거나 할 수 있다.
이 발명의 일 실시형태에서는, 상기 더미 기판 이송 공정에 있어서, 상기 기판 재치부를 경유하여, 상기 제 1 더미 기판 수용부와 상기 제 2 더미 기판 수용부의 사이에서, 더미 기판이 이송된다.
이 발명의 일 실시형태에서는, 상기 기판 재치부는, 상기 제 1 반송 유닛 및 상기 제 3 반송 유닛이 액세스 가능한 제 1 기판 재치부와, 상기 제 2 반송 유닛 및 상기 제 3 반송 유닛이 액세스 가능한 제 2 기판 재치부를 포함한다. 그리고, 상기 더미 기판 이송 공정은, 상기 제 1 반송 유닛이 상기 제 1 더미 기판 수용부와 상기 제 1 기판 재치부의 사이에서 더미 기판을 반송하는 공정과, 상기 제 2 반송 유닛이 상기 제 2 더미 기판 수용부와 상기 제 2 기판 재치부의 사이에서 더미 기판을 반송하는 공정과, 상기 제 3 반송 유닛이 상기 제 1 기판 재치부와 상기 제 2 기판 재치부의 사이에서 더미 기판을 반송하는 공정을 포함한다.
이 발명의 일 실시형태에서는, 상기 제 3 반송 유닛이, 상기 제 1 더미 기판 수용부 및 상기 제 2 더미 기판 수용부에 액세스 가능하고, 상기 더미 기판 이송 공정에 있어서, 상기 제 3 반송 유닛이, 상기 제 1 더미 기판 수용부와 상기 제 2 더미 기판 수용부의 사이에서, 상기 기판 재치부를 경유하는 일 없이, 더미 기판을 반송한다. 본 발명에 있어서의 상기 서술한, 또는 또 다른 목적, 특징 및 효과는, 첨부 도면을 참조하여 다음으로 서술하는 실시형태의 설명에 의해 밝혀진다.
도 1 은, 이 발명의 일 실시형태에 관련된 기판 처리 장치의 내부 구성을 나타내는 도해적인 평면도이다.
도 2 는, 도 1 의 II-II 선에서 본 도해적인 종단면도이다.
도 3 은, 도 1 의 III-III 선에서 본 도해적인 횡단면도이다.
도 4 는, 도 1 의 IV 방향에서 보아 처리 블록의 내부 구성을 나타내는 도해적인 입면도이다.
도 5 는, 기판 재치부의 구성예를 설명하기 위한 도면이다.
도 6 은, 더미 기판 수용부의 구성예를 설명하기 위한 도면이다.
도 7 은, 처리 유닛의 구성예를 설명하기 위한 도해적인 단면도이다.
도 8 은, 기판 처리 장치의 제어에 관한 구성을 설명하기 위한 블록도이다.
도 9 는, 더미 처리에 관련되는 컨트롤러의 동작을 설명하기 위한 플로 차트이다.
도 10a 는, 더미 기판 수용부에 대한 미사용 더미 기판의 반입 및 사용이 끝난 더미 기판의 반출에 관한 동작예를 설명하기 위한 플로 차트이다.
도 10b 는, 더미 기판 수용부에 대한 미사용 더미 기판의 반입 및 사용이 끝난 더미 기판의 반출에 관한 동작예를 설명하기 위한 플로 차트이다.
도 11 은, 이 발명의 다른 실시형태에 관련된 기판 처리 장치의 내부 구성을 나타내는 도해적인 종단면도이다.
도 12 는, 이 발명의 또 다른 실시형태에 관련된 기판 처리 장치의 내부 구성을 나타내는 도해적인 종단면도이다.
도 13 은, 이 발명의 다른 실시형태에 관련된 기판 처리 장치의 내부 구성을 나타내는 도해적인 평면도이다.
도 1 은, 이 발명의 일 실시형태에 관련된 기판 처리 장치의 내부 구성을 나타내는 도해적인 평면도이다. 도 2 는, 도 1 의 II-II 선에서 본 도해적인 종단면도이다. 도 3 은, 도 1 의 III-III 선에서 본 도해적인 횡단면도이다. 도 4 는, 도 1 의 IV 방향에서 보아 일부의 내부 구성을 나타내는 도해적인 입면도이다.
기판 처리 장치 (1) 는, 인덱서 블록 (2) 과, 인덱서 블록 (2) 의 횡방향 (제 1 수평 방향 (X)) 에 인접된 처리 블록 (3) 을 포함한다.
인덱서 블록 (2) 은, 복수 (이 실시형태에서는 4 개) 의 캐리어 유지부 (25) (로드 포트) 와, 인덱서 로봇 (26) 을 포함한다. 이하에서는, 편의적으로, 제 1 수평 방향 (X) 에 관해서 캐리어 유지부 (25) 의 측을 전방이라고 정의하고, 그 반대측을 후방이라고 정의하여 설명하는 경우가 있다.
복수의 캐리어 유지부 (25) 는, 제 1 수평 방향 (X) 에 직교하는 제 2 수평 방향 (Y) 을 따라 배열되어 있다. 각 캐리어 유지부 (25) 는, 공장 내에 구비된 캐리어 반송 기구 (300) 에 의해 자동 반송되는 캐리어 (C) 를 수용하여 유지할 수 있도록 구성되어 있다. 각 캐리어 유지부 (25) 는, 하나의 캐리어 (C) 를 유지할 수 있도록 구성되어 있다. 캐리어 (C) 는, 처리 대상의 기판 (W) (제품 기판) 을 수용하는 기판 수용기이다. 캐리어 (C) 의 일례는, FOUP (Front Opening Unified Pod) 이다. 캐리어 (C) 는, 복수 장 (예를 들어 25 장) 의 기판 (W) 을 적층 상태로 유지할 수 있도록 구성되어 있다. 보다 구체적으로는, 캐리어 (C) 는, 캐리어 유지부 (25) 에 유지되었을 때에, 복수 장의 기판 (W) 을 수평 자세로 상하 방향 (Z) 을 따라 적층 상태로 유지할 수 있도록 구성되어 있다. 캐리어 유지부 (25) 는, 기판 수용기인 캐리어 (C) 를 유지하는 수용기 유지부의 일례이다. 기판 (W) 은, 예를 들어, 반도체 웨이퍼이다.
인덱서 로봇 (26) 은, 제 3 반송 유닛의 일례이다. 인덱서 로봇 (26) 은, 복수의 캐리어 유지부 (25) 에 각각 유지되는 캐리어 (C) 에 액세스하여, 기판 (W) 을 반입/반출하고, 캐리어 유지부 (25) 와 처리 블록 (3) 의 사이에서 기판 (W) 을 반송할 수 있도록 구성되어 있다. 이 실시형태에서는, 인덱서 로봇 (26) 은, 다관절 아암 (27) 을 구비한 다관절 아암 로봇이다. 구체적으로는, 인덱서 로봇 (26) 은, 복수의 아암 (28) 을 연결한 다관절 아암 (27) 과, 다관절 아암 (27) 의 선단에 결합된 하나 이상의 핸드 (29) 와, 다관절 아암 (27) 을 지지하여 상하동하는 기대부 (30) 를 포함한다. 다관절 아암 (27) 을 구성하는 복수의 아암 (28) 및 핸드 (29) 는, 각 기단부에 설정된 수직인 요동축선 주위로 요동 가능하고, 도시는 생략하지만, 각 아암 (28) 및 핸드 (29) 를 요동하기 위한 개별의 액추에이터 (전형적으로는 전동 모터) 가 구비되어 있다.
처리 블록 (3) 은, 상하 방향 (Z) 으로 적층된 복수의 처리 블록층 (BL, BU) 을 포함한다. 이 실시형태에서는, 처리 블록 (3) 은, 제 1 층 (하층) 의 처리 블록층 (이하「제 1 처리 블록층 (BL)」이라고 한다.) 과, 그 상방에 적층된 제 2 층 (상층) 의 처리 블록층 (이하「제 2 처리 블록층 (BU)」이라고 한다.) 을 포함한다. 이하에서는, 제 1 처리 블록층 (BL) 의 구성 요소와 제 2 처리 블록층 (BU) 의 구성 요소를 구별할 때에는, 제 1 처리 블록층 (BL) 의 구성 요소에 대해서는 영문자「L」을 말미에 갖는 참조 부호를 사용하고, 제 2 처리 블록층 (BU) 의 구성 요소에 대해서는 영문자「U」를 말미에 갖는 참조 부호를 사용한다. 첨부 도면 중의 참조 부호도 동일하다.
제 1 처리 블록층 (BL) 및 제 2 처리 블록층 (BU) 의 평면에서 볼 때의 내부 구성은 실질적으로 같다. 따라서, 도 1 에 있어서, 참조 부호의 말미의 영문자「U」를 영문자「L」로 치환하여 읽음으로써, 제 1 처리 블록층 (BL) 의 구성 (평면에서 볼 때의 배치) 이 나타나는 것에 유의해야 한다.
제 1 처리 블록층 (BL) 은, 복수 (이 실시형태에서는, 12 개) 의 처리 유닛 (11L-13L, 21L-23L, 31L-33L, 41L-43L) (이하, 제 1 처리 블록층 (BL) 의 처리 유닛을 총칭할 경우에는「처리 유닛 (11L-43L)」이라고 한다.) 를 포함하고, 이들은 제 1 처리 유닛군을 구성하고 있다. 제 1 처리 블록층 (BL) 은, 또한, 기판 재치부 (6L) 와, 더미 기판 수용부 (7L) 와, 주반송 로봇 (8L) 을 포함한다. 복수의 처리 유닛 (11L-43L) 은, 기판 (W) 에 대해 처리를 실시한다. 이 실시형태에서는, 각 처리 유닛 (11L-43L) 은, 기판 (W) 을 1 장씩 처리하는 매엽형 처리 유닛이다. 기판 재치부 (6L) 는, 인덱서 로봇 (26) 과 제 1 처리 블록층 (BL) 의 사이에서 수도되는 기판 (W) 을 일시 유지하기 위한 유닛이다. 더미 기판 수용부 (7L) 는, 처리 유닛 (11L-43L) 에 있어서 사용 가능한 더미 기판 (DW) 을 기판 처리 장치 (1) 의 내부에 유지해 두기 위한 유닛이고, 더미 기판 (DW) 의 대기 장소를 제공한다. 주반송 로봇 (8L) 은, 기판 재치부 (6L), 처리 유닛 (11L-43L) 및 더미 기판 수용부 (7L) 에 액세스 가능하게 구성되어 있다. 주반송 로봇 (8L) 은, 기판 재치부 (6L) 와 처리 유닛 (11L-43L) 의 사이에서 기판 (W) 을 반송하고, 또한 더미 기판 수용부 (7L) 와 처리 유닛 (11L-43L) 의 사이에서 더미 기판 (DW) 을 반송하는 제 1 반송 유닛의 일례이다.
더미 기판 (DW) 이란, 기판 (W) 과 동일한 형상 (예를 들어 원형) 및 크기를 갖는 기판이다. 더미 기판 (DW) 은, 캐리어 (C) 로부터 공급되는 제품용의 기판 (W) 과는 달리, 실제 제품의 제조에는 이용되지 않는다. 더미 기판 (DW) 은, 처리 유닛 (11L-43L) 내의 환경을 갖추는 전처리 (준비 처리), 처리 유닛 (11L-43L) 내를 세정하기 위한 유닛 세정 처리 등을 실행하기 위해서, 처리 유닛 (11L-43L) 에 도입되어 사용된다. 이와 같이 더미 기판 (DW) 을 사용하는 처리를, 이하에서는「더미 처리」라고 한다. 전술한 전처리 및 유닛 세정 처리는, 처리 유닛 (11L-43L) 의 메인터넌스를 위한 메인터넌스 처리이며, 더미 처리는 이와 같은 메인터넌스 처리를 포함한다.
복수의 처리 유닛 (11L-43L) 은, 주반송 로봇 (8L) 에 의해 기판 (W) 이 반송되는 반송 경로 (51L) 를 제공하는 반송 공간 (52L) 을 따라, 당해 반송 공간 (52L) 의 양측으로 배열되어, 반송 공간 (52L) 에 면하고 있다. 반송 공간 (52L) 은, 평면에서 보아, 제 2 수평 방향 (Y) 으로 일정한 폭을 갖고, 제 1 수평 방향 (X) 을 따라 인덱서 블록 (2) 으로부터 멀어지는 방향으로 직선적으로 연장되어 있다. 반송 공간 (52L) 은, 상하 방향 (Z) 에 관해서, 제 1 처리 블록층 (BL) 의 높이와 거의 동등한 높이를 갖고 있다. 평면에서 보아, 반송 공간 (52L) 의 일방측에는, 인덱서 블록 (2) 에 가까운 쪽으로부터 차례로, 제 1 액 공급부 (91), 제 1 처리 유닛 스택 (S1L), 제 1 배기부 (101), 제 2 액 공급부 (92), 제 2 처리 유닛 스택 (S2L) 및 제 2 배기부 (102) 가, 반송 경로 (51L) 를 따라 배열되어 있다. 반송 공간 (52L) 의 타방측에는, 인덱서 블록 (2) 에 가까운 쪽으로부터 차례로, 제 3 배기부 (103), 제 3 처리 유닛 스택 (S3L), 제 3 액 공급부 (93), 제 4 배기부 (104), 제 4 처리 유닛 스택 (S4L) 및 제 4 액 공급부 (94) 가, 반송 경로 (51L) 를 따라 배열되어 있다. 이들이 거의 직방체 형상의 반송 공간 (52L) 을 구획하도록 배열되어 있다.
제 1 ∼ 제 4 처리 유닛 스택 (S1L-S4L) 은, 각각, 상하 방향 (Z) 으로 적층된 복수단 (이 실시형태에서는 3 단) 의 처리 유닛 (11L-13L, 21L-23L, 31L-33L, 41L-43L) 을 포함한다. 제 3 처리 유닛 스택 (S3L) 은, 반송 공간 (52L) 을 사이에 두고 제 1 처리 유닛 스택 (S1L) 에 대향하고 있다. 제 4 처리 유닛 스택 (S4L) 은, 반송 공간 (52L) 을 사이에 두고 제 2 처리 유닛 스택 (S2L) 에 대향하고 있다. 따라서, 제 3 처리 유닛 스택 (S3L) 을 구성하는 복수의 처리 유닛 (31L-33L) 은, 제 1 처리 유닛 스택 (S1L) 을 구성하는 복수단의 처리 유닛 (11L-13L) 에 반송 공간 (52L) 을 사이에 두고 대향하고 있다. 마찬가지로, 제 4 처리 유닛 스택 (S4L) 을 구성하는 복수단의 처리 유닛 (41L-43L) 은, 제 2 처리 유닛 스택 (S2L) 을 구성하는 복수단의 처리 유닛 (21L-23L) 에 반송 공간 (52L) 을 사이에 두고 대향하고 있다. 이 실시형태에서는, 제 1 처리 블록층 (BL) 은, 12 개의 처리 유닛 (11L-13L, 21L-23L, 31L-33L, 41L-43L) 을 포함하고, 이들이, 4 개의 처리 유닛 스택 (S1L-S4L) 에 3 개씩 나뉘어서 배치되어 있다.
반송 공간 (52L) 은, 각 처리 유닛 스택 (S1L-S4L) 의 최상단의 처리 유닛 (13L, 23L, 33L, 43L) 의 상면과 정합하는 위치에 배치된 중간 격벽 (16) 에 의해 상방으로부터 구획되고, 또한 최하단의 처리 유닛 (11L, 21, 31L, 41L) 의 하면과 정합하는 위치에 배치된 하측 격벽 (15) 에 의해 하방으로부터 구획되어 있다. 모든 처리 유닛 (11L-43L) 은, 반송 공간 (52L) 에 면하는 위치에 개구한 기판 반입/반출구 (37) 를 갖고 있다. 주반송 로봇 (8L) 은, 반송 공간 (52L) 을 지나 기판 (W) 및 더미 기판 (DW) 을 반송하고, 기판 반입/반출구 (37) 를 개재하여, 각 처리 유닛 (11L-43L) 에 대해 기판 (W) 및 더미 기판 (DW) 을 반입/반출한다.
기판 재치부 (6L) 는, 인덱서 로봇 (26) 과 주반송 로봇 (8L) 의 사이에 배치되어 있다. 보다 구체적으로는, 기판 재치부 (6L) 는, 평면에서 보아, 반송 공간 (52L) 내의 인덱서 로봇 (26) 측의 단부에 배치되어 있다. 이 실시형태에서는, 제 1 액 공급부 (91) 와 제 3 배기부 (103) 의 사이에 기판 재치부 (6L) 가 위치하고 있다. 기판 재치부 (6L) 는, 상하 방향 (Z) 에 관해서, 중간 격벽 (16) 과 하측 격벽 (15) 의 사이의 높이에 배치되어 있다. 이 실시형태에서는, 기판 재치부 (6L) 는, 중간 격벽 (16) 으로부터 상측 격벽 (17) 까지의 높이 범위의 중간 높이 부근에 배치되어 있다. 기판 재치부 (6L) 의 상하 방향 위치는, 인덱서 로봇 (26) 에 의한 액세스가 가능한 높이 범위 내로서, 또한 주반송 로봇 (8L) 에 의해 액세스 가능한 높이 범위 내일 필요가 있다.
기판 재치부 (6L) 는, 미처리의 기판 (W) 이 재치되는 미처리 기판 재치부 (61) 와 처리 완료된 기판 (W) 이 재치되는 기처리 기판 재치부 (62) 를 포함한다. 미처리 기판 재치부 (61) 및 기처리 기판 재치부 (62) 는, 상하 방향 (Z) 으로 적층되어 있다. 미처리 기판 재치부 (61) 가 기처리 기판 재치부 (62) 상에 배치되는 것이 바람직하다.
도 5 에 확대하여 구성예를 나타내는 바와 같이, 미처리 기판 재치부 (61) 및 기처리 기판 재치부 (62) 는, 제 1 수평 방향 (X) 을 따라 인덱서 로봇 (26) 측 및 주반송 로봇 (8L) 측의 양방에 개방한 상자 (63, 64) 와, 상자 (63, 64) 의 내부에 배치된 기판 유지 선반 (65, 66) 을 포함한다. 기판 유지 선반 (65, 66) 은, 상하 방향 (Z) 으로 배열된 복수 (예를 들어 10 개) 의 기판 지지 부재 (67, 68) 를 갖는다. 각 기판 지지 부재 (67, 68) 는, 1 장의 기판 (W) 의 하면 주연부를 하방으로부터 지지하여, 당해 기판 (W) 을 수평 자세로 유지하도록 구성되어 있다. 그럼으로써, 미처리 기판 재치부 (61) 및 기처리 기판 재치부 (62) 는, 각각, 그들의 기판 유지 선반 (65, 66) 에, 복수 장 (예를 들어 10 장) 의 기판 (W) 을 수평 자세로 상하 방향 (Z) 으로 간격을 두고 적층한 상태로 유지할 수 있다.
도 2 에 나타나 있는 바와 같이, 인덱서 블록 (2) 의 후격벽 (2a) 및 처리 블록 (3) 의 전격벽 (3a), 즉, 그들의 인접하는 격벽을 관통하도록, 기판 재치부 (6L) 에 대응하는 창 (4L) 이 형성되어 있다. 인덱서 로봇 (26) 은, 이 창 (4L) 을 개재하여, 기판 재치부 (6L) 에 액세스하여, 기판 재치부 (6L) 에 대해 기판 (W) 의 반입/반출을 실시할 수 있다.
더미 기판 수용부 (7L) 는, 기판 재치부 (6L) 와는 상이한 높이로 형성되어 있고, 이 실시형태에서는 반송 공간 (52L) 내에 있어서, 기판 재치부 (6L) 의 하방에 배치되어 있다. 더미 기판 수용부 (7L) 는, 평면에서 보아, 기판 재치부 (6L) 와 중첩되도록 형성되어 있다. 보다 구체적으로는, 기판 재치부 (6L) 에 기판 (W) 이 유지되고, 더미 기판 수용부 (7L) 에 더미 기판 (DW) 이 유지되어 있을 때, 평면에서 보아, 기판 (W) 과 더미 기판 (DW) 이 중첩되도록, 더미 기판 수용부 (7L) 가 배치되어 있다. 기판 (W) 과 더미 기판 (DW) 의 평면에서 볼 때의 중첩은, 부분적인 중첩되어도 되고, 전체적인 중첩, 즉, 더미 기판 (DW) 이 기판 (W) 의 거의 전체에 겹쳐져 있어도 된다.
더미 기판 수용부 (7L) 는, 하측 격벽 (15) 과 중간 격벽 (16) 의 사이에 배치되어 있고, 주반송 로봇 (8L) 이 액세스 가능한 높이 범위 내로 배치되어 있다. 더미 기판 수용부 (7L) 의 전방, 즉, 인덱서 블록 (2) 측에는, 인덱서 블록 (2) 의 후격벽 (2a) 및 처리 블록 (3) 의 전격벽 (3a), 즉, 그들의 인접하는 격벽이 위치하고 있다. 이들 격벽에는, 더미 기판 수용부 (7L) 에 대응하는 창은 형성되어 있지 않다. 따라서, 이 실시형태에서는, 인덱서 로봇 (26) 은, 더미 기판 수용부 (7L) 에 대해 액세스할 수 없다.
도 6 에 확대하여 구성예를 나타내는 바와 같이, 더미 기판 수용부 (7L) 는, 더미 기판 유지 선반 (71) 을 구비하고 있다. 더미 기판 유지 선반 (71) 의 구성은, 기판 재치부 (6L) 의 기판 유지 선반 (65, 66) 의 구성과 실질적으로 동일해도 된다. 단, 더미 기판 유지 선반 (71) 이 유지 가능한 더미 기판 (DW) 의 장수는, 기판 유지 선반 (65, 66) 이 유지 가능한 기판 장수와 동등할 필요는 없다. 구체적으로는, 더미 기판 유지 선반 (71) 은, 상하 방향으로 배열된 복수 (예를 들어 12 개) 의 더미 기판 지지 부재 (72) 를 갖는다. 각 더미 기판 지지 부재 (72) 는, 1 장의 더미 기판 (DW) 의 하면 주연부를 하방으로부터 지지하고, 당해 더미 기판 (DW) 을 수평 자세로 유지하도록 구성되어 있다. 더미 기판 수용부 (7L) 는, 더미 기판 유지 선반 (71) 에, 복수 장 (예를 들어 12 장) 의 더미 기판 (DW) 을 수평 자세로 상하 방향 (Z) 으로 간격을 두고 적층한 상태로 유지할 수 있다. 즉, 더미 기판 수용부 (7L) 는, 각 1 장의 더미 기판 (DW) 을 수평 자세로 수용하도록 상하 방향으로 적층된 복수단 (이 실시형태에서는, 제 1 처리 블록층 (BL) 에 구비된 처리 유닛의 수와 같은 수) 의 슬롯 (이하「더미 기판 슬롯 (DL1-DL12)」이라고 한다.) 을 갖고 있다. 각 더미 기판 슬롯 (DL1-DL12) 에 있어서의 더미 기판 (DW) 의 유무를 검출하기 위한 더미 기판 센서 (도시 생략) 가 구비되어 있어도 된다. 더미 기판 수용부 (7L) 는, 이 실시형태에서는, 기판 재치부 (6L) 와는 달리, 수용하고 있는 더미 기판 (DW) 을 둘러싸는 상자를 구비하고 있지 않다. 물론, 이와 같은 상자가 구비되어도 상관 없다.
도 2 에 나타나 있는 바와 같이, 주반송 로봇 (8L) 은, 반송 공간 (52L) 내에 배치되어 있다. 주반송 로봇 (8L) 은, 1 장의 기판을 수평 자세로 유지하는 핸드 (81) 와, 핸드 (81) 를 구동하는 핸드 구동 기구 (82) 를 포함한다. 복수개 (예를 들어 2 개) 의 핸드 (81) 가 구비되어 있어도 된다. 핸드 구동 기구 (82) 는, 핸드 (81) 를 수평 방향 (X, Y) 및 상하 방향 (Z) 으로 이동하고, 또한 연직 회전축선 주위로 핸드 (81) 를 선회시킬 수 있다. 핸드 구동 기구 (82) 는, 2 개의 지주 (83) 와, 수직 이동부 (84) 와, 수평 이동부 (85) 와, 회전부 (86) 와, 진퇴부 (87) 를 포함한다. 진퇴부 (87) 에 핸드 (81) 가 결합되어 있다. 복수개의 핸드 (81) 가 형성되는 경우에는, 그것들에 대응하는 복수의 진퇴부 (87) 가 형성되는 것이 바람직하다.
2 개의 지주 (83) 는, 제 1 수평 방향 (X) 을 따라 간격을 두고 배치되어, 반송 공간 (52L) 의 측벽에 각각 고정되어 있다. 2 개의 지주 (83) 는, 상하 방향 (Z) 을 따라 연장되어 있고, 수직 이동부 (84) 의 수직 이동을 가이드하는 레일로서의 기능을 갖고 있다. 수직 이동부 (84) 는, 2 개의 지주 (83) 에 걸쳐 제 1 수평 방향 (X) 으로 연장되고, 2 개의 지주 (83) 에 양단부가 결합된 레일의 형태를 갖고 있다. 수직 이동부 (84) 는, 2 개의 지주 (83) 에 안내되면서, 지주 (83) 에 대해 상하 방향으로 이동하도록 구성되어 있다. 수평 이동부 (85) 는, 수직 이동부 (84) 상에 지지되고, 수직 이동부 (84) 에 의해 안내되면서, 수직 이동부 (84) 에 대해 제 1 수평 방향 (X) 으로 이동하도록 구성되어 있다. 수평 이동부 (85) 에 회전부 (86) 가 지지되어 있다. 회전부 (86) 는, 수평 이동부 (85) 상에서, 연직인 회전축선 주위로 회전하도록 구성되어 있다. 회전부 (86) 에 진퇴부 (87) 가 결합되어 있다. 진퇴부 (87) 는, 회전축선에 대해 수평 방향으로 진퇴하고, 그럼으로써, 핸드 (81) 를 수평 방향으로 진퇴시킨다.
이와 같은 구성에 의해, 주반송 로봇 (8L) 은, 기판 재치부 (6L) 에 핸드 (81) 를 액세스시켜 기판 재치부 (6L) 와의 사이에서 기판 (W) 의 수도를 실시할 수 있다. 주반송 로봇 (8L) 은, 나아가, 제 1 처리 블록층 (BL) 내의 임의의 처리 유닛 (11L-43L) 에 핸드 (81) 을 액세스시켜, 당해 처리 유닛 (11L-43L) 과의 사이에서 기판 (W) 또는 더미 기판 (DW) 의 수도를 실시할 수 있다. 또, 주반송 로봇 (8L) 은, 더미 기판 수용부 (7L) 에 핸드 (81) 를 액세스시켜, 더미 기판 수용부 (7L) 와의 사이에서 더미 기판 (DW) 의 수도를 실시할 수 있다. 그리고, 주반송 로봇 (8L) 은, 핸드 (81) 에 유지한 기판 (W, DW) 을, 제 1 처리 블록층 (BL) 내에 있어서, 기판 재치부 (6L), 처리 유닛 (11L-43L) 및 더미 기판 수용부 (7L) 의 사이에서 반송할 수 있다.
제 2 처리 블록층 (BU) 의 구성은, 제 1 처리 블록층 (BL) 의 구성과 거의 동일하므로, 이하에서는, 가능한 한 중복되는 설명을 생략하고, 상이한 구성에 대해 주로 설명한다. 제 1 처리 블록층 (BL) 의 경우와 동일 명칭을 붙이는 요소의 구성은, 실질적으로 동일하다.
제 2 처리 블록층 (BU) 은, 복수 (이 실시형태에서는, 12 개) 의 처리 유닛 (11U-13U, 21U-23U, 31U-33U, 41U-43U) (이하, 제 2 처리 블록층 (BU) 의 처리 유닛을 총칭할 때에는「처리 유닛 (11U-43U)」이라고 한다.) 을 포함하고, 이들은 제 2 처리 유닛군을 구성하고 있다. 제 2 처리 블록층 (BU) 은, 추가로, 기판 재치부 (6U) 와, 더미 기판 수용부 (7U) 와, 주반송 로봇 (8U) 을 포함한다. 제 1 ∼ 제 4 액 공급부 (91-94), 제 1 ∼ 제 4 배기부 (101-104) 는, 제 1 처리 블록층 (BL) 및 제 2 처리 블록층 (BU) 에 걸쳐, 상하 방향 (Z) 으로 연장되어 배치되어 있다.
제 2 처리 블록층 (BU) 내에 있어서의 복수의 처리 유닛 (11U-43U) 의 배치는, 제 1 처리 블록층 (BL) 내의 복수의 처리 유닛 (11L-43L) 의 배치와 실질적으로 동등하다. 제 2 처리 블록층 (BU) 은, 제 1 ∼ 제 4 처리 유닛 스택 (S1U-S4U) 을 구비하고, 이들은 각각 상하 방향 (Z) 으로 적층된 복수단 (이 실시형태에서는 3 단) 처리 유닛 (11U-13U, 21U-23U, 31U-33U, 41U-43U) 을 구비하고 있다.
평면에서 보아, 제 2 처리 블록층 (BU) 의 제 1 ∼ 제 4 처리 유닛 스택 (S1U-S4U) 은, 제 1 처리 블록층 (BL) 의 제 1 ∼ 제 4 처리 유닛 스택 (S1L-S4L) 과 각각 겹치도록 배치되어 있다. 그리고, 제 1 및 제 2 처리 블록층 (BL, BU) 의 각각의 제 1 처리 유닛 스택 (S1L, S1U) 이 상하 방향 (Z) 으로 적층되고, 복수단 (이 실시형태에서는 6 단) 의 처리 유닛 (11L, 12L, 13L, 11U, 12U, 13U) 이 적층된 제 1 타워 (T1) 가 형성되어 있다. 마찬가지로, 제 1 및 제 2 처리 블록층 (BL, BU) 의 각각의 제 2 처리 유닛 스택 (S2L, S2U) 이 상하 방향 (Z) 으로 적층되고, 복수단 (이 실시형태에서는 6 단) 의 처리 유닛 (21L, 22L, 23L, 21U, 22U, 23U) 이 적층된 제 2 타워 (T2) 가 형성되어 있다. 또한, 제 1 및 제 2 처리 블록층 (BL, BU) 의 각각의 제 3 처리 유닛 스택 (S3L, S3U) 이 상하 방향 (Z) 으로 적층되고, 복수단 (이 실시형태에서는 6 단) 의 처리 유닛 (31L, 32L, 33L, 31U, 32U, 33U) 이 적층된 제 3 타워 (T3) 가 형성되어 있다. 또한 마찬가지로, 제 1 및 제 2 처리 블록층 (BL, BU) 의 각각의 제 4 처리 유닛 스택 (S4L, S4U) 이 상하 방향 (Z) 으로 적층되고, 복수단 (이 실시형태에서는 6 단) 의 처리 유닛 (41L, 42L, 43L, 41U, 42U, 43U) 이 적층된 제 4 타워 (T4) 가 형성되어 있다.
제 2 처리 블록층 (BU) 내에 구획되어 반송 경로 (51U) 를 제공하는 반송 공간 (52U) 은, 제 1 처리 블록층 (BL) 의 반송 공간 (52L) 과 겹쳐 있다. 제 2 처리 블록층 (BU) 내의 반송 공간 (52U) 은, 중간 격벽 (16) 에 의해 하방으로부터 구획되고, 상측 격벽 (17) 에 의해 상방으로부터 구획되어 있다. 상측 격벽 (17) 은, 제 1 ∼ 제 4 타워 (T1-T4) 의 최상단의 처리 유닛 (13U, 23U, 33U, 43U) 의 상면과 정합하는 높이에 배치되어 있다.
평면에서 볼 때의 기판 재치부 (6U) 의 배치는, 제 1 처리 블록층 (BL) 의 경우와 동일하다. 즉, 기판 재치부 (6U) 는, 인덱서 로봇 (26) 과 주반송 로봇 (8U) 의 사이에 배치되어 있고, 반송 공간 (52U) 내의 인덱서 로봇 (26) 측의 단부에 배치되어 있다. 제 2 처리 블록층 (BU) 의 기판 재치부 (6U) 는, 평면에서 보아, 제 1 처리 블록층 (BL) 의 기판 재치부 (6L) 와 겹치도록 배치되어 있다. 기판 재치부 (6U) 는, 상하 방향 (Z) 에 관해서, 중간 격벽 (16) 과 상측 격벽 (17) 의 사이의 높이에 배치되어 있다. 이 실시형태에서는, 기판 재치부 (6U) 는, 중간 격벽 (16) 으로부터 상측 격벽 (17) 까지의 높이 범위의 중간 높이보다 하방에 배치되어 있다. 보다 구체적으로는, 기판 재치부 (6U) 는, 인덱서 로봇 (26) 에 의해 액세스 가능한 높이 범위 내에서 가장 높은 위치에 배치되어 있다. 기판 재치부 (6U) 의 상하 방향 위치는, 인덱서 로봇 (26) 에 의한 액세스가 가능한 높이 범위 내로서, 또한 주반송 로봇 (8U) 에 의해 액세스 가능한 높이 범위 내일 필요가 있다. 제 1 처리 블록층 (BL) 의 경우와 마찬가지로, 기판 재치부 (6U) 는, 미처리의 기판 (W) 이 재치되는 미처리 기판 재치부 (61) 와, 처리 완료된 기판 (W) 이 재치되는 기처리 기판 재치부 (62) 를 포함한다. 미처리 기판 재치부 (61) 및 기처리 기판 재치부 (62) 의 구성은, 제 1 처리 블록층 (BL) 의 기판 재치부 (6L) 의 경우와 동일하다 (도 5 참조).
인덱서 블록 (2) 의 후격벽 (2a) 및 처리 블록 (3) 의 전격벽 (3a), 즉, 그들의 인접하는 격벽을 관통하도록, 기판 재치부 (6U) 에 대응하는 창 (4U) 이 형성되어 있다. 인덱서 로봇 (26) 은, 이 창 (4U) 을 개재하여, 기판 재치부 (6U) 에 액세스하여, 기판 재치부 (6U) 에 대해 기판 (W) 의 반입/반출을 실시할 수 있다.
더미 기판 수용부 (7U) 는, 기판 재치부 (6U) 와는 상이한 높이에 형성되어 있고, 이 실시형태에서는 반송 공간 (52U) 내에 있어서, 기판 재치부 (6U) 의 상방에 배치되어 있다. 더미 기판 수용부 (7U) 는, 평면에서 보아, 기판 재치부 (6U) 와 중첩되도록 형성되어 있다. 보다 구체적으로는, 기판 재치부 (6U) 에 기판 (W) 이 유지되고, 더미 기판 수용부 (7U) 에 더미 기판 (DW) 이 유지되어 있을 때, 평면에서 보아, 기판 (W) 과 더미 기판 (DW) 이 중첩되도록, 더미 기판 수용부 (7U) 가 배치되어 있다. 기판 (W) 과 더미 기판 (DW) 의 평면에서 볼 때에 있어서의 중첩은, 부분적인 중첩이어도 되고, 전체적인 중첩, 즉 더미 기판 (DW) 이 기판 (W) 의 거의 전체에 겹쳐져 있어도 된다. 더미 기판 수용부 (7U) 는, 상측 격벽 (17) 과 중간 격벽 (16) 의 사이의 높이에 배치되어 있고, 주반송 로봇 (8U) 이 액세스 가능한 높이 범위 내에 배치되어 있다. 더미 기판 수용부 (7U) 의 전방, 즉, 인덱서 블록 (2) 측에는, 인덱서 블록 (2) 의 후격벽 (2a) 및 처리 블록 (3) 의 전격벽 (3a), 즉, 그들의 인접하는 격벽이 배치되어 있다. 이들 격벽 (2a, 3a) 에는, 더미 기판 수용부 (7U) 에 대응하는 창은 형성되어 있지 않다. 따라서, 인덱서 로봇 (26) 은, 더미 기판 수용부 (7U) 에 대해 액세스할 수 없다.
더미 기판 수용부 (7U) 의 구성은, 제 1 처리 블록층 (BL) 의 더미 기판 수용부 (7L) 의 구성과 실질적으로 동일해도 된다 (도 6 참조). 더미 기판 수용부 (7U) 는, 각 1 장의 더미 기판 (DW) 을 수평 자세로 수용하도록 상하 방향으로 적층된 복수단 (이 실시형태에서는, 제 2 처리 블록층 (BU) 에 구비된 처리 유닛의 수와 같은 수) 의 슬롯 (이하「더미 기판 슬롯 (DU1-DU12)」이라고 한다.) 을 갖고 있다. 각 더미 기판 슬롯 (DU1-DU12) 에 있어서의 더미 기판 (DW) 의 유무를 검출하기 위한 더미 기판 센서가 구비되어 있어도 된다.
주반송 로봇 (8U) 은, 반송 공간 (52U) 내에 배치되어 있다. 주반송 로봇 (8U) 은, 1 장의 기판을 수평 자세로 유지하는 핸드 (81) 와, 핸드 (81) 를 구동하는 핸드 구동 기구 (82) 를 포함한다. 핸드 구동 기구 (82) 는, 2 개의 지주 (83) 와, 수직 이동부 (84) 와, 수평 이동부 (85) 와, 회전부 (86) 와, 진퇴부 (87) 를 포함한다. 이들 구성은, 제 1 처리 블록층 (BL) 의 주반송 로봇 (8L) 과 동일하다. 주반송 로봇 (8U) 은, 기판 재치부 (6U), 처리 유닛 (11U-43U) 및 더미 기판 수용부 (7U) 에 액세스 가능하게 구성되어 있다. 주반송 로봇 (8U) 은, 기판 재치부 (6U) 와 처리 유닛 (11U-43U) 의 사이에서 기판 (W) 을 반송하고, 또한 더미 기판 수용부 (7U) 와 처리 유닛 (11U-43U) 의 사이에서 더미 기판 (DW) 을 반송하는 제 2 반송 유닛의 일례이다.
제 1 처리 블록층 (BL) 과 제 2 처리 블록층 (BU) 은, 중간 격벽 (16) 에 의해 구획되어 있고, 이 중간 격벽 (16) 을 넘어 제품 기판 (W) 또는 더미 기판 (DW) 을 반송할 수 없다. 바꾸어 말하면, 제 1 처리 블록층 (BL) 의 주반송 로봇 (8L) 은, 제 2 처리 블록층 (BU) 의 처리 유닛 (11U-43U), 더미 기판 수용부 (7U) 및 기판 재치부 (6U) 의 어느 것에도 액세스할 수 없는 구성으로 되어 있다. 마찬가지로, 제 2 처리 블록층 (BU) 의 주반송 로봇 (8U) 은, 제 1 처리 블록층 (BL) 의 처리 유닛 (11L-43L), 더미 기판 수용부 (7L) 및 기판 재치부 (6L) 의 어느 것에도 액세스할 수 없는 구성으로 되어 있다.
액 공급부 (91-94) 는, 처리 유닛 (11L-43L ; 11U-43U) 에서 사용되는 처리액을 공급하기 위한 배관류를 수용하는 액 배관 스페이스를 구획하고 있다. 각 액 공급부 (91-94) 가 구획하는 액 배관 스페이스는, 제 1 처리 블록층 (BL) 및 제 2 처리 블록층 (BU) 을 상하 방향 (Z) 으로 관통하고 있다. 각 액 공급부 (91-94) 에는, 평면에서 보아 동일한 위치에서 상하 방향 (Z) 으로 6 단으로 적층되어 타워 (T1-T4) 를 형성하는 6 개의 처리 유닛 (11L, 12L, 13L, 11U, 12U, 13U ; 21L, 22L, 23L, 21U, 22U, 23U ; 31L, 32L, 33L, 31U, 32U, 33U ; 41L, 42L, 43L, 41U, 42U, 43U) 에 처리액을 공급하는 배관 (56) 이 수용되어 있다. 액 공급부 (91-94) 에는, 추가로, 배관 도중에 형성된 밸브류, 유량계, 처리액을 일시 저류하기 위한 탱크, 송액을 위한 펌프 등의 처리액 관련 기기가 함께 수용되어 있어도 된다.
배기부 (101-104) 는, 처리 유닛 내부의 분위기를 배기하기 위한 배관류를 수용하는 배기 배관 스페이스를 구획하고 있다. 각 배기부 (101-104) 가 구획하는 배기 배관 스페이스는, 제 1 처리 블록층 (BL) 및 제 2 처리 블록층 (BU) 을 상하 방향 (Z) 으로 관통하고 있다. 각 배기부 (101-104) 에는, 평면에서 보아, 동일한 위치에서 상하 방향 (Z) 으로 6 단으로 적층되어 타워 (T1-T4) 를 형성하는 6 개의 처리 유닛 (11L, 12L, 13L, 11U, 12U, 13U ; 21L, 22L, 23L, 21U, 22U, 23U ; 31L, 32L, 33L, 31U, 32U, 33U ; 41L, 42L, 43L, 41U, 42U, 43) 으로부터의 배기를 기판 처리 장치 (1) 밖의 배기 설비에 유도하기 위한 배기 배관 (76) 이 수용되어 있다. 배기부 (101-104) 는, 추가로, 처리 유닛 내에서의 처리의 종류 (보다 구체적으로는 처리액의 종류) 에 따라, 배기 배관 (76) 을 전환하는 전환 기구 (77) 가 함께 수용되어 있어도 된다. 도시는 생략하지만, 배기부 (101) 는, 전환 기구 (77) 를 구동하는 액추에이터류를 포함한다.
캐리어 반송 기구 (300) (도 1 참조) 는, 미처리의 제품 기판 (W) 을 수용한 캐리어 (C) 를 캐리어 유지부 (25) 에 반입하고, 처리 완료된 제품 기판 (W) 을 수용한 캐리어 (C) 를 캐리어 유지부 (25) 로부터 반출하도록 동작한다. 또, 캐리어 반송 기구 (300) 는, 미사용 더미 기판 (DW) 을 수용한 공급용 더미 캐리어 (DC) 를 캐리어 유지부 (25) 에 반입하고, 미사용 더미 기판 (DW) 이 당해 공급용 더미 캐리어 (DC) 로부터 불출된 후에, 당해 더미 캐리어 (DC) 를 캐리어 유지부 (25) 로부터 반출하도록 동작한다. 또한, 캐리어 반송 기구 (300) 는, 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 을 회수하기 위한 회수용 더미 캐리어 (DC) 를 캐리어 유지부 (25) 에 반입하고, 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 이 당해 회수용 더미 캐리어 (DC) 에 수용된 후에, 당해 회수용 더미 캐리어 (DC) 를 캐리어 유지부 (25) 로부터 반출하도록 동작한다. 더미 캐리어 (DC) 는, 제품 기판 (W) 을 위한 캐리어 (C) 와 실질적으로 동일한 구성을 갖고 있어도 된다.
캐리어 반송 기구 (300) 는, 전형적으로는, 천장 주행식 무인 반송차 (OHT : Overhead Hoist Transport) 를 포함한다. 캐리어 반송 기구 (300) 는, 캐리어 거치소 (350) 와 캐리어 유지부 (25) (로드 포트) 의 사이에서 캐리어 (C) 를 반송한다. 또, 캐리어 반송 기구 (300) 는, 더미 캐리어 거치소 (351) 와 캐리어 유지부 (25) 의 사이에서 더미 캐리어 (DC) 를 반송한다.
캐리어 반송 기구 (300) 는, 호스트 컴퓨터 (150) 에 의해 제어되고, 캐리어 (C) 및 더미 캐리어 (DC) 를 반송한다. 호스트 컴퓨터 (150) 는, 통신선 (170) 을 개재하여 기판 처리 장치 (1) 의 컨트롤러 (110) 와 통신 가능하게 접속되어 있다.
컨트롤러 (110) 는, 인덱서 로봇 (26) 및 주반송 로봇 (8L, 8U) 을 제어하여 기판 (W) 및 더미 기판 (DW) 의 반송을 실시하게 한다. 또, 컨트롤러 (110) 는, 처리 유닛 (11L-43L, 11U-43U) 의 각 부를 제어하여, 처리 유닛 (11L-43L, 11U-43U) 에 있어서의 기판 처리 및 더미 기판 (DW) 을 사용한 더미 처리를 실행시킨다.
도 7 은, 처리 유닛 (11L-43L ; 11U-43U) (이하, 총칭할 때에는「처리 유닛 (11L-43U)」이라고 한다.) 의 구성예를 설명하기 위한 도해적인 단면도이다. 처리 유닛 (11L-43U) 은, 처리실 (35) (챔버) 을 형성하는 유닛 격벽 (36) 과, 유닛 격벽 (36) 내에 배치된 처리 컵 (39) 과, 처리 컵 (39) 내에 배치된 스핀 척 (40) 과, 스핀 척 (40) 에 유지된 기판 (W, DW) 에 처리액을 공급하는 노즐 (55) 을 포함한다.
유닛 격벽 (36) 은, 예를 들어 평면에서 보아 거의 직사각형을 이루는 측벽 (36a) 과, 상방을 구획하는 천장벽 (36b) 과, 하방을 구획하는 저벽 (36c) 을 포함한다. 측벽 (36a) 의 일면은, 반송 공간 (52U) 에 면하여, 제 1 수평 방향 (X) 및 상하 방향 (Z) 을 따라 연장되어 있고, 기판 (W, DW) 을 반입/반출하기 위한 기판 반입/반출구 (37) 를 갖고 있다. 기판 반입/반출구 (37) 는, 제 1 수평 방향 (X) 으로 연장된 슬롯 형상을 갖고 있어도 된다. 기판 반입/반출구 (37) 를 개폐하기 위한 셔터 (38) 가 배치되어 있다. 기판 (W, DW) 은, 유닛 격벽 (36) 에 형성된 기판 반입/반출구 (37) 로부터 반입되어 스핀 척 (40) 에 건네진다.
스핀 척 (40) 은, 1 장의 기판 (W, DW) 을 수평 자세로 유지하는 스핀 베이스 (45) 와, 스핀 베이스 (45) 를 연직인 회전축선 주위로 회전하는 스핀 모터 (46) 를 포함한다. 스핀 척 (40) 은, 스핀 베이스 (45) 의 상면에 기판 (W, DW) 의 하면을 흡착하여 유지하는 버큠형이어도 된다. 또, 스핀 베이스 (45) 는, 기판 (W, DW) 에 대응하는 원형의 평면 형상을 갖고, 그 주연부에 둘레 방향으로 간격을 두고 형성된 3 개 이상의 유지 핀을 구비하고, 그들 유지 핀에 의해 기판 (W, DW) 을 파지하는 메카니컬형의 척을 구성하고 있어도 된다.
처리 유닛 (11L-43U) 은, 스핀 척 (40) 에 유지된 기판 (W, DW) 에 처리액을 공급하는 1 개 이상의 노즐 (55) 을 포함한다. 이 실시형태에서는, 복수의 노즐 (55) 이 구비되어 있다. 이들 복수의 노즐 (55) 은, 복수 종류의 약액을 각각 토출하기 위해서 사용되는 복수의 약액 노즐을 포함하고 있어도 된다.
스핀 척 (40) 에 의해 유지되어 회전되고 있는 기판 (W, DW) 의 표면에 노즐 (55) 로부터 처리액이 공급된다. 노즐 (55) 은, 액 공급부 (91-94) 를 지나 배치되는 처리액 배관 (56) 에 결합되어 있다. 처리액 배관 (56) 은, 액 공급부 (91-94) 를 지나 둘러쳐져, 처리액 공급원 (54) 에 접속된다. 처리액 배관 (56) 의 도중에는, 그 유로를 개폐하는 밸브 (59) 가 개재 장착되어 있다. 또, 처리액 배관 (56) 의 도중에는, 노즐 (55) 로 향해 처리액을 보내기 위한 펌프 (60) 가 개재 장착되어 있다. 밸브 (59) 및 펌프 (60) 는, 액 공급부 (91-94) 에 배치되어 있다. 처리액 공급원 (54) 은, 에칭액 등의 약액이나, 순수 (탈이온수) 등의 린스액을 공급한다. 처리액의 종류에 따라, 복수의 처리액 배관 (56) 및 대응하는 복수의 노즐 (55) 이 형성되어 있어도 된다. 복수의 노즐 (55) 의 일부 또는 전부는, 기판 (W, DW) 의 상방에서 기판 (W, DW) 의 상면을 따라 이동하는 이동 노즐의 형태를 갖고 있어도 된다. 이동 노즐은, 스핀 척 (40) 의 측방에 배치된 요동축 (58) 에 의해, 수평한 노즐 아암 (57) 의 기단부를 지지하고, 요동축 (58) 을 연직축선 주위로 회동시키는 구조를 갖고 있어도 된다 (도 1 참조). 복수의 노즐 (55) 의 일부 또는 전부는, 스핀 척 (40) 에 대한 상대 위치가 불변인 고정 노즐이어도 된다.
유닛 격벽 (36) 내의 분위기는, 유닛 격벽 (36) 을 관통하는 배기 접속관 (75) 을 개재하여 배기된다. 배기 접속관 (75) 은, 배기부 (101-104) 에 배치된 배기 배관 (76) 에 접속되어 있다. 배기 접속관 (75) 은, 전환 기구 (77) 를 개재하여 복수의 배기 배관 (76) 에 접속되어 있어도 된다. 전환 기구 (77) 는, 예를 들어, 복수의 노즐 (55) 로부터 토출되는 처리액의 종류 (예를 들어 약액의 종류) 에 따라, 배기 접속관 (75) 으로부터의 배기를, 당해 처리액의 종류에 미리 대응지어진 배기 배관 (76) 에 유도하도록 동작한다.
도 8 은, 기판 처리 장치 (1) 의 제어에 관한 구성을 설명하기 위한 블록도이다. 기판 처리 장치 (1) 는, 컨트롤러 (110) 를 구비하고 있다. 컨트롤러 (110) 는, 프로세서 (111) (CPU) 및 메모리 (112) (기억부) 를 포함하는 컴퓨터여도 된다. 프로세서 (111) 는, 메모리 (112) 에 격납된 프로그램 (120) 을 실행한다. 그럼으로써, 컨트롤러 (110) 는, 인덱서 로봇 (26) 및 주반송 로봇 (8L, 8U) 에 의해 기판 (W, DW) 을 반송하는 기판 반송 동작, 처리 유닛 (11L-43U) 에 의해 기판 (W) 을 처리하는 기판 처리 동작, 처리 유닛 (11L-43U) 에 있어서 더미 기판 (DW) 을 사용한 더미 처리를 실행하는 더미 처리 동작을 실현한다. 이들 동작을 위해서, 컨트롤러 (110) 는, 기판 처리 장치 (1) 에 구비된 여러 가지 제어 대상을 제어한다. 제어 대상은, 인덱서 로봇 (26), 주반송 로봇 (8L, 8U), 처리 유닛 (11L-43U) 등에 구비된 구동부를 포함한다. 또한, 컨트롤러 (110) 의 제어 대상은, 액 공급부 (91-94) 에 배치된 밸브 (59) 및 펌프 (60) 를 포함하고, 배기부 (101-104) 에 배치된 액추에이터류를 포함한다.
메모리 (112) 에는, 각종 데이터 (130) 가 격납되어 있다. 데이터 (130) 는, 제품용의 기판 (W) 을 처리하기 위한 제품 레시피 (131) 와, 더미 기판 (DW) 을 사용하는 더미 처리를 위한 더미 처리 레시피 (132) 를 포함한다. 제품 레시피 (131) 는, 기판 (W) 의 반송 동작 및 기판 (W) 에 대한 처리 내용을 규정하는 데이터이다. 더미 처리 레시피 (132) 는, 더미 기판 (DW) 의 반송 동작 및 더미 기판 (DW) 을 사용하는 처리 내용을 규정하는 데이터이다. 컨트롤러 (110) 는, 기판 (W) 을 처리할 때에는, 제품 레시피 (131) 에 따라서 제어 대상을 제어하고, 더미 처리를 실행할 때에는, 더미 처리 레시피 (132) 에 따라서 제어 대상을 제어한다.
제품 레시피 (131) 는, 컨트롤러 (110) 에 통신 가능하게 접속된 호스트 컴퓨터 (150) 로부터의 데이터 통신에 의해 부여되어 메모리 (112) 에 격납되어도 된다. 더미 처리 레시피 (132) 도 마찬가지로, 호스트 컴퓨터 (150) 로부터 통신에 의해 부여되어 메모리 (112) 에 격납되어도 된다. 또, 이들 레시피 (131, 132) 는, 컨트롤러 (110) 에 접속된 사용자 인터페이스 (140) 를 사용하여, 조작자가 입력 또는 편집해도 된다. 더미 처리 레시피 (132) 는, 제품 레시피 (131) 의 내용에 따라, 컨트롤러 (110) 가 자동 생성해도 된다. 제품 레시피 (131) 및 더미 처리 레시피 (132) 중 어느 것에 대해서도, 1 종류일 필요는 없고, 복수의 제품 레시피 (131) 또는 복수의 더미 처리 레시피 (132) 가 메모리 (112) 에 격납되어도 된다.
예를 들어, 더미 처리 레시피 (132) 는, 제품용의 기판 (W) 과 동일한 처리를 더미 기판 (DW) 에 대해 실시하는 전처리를 규정하는 전처리 레시피를 포함한다. 전처리 레시피는, 제품 레시피 (131) 에 있어서, 처리 유닛 (11L-43U) 에 반입하는 기판을 제품용의 기판 (W) 으로부터 더미 기판 (DW) 으로 치환한 레시피여도 된다. 이와 같은 전처리 레시피는, 컨트롤러 (110) 가, 제품 레시피 (131) 에 기초하여 자동 생성해도 된다. 예를 들어, 기판 (W) 에 대해 고온의 처리액을 공급하는 처리를 실시하는 경우, 전처리를 실행함으로써, 고온의 처리액을 노즐 (55) 까지 유도할 수 있고, 또한 고온의 처리액에 의해 배관 (56) 및 처리 유닛 (11L-43U) 의 내부를 덥힐 수 있다. 그럼으로써, 제품용의 기판 (W) 에 대해, 적절히 온도 관리된 환경에서, 적절한 온도의 처리액을 공급할 수 있다. 이와 같이, 전처리는, 제품용의 기판 (W) 을 적절히 처리하기 위해서 처리 유닛 (11L-43U) 의 처리 환경을 갖추기 위한 준비 처리의 일례이다.
또, 더미 처리 레시피 (132) 는, 더미 기판 (DW) 을 스핀 척 (40) 에 유지 시켜 처리 유닛 (11L-43U) 의 내부를 세정하는 유닛 세정 레시피를 포함한다. 유닛 세정 레시피에 따라서 실시되는 유닛 세정 처리는, 스핀 척 (40) 에 더미 기판 (DW) 을 유지시켜 회전하고, 그 상태에서, 세정액 (약액 또는 순수) 을 더미 기판 (DW) 에 공급한다. 그럼으로써, 더미 기판 (DW) 상에서 원심력을 받은 세정액이 스핀 척 (40) 의 주위로 비산하여, 처리 컵 (39) 의 내부를 세정한다. 필요에 따라, 처리 컵 (39) 을 상하동시킴으로써, 처리 컵 (39) 의 내벽면에 대한 세정액의 입사 위치가 상하로 변화하므로, 처리 컵 (39) 의 내벽면을 효율적으로 세정할 수 있다. 또, 처리 컵 (39) 의 상하동 또는 스핀 척 (40) 의 상하동에 의해, 더미 기판 (DW) 을 처리 컵 (39) 의 상단보다 상방에 배치하고, 처리 컵 (39) 밖의 처리실 (35) 의 내부에 세정액을 공급하여, 처리실 (35) 의 내부를 세정할 수도 있다.
메모리 (112) 에 격납되는 데이터 (130) 는, 추가로, 복수의 처리 유닛 (11L-43U) 과 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 의 더미 기판 슬롯 (DL1-DL12, DU1-DU12) 을 대응시키는 더미 기판 테이블 (133) 을 포함한다. 복수의 더미 기판 슬롯 (DL1-DL12, DU1-DU12) 에는 각각 일의의 더미 기판 슬롯 번호 (더미 기판 슬롯 식별 정보) 가 부여되어 있다. 그리고, 각 처리 유닛 (11L-43U) 에 대해, 하나의 더미 기판 슬롯 번호가 대응지어져 있다. 더미 기판 테이블 (133) 은, 제 1 처리 블록층 (BL) 의 복수 (이 실시형태에서는 12 개) 의 처리 유닛 (11L-43U) 과, 당해 제 1 처리 블록층 (BL) 의 더미 기판 수용부 (7L) 의 복수 (이 실시형태에서는 12 개) 의 더미 기판 슬롯 번호를, 1 대 1 로 대응시킨다. 또, 더미 기판 테이블 (133) 은, 제 2 처리 블록층 (BU) 의 복수 (이 실시형태에서는 12 개) 의 처리 유닛 (11L-43U) 과, 당해 제 2 처리 블록층 (BU) 의 더미 기판 수용부 (7U) 의 복수 (이 실시형태에서는 12 개) 의 더미 기판 슬롯 번호를 1 대 1 로 대응시킨다. 따라서, 더미 기판 테이블 (133) 은, 기판 처리 장치 (1) 가 구비하는 복수 (이 실시형태에서는 24 개) 의 처리 유닛 (11L-43U) 과, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 의 복수 (이 실시형태에서는 24 개) 의 슬롯 번호를 1 대 1 로 대응시키고 있다.
메모리 (112) 에 격납되는 데이터 (130) 는, 추가로, 더미 기판 이력 데이터 (134) 를 포함한다. 더미 기판 이력 데이터 (134) 는, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 의 복수의 더미 기판 슬롯 번호에 각각 대응하는 더미 기판 슬롯 (DL1-DL12, DU1-DU12) 에 수용되는 더미 기판 (DW) 의 사용 이력을 나타내는 데이터 (사용 이력 정보) 를 포함한다. 사용 이력은, 더미 기판 (DW) 이 처리 유닛 (11L-43U) 에서의 처리에 사용된 사용 횟수 (누적 횟수), 더미 기판 (DW) 이 처리 유닛 (11L-43U) 에서의 처리에 사용된 사용 시간 (누적 시간), 더미 기판 (DW) 이 처리 유닛 (11L-43U) 에서 받은 처리 내용의 이력의 적어도 하나를 포함하는 것이 바람직하다.
메모리 (112) 에 격납되는 데이터 (130) 는, 추가로, 각 처리 유닛 (11L-43U) 의 유닛 사용 이력을 나타내는 유닛 사용 이력 데이터 (135) 를 포함한다. 유닛 사용 이력 데이터 (135) 는, 각 처리 유닛 (11L-43U) 의 기판 처리 장수, 및 각 처리 유닛 (11L-43U) 이 기판 처리를 위해서 사용되어 있지 않은 연속 시간을 나타내는 불사용 계속 시간을 포함하는 것이 바람직하다. 처리 유닛 (11L-43U) 의 내부의 환경은, 기판 처리를 반복하는 것에 의해 서서히 악화되므로, 메인터넌스를 필요로 하지 않고 연속하여 처리할 수 있는 기판 장수에는 적절한 상한을 설정하는 것이 바람직하다. 또, 처리 유닛 (11L-43U) 의 내부의 환경은, 기판 (W) 을 처리하고 있지 않는 시간이 길어지면, 서서히 열화된다. 구체적으로는, 처리 컵 (39) 의 내벽 등에 부착된 약액이 건조되어 결정화되고, 파티클의 원인이 되는 경우가 있다. 또, 실온보다 높은 온도의 고온의 처리액이 사용되는 경우에는, 불사용 상태의 계속으로 인해, 처리액의 유통이 장시간에 걸쳐서 차단되면, 배관 (56) 또는 노즐 (55) 의 온도가 저하된다. 그 때문에, 다음으로 처리액을 토출할 경우에, 처리액의 열이 배관 (56) 또는 노즐 (55) 로 빼앗겨 토출 직후의 처리액의 온도가 적절하지 않게 되는 경우가 있다. 따라서, 불사용 계속 시간에 관해서도, 적절한 상한을 설정하는 것이 바람직하다. 유닛 사용 이력 데이터 (135) (기판 처리 장수, 불사용 계속 시간 등) 를, 대응하는 설정치와 비교함으로써, 처리 유닛 (11L-43U) 에 대한 메인터넌스의 필요 여부를 판단할 수 있다.
도 9 는, 더미 처리에 관련되는 컨트롤러 (110) 의 동작을 설명하기 위한 플로 차트이다. 컨트롤러 (110) 는, 복수의 처리 유닛 (11L-43U) 의 각각에 관해서, 도 9 의 처리를 병행하거나, 또는 순차적으로 실행한다.
컨트롤러 (110) 는, 대상의 처리 유닛 (11L-43U) 에 있어서, 제품용의 기판 (W) 의 처리가 실행되고 있는지 여부를 판단한다 (스텝 (A1)). 처리 유닛 (11L-43U) 에 있어서, 기판 (W) 의 처리가 종료되고, 그 처리 완료된 기판 (W) 이 처리 유닛 (11L-43U) 으로부터 반출되면 (스텝 (A1) : 아니오), 컨트롤러 (110) 는, 당해 처리 유닛 (11L-43U) 의 유닛 사용 이력 데이터 (135) 를 참조하여, 기판 처리 장수가 설정치에 이르렀는지를 판단한다 (스텝 (A2)). 기판 처리 장수가 설정치 이상일 때에는 (스텝 (A2) : 예), 컨트롤러 (110) 는, 유닛 세정 실행 조건 (메인터넌스 실행 조건의 일례) 이 충족된 것으로 판단하여, 처리 유닛 (11L-43U) 의 내부를 세정하기 위해 유닛 세정 레시피에 따라서 유닛 세정 처리 (메인터넌스 처리의 일례) 를 실행한다 (스텝 (A3)). 또, 컨트롤러 (110) 는, 당해 처리 유닛의 기판 처리 장수를 초기 값 (예를 들어 0) 으로 리셋하여, 유닛 사용 이력 데이터 (135) 를 갱신한다 (스텝 (A4)).
유닛 세정 처리는, 더미 처리의 일례이며, 더미 기판 반입 스텝 (A31) 과, 더미 처리 스텝 (A32) 과, 더미 기판 수용 스텝 (A33) 을 포함한다. 더미 기판 반입 스텝 (A31) 은, 주반송 로봇 (8L, 8U) 이, 대응하는 더미 기판 슬롯 (DL1-DL12, DU1-DU12) 으로부터 더미 기판 (DW) 을 반출하고, 처리 유닛 (11L-43U) 에 반송하여 당해 처리 유닛에 반입하는 스텝이다. 더미 처리 스텝 (A32) 은, 당해 처리 유닛에 있어서, 더미 기판 (DW) 을 사용하는 처리를 실행하는 스텝이고, 여기서는, 당해 처리 유닛의 내부의 세정 처리이다. 더미 기판 수용 스텝 (A33) 은, 처리 유닛 내부의 세정의 후에, 당해 처리 유닛으로부터 더미 기판 (DW) 을 반출하고, 원래의 더미 기판 슬롯 (DL1-DL12, DU1-DU12) 까지 반송하여 수용하는 스텝이다. 컨트롤러 (110) 는, 더미 기판 테이블 (133) 을 참조하여, 당해 처리 유닛 (11L-43U) 에 대응하는 더미 기판 슬롯 (DL1-DL12, DU1-DU12) 을 특정하여, 더미 기판 반입 스텝 (A31) 및 더미 기판 수용 스텝 (A33) 을 실행한다.
유닛 세정 처리를 마치면, 컨트롤러 (110) 는, 처리 유닛 (11L-43U) 의 처리 환경 (처리 조건) 을 갖추기 위한 전처리가 필요한지 여부를 판단한다 (스텝 (A5, A6)). 구체적으로는, 컨트롤러 (110) 는, 호스트 컴퓨터 (150) 로부터 제품 기판의 처리 요구 (처리 예약) 가 부여되었는지 여부를 조사한다 (스텝 (A5)). 제품 기판의 처리 요구가 부여되면 (스텝 (A5) : 예), 컨트롤러 (110) 는, 당해 처리 유닛 (11L-43U) 의 불사용 계속 시간이 설정치에 이르렀는지 여부를 판단한다 (스텝 (A6)). 불사용 계속 시간이 설정치 이상인 경우 (스텝 (A6) : 예), 즉, 처리 유닛 (11L-43U) 이 소정의 장시간을 초과하여 제품용의 기판 (W) 을 위해서 사용되어 있지 않은 경우에는, 컨트롤러 (110) 는 전처리가 필요하다, 즉, 전처리 실행 조건 (메인터넌스 실행 조건의 일례) 이 충족되어 있다고 판단한다.
전처리가 필요하다고 판단되면, 컨트롤러 (110) 는, 전처리 레시피에 따라서 전처리를 실행한다 (스텝 (A7)). 구체적으로는, 컨트롤러 (110) 는, 더미 기판 테이블 (133) 을 참조하여, 당해 처리 유닛 (11L-43U) 에 대응하는 더미 기판 슬롯 (DL1-DL12, DU1-DU12) 을 특정한다. 그리고, 컨트롤러 (110) 는, 주반송 로봇 (8L, 8U) 을 제어하여, 당해 특정된 더미 기판 슬롯으로부터 더미 기판 (DW) 을 반출시키고, 그 더미 기판 (DW) 을 당해 처리 유닛 (11L-43U) 에 반송시킨다 (더미 기판 반입 스텝 (A71)). 그 반송의 후, 호스트 컴퓨터 (150) 는, 당해 처리 유닛 (11L-43U) 에 있어서, 더미 기판 (DW) 에 대해, 제품용의 기판 (W) 에 대한 처리와 동일한 처리를 실행한다 (더미 처리 스텝 (A72)). 그 처리가 종료되면, 호스트 컴퓨터 (150) 는, 주반송 로봇 (8L, 8U) 를 제어하여, 당해 처리 유닛 (11L-43U) 으로부터 더미 기판 (DW) 을 취출하여, 원래의 더미 기판 슬롯까지 반송시키고, 그 더미 기판 슬롯에 그 더미 기판 (DW) 을 수용시킨다 (더미 기판 수용 스텝 (A73)). 이렇게 하여, 전처리를 실행하면, 컨트롤러 (110) 는, 불사용 계속 시간을 초기 값 (예를 들어 0) 으로 리셋하여, 유닛 사용 이력 데이터 (135) 를 갱신한다 (스텝 (A8)).
상기와 같이, 제품 기판 (W) 의 처리 요구 (처리 예약) 가 부여된 시점에서, 컨트롤러 (110) 는, 전처리를 실행한다. 전처리는, 더미 기판 (DW) 의 반송 (스텝 (A71)) 및 그것을 사용하는 더미 처리 (스텝 (A72)) 를 포함한다. 그 때문에, 제품 기판 (W) 을 수용한 캐리어 (C) 가 캐리어 유지부 (25) 에 유지되고, 인덱서 로봇 (26) 이 그 캐리어 (C) 로부터 처리 대상의 기판 (W) 을 취출하여 기판 재치부 (6L, 6U) 로 반송하는 기판 반입 동작 (스텝 (A20)) 과 병행하여, 혹은 그 이전에 전처리 (더미 기판 반입 스텝 (A71) 및/또는 더미 처리 스텝 (A72)) 가 실행되게 된다. 이 때, 인덱서 로봇 (26) 은 더미 기판 (DW) 의 반송에 관여하지 않는다. 따라서, 인덱서 로봇 (26) 에 의한 제품 기판 (W) 의 반송을 저해하는 일 없이, 처리 블록 (3) 의 내부에서 더미 기판 (DW) 을 반송하여, 전처리가 실행된다.
또한, 편의적으로, 도 9 에 인덱서 로봇 (26) 에 의한 제품 기판 (W) 의 반입 스텝 (A20) 을 나타냈지만, 전처리 스텝 (A7) 과의 전후 관계가 도시된 바와 같이 되는 것을 의미하는 것은 아니다. 전처리 스텝 (A7) 에 앞서, 또는 그와 병행하여 제품 기판 반입 스텝 (A20) 이 실시될 수 있는 (개시할 수 있는) 것은 전술한 바와 같고, 또, 전처리 스텝 (A7) 의 후에 제품 기판 반입 스텝 (A20) 이 실시될 (개시될) 수도 있다.
전처리 레시피는, 제품용의 기판 (W) 에 대해 실시해야 할 처리를 더미 기판 (DW) 에 대해 실시하는 전처리를 규정하고 있다. 그 때문에, 전처리를 더미 기판 (DW) 에 대해 실행함으로써, 더미 기판 (DW) 이 소모된다. 구체적으로는, 에칭 작용을 갖는 약액을 사용하는 전처리를 더미 기판 (DW) 에 대해 실시함으로써, 더미 기판 (DW) 의 표면이 에칭되어, 더미 기판 (DW) 의 두께가 감소한다. 그래서, 전처리 레시피를 실행하면, 컨트롤러 (110) 는, 당해 처리 유닛 (11L-43U) 에 대응지어진 더미 기판 슬롯 (DL1-DL12, DU1-DU12) 의 더미 기판 이력 데이터 (134) 를 갱신한다 (스텝 (A9)). 예를 들어, 더미 기판 이력 데이터 (134) 가 사용 횟수 데이터를 포함하는 경우에는, 사용 횟수 데이터를 인크리먼트한다.
전처리를 마치면, 컨트롤러 (110) 는, 제품 레시피에 따른 제어를 실행한다 (스텝 (A12)). 그럼으로써, 주반송 로봇 (8L, 8U) 은, 기판 재치부 (6L, 6U) 로부터 기판 (W) 을 취출하여 처리 유닛 (11L-43U) 에 반송한다 (기판 반입 스텝 (A121)). 그리고, 처리 유닛 (11L-43U) 에 있어서, 처리액 (약액, 린스액 등) 을 사용한 처리가 기판 (W) 에 대해 실행된다 (처리 스텝 (A122)). 그 종료 후에는, 주반송 로봇 (8L, 8U) 은, 처리 완료된 기판 (W) 을 취출하여, 기판 재치부 (6L, 6U) 까지 반송한다 (기판 수용 스텝 (A123)). 미처리의 기판 (W) 이 존재하는 경우 (복수 장의 기판 (W) 의 연속 처리의 경우) 에는 (스텝 (A13) : 예), 동일한 동작이 반복된다. 그 동안에, 당해 처리 유닛에서의 기판 처리 장수가 설정치에 이르면 (스텝 (A14) : 예), 스텝 (A3) 으로 되돌아가, 유닛 세정 처리가 실행된다. 연속 처리가 아닌 경우 (스텝 (A13) : 아니오) 에는, 리턴하여, 스텝 (A1) 으로부터의 처리가 반복된다.
호스트 컴퓨터 (150) 로부터의 처리 요구 (처리 예약) 가 없으면 (스텝 (A5) : 아니오), 컨트롤러 (110) 는, 대기 상태의 계속 시간, 즉 불사용 계속 시간이 설정치에 이르렀는지를 판단한다 (스텝 (A15)). 불사용 계속 시간이 설정치에 이르지 않으면, 대기 상태가 된다. 불사용 계속 시간이 설정치에 이르면 (스텝 (A15) : 예), 컨트롤러 (110) 는, 미리 설정되어 있는 메인터넌스 처리를 실행한다 (스텝 (A16)). 메인터넌스 처리는, 유닛 세정 처리여도 된다. 이 유닛 세정 처리는, 스텝 (A3) 의 경우와 마찬가지로, 더미 기판 (DW) 을 사용한 처리 (더미 처리의 1 종) 여도 되고, 더미 기판 (DW) 을 사용하지 않는 처리여도 된다. 또, 메인터넌스 처리는, 전처리와 유사한 처리여도 된다. 또, 메인터넌스 처리는, 그 밖의 처리여도 된다. 메인터넌스 처리는, 주로, 처리 유닛 (11L-43U) 의 처리실 (35) 내의 환경을 제품용의 기판 (W) 의 처리에 적합한 상태로 유지하기 위한 처리이며, 기판 처리 장치 (1) 의 사용자가 미리 설정하는 처리여도 된다. 더미 기판 (DW) 을 사용하는 더미 처리를 메인터넌스 처리로서 실시하는 경우에는, 메인터넌스 처리는, 대응하는 더미 기판 슬롯으로부터 더미 기판 (DW) 을 취출하여 당해 처리 유닛에 반입하는 스텝 (A161) 과, 처리 유닛 내에서 더미 기판 (DW) 을 사용한 더미 처리를 실시하는 스텝 (A162) 과, 그 처리 후에 더미 기판 (DW) 을 대응하는 더미 기판 슬롯에 수용하는 스텝 (A163) 을 포함한다.
호스트 컴퓨터 (150) 로부터의 처리 요구 (처리 예약) 가 없는 시점에서는, 컨트롤러 (110) 가 제품 레시피 (131) 와 동일한 전처리를 자동적으로 계획할 수 없다. 따라서, 메인터넌스 처리 (스텝 (A16)) 를 수시로 실행하고 있어도, 호스트 컴퓨터 (150) 로부터의 처리 요구 (처리 예약) 가 있었을 때에는, 그 제품 처리에 대응한 전처리 (스텝 (A7)) 를 실행하는 것이 바람직하다.
더미 기판 (DW) 은, 미리 기판 처리 장치 (1) 의 내부에 도입되고, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 에 수용된다. 구체적으로는, 예를 들어, 공장 내에 구비된 캐리어 반송 기구 (300) (도 1 참조) 에 의해, 더미 기판 (DW) 을 수용한 공급용 더미 캐리어 (DC) 가 캐리어 유지부 (25) 에 건네진다. 인덱서 로봇 (26) 은, 그 공급용 더미 캐리어 (DC) 로부터 더미 기판 (DW) 을 취출하여, 기판 재치부 (6L, 6U) 에 반송한다. 제 1 처리 블록층 (BL) 의 주반송 로봇 (8L) 은, 기판 재치부 (6L) 로부터 더미 기판 수용부 (7L) 로 더미 기판 (DW) 을 반송하여 수용한다. 제 2 처리 블록층 (BU) 의 주반송 로봇 (8U) 은, 기판 재치부 (6U) 로부터 더미 기판 수용부 (7U) 로 더미 기판 (DW) 을 반송하여 수용한다.
새로운 더미 기판 (DW) 이 도입되어 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 에 수용되면, 컨트롤러 (110) 는, 그 새로운 더미 기판 (DW) 이 수용된 더미 기판 슬롯에 대응하는 더미 기판 이력 데이터 (134) 를 초기 값으로 리셋한다.
기판 처리 장치 (1) 내의 더미 기판 (DW) 을 교환할 때에는, 주반송 로봇 (8L, 8U) 및 인덱서 로봇 (26) 에 의해, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 로부터 캐리어 유지부 (25) 에 유지된 회수용 더미 캐리어 (DC) 로 더미 기판 (DW) 이 반송된다. 구체적으로는, 교환 대상인 더미 기판 (DW) 이, 제 1 처리 블록층 (BL) 의 더미 기판 수용부 (7L) 에 수용되어 있을 때에는, 주반송 로봇 (8L) 은, 더미 기판 수용부 (7L) 로부터 기판 재치부 (6L) 로 당해 더미 기판 (DW) 을 반송한다. 교환 대상의 더미 기판 (DW) 이, 제 2 처리 블록층 (BU) 의 더미 기판 수용부 (7U) 에 수용되어 있을 때에는, 주반송 로봇 (8U) 은, 더미 기판 수용부 (7U) 로부터 기판 재치부 (6U) 로 당해 더미 기판 (DW) 을 반송한다. 인덱서 로봇 (26) 은, 기판 재치부 (6L, 6U) 에 놓여진 더미 기판 (DW) 을 캐리어 유지부 (25) 에 유지된 회수용 더미 캐리어 (DC) 로 반송하여 수용한다. 복수 장의 더미 기판 (DW) 이 교환 대상일 때에는, 동일한 동작이 반복된다.
도 10a 및 도 10b 는, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 에 대한 미사용 더미 기판의 반입 및 사용이 끝난 더미 기판의 반출에 관한 동작예를 설명하기 위한 플로 차트이다.
먼저, 도 10a 를 참조한다. 컨트롤러 (110) 는, 더미 기판 이력 데이터 (134) 를 참조하여, 더미 기판 (DW) 의 교환 필요 여부를 나타내는 스테이터스 데이터를 산출한다 (스텝 (S1)). 스테이터스 데이터를 산출하기 위한 산출식은, 메모리 (112) 에 격납되어 있다. 산출식은, 테이블의 형식으로 메모리 (112) 에 격납되어 있어도 된다. 예를 들어, 사용 횟수가 소정의 임계값에 이르면, 스테이터스 데이터는 교환 필요를 나타내는 값이 된다. 스테이터스 데이터는, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 에 수용되어 있는 모든 더미 기판 (DW) 에 대해 산출된다. 스테이터스 데이터를 산출하기 위한 산출식은, 복수의 더미 기판 (DW) 의 사이에서 공통이라고 한정되지는 않는다. 전술한 바와 같이, 복수의 처리 유닛에 대해 복수의 더미 기판 (DW) 이 1 대 1 로 대응지어져 있다. 각 처리 유닛에 있어서 실행되는 제품 기판 (W) 의 처리 및 더미 처리는 공통이라고 한정되지는 않는다. 그래서, 개개의 처리 유닛에 대응하는 개개의 더미 기판 (DW) 에 대해 개별적으로 산출식을 설정할 수 있게 되어 있다. 즉, 메모리 (112) 에 복수의 산출식이 격납되어 있고, 각 더미 기판 (DW) 에 대응하는 (즉, 각 처리 유닛에 대응하는) 산출식을 사용하여 스테이터스 데이터가 산출된다. 컨트롤러 (110) 는, 각 더미 기판 (DW) 이 대응하는 처리 유닛에서 사용될 때마다, 즉, 더미 기판 이력 데이터 (134) 가 갱신될 때마다, 스테이터스 데이터를 산출하여, 최신의 스테이터스 데이터를 메모리 (112) 에 격납해도 된다.
컨트롤러 (110) 는, 스테이터스 데이터에 기초하여, 더미 기판 (DW) 의 교환이 필요한지 여부를 판단하는 판단부로서의 기능을 실행한다. 구체적으로는, 어느 더미 기판 (DW) 의 스테이터스 데이터가 교환 필요를 나타내는 값인지 여부를 판단한다 (스텝 (S2)).
어느 더미 기판 (DW) 의 교환이 필요할 경우 (스텝 (S2) : 예), 컨트롤러 (110) 는, 기판 처리 장치 (1) 내에, 당해 더미 기판 (DW) 을 대체할 수 있는 다른 더미 기판 (DW) 이 존재하는지 여부를 판단한다 (스텝 (S3, S5)).
처리 유닛에서의 기판 처리의 후에 오염 등의 문제가 발생하면, 더미 기판 (DW) 이 오염원일 가능성도 포함하여, 원인 구명의 필요가 생기는 경우가 있다. 복수의 처리 유닛에서 공통의 더미 기판 (DW) 을 사용하면 이와 같은 원인 구명이 곤란해지므로, 복수의 처리 유닛과 복수의 더미 기판 (DW) 이 1 대 1 로 대응하고 있는 것이 바람직하다. 따라서, 어느 더미 기판 (DW) 이 사용 기한에 이르러도, 그 더미 기판 (DW) 을 다른 더미 기판 (DW) 으로 대체하는 것은 바람직하지 않다. 그러나, 기판 처리 장치 (1) 내에 미사용 더미 기판 (DW) 이 존재하고 있으면, 그 미사용 더미 기판 (DW) 은, 사용 기한에 이른 더미 기판 (DW) 대신에 사용해도, 상기와 같은 문제는 없다. 복수의 처리 유닛은, 동일한 처리를 실시한다고 한정하지 않는 것은 전술한 바와 같고, 그러므로, 복수의 처리 유닛에 있어서 더미 처리가 실시되는 빈도가 동등하다고는 할 수 없다.
상세한 것에 대하여 설명하면, 컨트롤러 (110) 는, 먼저, 당해 더미 기판 (DW) 이 수용되어 있는 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 의 다른 슬롯에 대체 사용 가능한 더미 기판 (DW) 이 격납되어 있는지 여부를 판단한다 (스텝 (S3)). 대체 사용 가능한 더미 기판 (DW) 이란, 기본적으로는, 더미 처리에 아직 사용되어 있지 않은 더미 기판 (DW) 이다. 이 경우, 컨트롤러 (110) 는, 각 더미 기판 (DW) 의 더미 기판 이력 데이터 (134) 에 기초하여, 대체 사용 가능한지 여부를 판단한다. 단, 미사용이면 즉시 대체 사용 가능하다고 판단하는 것이 아니라, 또 다른 판단 룰이 설정되어 있어도 된다. 예를 들어, 미사용 더미 기판 (DW) 이어도, 특정한 처리 유닛에 관련지어져 있는 경우에는, 미리 정한 추가 판단 룰에 기초하여, 당해 더미 기판 (DW) 이 대체 사용 가능한지 여부를 판단하도록 해도 된다.
대체 사용 가능한 더미 기판 (DW) 이 발견되면, 컨트롤러 (110) 는, 주반송 로봇 (8L, 8U) 에 의해, 교환이 필요한 더미 기판 (DW), 즉 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 과, 대체 사용인 더미 기판 (DW), 즉 미사용 더미 기판 (DW) 을, 동일한 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 내에서 교체한다 (스텝 (S4)). 요컨대, 주반송 로봇 (8L, 8U) 은, 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 을 슬롯으로부터 취출하여, 미사용 더미 기판 (DW) 의 슬롯까지 반송하고, 그 슬롯으로부터 미사용 더미 기판 (DW) 을 취출하여, 당해 슬롯에 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 을 반입한다. 또한, 주반송 로봇 (8L, 8U) 은, 취출한 미사용 더미 기판 (DW) 을 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 의 원래의 슬롯에 반입한다. 만약 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 가, 여분의 슬롯을 갖고 있다면, 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 을 여분의 슬롯에 반입하는 것으로 해도 된다.
이와 같은 더미 기판 (DW) 의 반송을 실시하는 대신에, 컨트롤러 (110) 는, 더미 기판 테이블 (133) (도 8 참조) 을 갱신함으로써, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 의 슬롯과 처리 유닛 (11L-43U) 의 대응 관계를 나타내는 데이터를 재기록해도 된다. 즉, 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 의 슬롯에 대응지어져 있는 처리 유닛에 대해, 미사용 더미 기판 (DW) 의 슬롯을 대응지으면 된다. 이와 같이 하면, 더미 기판 (DW) 을 반송할 필요는 없다.
동일한 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 에 대체 사용 가능한 더미 기판 (DW) 이 존재하지 않는 경우 (스텝 (S3) : 아니오) 에는, 컨트롤러 (110) 는, 또 하나의 더미 기판 수용부 (7L, 7U), 즉, 타방의 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 에 대체 가능한 더미 기판 (DW) 이 존재하는지 여부를 판단한다 (스텝 (S5)). 전술한 경우와 마찬가지로, 컨트롤러 (110) 는, 각 더미 기판 (DW) 의 더미 기판 이력 데이터 (134) 에 기초하여, 대체 사용 가능한 더미 기판 (DW) 이 있는지 여부를 판단한다. 대체 사용 가능한 더미 기판 (DW) 이 발견되면, 컨트롤러 (110) 는, 당해 대체 사용 가능한 더미 기판 (DW), 즉, 미사용 더미 기판 (DW) 을 이송하기 위한 반송 스케줄을 작성하고, 실행한다 (스텝 (S6) : 더미 기판 이송 제어, 더미 기판 이송 공정).
예를 들어, 제 1 처리 블록층 (BL) 의 더미 기판 수용부 (7L) 에 있어서 교환이 필요한 더미 기판 (DW) 이 발생하고, 더미 기판 수용부 (7L) 내에 대체 사용 가능한 더미 기판 (DW) 이 존재하지 않는 경우를 생각한다. 그리고, 제 2 처리 블록층 (BU) 의 더미 기판 수용부 (7U) 내에 대체 사용 가능한 더미 기판 (DW) (미사용 더미 기판) 이 발견되었을 경우를 상정한다. 이 경우, 컨트롤러 (110) 는, 다음과 같은 반송 동작을 위한 반송 스케줄을 작성한다. 즉, 주반송 로봇 (8U) 이, 더미 기판 수용부 (7U) 로부터 기판 재치부 (6U) 에 미사용 더미 기판 (DW) 을 반송한다. 그 후, 인덱서 로봇 (26) 이, 당해 미사용 더미 기판 (DW) 을, 기판 재치부 (6U) 로부터 기판 재치부 (6L) 로 반송한다. 그 후, 주반송 로봇 (8L) 이, 당해 미사용 더미 기판 (DW) 을 기판 재치부 (6L) 로부터 더미 기판 수용부 (7L) 의 빈 슬롯에 반송한다.
만약, 더미 기판 수용부 (7L) 에 미사용 더미 기판 (DW) 을 수용해야 할 빈 슬롯이 존재하지 않는 경우에는, 컨트롤러 (110) 는, 전술한 바와 같은 반송 동작에 앞서 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 을 더미 기판 수용부 (7L) 로부터 반출하여 빈 슬롯을 확보하기 위한 동작 (더미 기판 반출 동작) 을 계획한다. 더미 기판 반출 동작은, 캐리어 유지부 (25) 에 유지된 캐리어에 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 을 수용하는 동작이어도 된다. 이 경우의 캐리어는, 전형적으로는, 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 을 회수하기 위한 전용의 캐리어, 즉, 회수용 더미 캐리어 (DC) 이다. 회수용 더미 캐리어 (DC) 는 필요에 따라 캐리어 유지부 (25) 에 공급되므로, 통상적으로는, 모든 캐리어 유지부 (25) (로드 포트) 는, 제품 기판을 수용하는 통상적인 캐리어 (C) 로 점유되어 있어, 회수용 더미 캐리어 (DC) 는 캐리어 유지부 (25) 에는 존재하지 않을 것이다. 그래서, 컨트롤러 (110) 는, 타방의 처리 블록층 (BU) 의 더미 기판 수용부 (7U) 의 빈 슬롯에 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 을 반송하기 위한 반송 동작을 계획한다.
이 경우의 반송 동작의 일례는 다음과 같다. 주반송 로봇 (8L) 은, 제 2 처리 블록층 (BU) 으로부터 이송되어 온 미사용 더미 기판 (DW) 을 일방의 핸드로 유지하고, 타방의 핸드로 더미 기판 수용부 (7L) 로부터 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 을 반출한다. 이로써, 더미 기판 수용부 (7L) 에 빈 슬롯이 확보되므로, 그 확보된 빈 슬롯에, 일방의 핸드로 유지하고 있는 미사용 더미 기판 (DW) 을 반입한다. 즉, 주반송 로봇 (8L) 은, 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 이 수용되어 있는 슬롯에 대해, 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 과 미사용 더미 기판 (DW) 을 교환하도록 동작한다. 주반송 로봇 (8L) 은, 반출한 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 을 기판 재치부 (6L) 까지 반송한다. 그 후, 인덱서 로봇 (26) 이, 그 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 을 기판 재치부 (6L) 로부터 제 2 처리 블록층 (BU) 을 위한 기판 재치부 (6U) 로 반송한다. 그 후, 주반송 로봇 (8U) 이, 그 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 을 기판 재치부 (6U) 로부터 더미 기판 수용부 (7U) 의 빈 슬롯으로 반송한다. 더미 기판 수용부 (7U) 의 하나의 슬롯으로부터 미사용 더미 기판 (DW) 이 반출되어 있으므로, 더미 기판 수용부 (7U) 에는 적어도 하나의 빈 슬롯이 존재하고 있다.
이 예에서는, 미사용 더미 기판 (DW) 의 반송이 먼저 개시되고 있지만, 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 의 반송을 먼저 개시할 수도 있다. 이 경우의 반송 동작의 일례는 다음과 같다. 주반송 로봇 (8L) 이, 더미 기판 수용부 (7L) 로부터 기판 재치부 (6L) 에 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 을 반송한다. 그 후, 인덱서 로봇 (26) 이, 당해 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 을, 기판 재치부 (6L) 로부터 기판 재치부 (6U) 로 반송한다. 그 후, 주반송 로봇 (8U) 이, 당해 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 을 기판 재치부 (6U) 로부터 더미 기판 수용부 (7U) 로 반송한다. 주반송 로봇 (8U) 은, 제 1 처리 블록층 (BL) 으로부터 이송되어 온 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 을 일방의 핸드로 유지하고, 타방의 핸드로 더미 기판 수용부 (7U) 로부터 미사용 더미 기판 (DW) 을 반출한다. 이로써, 더미 기판 수용부 (7U) 에 빈 슬롯이 확보되므로, 그 확보된 빈 슬롯에 일방의 핸드로 유지하고 있는 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 을 반입한다. 즉, 주반송 로봇 (8U) 은, 미사용 더미 기판 (DW) 이 수용되어 있는 슬롯에 대해, 미사용 더미 기판 (DW) 과 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 을 교환하도록 동작한다. 주반송 로봇 (8U) 은, 반출한 미사용 더미 기판 (DW) 을 기판 재치부 (6U) 까지 반송한다. 그 후, 인덱서 로봇 (26) 이, 그 미사용 더미 기판 (DW) 을 기판 재치부 (6U) 로부터 제 1 처리 블록층 (BL) 을 위한 기판 재치부 (6L) 로 반송한다. 그 후, 주반송 로봇 (8L) 이, 그 미사용 더미 기판 (DW) 을 기판 재치부 (6L) 로부터 더미 기판 수용부 (7U) 의 빈 슬롯으로 반송한다. 더미 기판 수용부 (7L) 의 하나의 슬롯으로부터 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 이 반출되어 있으므로, 더미 기판 수용부 (7L) 에는 적어도 하나의 빈 슬롯이 존재하고 있다.
제 1 처리 블록층 (BL) 의 주반송 로봇 (8L) 이 더미 기판 수용부 (7L) 로부터 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 을 반출하여 기판 재치부 (6L) 로 반송하는 동작과 병행하여, 제 2 처리 블록층 (BU) 의 주반송 로봇 (8U) 이 더미 기판 수용부 (7U) 로부터 미사용 더미 기판 (DW) 을 반출하여 기판 재치부 (6U) 로 반송하는 동작을 실시하도록 해도 된다. 이 경우, 더미 기판 (DW) 의 이송 (교환) 에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있다.
제 2 처리 블록층 (BU) 의 더미 기판 수용부 (7U) 내의 더미 기판 (DW) 의 교환이 필요해져, 제 1 처리 블록층 (BL) 의 더미 기판 수용부 (7L) 내의 미사용 더미 기판 (DW) 을 대체 사용하는 경우의 반송 동작도 동일하다. 이 경우의 반송 동작예의 설명은, 상기 동작예의 설명에 있어서, 처리 블록층 (BU) 과 처리 블록층 (BL) 을 교환하여 바꿔 읽고, 주반송 로봇 (8U) 과 주반송 로봇 (8L) 을 교환하여 바꿔 읽고, 더미 기판 수용부 (7U) 와 더미 기판 수용부 (7L) 를 교환하여 바꿔 읽고, 기판 재치부 (6U) 와 기판 재치부 (6L) 를 교환하여 바꿔 읽음으로써 얻어지므로, 상세한 설명을 생략한다.
기판 처리 장치 (1) 내에 대체 사용 가능한 더미 기판 (DW) 이 존재하지 않는 경우에는 (스텝 (S4 및 S5) 의 양방에서 아니오), 컨트롤러 (110) 는, 호스트 컴퓨터 (150) 에 대해, 더미 기판 (DW) 의 교환을 요구하는 더미 기판 교환 요구를 송신한다 (스텝 (S7)).
컨트롤러 (110) 는, 어느 처리 유닛에서 더미 처리가 실시될 때마다, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 에 수용되어 있고, 또한 대체 사용 가능한 미사용 더미 기판 (DW) 의 장수를 산출하도록 프로그램되어 있어도 된다. 이 경우, 컨트롤러 (110) 는, 기판 처리 장치 (1) 내의 대체 사용 가능한 미사용 더미 기판 (DW) 의 장수가 소정의 임계값 (예를 들어 1) 이하가 되면, 더미 기판 교환 요구를 호스트 컴퓨터 (150) 에 송신하는 것이 바람직하다. 또, 컨트롤러 (110) 는, 어느 처리 유닛에서의 처리의 긴급도의 정보 등을 추가로 고려하여, 호스트 컴퓨터 (150) 에 더미 기판 교환 요구를 송신해도 된다. 예를 들어, 대체 사용 가능한 미사용 더미 기판 (DW) 의 장수가 임계값을 초과하고 있어도, 이미 스케줄되어 있는 더미 처리에 의해, 대체 사용 가능한 미사용 더미 기판 (DW) 의 장수가 가까운 장래에 임계값 이하가 될 전망인 경우에는, 더미 기판 교환 요구가 발행되어도 된다.
호스트 컴퓨터 (150) 는, 기판 처리 장치 (1) 로부터 더미 기판 교환 요구를 받으면, 기판 처리 장치 (1) 의 캐리어 유지부 (25) 의 어느 것에 회수용 더미 캐리어 (DC) 가 유지되어 있는지 여부를 판단한다. 어느 캐리어 유지부 (25) 에도 회수용 더미 캐리어 (DC) 가 유지되어 있지 않으면, 호스트 컴퓨터 (150) 는, 캐리어 반송 기구 (300) 에 의한 회수용 더미 캐리어 (DC) 의 공급을 계획하고, 그 계획에 따라서 캐리어 반송 기구 (300) 를 작동시킨다. 회수용 더미 캐리어 (DC) 가 어느 것의 캐리어 유지부 (25) 에 유지되어 있으면, 호스트 컴퓨터 (150) 는, 기판 처리 장치 (1) 의 캐리어 유지부 (25) 의 어느 것에 공급용 더미 캐리어 (DC) 가 유지되고 있는지 여부를 판단한다. 어느 캐리어 유지부 (25) 에도 공급용 더미 캐리어 (DC) 가 유지되어 있지 않으면, 호스트 컴퓨터는, 캐리어 반송 기구 (300) 에 의한 공급용 더미 캐리어 (DC) 의 공급을 계획하고, 그 계획에 따라서 캐리어 반송 기구 (300) 를 작동시킨다.
도 10b 를 참조한다. 기판 처리 장치 (1) 의 컨트롤러 (110) 는, 회수용 더미 캐리어 (DC) 가 어느 것의 캐리어 유지부 (25) 에 유지되어 있을 때 (스텝 (S11) : 예), 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 을 회수용 더미 캐리어 (DC) 에 반입하도록 동작한다 (스텝 (S12)). 즉, 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 은, 주반송 로봇 (8U, 8L) 에 의해 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 로부터 기판 재치부 (6L, 6U) 에 반송되고, 인덱서 로봇 (26) 에 의해 기판 재치부 (6L, 6U) 로부터 회수용 더미 캐리어 (DC) 에 반송되어 수용된다. 기판 처리 장치 (1) 의 컨트롤러 (110) 는, 공급용 더미 캐리어 (DC) 가 어느 것의 캐리어 유지부 (25) 에 유지되어 있을 때 (스텝 (S13) : 예), 미사용 더미 기판 (DW) 을 공급용 더미 캐리어 (DC) 로부터 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 에 반송하도록 동작한다 (스텝 (S14)). 즉, 미사용 더미 기판 (DW) 은, 인덱서 로봇 (26) 에 의해 공급용 더미 캐리어 (DC) 로부터 기판 재치부 (6L, 6U) 에 반송되고, 주반송 로봇에 의해 기판 재치부 (6L, 6U) 로부터 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 에 반송되어, 당해 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 에 반입된다.
더미 기판 수용부 (7L, 7U) 의 어느 슬롯의 더미 기판 (DW) 이 미사용 더미 기판 (DW) 과 교환되면, 당해 슬롯에 대응하는 (즉, 당해 슬롯에 수용된 더미 기판 (DW) 에 대응하는) 더미 기판 이력 데이터 (134) 는 초기 값으로 리셋된다 (도 10a 의 스텝 (S8), 도 10b 의 스텝 (S15)).
도 10a 에 나타낸, 기판 처리 장치 (1) 내에서의 미사용 더미 기판 (DW) 의 이송은, 공급용 더미 캐리어 (DC) 가 캐리어 유지부 (25) 에 유지되어 있고 (스텝 (S13)), 그 공급용 더미 캐리어 (DC) 로부터 공급되는 미사용 더미 기판 (DW) 에 의해 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 을 치환할 수 있을 때에는 필요하지 않다. 즉, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 의 사이에서 미사용 더미 기판 (DW) 을 이송하는 대신에, 공급용 더미 캐리어 (DC) 로부터, 미사용 더미 기판 (DW) 을 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 로 반송하면 된다. 따라서, 공급용 더미 캐리어 (DC) 가 캐리어 유지부 (25) 에 유지되어 있지 않거나, 또는 캐리어 유지부 (25) 에 유지되어 있는 공급용 더미 캐리어 (DC) 로부터의 미사용 더미 기판 (DW) 에 의한 치환을 할 수 없는 것을, 더미 기판 이송 조건의 하나로 해도 된다.
또, 기판 처리 장치 (1) 내에서의 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 의 이송은, 회수용 더미 캐리어 (DC) 가 캐리어 유지부 (25) 에 유지되어 있고 (스텝 (S11)), 그 회수용 더미 캐리어 (DC) 에 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 을 수용할 수 있을 때에는 필요하지 않다. 즉, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 의 사이에서 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 을 이송하는 대신에, 그 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 을 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 로부터 회수용 더미 캐리어 (DC) 로 반송하면 된다. 따라서, 회수용 더미 캐리어 (DC) 가 캐리어 유지부 (25) 에 유지되어 있지 않거나, 또는 캐리어 유지부 (25) 에 유지되어 있는 회수용 더미 캐리어 (DC) 에 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 을 수용할 수 없는 것을, 더미 기판 이송 조건의 하나로 해도 된다.
또한, 기판 처리 장치 (1) 의 가동 상황 및 캐리어 반송 기구 (300) 의 가동 상황에 따라서는, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 의 사이에서 더미 기판 (DW) 을 이송하는 것보다, 공급용 더미 캐리어 (DC) 의 도착을 대기하는 것이, 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 을 보다 빨리 미사용 더미 기판 (DW) 으로 치환할 수 있는 경우도 있다. 이와 같은 경우에는, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 의 사이에서의 더미 기판 (DW) 의 이송을 실시할 필요는 없다. 따라서, 기판 처리 장치 (1) 내에서의 더미 기판 (DW) 의 이송을 실시하는 것이, 기판 처리 장치 (1) 밖으로부터의 더미 기판 (DW) 의 공급을 기다리는 것보다, 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 을 빨리 미사용 더미 기판 (DW) 으로 치환할 수 있는 것을, 더미 기판 이송 조건의 하나로 해도 된다.
이상과 같이, 이 실시형태에 의하면, 인덱서 블록 (2) 의 횡방향에 인접된 처리 블록 (3) 은, 복수의 처리 블록층 (BL, BU) 을 상하 방향 (Z) 으로 적층하여 구성되어 있다. 그리고, 각 처리 블록층 (BL, BU) 에, 더미 기판 (DW) 을 수용하는 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 가 구비되어 있다. 처리 블록층 (BL, BU) 의 내부에 더미 기판 (DW) 을 수용할 수 있으므로, 처리 유닛 (11L-43U) 에 있어서 더미 기판 (DW) 을 사용할 필요가 생겼을 때에는, 인덱서 로봇 (26) 의 관여 없이, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 와 처리 유닛 (11L-43U) 의 사이에서 더미 기판 (DW) 을 반송할 수 있다.
따라서, 인덱서 로봇 (26) 의 반송 부하를 경감할 수 있으므로, 제품용의 기판 (W) 의 반송에 대한 영향을 경감하면서, 더미 기판 (DW) 을 사용하는 처리를 실시할 수 있다. 특히, 복수의 처리 유닛 (11L-43L, 11U-43U) 을 각각 갖는 복수의 처리 블록층 (BL, BU) 과 캐리어 유지부 (25) 의 사이에서 기판 (W) 을 반송하는 인덱서 로봇 (26) 의 반송 부하는 매우 크다. 따라서, 인덱서 로봇 (26) 의 반송 부하를 경감함으로써, 제품용의 기판 (W) 의 반송 효율이 좋아지고, 그에 따라, 생산성을 향상시킬 수 있다. 각 처리 블록층 (BL, BU) 의 주반송 로봇 (8L, 8U) 은, 당해 처리 블록층 (BL, BU) 내에서의 기판 (W) 의 반송을 맡으므로, 인덱서 로봇 (26) 과 비교하여 반송 부하가 작다. 따라서, 주반송 로봇 (8L, 8U) 이 처리 블록층 (BL, BU) 의 내부에서 더미 기판 (DW) 의 반송을 맡는 것은, 생산 효율의 관점에서 큰 문제는 되지 않는다.
또, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 는 처리 블록층 (BL, BU) 내에 있으므로, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 와 처리 유닛 (11L-43U) 의 사이의 더미 기판 (DW) 의 반송은, 인덱서 로봇 (26) 과 처리 블록층 (BL, BU) 의 사이의 기판 수도를 위한 기판 재치부 (6L, 6U) 를 경유하는 일 없이 실시할 수 있다. 따라서, 더미 기판 (DW) 의 반송과 제품용의 기판 (W) 의 반송의 간섭을 저감할 수 있으므로, 제품용의 기판 (W) 의 반송 효율이 좋아지고, 그에 따라, 생산성을 향상시킬 수 있다.
또한, 특허문헌 1 의 경우와는 달리, 더미 기판 (DW) 을 수용하는 더미 캐리어에 의해 캐리어 유지부 (25) 가 장시간에 걸쳐 점유되는 경우도 없다. 그럼으로써, 제품용의 기판 (W) 을 수용한 캐리어 (C) 의 반입에 대기 시간이 발생하는 것을 억제할 수 있으므로, 생산성의 향상에 기여할 수 있다.
또, 이 실시형태에서는, 각 처리 블록층 (BL, BU) 에 있어서, 복수의 처리 유닛 (11L-43L, 11U-43U) 이, 주반송 로봇 (8L, 8U) 에 의해 기판 (W) 이 반송되는 반송 경로 (51L, 51U) 를 따라, 반송 경로 (51L, 51U) 의 양측에 배열되고, 또한 상하 방향 (Z) 으로 적층되어 배열되어 있다. 따라서, 주반송 로봇 (8L, 8U) 에 의한 기판 반송을 효율적으로 실시할 수 있도록 처리 블록층 (BL, BU) 내에서의 복수의 처리 유닛 (11L-43U) 의 배치가 설계되어 있다. 그럼으로써, 생산성의 향상에 기여할 수 있다.
또, 이 실시형태에서는, 기판 재치부 (6L, 6U) 및 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 는, 모두, 인덱서 로봇 (26) 과 주반송 로봇 (8L, 8U) 의 사이에 배치되어 있다. 그럼으로써, 기판 재치부 (6L, 6U) 를 경유하여 실시되는, 인덱서 로봇 (26) 과 주반송 로봇 (8L, 8U) 의 사이의 기판 (W) 의 반송을 효율적으로 실시할 수 있다. 그리고, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 를, 인덱서 로봇 (26) 에 의한 기판 (W) 의 반송, 및 주반송 로봇 (8L, 8U) 에 의한 기판 (W) 의 반송과 간섭하지 않는 위치에 배치할 수 있다. 따라서, 제품용의 기판 (W) 의 반송에 영향을 주는 일 없이, 처리 블록층 (BL, BU) 내에 더미 기판 (DW) 을 유지할 수 있다.
보다 구체적으로는, 이 실시형태에서는, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 와 기판 재치부 (6L, 6U) 는, 서로 높이를 다르게 하여 입체적으로 배치되어 있다. 그럼으로써, 처리 블록층 (BL, BU) 내의 공간을 유효하게 이용하여, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 를 처리 블록층 (BL, BU) 내에 적절히 배치할 수 있다. 그 결과, 제품용의 기판 (W) 의 반송을 저해하지 않는 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 의 배치가 실현되어 있다.
또한, 이 실시형태에서는, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 가, 평면에서 보아, 기판 재치부 (6L, 6U) 와 겹치도록 배치되어 있다. 이로써, 기판 재치부 (6L, 6U) 의 상방 또는 하방의 공간을 이용하여, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 가 배치되어 있다. 그럼으로써, 제품용의 기판 (W) 의 반송을 저해하지 않는 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 의 배치를 실현하고 있어, 처리 블록층 (BL, BU) 내의 공간을 유효하게 이용하여, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 를 배치할 수 있게 되어 있다. 전술한 바와 같이, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 가 평면에서 보아 기판 재치부 (6L, 6U) 에 중첩되는 배치는, 구체적으로는, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 에 수용된 더미 기판 (DW) 의 일부 또는 전부가 기판 재치부 (6L, 6U) 에 유지된 기판 (W) 에 중첩되는 배치여도 된다.
더욱 구체적으로는, 이 실시형태에서는, 제 1 처리 블록층 (BL) (하층의 처리 블록층) 상에 제 2 처리 블록층 (BU) (상층의 처리 블록층) 이 적층되어 있다. 그리고, 제 1 처리 블록층 (BL) 에 있어서는, 더미 기판 수용부 (7L) 가 기판 재치부 (6L) 의 하방에 위치하고 있다. 한편, 제 2 처리 블록층 (BU) 에 있어서는, 더미 기판 수용부 (7U) 가 기판 재치부 (6U) 의 하방에 위치하고 있다. 이로써, 제 1 처리 블록층 (BL) 의 기판 재치부 (6L) 와 제 2 처리 블록층 (BU) 의 기판 재치부 (6U) 의 사이의 고저차를 줄일 수 있다. 그럼으로써, 인덱서 로봇 (26) 에 의한 상하 방향 (Z) 의 기판 반송 스트로크를 짧게 할 수 있으므로, 인덱서 로봇 (26) 의 반송 부하를 경감할 수 있다. 따라서, 제품용의 기판 (W) 의 반송 효율을 높여, 생산성의 향상에 기여할 수 있다.
또, 이 실시형태에서는, 각 처리 블록층 (BL, BU) 의 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 는, 당해 처리 블록층 (BL, BU) 에 포함되는 복수의 처리 유닛 (11L-43L, 11U-43U) 과 같은 수의 복수의 더미 기판 슬롯 (DL1-DL12, DU1-DU12) 을 포함한다. 그리고, 각 더미 기판 슬롯 (DL1-DL12, DU1-DU12) 은 1 장의 더미 기판 (DW) 을 유지하도록 구성되어 있다. 이로써, 각 처리 블록층 (BL, BU) 내에서 처리 유닛 (11L-43L, 11U-43U) 과 같은 수의 더미 기판 (DW) 을 유지해 둘 수 있다. 따라서, 어느 것의 처리 유닛 (11L-43L, 11U-43U) 에 더미 기판 (DW) 을 반입할 필요가 생기면, 주반송 로봇 (8L, 8U) 에 의해, 당해 처리 유닛에 신속하게 더미 기판 (DW) 을 반입하여, 더미 처리를 실시할 수 있다. 더미 기판 (DW) 의 반입에 인덱서 로봇 (26) 은 관여하지 않으므로, 제품용의 기판 (W) 의 반송에 대한 영향을 억제 또는 방지할 수 있다.
또한, 이 실시형태에서는, 각 처리 블록층 (BL, BU) 의 복수의 처리 유닛 (11L-43L, 11U-43U) 과 당해 처리 블록층의 복수의 더미 기판 슬롯 (DL1-DL12, DU1-DU12) 이, 1 대 1 로 대응지어져 있다. 그리고, 주반송 로봇 (8L, 8U) 은, 서로 대응하는 더미 기판 슬롯 (DL1-DL12, DU1-DU12) 과 처리 유닛 (11L-43L, 11U-43U) 의 사이에서 더미 기판 (DW) 을 반송한다. 이 구성에 의해, 더미 기판 슬롯에 유지되는 더미 기판 (DW) 은, 대응하는 처리 유닛을 위한 전용의 더미 기판으로 할 수 있다. 그럼으로써, 더미 기판 (DW) 의 사용 이력의 관리가 용이해진다.
또, 이 실시형태에서는, 컨트롤러 (110) 는, 더미 처리 조건 (유닛 세정 실행 조건, 전처리 실행 조건, 메인터넌스 실행 조건) 이 충족되면, 주반송 로봇 (8L, 8U) 을 제어하여, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 로부터 처리 유닛 (11L-43L, 11U-43U) 으로 더미 기판 (DW) 을 반송시키고, 그 처리 유닛에 있어서 더미 처리를 실행시킨다. 이와 같이, 처리 블록층 (BL, BU) 내에서의 더미 기판 (DW) 의 반송에 의해 더미 처리를 개시할 수 있으므로, 제품용의 기판 (W) 의 반송에 대한 영향을 억제 또는 방지하면서, 신속하게 더미 처리를 개시할 수 있다.
또, 이 실시형태에 의하면, 컨트롤러 (110) 가 기판 처리 장치 (1) 의 각 부를 제어함으로써, 다음과 같은 공정이 실행된다. 즉, 각 처리 블록층 (BL, BU) 내에 있어서, 주반송 로봇 (8L, 8U) 이 당해 처리 블록층 내의 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 에 수용된 더미 기판 (DW) 을 당해 처리 블록층 내의 복수의 처리 유닛 (11L-43L, 11U-43U) 의 어느 것에 반입하는 더미 기판 반입 공정 (스텝 (A31, A71, A161)) 이 실행된다. 그리고, 당해 처리 유닛 내에서 당해 반입된 더미 기판 (DW) 을 사용한 더미 처리를 실시하는 더미 처리 공정 (스텝 (A32, A72, A162)) 이 실행된다. 또한, 더미 처리 후에 주반송 로봇 (8L, 8U) 이 더미 기판 (DW) 을 처리 유닛으로부터 취출하여 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 까지 반송하는 공정이 실행된다 (스텝 (A33, A73, A163)). 또, 당해 처리 블록층 (BL, BU) 의 기판 재치부 (6L, 6U) 에 재치된 기판 (W) 을 당해 처리 블록층 (BL, BU) 의 복수의 처리 유닛 (11L-43L, 11U-43U) 의 어느 것에 반입하는 공정이 실행된다 (스텝 (A121)). 그리고, 당해 처리 유닛 내에서 당해 반입된 기판 (W) 을 처리하는 공정이 실행된다 (스텝 (A122)). 이로써, 인덱서 로봇 (26) 의 반송 부하를 경감하면서, 더미 기판 (DW) 을 사용한 처리를 각 처리 블록층 (BL, BU) 의 처리 유닛 (11L-43L, 11U-43U) 에 있어서 실시할 수 있다. 그럼으로써, 생산 효율을 향상시킬 수 있다.
컨트롤러 (110) 의 제어에 의해, 인덱서 로봇 (26) 이 캐리어 유지부 (25) 에 유지된 캐리어 (C) 로부터 기판 (W) 을 취출하여 어느 것의 처리 블록층 (BL, BU) 의 기판 재치부 (6L, 6U) 에 반입하는 기판 반입 공정 (스텝 (A20)) 과 병행하여, 또는 당해 기판 반입 공정 (스텝 (A20)) 에 앞서, 전술한 더미 기판 반입 공정 (스텝 (A71)) 이 실행되어도 된다. 이로써, 인덱서 로봇 (26) 에 의해 제품용의 기판 (W) 을 처리 블록층 (BL, BU) 에 반입하는 한편, 각 처리 블록층 (BL, BU) 내에서는 더미 기판 (DW) 을 처리 유닛 (11L-43L, 11U-43U) 에 반입할 수 있다. 인덱서 로봇 (26) 은, 더미 기판 (DW) 의 반입에 관여하지 않아도 되므로, 인덱서 로봇 (26) 에 의한 기판 (W) 의 반송을 기다리지 않고, 또는 그 기판 반송과 병행하여, 처리 블록층 (BL, BU) 내에서의 더미 기판 (DW) 의 반송을 실시할 수 있다. 따라서, 인덱서 로봇 (26) 의 반송 부하를 경감할 수 있는 데다가, 처리 블록층 (BL, BU) 내에서는 더미 기판 (DW) 을 신속하게 처리 유닛으로 반송할 수 있다.
또한, 컨트롤러 (110) 의 제어에 의해, 제품용의 기판 (W) 을 인덱서 로봇 (26) 에 의해 기판 재치부 (6L, 6U) 에 반입하는 기판 반입 공정 (스텝 (A20)) 과 병행하여, 또는 당해 기판 반입 공정에 앞서, 전술한 더미 처리 공정 (스텝 (A72)) 이 실행되어도 된다. 이로써, 인덱서 로봇 (26) 의 반송 부하를 경감할 수 있는 데다가, 처리 블록층 (BL, BU) 내에서는, 더미 처리를 신속하게 개시할 수 있다. 예를 들어, 호스트 컴퓨터 (150) 로부터 기판 처리의 요구를 받으면, 그에 응답하여, 적절한 시기에, 더미 기판 (DW) 의 반송 및 그에 이어지는 더미 처리를 개시할 수 있다. 그럼으로써, 처리 유닛 (11L-43L, 11U-43U) 내의 환경을 적절한 시기에 갖출 수 있으므로, 제품용의 기판 (W) 을 수용한 캐리어 (C) 가 캐리어 유지부 (25) 에 반입되면, 신속하게, 기판 (W) 의 처리를 시작할 수 있다. 이로써, 생산성의 향상에 기여할 수 있다.
또, 이 실시형태에서는, 제 1 처리 블록층 (BL) 의 더미 기판 수용부 (7L) 와 제 2 처리 블록층 (BU) 의 더미 기판 수용부 (7U) 의 사이에서, 더미 기판 (DW) 을 이송하는 공정이 실행된다. 그 때문에, 처리 블록층 (BL, BU) 의 사이에서 더미 기판 (DW) 을 서로 융통할 수 있으므로, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 에 수용된 더미 기판 (DW) 을 유효하게 활용할 수 있다. 그럼으로써, 사용 한계에 이른 더미 기판 (DW) 을 새로운 더미 기판 (DW) 으로 교환하는 횟수를 줄일 수 있다. 따라서, 더미 기판 (DW) 을 수용하는 더미 캐리어 (DC) 에 의해 캐리어 유지부 (25) 가 점유되는 횟수 및 시간을 줄일 수 있다. 이로써, 생산성의 향상에 기여할 수 있다.
더불어, 기판 처리 장치 (1) 의 외부로부터의 더미 기판 (DW) 의 공급을 기다리는 일 없이, 기판 처리 장치 (1) 내에 도입이 끝난 더미 기판 (DW) 을 사용한 더미 처리를 실시할 수 있다. 따라서, 더미 처리를 지체 없이 실시할 수 있으므로, 이로써도, 생산성의 향상을 도모할 수 있다.
또, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 의 사이에서의 더미 기판 (DW) 의 이송은, 더미 기판 이력 데이터 (134) 에 기초하여 산출되는 스테이터스 데이터가 교환 필요의 값이 되는 것 등 (더미 기판 이송 조건의 성립) 을 조건으로 실행된다. 그럼으로써, 더미 기판 (DW) 의 이송을 적절히 실시할 수 있으므로, 더미 기판 (DW) 의 이용 효율을 높일 수 있다. 전술한 바와 같이, 캐리어 유지부 (25) 에 공급용 더미 캐리어 (DC) 가 유지되어 있지 않은 것, 캐리어 유지부 (25) 에 유지되어 있는 공급용 더미 캐리어 (DC) 에, 사용이 끝난 더미 기판 (DW) 과 치환할 수 있는 미사용 더미 기판 (DW) 이 수용되어 있지 않은 것, 등을 더미 기판 이송 조건에 더해도 된다. 또, 기판 처리 장치 (1) 내에서의 더미 기판 (DW) 의 이송이, 기판 처리 장치 (1) 의 외부로부터의 더미 기판 (DW) 의 공급보다 빨리 완료할 수 있는 것을 더미 기판 이송 조건에 더해도 된다.
도 11 은, 이 발명의 제 2 실시형태에 관련된 기판 처리 장치의 구성을 설명하기 위한 도해적인 종단면도이고, 도 2 의 종단면에 상당하는 종단면에 있어서의 구성을 나타낸다. 전술한 제 1 실시형태와 비교하면, 이 실시형태에서는, 제 1 처리 블록층 (BL) 과 제 2 처리 블록층 (BU) 을 구분하는 중간 격벽 (16) 이 철거되어 있다. 또한, 주반송 로봇 (8L, 8U) 의 상하동을 안내하는 지주 (83) 는, 제 1 처리 블록층 (BL) 및 제 2 처리 블록층 (BU) 에 걸쳐 상하로 연장되어 있다. 그럼으로써, 주반송 로봇 (8L, 8U) 은, 제 1 실시형태의 경우보다 큰 스트로크로 상하동할 수 있게 구성되어 있다. 물론, 컨트롤러 (110) 는, 주반송 로봇 (8L, 8U) 이 서로 간섭하지 않게, 그들의 동작을 제어한다.
또, 이 실시형태에서는, 제 1 실시형태에 있어서의 2 개의 기판 재치부 (6U, 6L) 가 하나의 기판 재치부 (6) 로 치환되어 있다. 기판 재치부 (6) 는, 제 1 처리 블록층 (BL) 과 제 2 처리 블록층 (BU) 에서 공용된다. 즉, 제 1 처리 블록층 (BL) 의 주반송 로봇 (8L) 은, 기판 재치부 (6) 에 액세스 가능하고, 기판 재치부 (6) 와, 제 1 처리 블록층 (BL) 의 처리 유닛 (11L-43L) 의 사이에서 제품 기판 (W) 을 반송한다. 또, 주반송 로봇 (8L) 은, 기판 재치부 (6) 와, 처리 유닛 (11L-43L) 과, 더미 기판 수용부 (7L) 의 사이에서 더미 기판 (DW) 을 반송한다. 마찬가지로, 제 2 처리 블록층 (BU) 의 주반송 로봇 (8U) 은, 기판 재치부 (6) 에 액세스 가능하고, 기판 재치부 (6) 와 제 2 처리 블록층 (BU) 의 처리 유닛 (11U-43U) 의 사이에서 제품 기판 (W) 을 반송한다. 또, 주반송 로봇 (8U) 은, 기판 재치부 (6) 와, 처리 유닛 (11U-43U) 과, 더미 기판 수용부 (7U) 의 사이에서 더미 기판 (DW) 을 반송한다.
기판 재치부 (6) 는, 미처리 기판 재치부 (61) 및 기처리 기판 재치부 (62) 를 구비하고 있다. 단, 기판 재치부 (6) 는, 제 1 및 제 2 처리 블록층 (BL, BU) 에서 공용되므로, 미처리 기판 재치부 (61) 및 기처리 기판 재치부 (62) 는, 각각, 제 1 실시형태의 경우보다 많은 슬롯을 갖는 기판 유지 선반 (65, 66) 을 구비하고 있는 것이 바람직하다. 기판 재치부 (6) 에 구비되는 기판 유지 선반 (65, 66) 은, 적어도 1 개 (즉, 일부 또는 전부) 의 슬롯이, 양방의 주반송 로봇 (8L, 8U) 에 의해 액세스 가능한 배치로 되어 있는 것이 바람직하다. 보다 상세하게는, 미처리 기판 재치부 (61) 의 기판 유지 선반 (65) (도 5 참조) 은, 적어도 한 개 (즉, 일부 또는 전부) 의 슬롯이, 양방의 주반송 로봇 (8L, 8U) 에 의해 액세스 가능한 배치로 되어 있는 것이 바람직하다. 마찬가지로, 기처리 기판 재치부 (62) 의 기판 유지 선반 (66) (도 5 참조) 은, 적어도 한 개 (즉, 일부 또는 전부) 의 슬롯이, 양방의 주반송 로봇 (8L, 8U) 에 의해 액세스 가능한 배치로 되어 있는 것이 바람직하다. 이하, 양방의 주반송 로봇 (8L, 8U) 이 액세스 가능한 슬롯을「공용 슬롯」이라고 한다.
기판 재치부 (6) 는, 인덱서 로봇 (26) 에 의해 액세스 가능한 배치로 되어 있는 것이 바람직하다. 보다 상세하게는, 인덱서 로봇 (26) 은, 기판 재치부 (6) 의 기판 유지 선반 (65, 66) 의 모든 슬롯에 액세스 가능하고, 그것들에 대해 제품 기판 (W) 또는 더미 기판 (DW) 을 반입 및 반출할 수 있도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
처리 블록층 (BL, BU) 의 사이에서의 더미 기판 (DW) 의 이송이 필요해지면, 컨트롤러 (110) 는, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 의 사이에서, 기판 재치부 (6) 를 경유하는 반송 경로로 더미 기판 (DW) 을 반송하는 계획을 작성하고, 그 계획에 따라서, 주반송 로봇 (8L, 8U) 을 작동시킨다.
구체적으로는, 더미 기판 수용부 (7L) 에 격납되어 있는 더미 기판 (DW) 을 더미 기판 수용부 (7U) 에 반송할 때, 주반송 로봇 (8L) 은, 더미 기판 수용부 (7L) 로부터 이송 대상의 더미 기판 (DW) 을 반출하여, 기판 재치부 (6) 의 슬롯에 그 더미 기판 (DW) 을 반입한다. 이 때, 제 1 처리 블록층 (BL) 의 주반송 로봇 (8L) 은, 기판 재치부 (6) 의 공용 슬롯에 반입한다. 공용 슬롯에 대상의 더미 기판 (DW) 이 반입된 후에, 제 2 처리 블록층 (BU) 의 주반송 로봇 (8U) 은, 기판 재치부 (6) 의 공용 슬롯으로부터 당해 더미 기판 (DW) 을 반출하여, 더미 기판 수용부 (7U) 에 반입한다. 이렇게 하여, 제 1 처리 블록층 (BL) 으로부터 제 2 처리 블록층 (BU) 으로 더미 기판 (DW) 이 이송된다.
더미 기판 수용부 (7U) 에 격납되어 있는 더미 기판 (DW) 을 더미 기판 수용부 (7L) 에 반송하는 경우의 동작은, 상기와 반대가 된다. 즉, 주반송 로봇 (8U) 은, 더미 기판 수용부 (7U) 로부터 이송 대상의 더미 기판 (DW) 을 반출하여, 기판 재치부 (6) 의 공용 슬롯에 그 더미 기판 (DW) 을 반입한다. 이 후, 제 1 처리 블록층 (BL) 의 주반송 로봇 (8L) 은, 기판 재치부 (6) 의 공용 슬롯으로부터 당해 더미 기판 (DW) 을 반출하여, 더미 기판 수용부 (7L) 에 반입한다. 이렇게 하여, 제 2 처리 블록층 (BU) 으로부터 제 1 처리 블록층 (BL) 으로 더미 기판 (DW) 이 이송된다.
제 1 처리 블록층 (BL) 과 제 2 처리 블록층 (BU) 의 사이에서 더미 기판 (DW) 을 교환하는 경우에는, 상기 2 개의 동작이 순차 또는 병행하여 행해지면 된다.
상기와 같은 동작이 컨트롤러 (110) 에 의해 계획되고, 또한 실행됨으로써, 더미 기판 (DW) 의 이송이 달성된다.
이 실시형태에서는, 기판 재치부 (6) 는, 주반송 로봇 (8L, 8U) 의 양방이 액세스 가능한 공용 슬롯을 갖고 있으므로, 인덱서 로봇 (26) 의 관여 없이, 더미 기판 (DW) 의 이송을 실시할 수 있다. 그럼으로써, 인덱서 로봇 (26) 의 반송 부하를 경감할 수 있으므로, 생산성의 향상에 기여할 수 있다.
도 12 는, 이 발명의 제 3 실시형태에 관련된 기판 처리 장치의 구성을 설명하기 위한 종단면도이고, 도 2 의 종단면에 상당하는 종단면에 있어서의 구성을 나타낸다. 제 1 실시형태에서는, 인덱서 블록 (2) 및 처리 블록 (3) 이 인접하는 격벽 (2a, 3a) 에는, 기판 재치부 (6L, 6U) 에 대응하는 창 (4L, 4U) 이 형성되고, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 에 대응하는 창은 형성되어 있지 않다. 이에 대하여, 이 실시형태에서는, 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 에 대응하는 창 (5L, 5U) 이 격벽 (2a, 3a) 에 추가되어 있다.
이와 같은 추가의 창 (5L, 5U) 을 형성함으로써, 더미 기판 (DW) 을 처리 블록층 (BL, BU) 에 도입할 때에, 인덱서 로봇 (26) 이 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 에 직접 액세스하여, 더미 기판 (DW) 을 반입할 수 있다. 또한, 제 1 처리 블록층 (BL) 의 더미 기판 수용부 (7L) 와 제 2 처리 블록층 (BU) 의 더미 기판 수용부 (7L) 의 사이에서 더미 기판 (DW) 을 이송할 필요가 생긴 경우에는, 인덱서 로봇 (26) 은, 그것들에 직접 액세스하여, 그들의 사이에서 더미 기판 (DW) 을 이송할 수 있다. 이 더미 기판 (DW) 의 이송에는, 주반송 로봇 (8L, 8U) 은 모두 관여할 필요가 없다. 따라서, 주반송 로봇 (8L, 8U) 의 반송 부하를 경감하여 생산성의 향상을 도모할 수 있다.
도 13 은, 이 발명의 제 4 실시형태에 관련된 기판 처리 장치의 내부 구성을 나타내는 도해적인 평면도이다. 제 1 실시형태에서는, 복수의 처리 유닛 (11L-43U) 은, 하단의 처리 블록층 (BL) 에 구비되는 제 1 처리 유닛군과, 상단의 처리 블록층 (BU) 에 구비되는 제 2 처리 유닛군으로 구분되어 있고, 그들 사이에 수평인 중간 격벽 (16) 이 형성되어 있다. 이에 대하여, 이 실시형태에서는, 처리 블록 (3) 내의 공간을 상하로 구분하는 중간 격벽 (16) 은 형성되어 있지 않고, 대신에, 처리 블록 (3) 내의 공간을 수평 방향으로 구분하는 중앙 격벽 (18) 이 구비되어 있다.
중앙 격벽 (18) 은, 캐리어 유지부 (25) 측으로부터 제 1 수평 방향 (X) 으로 본 정면에서 보아, 처리 블록 (3) 내의 공간을 좌우로 구분하고 있다. 중앙 격벽 (18) 은, 처리 블록 (3) 의 제 2 수평 방향 (Y) (좌우 방향) 에 관한 중앙 부근에 있어서, 제 1 수평 방향 (X) 및 상하 방향 (Z) 을 따라 연장되는 평판상의 격벽이다. 중앙 격벽 (18) 은, 그 일방측에 배치된 제 1 처리 블록부 (B1) 와, 그 타방측에 배치된 제 2 처리 블록부 (B2) 를 형성하고 있다. 즉, 제 1 처리 블록부 (B1) 및 제 2 처리 블록부 (B2) 는, 서로의 측방에 배치되어 있다. 처리 블록 (3) 에 구비된 복수의 처리 유닛 (11L-43U) 은, 제 1 처리 블록부 (B1) 에 포함되는 제 1 처리 유닛군 (G1) 과, 제 2 처리 블록부 (B2) 에 포함되는 제 2 처리 유닛군 (G2) 으로 구분되어 있다. 복수의 처리 유닛 (11L-43U) 의 배치는, 제 1 실시형태와 유사하므로, 도 13 에서는, 복수의 처리 유닛 (11L-43U) 에 도 1 과 동일한 참조 부호를 붙였다. 제 1 처리 유닛군 (G1) 은, 제 1 타워 T1 및 제 2 타워 (T2) 를 형성하는 복수의 처리 유닛 (11L, 12L, 13L, 11U, 12U, 13U ; 21L, 22L, 23L, 21U, 22U, 23U) 으로 구성되어 있다. 제 2 처리 유닛군 (G2) 은, 제 3 타워 (T3) 및 제 4 타워 (T4) 를 구성하는 복수의 처리 유닛 (31L, 32L, 33L, 31U, 32U, 33U ; 41L, 42L, 43L, 41U, 42U, 43U) 으로 구성되어 있다.
제 1 처리 유닛군 (G1) 에 대응하여, 중앙 격벽 (18) 의 일방측에 제 1 주반송 로봇 (8A) 이 형성되어 있다. 제 1 주반송 로봇 (8A) 은, 중앙 격벽 (18) 과 제 1 처리 유닛군 (G1) 의 사이에 구획된 제 1 반송 공간 (53A) 내에서 동작하고, 그럼으로써, 제품 기판 (W) 및 더미 기판 (DW) 은, 제 1 반송 공간 (53A) 을 지나 반송된다. 마찬가지로, 제 2 처리 유닛군 (G2) 에 대응하여, 중앙 격벽 (18) 의 타방측에 제 2 주반송 로봇 (8B) 이 형성되어 있다. 제 2 주반송 로봇 (8B) 은, 중앙 격벽 (18) 과 제 2 처리 유닛군 (G2) 의 사이에 구획된 제 2 반송 공간 (53B) 내에서 동작하고, 그럼으로써, 제품 기판 (W) 및 더미 기판 (DW) 은, 제 2 반송 공간 (53B) 을 지나 반송된다. 제 1 주반송 로봇 (8A) 및 제 2 주반송 로봇 (8B) 의 구성은, 도 11 에 나타낸 제 2 실시형태의 경우와 거의 동일하므로, 대응 구성 부분에 동일한 참조 부호를 붙이고 설명을 생략한다. 단, 이 실시형태에서는, 상하 방향 이동을 가이드하는 지주 (83) 는, 중앙 격벽 (18) 에 고정되어 있다.
또한, 제 1 처리 유닛군 (G1) 에 대응하여, 제 1 반송 공간 (53A) 의 인덱서 블록 (2) 에 인접하는 단부에는, 제 1 기판 재치부 (6A) 가 형성되어 있다. 또한, 평면에서 보아 제 1 기판 재치부 (6A) 와 일부 또는 전부가 겹치도록, 제 1 기판 재치부 (6A) 의 상방 및/또는 하방에 제 1 더미 기판 수용부 (7A) 가 배치되어 있다. 마찬가지로, 제 2 처리 유닛군 (G2) 에 대응하여, 제 2 반송 공간 (53B) 의 인덱서 블록 (2) 에 인접하는 단부에는, 제 2 기판 재치부 (6B) 가 형성되어 있다. 또한, 평면에서 보아 제 2 기판 재치부 (6B) 와 일부 또는 전부가 겹치도록, 제 2 기판 재치부 (6B) 의 상방 및/또는 하방에 제 2 더미 기판 수용부 (7B) 가 배치되어 있다.
제 1 주반송 로봇 (8A) 은, 제 1 처리 유닛군 (G1) 을 구성하는 복수의 처리 유닛, 제 1 기판 재치부 (6A) 및 제 1 더미 기판 수용부 (7A) 에 액세스 가능하다. 그럼으로써, 제 1 주반송 로봇 (8A) 은, 제 1 처리 유닛군 (G1) 을 구성하는 복수의 처리 유닛 및 제 1 기판 재치부 (6A) 의 사이에서 제품 기판 (W) 을 반송한다. 또, 제 1 주반송 로봇 (8A) 은, 제 1 처리 유닛군 (G1) 을 구성하는 복수의 처리 유닛, 제 1 기판 재치부 (6A) 및 제 1 더미 기판 수용부 (7A) 의 사이에서 더미 기판 (DW) 을 반송한다. 제 1 주반송 로봇 (8A) 은, 이 실시형태에서는, 제 2 처리 유닛군 (G2), 제 2 기판 재치부 (6B) 및 제 2 더미 기판 수용부 (7B) 의 어느 것에도 액세스할 수 없다.
마찬가지로, 제 2 주반송 로봇 (8B) 은, 제 2 처리 유닛군 (G2) 을 구성하는 복수의 처리 유닛, 제 2 기판 재치부 (6B) 및 제 2 더미 기판 수용부 (7B) 에 액세스 가능하다. 그럼으로써, 제 2 주반송 로봇 (8B) 은, 제 2 처리 유닛군 (G2) 을 구성하는 복수의 처리 유닛 및 제 2 기판 재치부 (6B) 의 사이에서 제품 기판 (W) 을 반송한다. 또, 제 2 주반송 로봇 (8B) 은, 제 2 처리 유닛군 (G2) 을 구성하는 복수의 처리 유닛, 제 2 기판 재치부 (6B) 및 제 2 더미 기판 수용부 (7B) 의 사이에서 더미 기판 (DW) 을 반송한다. 제 2 주반송 로봇 (8B) 은, 이 실시형태에서는, 제 1 처리 유닛군 (G1), 제 1 기판 재치부 (6A) 및 제 1 더미 기판 수용부 (7A) 의 어느 것에도 액세스할 수 없다.
인덱서 로봇 (26) 은, 캐리어 유지부 (25) 에 유지된 캐리어 (C, DC), 제 1 기판 재치부 (6A) 및 제 2 기판 재치부 (6B) 에 액세스 가능하고, 그들의 사이에서 제품 기판 (W) 및 더미 기판 (DW) 을 반송한다. 인덱서 로봇 (26) 은, 이 실시형태에서는, 제 1 더미 기판 수용부 (7A) 및 제 2 더미 기판 수용부 (7B) 의 어느 것에도 액세스할 수 없다. 물론, 인덱서 로봇 (26) 은, 제 1 처리 유닛군 (G1) 및 제 2 처리 유닛군 (G2) 에 액세스할 수도 없다.
이와 같은 구성의 기판 처리 장치 (1) 에 있어서도, 제 1 실시형태의 경우 와 동일하게 하여, 제 1 더미 기판 수용부 (7A) 와 제 2 더미 기판 수용부 (7B) 의 사이에서, 필요에 따라, 더미 기판 (DW) 을 이송할 수 있다.
이 제 4 실시형태를 전술한 제 2 실시형태 (도 11 참조) 를 따라 변형하여, 제 1 기판 재치부 (6A) 및 제 2 기판 재치부 (6B) 대신에, 인덱서 로봇 (26), 제 1 주반송 로봇 (8A) 및 제 2 주반송 로봇 (8B) 이 공통으로 액세스 가능한 기판 재치부를 형성해도 된다. 예를 들어, 중앙 격벽 (18) 의 인덱서 블록 (2) 측의 단부에 절결을 형성하여, 제 1 처리 유닛군 (G1) 및 제 2 처리 유닛군 (G2) 에서 공용되는 기판 재치부를 배치할 수 있다. 이와 같은 공용의 기판 재치부를 형성함으로써, 인덱서 로봇의 관여 없이, 제 1 주반송 로봇 (8A) 및 제 2 주반송 로봇 (8B) 에 의해, 제 1 더미 기판 수용부 (7A) 와 제 2 더미 기판 수용부 (7B) 의 사이에서 더미 기판 (DW) 을 이송할 수 있다.
또, 제 4 실시형태를 전술한 제 3 실시형태 (도 12 참조) 를 따라 변형하여, 인덱서 로봇 (26) 이 제 1 더미 기판 수용부 (7A) 및 제 2 더미 기판 수용부 (7B) 에 액세스 가능한 구성으로 해도 된다. 그럼으로써, 제 1 주반송 로봇 (8A) 및 제 2 주반송 로봇 (8B) 의 관여 없이, 인덱서 로봇 (26) 에 의해, 제 1 더미 기판 수용부 (7A) 와 제 2 더미 기판 수용부 (7B) 의 사이에서 더미 기판 (DW) 을 이송할 수 있다.
이상, 이 발명의 4 개의 실시형태에 대해 설명해 왔지만, 이 발명은, 또 다른 형태로 실시할 수도 있다. 예를 들어, 전술한 제 1 실시형태 등에서는, 2 층의 처리 블록층 (BL, BU) 을 적층하여 구성된 처리 블록 (3) 의 구성을 나타냈지만, 3 층 이상의 처리 블록층이 적층되어 처리 블록이 구성되어도 된다. 또, 전술한 제 1 실시형태 등에서는, 각 처리 블록층 (BL, BU) 이 3 단으로 적층된 처리 유닛 배치를 갖는 예를 나타냈지만, 각 처리 블록층에 포함되는 처리 유닛은, 2 단으로 적층되어도 되고, 4 단 이상으로 적층되어도 되고, 1 단으로 모든 처리 유닛이 배치되어도 된다. 또한, 전술한 제 1 실시형태 등에서는, 반송 경로 (51L, 51U) 의 양측에 처리 유닛 (11L-43U) 이 배치된 예를 나타냈지만, 반송 경로 (51L, 51U) 의 일방측에 처리 유닛이 배치되어도 된다. 또, 전술한 제 1 실시형태 등에서는, 반송 경로 (51L, 51U) 의 일방측에 당해 반송 경로 (51L, 51U) 를 따라, 2 개의 처리 유닛이 배치되어 있지만, 1 개의 처리 유닛이 배치되어도 되고, 3 개 이상의 처리 유닛이 배치되어도 된다.
또한, 전술한 제 1 실시형태 등에서는, 각 처리 블록층 (BL, BU) 의 더미 기판 수용부 (7L, 7U) 에는, 처리 유닛 (11L-43L, 11U-43U) 과 같은 수의 더미 기판 슬롯 (DL1-DL12, DU1-DU12) 을 형성하고, 그것들이 처리 유닛 (11L-43L, 11U-43U) 에 1 대 1 로 대응하고 있다. 그러나, 예를 들어, 각 처리 블록층 (BL, BU) 에 있어서의 더미 기판 슬롯의 수를 처리 유닛의 수보다 적게 하여, 하나의 더미 기판 슬롯을 복수의 처리 유닛에 대응시키도록 해도 된다.
본 발명의 실시형태에 대해 상세하게 설명해 왔지만, 이들은 본 발명의 기술적 내용을 분명히 하기 위해서 이용된 구체예에 지나지 않고, 본 발명은 이들 구체예로 한정하여 해석되어서는 안 되고, 본 발명의 범위는 첨부한 청구의 범위에 의해서만 한정된다.
C : 캐리어
DC : 더미 캐리어
W : 기판 (제품 기판)
DW : 더미 기판
1 : 기판 처리 장치
2 : 인덱서 블록
25 : 캐리어 유지부
26 : 인덱서 로봇
3 : 처리 블록
BL : 제 1 처리 블록층
11L-13L : 처리 유닛
21L-23L : 처리 유닛
31L-33L : 처리 유닛
41L-43L : 처리 유닛
6L : 기판 재치부
7L : 더미 기판 수용부
DL1-DL12 : 더미 기판 슬롯
8L : 주반송 로봇
51L : 반송 경로
52L : 반송 공간
BU : 제 2 처리 블록층
11U-13U : 처리 유닛
21U-23U : 처리 유닛
31U-33U : 처리 유닛
41U-43U : 처리 유닛
6U : 기판 재치부
7U : 더미 기판 수용부
DU1-DU12 : 더미 기판 슬롯
8U : 주반송 로봇
51U : 반송 경로
52U : 반송 공간
B1 : 제 1 처리 블록부
B2 : 제 2 처리 블록부
G1 : 제 1 처리 유닛군
G2 : 제 2 처리 유닛군
8A : 제 1 주반송 로봇
8B : 제 2 주반송 로봇
6 : 기판 재치부
6A : 제 1 기판 재치부
6B : 제 2 기판 재치부
7A : 제 1 더미 기판 수용부
7B : 제 2 더미 기판 수용부
110 : 컨트롤러
150 : 호스트 컴퓨터
300 : 캐리어 반송 기구

Claims (14)

  1. 기판 또는 더미 기판을 수용하는 캐리어를 유지하는 캐리어 유지부와,
    기판을 처리하고, 또한 더미 기판을 사용하는 처리를 실행하는 복수의 제 1 처리 유닛을 갖는 제 1 처리 유닛군과,
    기판을 처리하고, 또한 더미 기판을 사용하는 처리를 실행하는 복수의 제 2 처리 유닛을 갖는 제 2 처리 유닛군과,
    더미 기판을 수용하는 제 1 더미 기판 수용부와,
    더미 기판을 수용하는 제 2 더미 기판 수용부와,
    기판이 재치되는 기판 재치부와,
    상기 복수의 제 1 처리 유닛, 상기 기판 재치부 및 상기 제 1 더미 기판 수용부에 액세스 가능하게 구성되고, 상기 복수의 제 1 처리 유닛 및 상기 기판 재치부의 사이에서 기판을 반송하고, 상기 복수의 제 1 처리 유닛 및 상기 제 1 더미 기판 수용부의 사이에서 더미 기판을 반송하는 제 1 반송 유닛과,
    상기 복수의 제 2 처리 유닛, 상기 기판 재치부 및 상기 제 2 더미 기판 수용부에 액세스 가능하게 구성되고, 상기 복수의 제 2 처리 유닛 및 상기 기판 재치부의 사이에서 기판을 반송하고, 상기 복수의 제 2 처리 유닛 및 상기 제 2 더미 기판 수용부의 사이에서 더미 기판을 반송하는 제 2 반송 유닛과,
    상기 캐리어 유지부에 유지된 캐리어 및 상기 기판 재치부에 액세스 가능하고, 상기 캐리어 유지부에 유지된 캐리어와 상기 기판 재치부의 사이에서, 기판을 반송하는 제 3 반송 유닛과,
    상기 제 1 반송 유닛, 상기 제 2 반송 유닛 및 상기 제 3 반송 유닛을 제어하는 컨트롤러로서, 상기 제 1 더미 기판 수용부와 상기 제 2 더미 기판 수용부의 사이에서 더미 기판을 이송하는 더미 기판 이송 제어를 실행하는 컨트롤러를 포함하는, 기판 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 컨트롤러는, 소정의 더미 기판 이송 조건이 성립하면, 상기 더미 기판 이송 제어를 실행하는, 기판 처리 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 컨트롤러는,
    상기 제 1 더미 기판 수용부에 수용되는 더미 기판의 사용 이력 정보와, 상기 제 2 더미 기판 수용부에 수용되는 더미 기판의 사용 이력 정보를 포함하는 데이터를 기억하는 기억부와,
    상기 기억부에 기억되어 있는 상기 데이터에 기초하여, 상기 더미 기판 이송 조건의 성부를 판단하는 판단부를 포함하는, 기판 처리 장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 컨트롤러는, 상기 더미 기판 이송 제어에 있어서, 상기 기판 재치부를 경유하여 상기 제 1 더미 기판 수용부와 상기 제 2 더미 기판 수용부의 사이에서 더미 기판이 이송되도록, 상기 제 1 반송 유닛 및 상기 제 2 반송 유닛을 제어하는, 기판 처리 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판 재치부는, 상기 제 1 반송 유닛 및 상기 제 3 반송 유닛이 액세스 가능한 제 1 기판 재치부와, 상기 제 2 반송 유닛 및 상기 제 3 반송 유닛이 액세스 가능한 제 2 기판 재치부를 포함하고,
    상기 컨트롤러는, 상기 더미 기판 이송 제어에 있어서, 상기 제 1 반송 유닛이 상기 제 1 더미 기판 수용부와 상기 제 1 기판 재치부의 사이에서 더미 기판을 반송하고, 상기 제 2 반송 유닛이 상기 제 2 더미 기판 수용부와 상기 제 2 기판 재치부의 사이에서 더미 기판을 반송하고, 상기 제 3 반송 유닛이 상기 제 1 기판 재치부와 상기 제 2 기판 재치부의 사이에서 더미 기판을 반송하도록, 상기 제 1 반송 유닛, 상기 제 2 반송 유닛 및 상기 제 3 반송 유닛을 제어하는, 기판 처리 장치.
  6. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 3 반송 유닛이, 상기 제 1 더미 기판 수용부 및 상기 제 2 더미 기판 수용부에 액세스 가능하고,
    상기 컨트롤러는, 상기 더미 기판 이송 제어에 있어서, 상기 제 1 더미 기판 수용부와 상기 제 2 더미 기판 수용부의 사이에서, 상기 기판 재치부를 경유하는 일 없이, 더미 기판을 이송하도록, 상기 제 3 반송 유닛을 제어하는, 기판 처리 장치.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    제 1 처리 블록층과, 상기 제 1 처리 블록층의 상방에 위치하는 제 2 처리 블록층을 포함하고,
    상기 제 1 처리 블록층에 상기 제 1 처리 유닛군이 배치되어 있고,
    상기 제 2 처리 블록층에 상기 제 2 처리 유닛군이 배치되어 있는, 기판 처리 장치.
  8. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    제 1 처리 블록부와, 상기 제 1 처리 블록부의 측방에 위치하는 제 2 처리 블록부를 포함하고,
    상기 제 1 처리 블록부에 상기 제 1 처리 유닛군이 배치되어 있고,
    상기 제 2 처리 블록부에 상기 제 2 처리 유닛군이 배치되어 있는, 기판 처리 장치.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 더미 기판 수용부 및 상기 제 2 더미 기판 수용부가, 평면에서 보아, 상기 기판 재치부와 겹쳐져 있는, 기판 처리 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 1 더미 기판 수용부 및 상기 제 2 더미 기판 수용부가, 상기 기판 재치부를 사이에 두고 상하로 배분하여 배치되어 있는, 기판 처리 장치.
  11. 제 1 처리 유닛군에 속하는 복수의 제 1 처리 유닛과 기판 재치부의 사이에서, 제 1 반송 유닛에 의해 기판을 반송하는 공정과,
    상기 제 1 처리 유닛에 있어서, 상기 제 1 반송 유닛에 의해 반송된 기판을 처리하는 공정과,
    상기 복수의 제 1 처리 유닛과 제 1 더미 기판 수용부의 사이에서, 상기 제 1 반송 유닛에 의해 더미 기판을 반송하는 공정과,
    상기 제 1 처리 유닛에 있어서, 상기 제 1 반송 유닛에 의해 반송된 더미 기판을 사용한 더미 처리를 실행하는 공정과,
    제 2 처리 유닛군에 속하는 복수의 제 2 처리 유닛과 상기 기판 재치부의 사이에서, 제 2 반송 유닛에 의해 기판을 반송하는 공정과,
    상기 제 2 처리 유닛에 있어서, 상기 제 2 반송 유닛에 의해 반송된 기판을 처리하는 공정과,
    상기 복수의 제 2 처리 유닛과 제 2 더미 기판 수용부의 사이에서, 상기 제 2 반송 유닛에 의해 더미 기판을 반송하는 공정과,
    상기 제 2 처리 유닛에 있어서, 상기 제 2 반송 유닛에 의해 반송된 더미 기판을 사용한 더미 처리를 실행하는 공정과,
    캐리어 유지부에 유지된 캐리어와 상기 기판 재치부의 사이에서, 제 3 반송 유닛에 의해 기판을 반송하는 공정과,
    상기 제 1 더미 기판 수용부와 상기 제 2 더미 기판 수용부의 사이에서, 더미 기판을 이송하는 더미 기판 이송 공정을 포함하는, 기판 처리 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 더미 기판 이송 공정에 있어서, 상기 기판 재치부를 경유하여, 상기 제 1 더미 기판 수용부와 상기 제 2 더미 기판 수용부의 사이에서, 더미 기판이 이송되는, 기판 처리 방법.
  13. 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,
    상기 기판 재치부는, 상기 제 1 반송 유닛 및 상기 제 3 반송 유닛이 액세스 가능한 제 1 기판 재치부와, 상기 제 2 반송 유닛 및 상기 제 3 반송 유닛이 액세스 가능한 제 2 기판 재치부를 포함하고,
    상기 더미 기판 이송 공정은, 상기 제 1 반송 유닛이 상기 제 1 더미 기판 수용부와 상기 제 1 기판 재치부의 사이에서 더미 기판을 반송하는 공정과, 상기 제 2 반송 유닛이 상기 제 2 더미 기판 수용부와 상기 제 2 기판 재치부의 사이에서 더미 기판을 반송하는 공정과, 상기 제 3 반송 유닛이 상기 제 1 기판 재치부와 상기 제 2 기판 재치부의 사이에서 더미 기판을 반송하는 공정을 포함하는, 기판 처리 방법.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 3 반송 유닛이, 상기 제 1 더미 기판 수용부 및 상기 제 2 더미 기판 수용부에 액세스 가능하고,
    상기 더미 기판 이송 공정에 있어서, 상기 제 3 반송 유닛이, 상기 제 1 더미 기판 수용부와 상기 제 2 더미 기판 수용부의 사이에서, 상기 기판 재치부를 경유하는 일 없이, 더미 기판을 반송하는, 기판 처리 방법.
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